JPWO2013046921A1 - 偏光子、偏光光学素子、光源および画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
非偏光を特定の偏光状態の光に変換する際の光の取り出し効率を高くすることが可能な偏光子を提供する。偏光子は、基板と、基板上に設けられた第1の誘電体部と、第1の誘電体部上に設けられた金属部と、を備え、第1の誘電体部は、基板から金属部に向かって小さくなるように設けられる。
Description
本発明は、光を偏光させる偏光子に関する。
近年、発光素子としてLED(Light Emitting Diode)を有する光源を用いたプロジェクタが注目されている。このようなプロジェクタは、光源と、光源の出射光が入射される照明光学系と、照明光学系からの光を映像信号に応じて変調して出射する変調素子と、変調素子からの光をスクリーンに投射する投射光学系とを備えている。
上記のプロジェクタでは、変調素子として液晶パネルなどの偏光依存性を有するものが使用されることがある。この場合、LEDの出射光は非偏光なので、LEDの出射光を効率良く投射光として利用するためには、非偏光が特定の偏光状態に変換される必要がある。
このため、光源には、LEDからの非偏光を特定の偏光状態の光に変換して出射する偏光光学素子が設けられることがある。このような偏光光学素子としては、光利用効率に優れ、薄型化が容易なワイヤグリッド偏光子を用いたものが注目されている。
図1は、ワイヤグリッド偏光子の一例を示す図である。図1に示すように、ワイヤグリッド偏光子では、基板101上に、線状の金属部材である金属ワイヤ102がグリッド(格子)状に複数配列されている。
ワイヤグリッド偏光子では、金属ワイヤ102が形成されている面に光が入射すると、その入射光111のうち、金属ワイヤ102の延伸方向に対して垂直な方向Aに偏光した偏光成分であるTM偏光は、ワイヤグリッド偏光子を透過して、透過光112として出射する。また、入射光111のうち、方向Aと直交する方向Bに偏光した偏光成分であるTE偏光は、ワイヤグリッド偏光子で反射して、反射光113として、光の入射側に戻される(特許文献1および2参照)。
図2および図3は、ワイヤグリッド偏光子を用いた偏光光学素子の一例を示す図である。
図2に示す偏光光学素子は、LEDである発光素子301の上に設けられたλ/4板302と、λ/4板302の上に設けられたワイヤグリッド偏光子303とを有する。
図2に示す偏光光学素子では、発光素子301からの光がワイヤグリッド偏光子303に入射すると、入射光のうちのTM偏光はワイヤグリッド偏光子303を透過して、偏光光学素子から出射され、入射光のうちのTE偏光はワイヤグリッド偏光子303で反射する。この反射した光は、λ/4板302を介して発光素子301に入射し、発光素子301でさらに反射され、λ/4板302を介してワイヤグリッド偏光子303に再入射する。
ワイヤグリッド偏光子303に再入射された光は、λ/4板302を2回通過してTM偏光となっているので、ワイヤグリッド偏光子303を介して透過して、偏光光学素子から出射される。これにより、発光素子301から出射された光がTM偏光に変換されて出射されることになる。
また、図3に示す偏光光学素子は、λ/4板302の代わりに、光を非偏光に変換して出射する偏光解消素子302’を有する。
図3に示す偏光光学素子では、ワイヤグリッド偏光子303に再入射する光は、偏光解消素子302’を通過しているので、非偏光となっている。このため、再入射した光のうちTM偏光はワイヤグリッド偏光子303を透過し、TE偏光はワイヤグリッド偏光子303でさらに反射される。このような反射が繰り返されることで、発光素子301から出射された光がTM偏光に変換されて出射されることになる。
上記のようなワイヤグリッド偏光子では、金属ワイヤ102間の空気と基板101との屈折率の差が大きいため、TM偏光が金属ワイヤ102間から基板101に入射したときに、そのTM偏光の一部が反射されて、光の入射側に戻されてしまう。このため、光の取り出し効率が低いという問題がある。
なお、図2および図3で示したように、光の入射側に戻された光をワイヤグリッド偏光子に再入射させることで、光の損失を少なくすることはできる。しかしながら、反射時に金属ワイヤ102における吸収損失による光の減衰が生じるため、光の取り出し効率は十分ではない。
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、非偏光を特定の偏光状態の光に変換する際の光の取り出し効率を高くすることが可能な偏光子、偏光光学素子、光源および画像表示装置を提供することを目的としている。
本発明による第1の偏光子は、基板と、基板上に設けられた第1の誘電体部と、第1の誘電体部上に設けられた金属部と、を備え、第1の誘電体部は、基板から金属部に向かって小さくなるように設けられる。
また、本発明による第2の偏光子は、基板と、基板上に設けられた第1の誘電体部と、第1の誘電体部上に設けられた金属部と、を備え、第1の誘電体部は、基板から金属部に向かって傾斜面を有し、第1の誘電体部の側面は、基板から金属部に向かって傾斜するように形成された傾斜面であり、第1の誘電体部の金属部が設けられた面は、第1の誘電部の基板が設けられた面より小さい。
また、本発明による偏光光学素子は、偏光子と、構造体上に設けられ、入射光の偏光状態を変化させて出射する偏光状態変換素子と、を有する。
また、本発明の光源は、偏光光学素子と、偏光光学素子に光を出射する発光素子と、を有する。
また、本発明の画像表示装置は、光源を有する。
本発明によれば、非偏光を特定の偏光状態の光に変換する際の光の取り出し効率を高くすることが可能になる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明では、同じ機能を有するものには同じ符号を付け、その説明を省略する場合がある。
図4は、本発明の第1の実施形態の光源を模式的に示す斜視図である。なお、実際の光源では、各層の厚さが非常に薄く、また各層の厚さの違いが大きいので、各層を正確なスケールや比率で図示するのは困難である。このため、図面では各層が実際の比率通りに描かれておらず、模式的に示されている。
図4に示すように本実施形態の光源10は、発光素子1と、発光素子1の上に設けられた偏光光学素子2とを有する。
発光素子1は、例えば、LEDであり、光を偏光光学素子2に出射する。なお、発光素子1から出射される光は、本実施形態では、非偏光であり、可視光であるとする。
偏光光学素子2は、発光素子1からの光を特定の偏光状態に変換して出射する。
より具体的には、偏光光学素子2は、発光素子1の上に設けられた波長板3と、波長板3の上に設けられたワイヤグリッド偏光子である偏光子4とを有する。なお、図4では、発光素子1と波長板3とが密着しているが、実際には、密着していなくてもよい。
波長板3は、光の偏光状態を変化させる偏光状態変換素子の一例である。より具体的には、波長板3は、互いに直角な方向に振動する直線偏光の間にその光の1/4波長の位相差を生じさせることで、直線偏光を円偏光(楕円偏光)に変換し、円偏光(楕円偏光)を直線偏光に変換するλ/4板である。また、波長板3は、ゼロオーダー波長板であることが望ましい。
波長板3の材料としては、サファイアや水晶のような無機の異方性結晶、ポリカーボネートのような異方性フィルム、および、ナノ構造異方性媒体などが挙げられる。
偏光子4は、基板11と、その基板11上に、第1誘電体層12、金属層13、第2誘電体層14の順に積層されている複数の凸部15とを有する。なお、第1誘電体層12は、第1の誘電体部の一例であり、金属層13は、金属部の一例であり、第2誘電体層12は、第2の誘電体部の一例であり、各凸部15は、構造体の一例である。また、本実施形態では、基板11の上面をXY平面とし、XY平面と直交する方向をZ方向とする。
基板11は、発光素子1から出射される光の波長帯域において、実質的に透明な材料で形成される。基板11の材料としては、例えば、石英ガラスおよびホウケイ酸クラウンのような光学ガラス、サファイアおよび水晶のような無機物結晶、ポリエーテルイミド樹脂およびポリスチレン樹脂のような透明プラスチックなどが挙げられる。
基板11上の各凸部15は、基板11の上面内の第1方向であるY方向に延伸された線形形状を有する。また、複数の凸部15は、グリッド状、より具体的には、第1方向とは異なる第2方向であるX方向に周期的に配置されている。
各凸部15の第1誘電体層12は、基板11から金属層13に向かって、第1誘電体層12の断面積が小さくなるテーパー構造(傾斜面)を有する。テーパー構造は、基板11と第1誘電体層12との接面において、第1誘電体層12の幅が凸部15の周期と同等になり、第1誘電体層12の金属層13と接する面と金属層13の第1誘電体層12と接する面とが同等な大きさになることが望ましい。また、テーパーは、線形、指数関数および放物線のような滑らかなものであればよい。
また、第1誘電体層12は、例えば、1.5〜2.0の屈折率を有し、その高さが10nm〜150nm程度である。また、第1誘電体層12の材料は、特に限定されないが、例えば、酸化シリコン、酸化チタンおよび酸化アルミニウムのような酸化物、窒化シリコンのような窒化物、フッ化マグネシウムおよびフッ化カルシウムのようなフッ化物などの誘電体材料が挙げられる。
第1誘電体層12上に形成される金属層13は、例えば、アルミニウム、銀、錫およびそれらの合金のような、発光素子1から出射される光の波長帯域において、光の反射率が高い材料で形成されることが望ましい。
また、金属層13上に形成される第2誘電体層14の材料は、特に限定されないが、例えば、酸化シリコン、酸化チタンおよび酸化アルミニウムのような酸化物、窒化シリコンのような窒化物、フッ化マグネシウムおよびフッ化カルシウムのようなフッ化物などの誘電体材料が挙げられる。
また、第2誘電体層14は、例えば、1.0〜2.0の屈折率を有し、高さが50nm〜200nmである。XY方向における、第2誘電体層14の大きさは、金属層13の大きさと同等であることが望ましい。
第2誘電体層14は、波長板3と密着されている。なお、第2誘電体層14と波長板3との間には、保護材や粘着材が挿入されていてもよい。
以上のように構成された光源10において、発光素子1から出射された非偏光は、波長板3を介して偏光子4の凸部15が形成された面に入射する。なお、非偏光は波長板3を通過しても非偏光であるので、偏光子4に入射する光も非偏光である。
偏光子4に入射した非偏光のうち、各凸部15の延伸方向であるY方向に垂直な偏光成分であるTM偏光は、各凸部15を透過し、さらに基板11を透過して出射される。
一方、偏光子4に入射した非偏光のうち、各凸部15の延伸方向であるY方向に平行な偏光成分であるTE偏光は、各凸部15の金属層13で反射する。この反射したTE偏光は、波長板3を通過して円偏光となり、発光素子1で反射し、さらに波長板3を通過して、TM偏光となって偏光子4に再入射する。したがって、再入射した光は、偏光子4を透過して出射される。このため、偏光子4から出射される光は、特定の偏光状態を有するTM偏光となる。
このとき、波長板3と偏光子4との間に間隙があると、波長板3から偏光子4に入射されず、外周部から漏れる漏れ光が多くなる。このため、波長板3と偏光子4とが密着されている。
しかしながら、金属層13の光が入射する側の入射側媒体の屈折率が金属ワイヤの屈折率の絶対値に近いほど、金属層13によるTE偏光の吸収率が増大して、TE偏光の反射率が低減する。このため、入射側媒体は、屈折率ができるだけ小さいものが望ましい。
金属層13に波長板3が直接密着されると、入射側媒体が波長板3となる。波長板3の屈折率に対する自由度は低いので、入射側媒体が大きくなってしまう。このため、本実施形態では、金属層13の上に1.0〜2.0程度の屈折率を有する第2誘電体層14を設けることで、入射側媒体の屈折率を低くして、TE偏光の反射率を向上させている。
また、基板11と各凸部の間の媒体である間隙媒体との屈折率との差が大きいと、TM偏光が基板11で反射する反射率が増大して、TM偏光の透過率が低減する。このため、本実施形態では、基板11と金属層13との間にテーパーを有する第1誘電体層12を設けることで、第1誘電体層12の金属層13側では、第1誘電体層12に比べて空気の占める体積を大きくし、第1誘電体層12の基板11側では、空気に比べて第1誘電体層12の占める体積を大きくしている。このため、基板11上のXY平面と平行な平面における平均的な屈折率である有効屈折率は、基板11から金属層13に向かって連続的に変化していることになる。互いに異なる屈折率を有する媒質間の界面で発生するフレネル反射は、その媒質間の屈折率の差が小さいほど発生しづらくなるので、上記のように有効屈折率が基板11から金属層13に向かって連続的に変化していると、反射を軽減することが可能になり、TM偏光の透過率を向上させることが可能になる。
図5は、図4に示す光源10に含まれる偏光子4を製造する製造方法を説明するための図である。なお、以下で説明する製造方法は、単なる一例であって、これに限定されるものではない。
先ず、図5(a)に示すように、例えば蒸着法を用いて、基板11の上に第1誘電体層12を形成し、その後、例えばスパッタリング製膜法を用いて、第1誘電体層12の上に金属層13を製膜し、さらに、金属層13の上に第2誘電体層14を製膜させる。さらに、第2誘電体層14の上にレジスト層21Aを薄膜になるように積層する。
その後、図5(b)に示すように、レジスト層21Aをグリッド状にパターニングして、グリッド状に配置された複数のレジスト層21Bを形成する。パターニングの方法は、特に限定されないが、例えば、マスク露光法である光リソグラフィー技術やインプリント法などが挙げられる。
次に、図5(c)に示すように、レジスト層21Bをマスクとして、第2誘電体層14、金属層13および第1誘電体層12を貫くようにエッチング処理を行い、グリッド状に配置された複数の凸部15を形成する。このエッチング処理では、第1誘電体層12がテーパー構造となるように、第1誘電体層12を除去する。なお、エッチングの方法は、第1誘電体層12、金属層13および第2誘電体層14の材料に応じて、ウェットエッチング法やドライエッチング法を用いることができる。
そして、図5(d)に示すように、レジスト層21Bを酸素ラジカルと結合させて、COやCO2などの気体状反応生成物に置換して除去する。
図6は、図4に示した光源10を有する画像表示装置の構成の一例を示す配置図である。図6に示す画像表示装置は、光をスクリーンに投射してスクリーン上に画像を形成するプロジェクタである。
図6において、プロジェクタ500は、光源501R、501Gおよび501Bと、光学素子502R、502Gおよび502Bと、液晶パネル503R、503Gおよび503Bと、クロスダイクロイックプリズム504と、投射光学系505とを備える。
光源501R、501Gおよび501Bのそれぞれは、図4に示した光源10と同じ構造を有する。光源501R、501Gおよび501Bのそれぞれの発光素子1は、波長がそれぞれ異なる光を発生するものとする。以下、光源501Rから赤色(R)光が出射され、光源501Gから緑色(G)光が出射され、光源501Bから青色(B)光が出射されるものとする。
光学素子502R、502Gおよび502Bのそれぞれは、光源501R、501Gおよび501Bから発生した各色光を、液晶パネル503R、503Gおよび503Bのそれぞれに導いて入射する。
液晶パネル503R、503Gおよび503Bは、入射された各色光を映像信号に応じて変調して出射する空間光変調素子である。
クロスダイクロイックプリズム504は、液晶パネル503R、503Gおよび503Bのそれぞれから出射された各変調光を合成して出射する。
投射光学系505は、クロスダイクロイックプリズム504から出射された合成光をスクリーン600に投射して、スクリーン600上に映像信号に応じた映像を表示する。
図7は、本実施形態のプロジェクタの構成の別の例を示す配置図である。図7において、プロジェクタ500’は、光源501R、501Gおよび501Bと、導光体506と、液晶パネル507と、投射光学系508とを有する。
導光体506は、光源501R、501Gおよび501Bから発生した各色光を合成して液晶パネル507に出射する。
液晶パネル507は、入射された合成光を映像信号に応じて変調して出射する空間光変調素子である。
投射光学系508は、液晶パネル507から出射された変調光をスクリーン600に投射して、スクリーン600上に映像信号に応じた映像を表示する。
なお、図6および図7では、空間光変調素子として液晶パネルを用いたが、変調素子は液晶パネルに限らず適宜変更可能である。
図8は、本実施形態の光源10における積算透過率の評価結果を示す図である。ここで積算透過率とは、発光素子1から出射された光のうち、使用可能角度範囲に含まれる出射角で偏光子4から出射される光の割合を示す。使用可能角度範囲は、偏光変換素子から様々な方向に出射された光のうち、実際に使うことができる角度範囲のことであり、例えば、図6に示した画像表示装置において、光源501R、501Gおよび501Bから出射された光のうち、光学素子502R、502Gおよび502Bに取り込むことができる光の出射角度の範囲である。
なお、基板11を屈折率1.5のガラス、第1誘電体層12を屈折率1.8の誘電体、金属層13をAl、第2誘電体層14を屈折率1.5の誘電体で形成した。
金属層13の幅を42nm、高さを140nm、凸部15の周期を110nmとした。第1誘電体の高さを50nm、幅を基板11側で110nm、金属層13側で42nmとした。第2誘電体の高さを100nm、幅を42nmとした。さらに、波長板3は、水晶のゼロオーダーの一軸性1/4波長板とした。そして、発光素子1の出射光は、完全非偏光で配光分布はランバーシアンとし、発光素子1の反射率を100%と仮定した。
図8では、Eは、ワイヤグリッド偏光子単独の評価結果、Fは光源10の評価結果、Gは、図1で示した関連技術の光源の評価結果、Hは、発光素子1の出射光が全て偏光された出射されたときの結果である。
図8に示されたように、本実施形態の光源10は、図1で示した関連技術の光源に比べて、積算透過率が1%程度向上している。
以上説明したように本実施形態によれば、第1誘電体層12にテーパーが設けられているので、TM偏光の透過率を向上させることが可能になるので、非偏光を特定の偏光状態の光に変換する際の光の取り出し効率を高くすることが可能になる。
また、本実施形態では、金属層13の上の第2誘電体層14を設けているので、偏光子4を波長板3に密着させても、TE偏光の反射率の低下の抑制、または、TE偏光の反射率の向上が可能になる。したがって、漏れ光を抑制しつつ、TE偏光の反射率の低下の抑制、または、TE偏光の反射率の向上が可能になるので、非偏光を特定の偏光状態の光に変換する際の光の取り出し効率を高くすることが可能になる。
次に本発明の第2の実施形態について説明する。
図9は、本発明の第2の実施形態の光源を模式的に示す斜視図である。図9に示す本実施形態の光源10Aは、図4に示した光源10に対して、波長板3の代わりに偏光解消素子3Aを有する。
偏光解消素子3Aは、光の偏光状態を変化させる偏光状態変換素子の一例である。より具体的には、偏光解消素子3Aは、入射された光を非偏光にして出射するものである。
偏光解消素子3Aの材料としては、厚みが面内の位置に応じて異なる、サファイアや水晶のような無機の異方性結晶や、ポリカーボネートのような異方性フィルムが挙げられる。
なお、図9では、発光素子1と偏光解消素子3Aとが密着しているが、実際には、密着していなくてもよい。
以上のように構成された光源10Aにおいて、発光素子1から出射された非偏光は、偏光解消素子3Aを介して偏光子4の凸部15が形成された面に入射する。なお、非偏光は偏光解消素子3Aを通過しても非偏光であるので、偏光子4に入射する光も非偏光である。
偏光子4に入射した非偏光のうち、各凸部15の延伸方向であるY方向に垂直な偏光成分であるTM偏光は、各凸部15を透過し、さらに基板11を透過して出射される。
一方、偏光子4に入射した非偏光のうち、各凸部15の延伸方向であるY方向に平行な偏光成分であるTE偏光は、各凸部15の金属層13で反射する。この反射したTE偏光は、波長板3を通過して非偏光となり、発光素子1で反射し、さらに波長板3を通過して、非偏光のまま偏光子4に再入射する。したがって、再入射した光のうちTM偏光は、偏光子4を透過して出射され、再入射した光のうちTE偏光は再度反射される。
図10は、本実施形態の光源10Aにおける積算透過率の評価結果を示す図である。なお、偏光解消素子3Aは、入射光を完全な非偏光にするものと仮定し、他の各部材の構成は、第1の実施形態と同様としている。また、図10において、Eは、ワイヤグリッド偏光子単独の評価結果、Fは光源10Aの評価結果、Gは、図1で示した関連技術の光源の評価結果、Hは、発光素子1の出射光が全て偏光された出射されたときの結果である。
図10に示すように、本実施形態の光源10は、図1で示した関連技術の光源に比べて、積算透過率が向上していることがわかる。
次に本発明の他の実施形態について説明する。
図11は、本発明の第3の実施形態の光学素子の側面および上面を示す図である。図11に示すように本実施形態の光学素子200は、基板201と、基板201上に設けられた誘電体部202と、誘電体部202上に設けられた金属部203とを有する。なお、誘電体部202は、第1の誘電体部の一例であり、誘電体部202および金属部203は構造体204を構成する。また、本実施形態では、基板201の上面をXY平面とし、XY平面と直交する方向をZ方向とする。
誘電体部202は、基板201から金属部203に向かって小さくなる構造を有する。
より具体的には、誘電体部202の基板201と接する面である底面は、矩形であり、誘電体部202のY方向に沿った側面がテーパー構造を有する。
また、金属部203のY方向(反射偏光方向)の長さをW1、金属部203のX方向(透過偏光方向)の長さをW2とする。
また、誘電体部202の金属部203と接する面である上面のY方向の長さをW1、誘電体部202の上面のX方向の長さをW2とする。このとき、長さW1が光学素子200に入射される光の波長λより長く、長さW2が波長λよりも短いと、光学素子200における機能領域210が偏光子として機能する。つまり、機能領域210に入射した入射光のうちY方向と直交する偏光成分であるTM偏光が基板201を透過し、その入射光のうちY方向と平行な偏光成分であるTE偏光は金属部203で反射する。
機能領域210は、誘電体部202の上面の中心からY方向に±W1/2以内、かつ、誘電体部202の上面の中心からX方向に±(W2/2+S)以内の範囲である。なお、Sは、光学素子200に入射される光の波長λの半分λ/2である。
本実施形態でも、第1および第2の実施形態と同様に、光学素子200が偏光子として機能し、誘電体部202が基板201から金属部203に向かって小さくなる構造を有しているので、TM偏光のフレネル反射を抑制することが可能になり、非偏光を特定の偏光状態の光に変換する際の光の取り出し効率を高くすることが可能になる。
なお、光学素子200の形状は、図11に示したような形状に限らず、適宜変更可能である。以下では、図12〜図19は、光学素子200の他の形状の一例を示す図である。
図12の例では、誘電体部202は、基板201上のX方向を向いた側面に加えて、基板201上のY方向を向いた側面もテーパー構造を有する。
図13の例では、誘電体202の底面および上面が楕円形状をしている。なお、誘電体202の底面および上面では、直軸がY方向に沿って設けられている。
図14の例では、誘電体202の側面が底面からある位置まで基板201に対して直交し、その位置からテーパー構造が設けられている。
図15の例では、誘電体202の側面が階段形状になっている。
図16〜図19の例では、構造体204が複数設けられている。
図16の例では、構造体204が一次元方向に並設されている。この場合、光学素子200の機能領域210は、各構造体204の機能領域を合わせたものとなるため、線光源からの光のように、構造体204が並設されている1次元方向に対して広がりを有する光に対しても、光学素子200を偏光子として機能させることが可能になる。また、構造体204が一つの場合に比べて、TM偏光のフレネル反射の低減率を高くすることが可能になる。さらに、図17に示すように、Y方向の光の広がりに対して構造体204のY方向を十分長くすれば、面光源からの光のように、2次元方向に対して広がりを有する光に対しても、光学素子200を偏光子として機能させることが可能になる。
なお、図16および図17の例では、各構造体204の誘電体202の底面の間に間隙がないように、各構造体204が並設されていたが、図18に示すように、誘電体202の底面の間に間隙があってもよい。
また、図16および図17の例では、構造体204として、図11や図12に示す構造のものを用いているが、構造体204は図13、図14、図15に示す構造のものであっても良い。
図19の例では、図12で示した構造体204が2次元方向に並設されている。この場合、偏光子として機能する機能領域210と、偏光子として機能しない非機能領域211とが交互に設けられることになるので、光源からの光の入射位置に応じて、偏光および非偏光の一方を選択的に出力することが可能になる。
以上説明した各実施形態において、図示した構成は単なる一例であって、本発明はその構成に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態における数値、材質などは例示的なものであり、適宜変更して実施することが可能である。
例えば、図4に示した発光素子1の上面に光を非偏光にして反射する機能を持たせることで、偏光解消素子3Aを含まない構成とすることができる。
この出願は、2011年9月27日に出願された日本出願特願2011−211505号公報を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
1 発光素子
2 偏光光学素子
3 波長板
3A 偏光解消素子
4 ワイヤグリッド偏光子
11、201 基板
12 第1誘電体層
13 金属層
14 第2誘電体層
15 凸部
202 誘電体部
203 金属部
204 構造体
2 偏光光学素子
3 波長板
3A 偏光解消素子
4 ワイヤグリッド偏光子
11、201 基板
12 第1誘電体層
13 金属層
14 第2誘電体層
15 凸部
202 誘電体部
203 金属部
204 構造体
Claims (17)
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1の誘電体部と、
前記第1の誘電体部上に設けられた金属部と、を備え、
前記第1の誘電体部は、前記基板から前記金属部に向かって小さくなるように設けられる、偏光子。 - 請求項1に記載の偏光子において、
前記第1の誘電体部の側面に、前記基板から前記金属部に向かって傾斜面が形成されている、偏光子。 - 請求項2に記載の偏光子において、
前記傾斜面は、前記第1の誘電体部の側面のうち、少なくとも互いに対向する2つの側面に形成されている、偏光子。 - 請求項2に記載の偏光子において、
前記傾斜面は、前記第1の誘電体部の全ての側面に形成されている、偏光子。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の偏光子において、
前記第1の誘電体部と前記金属部とを備える構造体が前記基板上に複数形成されている、偏光子。 - 請求項5に記載の偏光子において、
前記複数の構造体は、前記基板上の1次元方向に並設されている、偏光子。 - 請求項5に記載の偏光子において、
前記複数の構造体は、前記基板上の2次元方向に並設されている、偏光子。 - 請求項5ないし7のいずれか1項に記載の偏光子において、
前記複数の構造体は、前記第1の誘電体の前記基板と接する面が間隙なく並設されている、偏光子。 - 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の偏光子において、
前記構造体は、前記金属部上に設けられた第2の誘電体部をさらに有する、偏光子。 - 請求項1ないし9に記載の偏光子において、
前記第1の誘電体部の前記金属部と接する面と、前記金属部の前記第1の誘電体部と接する面とが同じ大きさである、偏光子。 - 基板と、
前記基板上に設けられた第1の誘電体部と、
前記第1の誘電体部上に設けられた金属部と、を備え、
前記第1の誘電体部は、前記基板から前記金属部に向かって傾斜面を有し、
前記第1の誘電体部の側面は、前記基板から前記金属部に向かって傾斜するように形成された傾斜面であり、
前記第1の誘電体部の前記金属部が設けられた面は、前記第1の誘電部の前記基板が設けられた面より小さい、偏光子。 - 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の偏光子と、
前記構造体上に設けられ、入射光の偏光状態を変化させて出射する偏光状態変換素子と、を有する偏光光学素子。 - 請求項12に記載の偏光光学素子において、
前記構造体と前記偏光状態変換素子とが密着している、偏光光学素子。 - 請求項12または13に記載の偏光光学素子において、
前記偏光状態変換素子は、前記入射光に位相差を与えて出射する波長板である、偏光光学素子。 - 請求項12または13に記載の偏光光学素子において、
前記偏光状態変換素子は、前記入射光を非偏光にして出射する偏光解消素子である、偏光光学素子。 - 請求項12ないし15のいずれか1項に記載の偏光光学素子と、
前記偏光光学素子に光を出射する発光素子と、を有する光源。 - 請求項16に記載の光源を有する画像表示装置。
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