JPWO2012098837A1 - Inspection socket - Google Patents

Inspection socket Download PDF

Info

Publication number
JPWO2012098837A1
JPWO2012098837A1 JP2012553600A JP2012553600A JPWO2012098837A1 JP WO2012098837 A1 JPWO2012098837 A1 JP WO2012098837A1 JP 2012553600 A JP2012553600 A JP 2012553600A JP 2012553600 A JP2012553600 A JP 2012553600A JP WO2012098837 A1 JPWO2012098837 A1 JP WO2012098837A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact terminal
contact
solder ball
inspection socket
land
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012553600A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5865846B2 (en
Inventor
智昭 足立
智昭 足立
古澤 昌之
昌之 古澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Unitechno Inc
Original Assignee
Unitechno Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Unitechno Inc filed Critical Unitechno Inc
Priority to JP2012553600A priority Critical patent/JP5865846B2/en
Publication of JPWO2012098837A1 publication Critical patent/JPWO2012098837A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5865846B2 publication Critical patent/JP5865846B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716Elastic
    • G01R1/06722Spring-loaded
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733Geometry aspects
    • G01R1/06738Geometry aspects related to tip portion
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/02Contact members
    • H01R13/22Contacts for co-operating by abutting
    • H01R13/24Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted
    • H01R13/2407Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted characterized by the resilient means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

【課題】ICに加える荷重を低減するとともに多種多様なICに対応することができる検査ソケットを提供すること。【解決手段】検査ソケット1は、コンタクトプローブ10、筐体21、IC搭載部30を備え、コンタクトプローブ10は、半田ボール41の側面に接触する接触端子11と、接触端子11を保持する接触端子保持部12と、プリント基板50に設けられたランド51に接触するランド接触端子13と、を備え、IC搭載部30は、IC40が搭載されるIC搭載面31を備え、IC40の半田ボール41および接触端子11の先端部を収納する貫通孔32が穿孔されており、IC搭載部30が筐体21上を移動して、接触端子11が半田ボール41の側面に接触する接触状態と接触端子11が半田ボール41の側面から離隔する離隔状態とを切り替える構成を有する。【選択図】図1An object of the present invention is to provide an inspection socket capable of reducing a load applied to an IC and supporting various ICs. An inspection socket (1) includes a contact probe (10), a casing (21), and an IC mounting portion (30). The contact probe (10) contacts a side surface of a solder ball (41) and a contact terminal holding the contact terminal (11). The holding portion 12 and the land contact terminal 13 that contacts the land 51 provided on the printed circuit board 50 are provided. The IC mounting portion 30 includes an IC mounting surface 31 on which the IC 40 is mounted. A through hole 32 that accommodates the tip of the contact terminal 11 is perforated, and the contact state where the IC mounting portion 30 moves on the casing 21 and the contact terminal 11 contacts the side surface of the solder ball 41 and the contact terminal 11. Has a configuration of switching between a separated state separated from the side surface of the solder ball 41. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、例えば、半導体集積回路の電気的特性を検査する際に用いられる検査ソケットに関する。   The present invention relates to an inspection socket used, for example, when inspecting electrical characteristics of a semiconductor integrated circuit.

現代では半導体集積回路(以下ICと記す)は種々の産業分野で広く適用されているが、プリント基板等に実装する前にICが所定の性能を有することを確認するために機能試験およびバーンイン試験を行うことが一般的である。   At present, semiconductor integrated circuits (hereinafter referred to as ICs) are widely applied in various industrial fields, but before they are mounted on a printed circuit board or the like, functional tests and burn-in tests are performed to confirm that the ICs have a predetermined performance. It is common to do.

機能試験およびバーンイン試験を行うためにはICをICテスタに電気的に接続することが必要となるが、ICの接続端子配列はICの型式により相違するため、ICとICテスタとの間にはICを装着する検査ソケットおよびプリント基板を配置することが普通である。   In order to perform a functional test and a burn-in test, it is necessary to electrically connect the IC to the IC tester. However, since the connection terminal arrangement of the IC differs depending on the IC model, there is no difference between the IC and the IC tester. It is common to arrange a test socket and a printed circuit board for mounting an IC.

従来の検査ソケットは、例えば、特許文献1に開示されているように、図6に示すような構成を有する。すなわち、従来の検査ソケット100は、筐体101、IC搭載部102、コンタクトプローブ110を有する。IC搭載部102には、IC120の樹脂パッケージ121が配置される。コンタクトプローブ110は、IC120の半田ボール122に接触する接触部111、プリント基板130のランド131に接触する接触部112、接触部111と112とを互いに押圧するばね113を有する。この構成により、検査ソケット100は、樹脂パッケージ121に荷重が加えられた状態で、プリント基板130を介し、半田ボール122をICテスタ(図示省略)に電気的に接続することができる。   A conventional inspection socket has a configuration as shown in FIG. 6 as disclosed in Patent Document 1, for example. That is, the conventional inspection socket 100 includes a housing 101, an IC mounting portion 102, and a contact probe 110. A resin package 121 of the IC 120 is disposed on the IC mounting portion 102. The contact probe 110 includes a contact portion 111 that contacts the solder ball 122 of the IC 120, a contact portion 112 that contacts the land 131 of the printed circuit board 130, and a spring 113 that presses the contact portions 111 and 112 together. With this configuration, the inspection socket 100 can electrically connect the solder balls 122 to an IC tester (not shown) through the printed circuit board 130 with a load applied to the resin package 121.

ところで、近年では、検査対象のICも多様化され、樹脂パッケージが薄型化されたICや、ベアチップのまま実装されたICも登場している。この種のICは、衝撃に非常に弱くダメージを受け易いことから、従来の樹脂パッケージのものと比べて小さな荷重で押圧することが求められている。またパッケージ上面に各種チップが実装される場合など、押さえられる部分が限定されてしまう。   By the way, in recent years, ICs to be inspected have also been diversified, and ICs in which resin packages are made thinner and ICs that are mounted as bare chips have appeared. Since this type of IC is very vulnerable to impact and easily damaged, it is required to press with a load smaller than that of a conventional resin package. In addition, when various chips are mounted on the upper surface of the package, the portion to be pressed is limited.

しかしながら、特許文献1記載のものでは、コンタクトプローブのばねの反発力によって電気的接続を確保する構成となっているので、ICの荷重を低減することが困難であった。具体的には、特許文献1記載のものでは、例えば、半田ボール1個当たりの荷重を30グラムとすると、1000個の半田ボールが配列されたICでは総荷重が30キログラムとなって近年のICの検査に用いることは望ましくなかった。   However, in the thing of patent document 1, since it became the structure which ensures electrical connection by the repulsive force of the spring of a contact probe, it was difficult to reduce the load of IC. Specifically, in the device described in Patent Document 1, for example, if the load per solder ball is 30 grams, an IC in which 1000 solder balls are arranged has a total load of 30 kilograms. It was not desirable to use it for inspection.

そこで、半田ボールを挟み込む構成のコンタクトプローブを備え、ICに加える荷重を低減可能な検査ソケットが提案されている(例えば、特許文献2参照)。   In view of this, there has been proposed an inspection socket having a contact probe configured to sandwich a solder ball and capable of reducing the load applied to the IC (for example, see Patent Document 2).

特許文献2記載の検査ソケットは、図7(a)に示すような構成を有する。すなわち、検査ソケット200は、筐体201、IC搭載部202、スライダ203、端子整列板204、コンタクトプローブ210を有する。スライダ203は、押圧バー205を有する。コンタクトプローブ210は、IC220の半田ボール221に接触する一対の接触部211および212、プリント基板230のランド231に半田付けされる接触部213を有する。   The inspection socket described in Patent Document 2 has a configuration as shown in FIG. That is, the inspection socket 200 includes a housing 201, an IC mounting part 202, a slider 203, a terminal alignment plate 204, and a contact probe 210. The slider 203 has a pressing bar 205. The contact probe 210 has a pair of contact portions 211 and 212 that contact the solder ball 221 of the IC 220 and a contact portion 213 that is soldered to the land 231 of the printed circuit board 230.

図7(b)および(c)は、半田ボール221近傍の拡大図であって、図7(b)は検査ソケット200にIC220が装着されたときの状態を示し、図7(c)はスライダ203の移動とともにIC搭載部202および押圧バー205が移動した後の状態を示している。図示のように、検査ソケット200は、スライダ203の移動によってコンタクトプローブ210の接触部211および212が半田ボール221を挟み込む構成を有するので、特許文献1記載のばね113が不要となり、IC220に加える荷重を低減することができる。   7B and 7C are enlarged views of the vicinity of the solder ball 221. FIG. 7B shows a state when the IC 220 is mounted on the inspection socket 200, and FIG. 7C shows the slider. A state after the IC mounting portion 202 and the pressing bar 205 are moved along with the movement of 203 is shown. As shown in the figure, the test socket 200 has a configuration in which the contact portions 211 and 212 of the contact probe 210 sandwich the solder ball 221 by the movement of the slider 203, so that the spring 113 described in Patent Document 1 is not necessary, and the load applied to the IC 220. Can be reduced.

特開2008−39456号公報JP 2008-39456 A 特開2008−77988号公報JP 2008-77788 A

しかしながら、特許文献2記載の検査ソケットでは、コンタクトプローブの一端がプリント基板に半田付けされる構成となっているので、例えば、半田ボールの配置構成が同一のICであってもIC内部の配線が同一でない場合は、ICごとに個別の検査ソケットを製作するか、プリント基板の半田を溶かして別のプリント基板と交換するかしなければならず、多種多様なICには対応が困難であるという課題があった。   However, in the inspection socket described in Patent Document 2, since one end of the contact probe is soldered to the printed board, for example, even if the IC has the same solder ball arrangement configuration, the wiring inside the IC is not connected. If they are not the same, it is necessary to manufacture individual inspection sockets for each IC, or to melt the solder of the printed circuit board and replace it with another printed circuit board, which is difficult to cope with a wide variety of ICs. There was a problem.

本発明は、従来の課題を解決するためになされたものであり、ICに加える荷重を低減するとともに多種多様なICに対応可能な検査ソケットを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a test socket capable of reducing the load applied to an IC and supporting various ICs.

本発明の検査ソケットは、被検査体に設けられた半田ボールとプリント基板に設けられたランドとを電気的に接続する検査ソケットであって、前記半田ボールの側面に接触する接触端子と、前記接触端子を保持する接触端子保持部と、前記ランドに接触するランド接触端子と、一端が前記接触端子保持部に接触し他端が前記ランド接触端子に接触して前記一端と前記他端との間で伸縮する弾性体と、前記接触端子が前記半田ボールの側面に接触する接触状態と前記接触端子が前記半田ボールの側面から離隔する離隔状態とを切り替える切替手段と、を備えた構成を有している。   The inspection socket of the present invention is an inspection socket for electrically connecting a solder ball provided on an object to be inspected and a land provided on a printed circuit board, wherein the contact terminal is in contact with a side surface of the solder ball; A contact terminal holding portion for holding a contact terminal; a land contact terminal for contacting the land; one end contacting the contact terminal holding portion; the other end contacting the land contact terminal; and the one end and the other end And a switching means for switching between a contact state in which the contact terminal contacts the side surface of the solder ball and a separated state in which the contact terminal is separated from the side surface of the solder ball. doing.

この構成により、本発明の検査ソケットは、接触端子が半田ボールの側面に接触する接触状態と接触端子が半田ボールの側面から離隔する離隔状態とを切り替える切替手段を備えるので、ICに加える荷重を低減することができる。   With this configuration, the inspection socket according to the present invention includes switching means for switching between a contact state in which the contact terminal contacts the side surface of the solder ball and a separated state in which the contact terminal is separated from the side surface of the solder ball. Can be reduced.

また、この構成により、本発明の検査ソケットは、プリント基板の表面に設けられたランドに接触するランド接触端子を備えるので、所望の電気回路が形成されたプリント基板を配置して、そのプリント基板のランドにランド接触端子を接触させることにより、多種多様なICに対応させることができる。   Further, according to this configuration, the inspection socket of the present invention includes land contact terminals that come into contact with lands provided on the surface of the printed circuit board. Therefore, the printed circuit board on which a desired electric circuit is formed is arranged and the printed circuit board is disposed. By making the land contact terminal in contact with this land, it is possible to cope with a wide variety of ICs.

したがって、本実施形態における検査ソケットは、ICに加える荷重を低減するとともに多種多様なICに対応することができる。   Therefore, the inspection socket in the present embodiment can cope with various ICs while reducing the load applied to the IC.

また、本発明の検査ソケットは、前記接触端子保持部、前記ランド接触端子、および前記弾性体を収容する筐体をさらに備え、
前記切替手段は、前記半田ボールおよび前記接触端子の先端部を内部に収納する貫通孔が穿孔され、前記筐体上面に滑動可能に配置され、前記被検査体を搭載する被検査体搭載部である構成を有している。
The inspection socket of the present invention further includes a housing that houses the contact terminal holding portion, the land contact terminal, and the elastic body,
The switching means is an inspected object mounting portion in which a through hole that accommodates the solder ball and the tip end portion of the contact terminal is drilled and is slidably disposed on the upper surface of the housing, and mounts the inspected object. It has a certain configuration.

この構成により、本発明の検査ソケットは、被検査体を搭載する切替手段が接触状態と離隔状態とを切り替えることにより、ICに加える荷重を低減するとともに多種多様なICに対応することができる。   With this configuration, the inspection socket of the present invention can be applied to a wide variety of ICs while reducing the load applied to the ICs by switching between the contact state and the separation state by the switching means for mounting the object to be inspected.

さらに、本発明の検査ソケットは、前記接触端子保持部、前記ランド接触端子、および前記弾性体を収容する筐体と、前記半田ボールおよび前記接触端子の先端部を内部に収納する貫通孔が穿孔され、前記筐体上面に固定され、前記被検査体を搭載する被検査体搭載部と、をさらに備え、前記切替手段は、前記被検査体搭載部と前記筐体との間に滑動自在に配置され、前記接触端子が貫通する接触端子貫通孔が穿孔されたスライダである構成を有している。   Further, in the inspection socket of the present invention, the contact terminal holding portion, the land contact terminal, and a housing that accommodates the elastic body, and a through hole that accommodates the solder ball and the tip of the contact terminal therein are perforated. And an inspected object mounting portion that is fixed to the upper surface of the casing and mounts the inspected object, wherein the switching means is slidable between the inspected object mounting portion and the casing. The slider is arranged and has a contact terminal through-hole through which the contact terminal penetrates.

この構成により、本発明の検査ソケットは、切替手段が、接触状態と離隔状態とを切り替えることにより、ICに加える荷重を低減するとともに多種多様なICに対応することができる。   With this configuration, the inspection socket of the present invention can cope with a wide variety of ICs while reducing the load applied to the ICs by switching the contact means between the contact state and the separation state.

さらに、本発明の検査ソケットは、前記被検査体搭載部は、前記貫通孔の上端部に前記接触状態において前記半田ボールの根元部と係合する係合部を有する構成を有している。   Further, the inspection socket of the present invention has a configuration in which the inspected object mounting portion has an engaging portion that engages with a root portion of the solder ball in the contact state at an upper end portion of the through hole.

この構成により、本発明の検査ソケットは、接触端子を半田ボールに確実に接触させるとともに、接触状態におけるICの浮き上がりを防止することができる。   With this configuration, the inspection socket according to the present invention can reliably bring the contact terminal into contact with the solder ball and prevent the IC from being lifted in the contact state.

さらに、本発明の検査ソケットは、前記接触端子が、前記半田ボールの側面に接触する鉤状の先端を有する構成を有している。   Furthermore, the inspection socket of the present invention has a configuration in which the contact terminal has a bowl-shaped tip that contacts the side surface of the solder ball.

この構成により、本発明の検査ソケットは、接触端子を半田ボールに確実に接触させるとともに、接触状態におけるICの浮き上がりを防止することができる。   With this configuration, the inspection socket according to the present invention can reliably bring the contact terminal into contact with the solder ball and prevent the IC from being lifted in the contact state.

本発明は、ICに加える荷重を低減するとともに多種多様なICに対応することができるという効果を有する検査ソケットを提供することができるものである。   The present invention can provide a test socket having the effect of reducing the load applied to an IC and being able to cope with a wide variety of ICs.

本発明に係る検査ソケットの第1実施形態における構成断面図である。It is a section view of composition in a 1st embodiment of an inspection socket concerning the present invention. 本発明に係る検査ソケットの第1実施形態における動作説明の断面図である。It is sectional drawing of operation | movement description in 1st Embodiment of the test | inspection socket which concerns on this invention. 本発明に係る検査ソケットの第1実施形態におけるIC搭載部の他の態様の構成断面図である。It is a structure sectional view of other modes of an IC mounting part in a 1st embodiment of an inspection socket concerning the present invention. 本発明に係る検査ソケットの第2実施形態における構成断面図である。It is a composition sectional view in a 2nd embodiment of an inspection socket concerning the present invention. 本発明に係る検査ソケットの第2実施形態における動作説明の断面図である。It is sectional drawing of operation | movement description in 2nd Embodiment of the test | inspection socket which concerns on this invention. 従来の検査ソケットの構成断面図である。It is a structure sectional view of the conventional inspection socket. 従来の検査ソケットの構成断面図である。It is a structure sectional view of the conventional inspection socket.

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1実施形態)
まず、本実施形態における検査ソケットの構成について説明する。
(First embodiment)
First, the configuration of the inspection socket in the present embodiment will be described.

図1に示すように、本実施形態における検査ソケット1は、コンタクトプローブ10、筐体21、IC搭載部30を備える。   As shown in FIG. 1, the inspection socket 1 in this embodiment includes a contact probe 10, a housing 21, and an IC mounting unit 30.

コンタクトプローブ10は、金属材料で構成されており、接触端子11、接触端子保持部12、ランド接触端子13およびばね14を備える。   The contact probe 10 is made of a metal material and includes a contact terminal 11, a contact terminal holding portion 12, a land contact terminal 13, and a spring 14.

接触端子11は、その根元部が接触端子保持部12に形成された穴に挿入され、かしめ、導電性の接着剤、または半田付けにより接触端子保持部12に固定されるようになっている。また、拡大図に示すように、接触端子11は、鉤状に形成された先端11aを有する。なお、本実施形態では、接触端子11の形状を四角柱としているが、例えば円柱状であってもよい。また、接触端子11の先端が鉤状ではなく、直線的に形成されていてもよい。また、接触端子11と接触端子保持部12とを別体として相互に固定する構造としているが、両者は一体構造であってもよい。   The contact terminal 11 has a base portion inserted into a hole formed in the contact terminal holding portion 12 and is fixed to the contact terminal holding portion 12 by caulking, a conductive adhesive, or soldering. As shown in the enlarged view, the contact terminal 11 has a tip 11a formed in a bowl shape. In the present embodiment, the shape of the contact terminal 11 is a quadrangular prism, but may be, for example, a cylindrical shape. Moreover, the front-end | tip of the contact terminal 11 may be formed linearly instead of a hook shape. Moreover, although it is set as the structure which fixes the contact terminal 11 and the contact terminal holding | maintenance part 12 as a different body mutually, both may be integral structure.

ランド接触端子13は、プリント基板50に設けられたランド51に接触するようになっている。ばね14は、その一端が接触端子保持部12に接触し他端がランド接触端子13に接触して一端と他端との間で伸縮するようになっている。ここで、ばね14は、本発明に係る弾性体を構成する。   The land contact terminal 13 is in contact with a land 51 provided on the printed circuit board 50. One end of the spring 14 is in contact with the contact terminal holding part 12 and the other end is in contact with the land contact terminal 13 so as to expand and contract between the one end and the other end. Here, the spring 14 constitutes an elastic body according to the present invention.

筐体21は、IC搭載部30がスライドするスライド面21bを備え、コンタクトプローブ10を保持する貫通孔21aが穿孔されている。筐体21の底面には、ランド接触端子13の段部を貫通孔の周縁で保持する保持板22が取り付けられている。保持板22は、ねじ23によって筐体21に固定されている。   The housing 21 includes a slide surface 21b on which the IC mounting unit 30 slides, and a through hole 21a that holds the contact probe 10 is drilled. A holding plate 22 that holds the stepped portion of the land contact terminal 13 at the periphery of the through hole is attached to the bottom surface of the housing 21. The holding plate 22 is fixed to the housing 21 with screws 23.

IC搭載部30は、図示の方向にスライドできる構成となっており、IC40が搭載されるIC搭載面31を備え、IC40の半田ボール41および接触端子11の先端部を収納する貫通孔32が穿孔されている。このIC搭載部30は、本発明に係る切替手段を構成する。   The IC mounting portion 30 is configured to be slidable in the direction shown in the figure, and includes an IC mounting surface 31 on which the IC 40 is mounted, and a through hole 32 that accommodates the solder ball 41 of the IC 40 and the tip of the contact terminal 11 is perforated. Has been. The IC mounting unit 30 constitutes a switching unit according to the present invention.

IC搭載面31の平面図に示すように、貫通孔32は、大小2つの円形状の貫通孔が連結した形状(達磨形状)を有し、半田ボール41の側面周囲を覆う貫通孔32aと、接触端子11の先端部を覆う貫通孔32bと、で構成されている。   As shown in the plan view of the IC mounting surface 31, the through-hole 32 has a shape (polishing shape) in which two large and small circular through-holes are connected, and a through-hole 32 a that covers the periphery of the solder ball 41. And a through hole 32b covering the tip of the contact terminal 11.

IC40は、IC搭載部30のIC搭載面31に搭載された後、図示しない固定部によって固定される構成となっている。   The IC 40 is configured to be fixed by a fixing unit (not shown) after being mounted on the IC mounting surface 31 of the IC mounting unit 30.

次に、本実施形態における検査ソケット1の動作について図2を用いて説明する。   Next, operation | movement of the test | inspection socket 1 in this embodiment is demonstrated using FIG.

IC搭載部30のIC搭載面31上にIC40が搭載されると、図2(a)に示す状態となる。すなわち、IC40の半田ボール41は貫通孔32aに収納され、接触端子11は貫通孔32b内で直立した状態であり、半田ボール41と接触端子11とが離隔状態にある。一方、ランド接触端子13は、ばね14によって押圧された状態でプリント基板50のランド51に接触している。   When the IC 40 is mounted on the IC mounting surface 31 of the IC mounting unit 30, the state shown in FIG. That is, the solder balls 41 of the IC 40 are accommodated in the through holes 32a, the contact terminals 11 are upright in the through holes 32b, and the solder balls 41 and the contact terminals 11 are in a separated state. On the other hand, the land contact terminal 13 is in contact with the land 51 of the printed circuit board 50 while being pressed by the spring 14.

次に、IC搭載部30を右方向にスライドさせていくと、半田ボール41は、貫通孔32aの内壁に接触して接触端子11側に押され、図2(b)に示すように、接触端子11に接触する接触状態となる。なお、接触状態にあるIC搭載部30を左方向に移動すると離隔状態に戻る。   Next, when the IC mounting portion 30 is slid rightward, the solder ball 41 comes into contact with the inner wall of the through hole 32a and is pushed toward the contact terminal 11 side, and as shown in FIG. It will be in the contact state which contacts the terminal 11. FIG. When the IC mounting portion 30 in contact is moved leftward, it returns to the separated state.

図2(c)は、半田ボール41の近傍を拡大した図であって、半田ボール41の側面に接触する前の状態の接触端子11を破線で示し、半田ボール41の側面に接触した状態の接触端子11を実線で示している。図示のように、IC搭載部30は、右方向に移動することにより半田ボール41の側面を接触端子11に確実に接触させることができる。その結果、検査ソケット1は、半田ボール41とランド51とを電気的に接続することとなる。   FIG. 2 (c) is an enlarged view of the vicinity of the solder ball 41. The contact terminal 11 in a state before contacting the side surface of the solder ball 41 is indicated by a broken line, and the state in which the contact terminal 11 is in contact with the side surface of the solder ball 41. The contact terminal 11 is indicated by a solid line. As shown in the figure, the IC mounting portion 30 can reliably contact the side surface of the solder ball 41 with the contact terminal 11 by moving in the right direction. As a result, the inspection socket 1 electrically connects the solder ball 41 and the land 51.

次に、IC搭載部30の他の態様を説明する。図3は、前述の図2(c)と同様に、半田ボール41の近傍を拡大した図であって、IC搭載部30は、接触状態において半田ボール41の根元部側(IC搭載面31側)に係合する係合部33を貫通孔32aの内壁に有する。この構成により、検査ソケット1は、接触状態において接触端子11と係合部33とが半田ボール41を挟み込む状態となり、接触端子11を半田ボール41に確実に接触させるとともに、接触状態におけるIC40の浮き上がりを防止することができる。   Next, another aspect of the IC mounting unit 30 will be described. FIG. 3 is an enlarged view of the vicinity of the solder ball 41 as in FIG. 2C described above, and the IC mounting portion 30 is in the contact portion in the base portion side (IC mounting surface 31 side). ) Is engaged with the inner wall of the through hole 32a. With this configuration, the test socket 1 is in a state in which the contact terminal 11 and the engaging portion 33 sandwich the solder ball 41 in the contact state, and the contact terminal 11 is reliably in contact with the solder ball 41 and the IC 40 is lifted in the contact state. Can be prevented.

以上のように、本実施形態における検査ソケット1によれば、接触端子11を半田ボール41の側面に接触させるIC搭載部30を備える構成としたので、ICに加える荷重を低減することができる。   As described above, according to the inspection socket 1 in the present embodiment, since the IC mounting portion 30 that makes the contact terminal 11 contact the side surface of the solder ball 41 is provided, the load applied to the IC can be reduced.

また、本実施形態における検査ソケット1によれば、プリント基板50の表面に設けられたランド51に接触するランド接触端子13を備える構成としたので、所望の電気回路が形成されたプリント基板を配置して、そのプリント基板のランドにランド接触端子13を接触させることにより、多種多様なICに対応させることができる。   In addition, according to the inspection socket 1 in the present embodiment, since the land contact terminals 13 that contact the lands 51 provided on the surface of the printed board 50 are provided, the printed board on which a desired electric circuit is formed is disposed. Then, by bringing the land contact terminal 13 into contact with the land of the printed circuit board, it is possible to cope with various ICs.

したがって、本実施形態における検査ソケット1は、ICに加える荷重を低減するとともに多種多様なICに対応することができる。   Therefore, the inspection socket 1 according to the present embodiment can cope with various ICs while reducing the load applied to the ICs.

また、本実施形態における検査ソケット1は、図7に示した従来の検査ソケット200と比較すると次のような効果も得られる。従来の検査ソケット200では、コンタクトプローブ210の接点が使用により劣化した場合、コンタクトプローブ210の交換作業ができないため、コンタクトプローブ210をプリント基板230ごと廃棄しなければならない。これに対し、本実施形態における検査ソケット1では、容易にコンタクトプローブ10の交換作業ができるため、コンタクトプローブ10の接点が使用により劣化した場合でもプリント基板50を廃棄する必要がない。   In addition, the test socket 1 according to the present embodiment has the following effects as compared with the conventional test socket 200 shown in FIG. In the conventional inspection socket 200, when the contact point of the contact probe 210 deteriorates due to use, the contact probe 210 cannot be replaced. Therefore, the contact probe 210 must be discarded together with the printed circuit board 230. On the other hand, in the inspection socket 1 according to the present embodiment, the contact probe 10 can be easily replaced. Therefore, even when the contact point of the contact probe 10 deteriorates due to use, the printed circuit board 50 does not need to be discarded.

(第2実施形態)
まず、本実施形態における検査ソケットの構成について説明する。
(Second Embodiment)
First, the configuration of the inspection socket in the present embodiment will be described.

図4に示すように、本実施形態における検査ソケット2は、コンタクトプローブ10、筐体21、IC搭載部60、スライダ70を備える。なお、検査ソケット2において、第1実施形態における検査ソケット1(図1参照)と同様な構成には同一の符号を付し、その説明は省略する。   As shown in FIG. 4, the inspection socket 2 in this embodiment includes a contact probe 10, a housing 21, an IC mounting portion 60, and a slider 70. In the inspection socket 2, the same reference numerals are given to the same components as those in the inspection socket 1 (see FIG. 1) in the first embodiment, and the description thereof is omitted.

IC搭載部60は、IC40を搭載するIC搭載面61と、IC40の半田ボール41および接触端子11の先端部を収納する貫通孔62と、スライダ70を貫通させる貫通孔63と、を備える。このIC搭載部60は、筐体21にねじで固定されている。   The IC mounting portion 60 includes an IC mounting surface 61 on which the IC 40 is mounted, a through hole 62 that houses the solder ball 41 of the IC 40 and the tip of the contact terminal 11, and a through hole 63 through which the slider 70 passes. The IC mounting portion 60 is fixed to the housing 21 with screws.

IC搭載面61の平面図に示すように、貫通孔62は、大小2つの円形状の貫通孔が連結した形状(達磨形状)を有し、半田ボール41の側面周囲を覆う貫通孔62aと、接触端子11の先端部を覆う貫通孔62bと、で構成されている。   As shown in the plan view of the IC mounting surface 61, the through hole 62 has a shape (polishing shape) in which two large and small circular through holes are connected, and covers the periphery of the side surface of the solder ball 41. And a through hole 62b that covers the tip of the contact terminal 11.

IC40は、IC搭載面61上に搭載された後、図示しない固定部によって固定される構成となっている。   After the IC 40 is mounted on the IC mounting surface 61, the IC 40 is fixed by a fixing portion (not shown).

スライダ70は、図示の方向にスライドできる構成となっており、接触端子11の先端部を貫通させる接触端子貫通孔71を備える。このスライダ70は、本発明に係る切替手段を構成する。   The slider 70 is configured to be slidable in the direction shown in the figure, and includes a contact terminal through hole 71 through which the tip of the contact terminal 11 passes. The slider 70 constitutes switching means according to the present invention.

次に、本実施形態における検査ソケット2の動作について図5を用いて説明する。   Next, operation | movement of the test | inspection socket 2 in this embodiment is demonstrated using FIG.

IC搭載面61上にIC40が搭載される前に、予めスライダ70を右方向にスライドさせ、接触端子貫通孔71の内壁で接触端子11を押圧して、接触端子11を反らせた状態としておく。次に、IC搭載面61上にIC40が搭載されると、図6(a)に示す状態となる。すなわち、IC40の半田ボール41は貫通孔62aに収納され、接触端子11は貫通孔62b内で半田ボール41から離隔した離隔状態にある。   Before the IC 40 is mounted on the IC mounting surface 61, the slider 70 is slid in the right direction in advance, and the contact terminal 11 is pressed by the inner wall of the contact terminal through hole 71 so that the contact terminal 11 is warped. Next, when the IC 40 is mounted on the IC mounting surface 61, the state shown in FIG. That is, the solder balls 41 of the IC 40 are accommodated in the through holes 62a, and the contact terminals 11 are separated from the solder balls 41 in the through holes 62b.

次に、スライダ70を左方向にスライドさせていくと、接触端子11は、図2(b)に示すように、接触端子貫通孔71の内壁による押圧状態から開放され、半田ボール41に接触する接触状態となる。   Next, when the slider 70 is slid leftward, the contact terminal 11 is released from the pressed state by the inner wall of the contact terminal through hole 71 and contacts the solder ball 41 as shown in FIG. It becomes a contact state.

以上のように、本実施形態における検査ソケット2によれば、接触端子11を半田ボール41の側面に接触させる接触状態と半田ボール41から離隔させる離隔状態を切り替えるスライダ70を備える構成としたので、ICに加える荷重を低減することができる。   As described above, according to the inspection socket 2 in the present embodiment, since the slider 70 is configured to switch between a contact state in which the contact terminal 11 is brought into contact with the side surface of the solder ball 41 and a separated state in which the contact terminal 11 is separated from the solder ball 41, The load applied to the IC can be reduced.

また、本実施形態における検査ソケット2によれば、プリント基板50の表面に設けられたランド51に接触するランド接触端子13を備える構成としたので、所望の電気回路が形成されたプリント基板を配置することにより、多種多様なICに対応させることができる。   Further, according to the inspection socket 2 in the present embodiment, since the land contact terminals 13 that contact the lands 51 provided on the surface of the printed circuit board 50 are provided, the printed circuit board on which a desired electric circuit is formed is disposed. By doing so, it is possible to correspond to a wide variety of ICs.

したがって、本実施形態における検査ソケット2は、ICに加える荷重を低減するとともに多種多様なICに対応することができる。   Therefore, the inspection socket 2 in this embodiment can reduce the load applied to the IC and can cope with various ICs.

なお、前述の実施形態において、スライダ70が、接触端子11を押圧したとき離隔状態とし、接触端子11を開放したとき接触状態とする構成としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、スライダ70が、接触端子11を押圧したとき接触状態とし、接触端子11を開放したとき離隔状態とする構成としてもよい。   In the above-described embodiment, the slider 70 is in the separated state when the contact terminal 11 is pressed and in the contact state when the contact terminal 11 is opened. However, the present invention is not limited to this. The slider 70 may be in a contact state when the contact terminal 11 is pressed, and in a separated state when the contact terminal 11 is opened.

以上のように、本発明に係る検査ソケットは、ICに加える荷重を低減するとともに多種多様なICに対応することができるという効果を有し、半導体集積回路の電気的特性を検査する際に用いられる検査ソケット等として有用である。   As described above, the test socket according to the present invention has an effect of reducing the load applied to the IC and adapting to various ICs, and is used when testing the electrical characteristics of the semiconductor integrated circuit. It is useful as an inspection socket.

1、2 検査ソケット
10 コンタクトプローブ
11 接触端子
11a 先端
12 接触端子保持部
13 ランド接触端子
14 ばね(弾性体)
21 筐体
21a 貫通孔
21b スライド面
22 保持板
30、60 IC搭載部
31、61 IC搭載面
32(32a、32b) 貫通孔
33 係合部
40 IC
41 半田ボール
50 プリント基板
51 ランド
70 スライダ
62(62a、62b) 貫通孔
63 貫通孔
71 接触端子貫通孔
1 and 2 Inspection socket 10 Contact probe 11 Contact terminal 11a Tip 12 Contact terminal holding part 13 Land contact terminal 14 Spring (elastic body)
21 Housing 21a Through hole 21b Slide surface 22 Holding plate 30, 60 IC mounting portion 31, 61 IC mounting surface 32 (32a, 32b) Through hole 33 Engaging portion 40 IC
41 Solder ball 50 Printed circuit board 51 Land 70 Slider 62 (62a, 62b) Through hole 63 Through hole 71 Contact terminal through hole

Claims (5)

被検査体に設けられた半田ボールとプリント基板に設けられたランドとを電気的に接続する検査ソケットであって、
前記半田ボールの側面に接触する接触端子と、前記接触端子を保持する接触端子保持部と、前記ランドに接触するランド接触端子と、一端が前記接触端子保持部に接触し他端が前記ランド接触端子に接触して前記一端と前記他端との間で伸縮する弾性体と、前記接触端子が前記半田ボールの側面に接触する接触状態と前記接触端子が前記半田ボールの側面から離隔する離隔状態とを切り替える切替手段と、を備えた検査ソケット。
An inspection socket for electrically connecting a solder ball provided on an object to be inspected and a land provided on a printed circuit board,
A contact terminal that contacts the side surface of the solder ball, a contact terminal holding portion that holds the contact terminal, a land contact terminal that contacts the land, one end that contacts the contact terminal holding portion, and the other end that contacts the land An elastic body that contacts the terminal and expands and contracts between the one end and the other end, a contact state in which the contact terminal contacts the side surface of the solder ball, and a separated state in which the contact terminal is separated from the side surface of the solder ball And a switching means for switching between and an inspection socket.
前記接触端子保持部、前記ランド接触端子、および前記弾性体を収容する筐体をさらに備え、
前記切替手段は、前記半田ボールおよび前記接触端子の先端部を内部に収納する貫通孔が穿孔され、前記筐体上面に滑動可能に配置され、前記被検査体を搭載する被検査体搭載部である請求項1に記載の検査ソケット。
A housing for housing the contact terminal holding portion, the land contact terminal, and the elastic body;
The switching means is an inspected object mounting portion in which a through hole that accommodates the solder ball and the tip end portion of the contact terminal is drilled and is slidably disposed on the upper surface of the housing, and mounts the inspected object. The inspection socket according to claim 1.
前記接触端子保持部、前記ランド接触端子、および前記弾性体を収容する筐体と、前記半田ボールおよび前記接触端子の先端部を内部に収納する貫通孔が穿孔され、前記筐体上面に固定され、前記被検査体を搭載する被検査体搭載部と、をさらに備え、
前記切替手段は、前記被検査体搭載部と前記筐体との間に滑動可能に配置され、前記接触端子が貫通する接触端子貫通孔が穿孔されたスライダである請求項1に記載の検査ソケット。
A housing that accommodates the contact terminal holding portion, the land contact terminal, and the elastic body, and a through hole that accommodates the solder ball and the tip of the contact terminal therein are perforated and fixed to the upper surface of the housing. An inspection object mounting portion for mounting the inspection object; and
2. The inspection socket according to claim 1, wherein the switching unit is a slider that is slidably disposed between the inspected object mounting portion and the housing and has a contact terminal through hole through which the contact terminal penetrates. .
前記被検査体搭載部は、前記貫通孔の上端部に前記接触状態において前記半田ボールの根元部と係合する係合部を有する請求項2または請求項3に記載の検査ソケット。 4. The inspection socket according to claim 2, wherein the inspected object mounting portion has an engaging portion that engages with a root portion of the solder ball in the contact state at an upper end portion of the through-hole. 5. 前記接触端子は、前記半田ボールの側面に接触する鉤状の先端を有する請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の検査ソケット。 The inspection socket according to any one of claims 1 to 4, wherein the contact terminal has a bowl-shaped tip that contacts a side surface of the solder ball.
JP2012553600A 2011-01-19 2012-01-12 Inspection socket Active JP5865846B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012553600A JP5865846B2 (en) 2011-01-19 2012-01-12 Inspection socket

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011008451 2011-01-19
JP2011008451 2011-01-19
JP2012553600A JP5865846B2 (en) 2011-01-19 2012-01-12 Inspection socket
PCT/JP2012/000138 WO2012098837A1 (en) 2011-01-19 2012-01-12 Inspection socket

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2012098837A1 true JPWO2012098837A1 (en) 2014-06-09
JP5865846B2 JP5865846B2 (en) 2016-02-17

Family

ID=46515473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012553600A Active JP5865846B2 (en) 2011-01-19 2012-01-12 Inspection socket

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5865846B2 (en)
WO (1) WO2012098837A1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI514686B (en) * 2013-01-28 2015-12-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Electrical connector and contacts thereof
TWI598594B (en) * 2016-09-20 2017-09-11 中華精測科技股份有限公司 Bolt type probe
JP7113067B2 (en) * 2018-02-19 2022-08-04 ユニテクノ株式会社 Contact probe and test socket with it

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3676523B2 (en) * 1996-10-22 2005-07-27 株式会社エンプラス Contact pin and electrical connection device
JP3761997B2 (en) * 1996-11-15 2006-03-29 株式会社アドバンテスト IC socket for BGA package
US6242932B1 (en) * 1999-02-19 2001-06-05 Micron Technology, Inc. Interposer for semiconductor components having contact balls
KR100314135B1 (en) * 1999-03-08 2001-11-16 윤종용 Test socket for Ball Grid Array package and method for testing thereof
JP4845304B2 (en) * 2000-10-25 2011-12-28 株式会社センサータ・テクノロジーズジャパン Socket and electronic component mounting apparatus including the same
JP3488700B2 (en) * 2001-05-23 2004-01-19 山一電機株式会社 Driving method of contact terminal and socket for semiconductor device using the same
JP2006200975A (en) * 2005-01-19 2006-08-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd Inspection method and inspection device for semiconductor device, and contact terminal

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012098837A1 (en) 2012-07-26
JP5865846B2 (en) 2016-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4911495B2 (en) Socket for semiconductor integrated circuit
KR101149760B1 (en) a probe
JP2008180689A (en) Inspection probe device, and socket for inspection using the same
KR101073400B1 (en) Test probe
CN101690422B (en) High temperature ceramic socket configured to test packaged semiconductor devices
JP2006269404A (en) Contactor for electronic parts and contact method
KR101057371B1 (en) Inspection probe
JP2014169887A (en) Inspection probe and ic socket including the same
TW201606322A (en) Socket for testing semiconductor device
JP2008203036A (en) Electrical connection device
KR20120062861A (en) Contact and electrical connection device
KR100385352B1 (en) Socket
KR101912949B1 (en) Test socket for ball grid array package
JP5865846B2 (en) Inspection socket
KR20100077724A (en) Contact probe
JP2005172581A (en) Semi-conductor inspection device
KR20110083866A (en) Contact probe
WO2016093113A1 (en) Electric component socket
JP5491581B2 (en) Socket for semiconductor chip inspection
KR20100045079A (en) A appparatus and method of contact probe
CN112470011B (en) Contact pin and socket for electronic component
JP2008151551A (en) Contact jig and fixture for inspecting semiconductor device and method for inspecting semiconductor device
KR20100130935A (en) Test contact module
JP2002062312A (en) Contact device
JP2008045969A (en) Probe for four-terminal measurement

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20141225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150901

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151030

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151208

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151228

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5865846

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250