JPWO2012056689A1 - 不揮発性記憶装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施の形態では、抵抗変化層に酸素不足型のタンタル(Ta)の酸化物を使った抵抗変化型の不揮発性記憶素子において、抵抗変化の不良現象の一つである低抵抗貼り付きを防止する方法について調べた結果を示す。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る不揮発性記憶素子100の一構成例を示した断面図である。
次に、本実施の形態に係る不揮発性記憶素子100の製造方法について説明する。
上記のようにして作製した不揮発性記憶素子100の下部電極103と上部電極107との間に電気的パルス信号を印加して抵抗変化を起こさせた。以下には電気的パルス信号として電圧パルスを印加した場合について説明する。なお、電圧パルス以外に電流パルスであってもよい。また、電気的パルス信号は、以下の説明に該当するような電圧を発生するようなパルスであればかまわない。
図3Aを見直すと、低抵抗貼り付きが発生する直前の高抵抗状態における抵抗値(24、54、72、156、180回目の抵抗値)が比較的高くなっていることに気が付く。つまり、高抵抗状態における抵抗値が2.0×106Ω程度以上になった後に低抵抗貼り付きが発生している。なお、以下では、高抵抗状態における抵抗値を高抵抗値と記し、低抵抗状態における抵抗値を低抵抗値と記す。
次になぜ低抵抗貼り付きが発生するのかと、なぜ上記の方法で低抵抗貼り付きが抑制できるかについて簡単に説明する。
上記の実施の形態では、抵抗変化させるための電気的パルスの電圧(第1の低抵抗化電圧及び高抵抗化電圧)の大きさをそれぞれ−2.5Vと+3.0にしたが、電圧の大きさはこれに限定されるものではない。
本発明の第2の実施の形態では、第1の実施の形態で説明した不揮発性記憶素子の駆動方法を適用した不揮発性記憶装置について説明する。
図11は、負荷抵抗等を利用して、不揮発性記憶素子100に実効的に印加される電圧の大きさを変更する不揮発性記憶装置800Aのブロック図である。図11に示す不揮発性記憶装置800Aは、図6に示す不揮発性記憶装置800の構成に対して、書き込み用電源811Aの構成が書き込み用電源811と異なる。また、不揮発性記憶装置800Aは、さらに、可変抵抗素子830を備える。
上記説明では、本発明の実施の形態に係る不揮発性記憶装置が、高抵抗値が所定の閾値を越えた場合に、不揮発性記憶素子100に通常動作電圧よりも絶対値が小さな電圧を印加して低抵抗化する場合を例に述べたが、本実施の形態に係る不揮発性記憶装置の特徴は、高抵抗値が所定の閾値を越えた場合に、低抵抗化書き込みを、通常時より弱い書き込み条件で行うことである。
上記説明では、本発明の実施の形態に係る不揮発性記憶装置が、抵抗値に応じて第1低抵抗化電圧VRL1と第2低抵抗化電圧VRL2との2つの電圧を切り替える例を述べたが、当該不揮発性記憶装置は、抵抗値に応じて3つ以上の電圧値を切り替えてもよい。
上記説明では、低抵抗貼り付きを防止する例を説明したが、本発明は、高抵抗貼り付きを防止する場合にも適用できる。変形例4では、高抵抗貼り付きを防止する構成について説明する。
101 基板
102 酸化物層
103 下部電極
104 第1の酸素不足型Ta酸化物層
105 第2の酸素不足型Ta酸化物層
106 抵抗変化層
107 上部電極
202 回路抵抗
203、204 端子
800、800A、800B 不揮発性記憶装置
801 メモリ本体部
802 メモリアレイ
803 列選択回路
804 センスアンプ
805 データ出力回路
806 書き込み回路
807 行ドライバ
808 行選択回路
809 アドレス入力回路
810 制御回路
811、811A、811B 書き込み用電源
812 第1RL化用電源
813 RH化用電源
814 第2RL化用電源
815 データ入力回路
816 電圧設定信号
820 メモリセル
821 トランジスタ
822 ワード線
823 ソース線
824 ビット線
830 可変抵抗素子
831、835 第1抵抗素子
832、836 第2抵抗素子
833、837 スイッチ
840 トランジスタ
852 RL化用電源
853 第1RH化用電源
854 第2RH化用電源
VL1 第1電圧
VL2 第2電圧
VRL 低抵抗化電圧
VRL1 第1低抵抗化電圧
VRL2 第2低抵抗化電圧
VRH 高抵抗化電圧
VRH1 第1高抵抗化電圧
VRH2 第2高抵抗化電圧
Claims (19)
- 第1電極と第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に介在し、前記第1電極と前記第2電極との間に与えられる極性の異なる電気的信号に基づいて、高抵抗状態と前記高抵抗状態より抵抗値が低い低抵抗状態との間を可逆的に変化する抵抗変化層とを備える不揮発性記憶素子と、
前記第1電極と前記第2電極との間に第1極性の電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記低抵抗状態から前記高抵抗状態に変化させ、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1極性と逆の第2極性の電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させる制御回路とを備え、
前記制御回路は、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の抵抗値が第1閾値以上か否かを判定し、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値より小さい場合、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第2極性の第1電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させ、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値以上の場合、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第2極性、かつ絶対値が前記第1電圧より小さい第2電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させる
不揮発性記憶装置。 - 前記不揮発性記憶装置は、さらに、
前記不揮発性記憶素子と直列に接続される、抵抗成分を有する電気的素子と、
前記第2極性の第1低抵抗化電圧を生成する第1低抵抗化用電源と、
前記第2極性、かつ絶対値が前記第1低抵抗化電圧より小さい第2低抵抗化電圧を生成する第2低抵抗化用電源と、を備え、
前記制御回路は、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値より小さい場合、前記不揮発性記憶素子と前記電気的素子とで構成される直列回路の両端に、前記第1低抵抗化電圧を印加することにより、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1電圧を印加し、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値以上の場合、前記直列回路の両端に、前記第2低抵抗化電圧を印加することにより、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第2電圧を印加する
請求項1記載の不揮発性記憶装置。 - 前記不揮発性記憶装置は、さらに、
前記不揮発性記憶素子と直列に接続される可変抵抗素子と、
前記第2極性の低抵抗化電圧を生成する低抵抗化用電源と、を備え、
前記制御回路は、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値より小さい場合、前記可変抵抗素子を第1抵抗値にするとともに、前記不揮発性記憶素子と前記可変抵抗素子とで構成される直列回路の両端に、前記低抵抗化電圧を印加することにより、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1電圧を印加し、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値以上の場合、前記可変抵抗素子を前記第1抵抗値より高い第2抵抗値にするとともに、前記直列回路の両端に、前記低抵抗化電圧を印加することにより、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第2電圧を印加する
請求項1記載の不揮発性記憶装置。 - 前記可変抵抗素子は、第1抵抗素子と、第2抵抗素子とを含み、
前記第1抵抗素子、前記第2抵抗素子及び前記不揮発性記憶素子は、この順で直列に接続されており、
前記制御回路は、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値より小さい場合、前記第2抵抗素子と前記不揮発性記憶素子とで構成される第1直列回路の両端に、前記低抵抗化電圧を印加することにより、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1電圧を印加し、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値以上の場合、前記第1抵抗素子と前記第2抵抗素子と前記不揮発性記憶素子とで構成される第2直列回路の両端に、前記低抵抗化電圧を印加することにより、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第2電圧を印加する
請求項3記載の不揮発性記憶装置。 - 前記可変抵抗素子は、互いに並列に接続されている第1抵抗素子と第2抵抗素子とを含み、
前記第2抵抗素子の抵抗値は前記第1抵抗素子の抵抗値より高く、
前記制御回路は、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値より小さい場合、前記不揮発性記憶素子と前記第1抵抗素子とで構成される第1直列回路の両端に、前記低抵抗化電圧を印加することにより、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1電圧を印加し、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値以上の場合、前記不揮発性記憶素子と前記第2抵抗素子とで構成される第2直列回路の両端に、前記低抵抗化電圧を印加することにより、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第2電圧を印加する
請求項3記載の不揮発性記憶装置。 - 前記可変抵抗素子は、トランジスタを含み、
前記制御回路は、前記トランジスタのゲートに印加する電圧を変更することで前記トランジスタのオン抵抗を変更し、これにより、前記可変抵抗素子の抵抗値を変更する
請求項3記載の不揮発性記憶装置。 - 前記制御回路は、前記抵抗変化層を高抵抗状態から低抵抗状態へ変化させる際に、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の抵抗値が前記第1閾値以上か否かを判定し、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値より小さい場合、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させ、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値以上の場合、前記第1電極と前記第2電極との間に、絶対値が前記第1電圧よりも小さい前記第2電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させる
請求項1〜6のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記制御回路は、前記抵抗変化層を低抵抗状態から高抵抗状態へ変化させる際に、
前記抵抗変化層を前記低抵抗状態から前記高抵抗状態に変化させる第1工程と、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の抵抗値が前記第1閾値以上か否かを判定する第2工程と、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値以上の場合、前記第1電極と前記第2電極との間に、絶対値が前記第1電圧よりも小さい前記第2電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させる第3工程とを、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値より小さくなるまで繰り返す
請求項1〜6のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記抵抗変化層は、酸素濃度の異なる少なくとも2層の遷移金属の酸化物層を含み、
前記少なくとも2層の酸化物層のうち、最も酸素濃度の高い酸化物層が前記第1電極又は前記第2電極に接触している
請求項1〜8のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記遷移金属はタンタルである
請求項9記載の不揮発性記憶装置。 - 前記不揮発性記憶素子は、前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の抵抗値が前記第1閾値以上の場合、次に前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させた場合、低抵抗貼り付きを発現する
請求項1〜10のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記制御回路は、さらに、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の抵抗値が前記第1閾値より大きい第2閾値以上か否かを判定し、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第2閾値以上の場合、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第2極性、かつ絶対値が前記第2電圧より小さい第3電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させる
請求項1〜11のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 第1電極と第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に介在し、前記第1電極と前記第2電極との間に与えられる極性の異なる電気的信号に基づいて、高抵抗状態と前記高抵抗状態より抵抗値が低い低抵抗状態との間を可逆的に変化する抵抗変化層とを備える不揮発性記憶素子と、
前記第1電極と前記第2電極との間に第1極性の電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記低抵抗状態から前記高抵抗状態に変化させ、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1極性と逆の第2極性の電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させる制御回路とを備え、
前記制御回路は、
前記高抵抗状態及び前記低抵抗状態の一方の状態における前記抵抗変化層の抵抗値が所定の閾値以上か否かを判定し、
前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記閾値より小さい場合、第1書き込み条件で、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態及び前記低抵抗状態の前記一方の状態から他方の状態に変化させ、
前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記閾値以上の場合、前記第1書き込み条件より弱い第2書き込み条件で、前記抵抗変化層を前記一方の状態から前記他方の状態に変化させる
不揮発性記憶装置。 - 前記制御回路は、
前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記閾値より小さい場合、前記第1書き込み条件として、前記第1電極と前記第2電極との間に、第1電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記一方の状態から前記他方の状態に変化させ、
前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記閾値以上の場合、前記第2書き込み条件として、前記第1電極と前記第2電極との間に、絶対値が前記第1電圧より小さい第2電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記一方の状態から前記他方の状態に変化させる
請求項13記載の不揮発性記憶装置。 - 前記制御回路は、
前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記閾値より小さい場合、前記第1書き込み条件として、前記第1電極と前記第2電極との間に、第1時間の間、第1電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記一方の状態から前記他方の状態に変化させ、
前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記閾値以上の場合、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1時間より短い第2時間の間、第2電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記一方の状態から前記他方の状態に変化させる
請求項13記載の不揮発性記憶装置。 - 前記一方の状態は、前記高抵抗状態であり、
前記他方の状態は、前記低抵抗状態である
請求項13〜15のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 前記一方の状態は、前記低抵抗状態であり、
前記他方の状態は、前記高抵抗状態である
請求項13〜15のいずれか1項に記載の不揮発性記憶装置。 - 第1電極と第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に介在し、前記第1電極と前記第2電極との間に与えられる極性の異なる電気的信号に基づいて、高抵抗状態と前記高抵抗状態より抵抗値が低い低抵抗状態との間を可逆的に変化する抵抗変化層とを備える不揮発性記憶素子の駆動方法であって、
前記第1電極と前記第2電極との間に第1極性の高抵抗化電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記低抵抗状態から前記高抵抗状態に変化させるステップと、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の抵抗値が第1閾値以上か否かを判定するステップと、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値より小さい場合、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1極性と逆の第2極性の第1電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させるステップと、
前記高抵抗状態における前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値以上の場合、前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第2極性、かつ絶対値が前記第1電圧より小さい第2電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態から前記低抵抗状態に変化させるステップとを含む
不揮発性記憶素子の駆動方法。 - 第1電極と第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に介在し、前記第1電極と前記第2電極との間に与えられる極性の異なる電気的信号に基づいて、高抵抗状態と前記高抵抗状態より抵抗値が低い低抵抗状態との間を可逆的に変化する抵抗変化層とを備える不揮発性記憶素子の駆動方法であって、
前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することにより、前記抵抗変化層を前記低抵抗状態及び前記高抵抗状態の一方の状態から他方の状態に変化させるステップと、
前記他方の状態における前記抵抗変化層の抵抗値が第1閾値以上か否かを判定するステップと、
前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値より小さい場合、第1書き込み条件で、前記抵抗変化層を前記高抵抗状態及び前記低抵抗状態の前記一方の状態から他方の状態に変化させるステップと、
前記抵抗変化層の前記抵抗値が前記第1閾値以上の場合、前記第1書き込み条件より弱い第2書き込み条件で、前記抵抗変化層を前記一方の状態から前記他方の状態に変化させるステップとを含む
不揮発性記憶素子の駆動方法。
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