JPWO2011132520A1 - レンズアレイの製造方法および積層型レンズアレイの製造方法 - Google Patents

Abstract

レンズアレイ（３４）の製造方法は、アレイ型（１０）と平板部材（２０）との間に硬化性樹脂（４Ａ）を充填して硬化させる工程と、平板部材（２０）を離間させる工程と、アレイ型（１０）に硬化後の硬化性樹脂（４Ａ）を残したまま、アレイ型（１０）とアレイ型（３０）との間に硬化性樹脂（６Ａ）を充填して硬化させる工程と、アレイ型（１０）とアレイ型（３０）とを離型する工程と、を備える。

Description

本発明はレンズアレイの製造方法および積層型レンズアレイの製造方法に関する。

従来から、撮像用のレンズやこれを含む撮像装置の製造コスト低減のため、多数のレンズをアレイ状に形成したレンズアレイを製造し、その後レンズアレイ同士を積層したり、レンズアレイとセンサアレイ（センサをアレイ状に配置したセンサ群であってレンズアレイのレンズ部の数，配置に対応したもの）とを積層したりして、レンズ部ごとに切断（分離）する方法が知られている。
このような方法によれば、まずは、図５Ａに示すとおり、レンズ形状に対応した複数の凹形状（または凸形状）を有する２個のアレイ型１００，１１０を準備し、一方のアレイ型１００に光または熱の硬化性樹脂１２０を塗布する。その後、図５Ｂに示すとおり、アレイ型１００，１１０の一方を他方に移動させ、アレイ型１００，１１０の間に硬化性樹脂１２０を充填し、硬化性樹脂１２０に光または熱を供給し硬化性樹脂１２０を硬化させる。その後、図５Ｃに示すとおり、アレイ型１００，１１０を離型し、硬化後の硬化性樹脂１２０から構成されるレンズアレイ１２２が製造される（たとえば特許文献１参照）。

特開２００９−２７９７７４号公報（段落００３１，００７１〜００７２，００７４〜００７８など）

しかしながら、硬化性樹脂１２０を硬化させた直後にアレイ型１００，１１０を離型すると、離型後の硬化性樹脂１２０が変形し、同一のレンズアレイ１２２においてレンズピッチ（レンズ部同士の間隔）が変動することがある。この場合、レンズアレイ１２２同士を積層するときや、レンズアレイ１２２とセンサアレイとを積層するときに、レンズ部同士の間またはレンズ部とセンサとの間で位置ズレが生じる可能性がある。
したがって、本発明の主な目的は、レンズピッチの変動を抑制することができるレンズアレイの製造方法および積層型レンズアレイの製造方法を提供することにある。

本発明の第１の態様によれば、
第１のアレイ型と平板部材との間に第１の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
前記平板部材を離間させる工程と、
前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残したまま、前記第１のアレイ型と第２のアレイ型との間に第２の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
前記第１のアレイ型と前記第２のアレイ型とを離型する工程と、
を備えることを特徴とするレンズアレイの製造方法が提供される。

好ましくは、前記平板部材を離間させる工程の後でかつ前記第２の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程の前に、前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残したまま、硬化後の前記第１の硬化性樹脂上に絞りを形成する工程を含む。

本発明の第２の態様によれば、
第１のアレイ型と第２のアレイ型との間に第１の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
前記第２のアレイ型を離型する工程と、
第３のアレイ型と第４のアレイ型との間に第２の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
前記第４のアレイ型を離型する工程と、
前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残し、かつ、前記第３のアレイ型に硬化後の前記第２の硬化性樹脂を残したまま、硬化後の前記第１の硬化性樹脂と硬化後の前記第２の硬化性樹脂とを接着する工程と、
前記第１のアレイ型と前記第３のアレイ型とを離型する工程と、
を備えることを特徴とする積層型レンズアレイの製造方法が提供される。

好ましくは、前記第２のアレイ型を離型する工程の後に、前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残したまま、硬化後の前記第１の硬化性樹脂上に絞りを形成する工程を含む。

本発明の第１の態様によれば、第２の硬化性樹脂の充填とその硬化とをおこなう工程において、第１のアレイ型に硬化後の第１の硬化性樹脂を残したまま、その工程の処理をおこなうから、少なくとも第２の硬化性樹脂の充填とその硬化との間に第１の硬化性樹脂によるレンズ部の間隔が変動するのを抑制することができる。更に本発明の第１の態様では接着剤を不要とすることができるため、コストや工程を削減できる。
特に、第１の硬化性樹脂の成形と第２の硬化性樹脂の成形との途中で絞りを形成すれば、その絞りは撮像用レンズ自体の内部に形成されることとなる。この場合、撮像用レンズの外側に別途絞りを設ける必要がなくなり、当該絞りとの位置ズレが発生するのを防止することができる。更に平板部材で成形を行った箇所に絞りを設けていることから、絞りを形成する面が平面であり精度よく絞りを成形できる。この場合、例えばフォトリソ・スクリーン印刷といった、曲面上では精度を出しにくい方法も採用できるなどの利点を有する。

本発明の第２の態様によれば、硬化後の第１の硬化性樹脂と硬化後の第２の硬化性樹脂とを接着する工程において、第１のアレイ型には硬化後の第１の硬化性樹脂を残し、かつ、第３のアレイ型には硬化後の第２の硬化性樹脂を残したまま、その工程の処理をおこなうから、少なくとも硬化後の第１の硬化性樹脂と硬化後の第２の硬化性樹脂との接着の間に、第１の硬化性樹脂によるレンズ部の間隔や第２の硬化性樹脂によるレンズ部の間隔が変動するのを抑制することができる。
特に、硬化後の第１の硬化性樹脂と硬化後の第２の硬化性樹脂とを接着する前に絞りを形成すれば、その絞りは積層型撮像用レンズ自体の内部に形成されることとなる。この場合、積層型撮像用レンズの外側に別途絞りを設ける必要がなくなり、当該絞りとの位置ズレが発生するのを防止することができる。

撮像用レンズの概略構成を示す断面図である。 図１の撮像用レンズの製造方法を概略的に説明するための図面である。 図２Ａの後続の工程を概略的に示す図面である。 図２Ｂの後続の工程を概略的に示す図面である。 図２Ｃの後続の工程を概略的に示す図面である。 図２Ｄの後続の工程を概略的に示す図面である。 図２Ｅの後続の工程を概略的に示す図面である。 図２Ｆの後続の工程を概略的に示す図面である。 積層型撮像用レンズの概略構成を示す断面図である。 図３の積層型撮像用レンズの製造方法を概略的に説明するための図面である。 図４Ａの後続の工程を概略的に示す断面図である。 図４Ｂの後続の工程を概略的に示す断面図である。 図４Ｃの後続の工程を概略的に示す断面図である。 図４Ｄの後続の工程を概略的に示す断面図である。 図４Ｅの後続の工程を概略的に示す断面図である。 従来のレンズアレイの製造方法を概略的に示す図面である。 図５Ａの後続の工程を概略的に示す図面である。 図５Ｂの後続の工程を概略的に示す図面である。

次に、図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態について説明する。

［第１の実施形態］
図１に示すとおり、撮像用レンズ２は樹脂部４と樹脂部６とを組み合わせた光学レンズである。
樹脂部４には凸レンズ部４ａが形成されている。凸レンズ部４ａの周辺には非レンズ部４ｂ（フランジ）が形成されている。樹脂部６にも凸レンズ部６ａが形成されている。凸レンズ部６ａの周辺には非レンズ部６ｂ（フランジ）が形成されている。

樹脂部４の凸レンズ部４ａと樹脂部６の凸レンズ部６ａとは互いに対応する位置に配置されている。凸レンズ部４ａ，凸レンズ部６ａの各中心部に光軸が合致するようになっている。樹脂部４と樹脂部６との界面であって、樹脂部４の非レンズ部４ｂと樹脂部６の非レンズ部６ｂとが対向する位置には、絞り８が形成されている。

樹脂部４は樹脂４Ａで構成され、樹脂部６は樹脂６Ａで構成されている。
樹脂４Ａ，６Ａは熱または光で硬化する硬化性樹脂である。
樹脂４Ａと樹脂６Ａとは互いに種類（分散（アッベ数））が異なっており、具体的には樹脂４Ａとして低分散材料が、樹脂６Ａとして高分散材料が用いられている。
なお、樹脂４Ａ，６Ａは同じ種類の樹脂であってもよい。

続いて、撮像用レンズ２の製造方法について説明する。

図２Ａに示すとおり、レンズアレイ型１０に樹脂４Ａを塗布する。レンズアレイ型１０には複数の凹部１２がアレイ状（格子状）に形成されている。凹部１２は撮像用レンズ２の凸レンズ部４ａの形状に対応している。
その後、図２Ｂに示すとおり、レンズアレイ型１０と平板部材２０との一方を他方に移動させ、樹脂４Ａをレンズアレイ型１０と平板部材２０との間に充填し、樹脂４Ａを熱または光により硬化させる。
その後、図２Ｃに示すとおり、平板部材２０を離間させる。
その後、図２Ｄに示すとおり、硬化後の樹脂４Ａに対し絞り８を形成する。
この場合、ブラック顔料を含むフォトレジストを用いたフォトリソグラフィ技術により絞り８を形成してもよいし、クロムなどの金属材料をエッチングすることにより絞り８を形成してもよいし、インクジェットまたはスクリーン印刷技術により絞り８を形成してもよい。また例えば、レンズアレイと同形状の黒色の部材であって凸レンズ部４ａに対応している位置に透光用の孔が形成され寸法変化しにくい絞り部材などを、樹脂４Ａ，６Ａ間に挟みこむことで、離型後に凸レンズ部４ａ，６ａの間隔が変化するのを防ぎつつ、絞り８を作製することも可能である。

その後、図２Ｅに示すとおり、レンズアレイ型３０に樹脂６Ａを塗布する。レンズアレイ型３０には複数の凹部３２がアレイ状（格子状）に形成されている。凹部３２は撮像用レンズ２の凸レンズ部６ａの形状に対応している。
その後、図２Ｆに示すとおり、硬化後の樹脂４Ａと絞り８とをレンズアレイ型１０に残したまま、レンズアレイ型３０とレンズアレイ型１０との一方を他方に移動させ、樹脂６Ａをレンズアレイ型３０とレンズアレイ型１０との間に充填し、樹脂６Ａを熱または光により硬化させる。
この場合において、好ましくはレンズアレイ型１０，３０にあらかじめ位置合わせ用のアライメントマークを形成しておき、各アライメントマークを合致させることでレンズアレイ型１０，３０を位置合わせする。レンズアレイ型１０，３０にあらかじめ位置合わせ用のガイドを設けておき、各ガイドを突き当てることでレンズアレイ型１０，３０を位置合わせしてもよい。
その後、図２Ｇに示すとおり、レンズアレイ型１０，３０を硬化後の樹脂４Ａ，６Ａから離間し、硬化後の樹脂４Ａ，６Ａから構成されるレンズアレイ３４が製造される。その後、レンズアレイ３４を凸レンズ部４ａ，６ａごとに切断すると、複数の撮像用レンズ２が製造される。また上記対応に限定されず、レンズアレイ３４の状態のままで出荷することも可能である。

以上の実施形態によれば、樹脂４Ａをレンズアレイ型１０で硬化させてから（図２Ｂ参照）レンズアレイ型１０，３０を離型するまでの間（図２Ｇ参照）は、硬化後の樹脂４Ａをレンズアレイ型１０に残したまま処理をおこなうから、少なくともその間は硬化後の樹脂４Ａは凹部１２に維持され、樹脂４Ａによる凸レンズ部４ａの間隔が変動するのを抑制することができる。

また、樹脂４Ａと樹脂６Ａとで種類の異なる樹脂を使用し樹脂部４と樹脂部６とを形成するから、単一の樹脂材料で撮像用レンズを製造する場合に比べて、光学上の性能や設計上の自由度を向上させることができる。

さらに、平板部材２０を使用し樹脂４Ａを硬化させるから、硬化後の樹脂４Ａの一方の面が平滑化され、絞り８を撮像用レンズ２の内部に容易に形成することができる。その結果、撮像用レンズ２の外側に絞り３６（凸レンズ部４ａに対応する部分が開口した筐体など，図１参照）を設ける必要がなく、撮像用レンズ２と絞り３６（開口位置）との位置合わせなどをする必要がなくなり、撮像用レンズ２の取扱い性（汎用性）を向上させることができる。

なお、樹脂部４の凸レンズ部４ａや樹脂部６の凸レンズ部６ａの凹凸形状は適宜変更可能であり、この場合その凹凸形状に対応した凸部または凹部を有するレンズアレイ型１０，３０を使用すればよい。

［第２の実施形態］
図３に示すとおり、積層型撮像用レンズ４０はレンズ４２とレンズ４４との２つのレンズを組み合わせた組レンズである。
レンズ４２には凸レンズ部４２ａと凹レンズ部４２ｂとが形成されている。凸レンズ部４２ａ，凹レンズ部４２ｂの周辺には非レンズ部４２ｃ（フランジ）が形成されている。
レンズ４４にも凸レンズ部４４ａと凹レンズ部４４ｂとが形成されている。凸レンズ部４４ａ，凹レンズ部４４ｂの周辺には非レンズ部４４ｃ（フランジ）が形成されている。

レンズ４２の凸レンズ部４２ａ，凹レンズ部４２ｂとレンズ４４の凸レンズ部４４ａ，凹レンズ部４４ｂとは互いに対応する位置に配置されている。レンズ４２の凹レンズ部４２ｂとレンズ４４の凹レンズ部４４ｂとが対向配置されている。凸レンズ部４２ａ，凹レンズ部４２ｂ，凸レンズ部４４ａ，凹レンズ部４４ｂの各中心部に光軸が合致するようになっている。レンズ４２とレンズ４４との界面であって、レンズ４２の非レンズ部４２ｃとレンズ４４の非レンズ部４４ｂとが対向する位置には、絞り４６が形成されている。また上記には限定されず、凸レンズ部４２ａが凹レンズ部とされ、凹レンズ４２ｂが凸レンズ部とされ、凸レンズ部４４ａが凹レンズ部とされ、凹レンズ４４ｂが凸レンズ部とされてもよく、またはこれらが組み合わせられてもよい。

レンズ４２は樹脂４２Ａで構成され、レンズ４４は樹脂４４Ａで構成されている。
樹脂４２Ａ，４４Ａは熱または光で硬化する硬化性樹脂である。
樹脂４２Ａと樹脂４４Ａとは互いに種類（分散（アッベ数））が異なっており、具体的には樹脂４２Ａ，４４Ａのいずれか一方として低分散材料が、残りの一方として高分散材料が用いられている。
ただし、組レンズである積層型撮像用レンズ４０の場合は、レンズ４２とレンズ４４との間に空気間隔を有するため、樹脂４２Ａ，４４Ａは同一の屈折率をもつ材料であってもよい。
なお、樹脂４２Ａ，４６Ａは同じ種類の樹脂であってもよい。

続いて、積層型撮像用レンズ４０の製造方法について説明する。

図４Ａに示すとおり、レンズアレイ型５０に樹脂４２Ａを塗布する。レンズアレイ型５０には複数の凹部５２がアレイ状（格子状）に形成されている。凹部５２はレンズ４２の凸レンズ部４２ａの形状に対応している。
その後、図４Ｂに示すとおり、レンズアレイ型５０とレンズアレイ型６０との一方を他方に移動させ、樹脂４２Ａをレンズアレイ型５０とレンズアレイ型６０との間に充填し、熱または光により硬化させる。レンズアレイ型６０には複数の凸部６２がアレイ状（格子状）に形成されている。凸部６２はレンズ４２の凹レンズ部４２ｂの形状に対応している。
この場合において、好ましくはレンズアレイ型５０，６０にあらかじめ位置合わせ用のアライメントマークを形成しておき、各アライメントマークを合致させることでレンズアレイ型５０，６０を位置合わせする。
その後、図４Ｃに示すとおり、レンズアレイ型６０を離型する。

その後、硬化後の樹脂４２Ａに対し絞り４６を形成する。
この場合、絞り４６は第１の実施形態にかかる絞り８と同様の手法により形成することができる。絞り４６は凹レンズ部４２ｂの一部に及んでもよく、この場合には絞り４６を形成する面が曲面を含むため、好ましくはインクジェット印刷技術により絞り４６を形成するのがよい。
このとき、レンズアレイ型６０の絞り４６が形成される部位に対応する部位は、平面状を呈することが望ましい。これは例えばフォトリソ・スクリーン印刷といった、曲面上では精度を出しにくい方法も採用できるなどの利点を有するためである。
これとは別に、図４Ａ〜図４Ｃと同様の工程を経て、図４Ｄに示すとおり、硬化後の樹脂４４Ａを残したレンズアレイ型７０も準備する。

その後、図４Ｅに示すとおり、硬化後の樹脂４２Ａと絞り４６とをレンズアレイ型５０に残し、かつ、硬化後の樹脂４４Ａをレンズアレイ型７０に残したまま、レンズアレイ型５０とレンズアレイ型７０との一方を他方に移動させ、硬化後の樹脂４２Ａおよび絞り４６と硬化後の樹脂４４Ａとを接着する。
この場合において、好ましくはレンズアレイ型５０，７０にあらかじめ位置合わせ用のアライメントマークを形成しておき、各アライメントマークを合致させることでレンズアレイ型５０，７０を位置合わせし、接着剤等で接着を行う。
その後、図４Ｆに示すとおり、レンズアレイ型５０，７０を硬化後の樹脂４２Ａ，４４Ａから離間し、硬化後の樹脂４２Ａ，４４Ａから構成される積層型レンズアレイ７２が製造される。その後、積層型レンズアレイ７２を凸レンズ部４２ａ（または凹レンズ部４２ｂ，凸レンズ部４４ａ，凹レンズ部４４ｂ）ごとに切断すると、複数の積層型撮像用レンズ４０が製造される。また上記対応に限定されず、レンズアレイ７２の状態のままで出荷することも可能である。

以上の実施形態によれば、樹脂４２Ａをレンズアレイ型５０で、樹脂４４Ａをレンズアレイ型７０でそれぞれ硬化させてから（図４Ｂ，図４Ｄ参照）レンズアレイ型５０，７０を離型するまでの間（図４Ｆ参照）は、硬化後の樹脂４２Ａ，４４Ａをレンズアレイ型５０，７０に残したまま処理をおこなうから、少なくともその間は硬化後の樹脂４２Ａ，４４Ａは凹部５２，７２に維持され、樹脂４２Ａ，４４Ａによる凸レンズ部４２ａ，凸レンズ部４４ａの間隔が変動するのを抑制することができる。

また、樹脂４２Ａと樹脂４４Ａとで種類の異なる樹脂を使用しレンズ４２とレンズ４４とを形成するから、単一の樹脂材料で積層型撮像用レンズを製造する場合に比べて、光学上の性能や設計上の自由度を向上させることができる。

さらに、硬化後の樹脂４２Ａに絞り４６を形成し、その後硬化後の樹脂４２Ａと硬化後の樹脂４４Ａとを接着するから、絞り４６を積層型撮像用レンズ４０の内部に形成することができる。その結果、積層型撮像用レンズ４０の外側に絞り７４（凸レンズ部４２ａに対応する部分が開口した筐体など，図３参照）を設ける必要がなく、積層型撮像用レンズ４０と絞り７４（開口位置）との位置合わせなどをする必要もなくなり、積層型撮像用レンズ４０の取扱い性（汎用性）を向上させることができる。

なお、レンズ４２の凸レンズ部４２ａ，凹レンズ部４２ｂやレンズ４４の凸レンズ部４４ａ，凹レンズ部４４ｂの凹凸形状は適宜変更可能であり、この場合その凹凸形状に対応した凸部または凹部を有するレンズアレイ型５０，６０，７０を使用すればよい。

本発明は、撮像用のレンズやこれを含む撮像装置の製造に好適に利用することができる。

２ 撮像用レンズ
４ 樹脂部
４Ａ 樹脂
４ａ 凸レンズ部
４ｂ 非レンズ部（フランジ）
６ 樹脂部
６Ａ 樹脂
６ａ 凸レンズ部
６ｂ 非レンズ部（フランジ）
８ 絞り
１０ レンズアレイ型
１２ 凹部
２０ 平板
３０ レンズアレイ型
３２ 凹部
３４ レンズアレイ
３６ 絞り
４０ 積層型撮像用レンズ
４２ レンズ
４２Ａ 樹脂
４２ａ 凸レンズ部
４２ｂ 凹レンズ部
４２ｃ 非レンズ部（フランジ）
４４ レンズ
４４Ａ 樹脂
４４ａ 凸レンズ部
４４ｂ 凹レンズ部
４４ｃ 非レンズ部（フランジ）
４６ 絞り
５０ レンズアレイ型
５２ 凹部
６０ レンズアレイ型
６２ 凸部
７０ レンズアレイ型
７２ 積層型レンズアレイ
７４ 絞り
１００，１１０ アレイ型
１２０ 硬化性樹脂
１２２ レンズアレイ

本発明の第２の態様によれば、
第１のアレイ型と第２のアレイ型との間に第１の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
前記第２のアレイ型を離型する工程と、
前記第２のアレイ型を離型する工程の後に、前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残したまま、硬化後の前記第１の硬化性樹脂上に絞りを形成する工程と、
第３のアレイ型と第４のアレイ型との間に第２の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
前記第４のアレイ型を離型する工程と、
前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残し、かつ、前記第３のアレイ型に硬化後の前記第２の硬化性樹脂を残したまま、硬化後の前記第１の硬化性樹脂と硬化後の前記第２の硬化性樹脂とを接着する工程と、
前記第１のアレイ型と前記第３のアレイ型とを離型する工程と、
を備えることを特徴とする積層型レンズアレイの製造方法が提供される。

本発明の第２の態様によれば、硬化後の第１の硬化性樹脂と硬化後の第２の硬化性樹脂とを接着する工程において、第１のアレイ型には硬化後の第１の硬化性樹脂を残し、かつ、第３のアレイ型には硬化後の第２の硬化性樹脂を残したまま、その工程の処理をおこなうから、少なくとも硬化後の第１の硬化性樹脂と硬化後の第２の硬化性樹脂との接着の間に、第１の硬化性樹脂によるレンズ部の間隔や第２の硬化性樹脂によるレンズ部の間隔が変動するのを抑制することができる。
特に、硬化後の第１の硬化性樹脂と硬化後の第２の硬化性樹脂とを接着する前に絞りを形成するから、その絞りは積層型撮像用レンズ自体の内部に形成されることとなる。この場合、積層型撮像用レンズの外側に別途絞りを設ける必要がなくなり、当該絞りとの位置ズレが発生するのを防止することができる。

Claims (9)

1. 第１のアレイ型と平板部材との間に第１の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
   前記平板部材を離間させる工程と、
   前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残したまま、前記第１のアレイ型と第２のアレイ型との間に第２の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
   前記第１のアレイ型と前記第２のアレイ型とを離型する工程と、
   を備えることを特徴とするレンズアレイの製造方法。
2. 請求項１に記載のレンズアレイの製造方法において、
   前記平板部材を離間させる工程の後でかつ前記第２の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程の前に、前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残したまま、硬化後の前記第１の硬化性樹脂上に絞りを形成する工程を含むことを特徴とするレンズアレイの製造方法。
3. 請求項１または２に記載のレンズアレイの製造方法において、
   前記第１の硬化性樹脂と前記第２の硬化性樹脂とで異なる種類の樹脂を使用することを特徴とするレンズアレイの製造方法。
4. 請求項１または２に記載のレンズアレイの製造方法において、
   前記第１の硬化性樹脂と前記第２の硬化性樹脂とで同一の樹脂を使用することを特徴とするレンズアレイの製造方法。
5. 第１のアレイ型と第２のアレイ型との間に第１の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
   前記第２のアレイ型を離型する工程と、
   第３のアレイ型と第４のアレイ型との間に第２の硬化性樹脂を充填して硬化させる工程と、
   前記第４のアレイ型を離型する工程と、
   前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残し、かつ、前記第３のアレイ型に硬化後の前記第２の硬化性樹脂を残したまま、硬化後の前記第１の硬化性樹脂と硬化後の前記第２の硬化性樹脂とを接着する工程と、
   前記第１のアレイ型と前記第３のアレイ型とを離型する工程と、
   を備えることを特徴とする積層型レンズアレイの製造方法。
6. 請求項５に記載の積層型レンズアレイの製造方法において、
   前記第２のアレイ型を離型する工程の後に、前記第１のアレイ型に硬化後の前記第１の硬化性樹脂を残したまま、硬化後の前記第１の硬化性樹脂上に絞りを形成する工程を含むことを特徴とする積層型レンズアレイの製造方法。
7. 請求項６に記載の積層型レンズアレイの製造方法において、
   前記第２のアレイ型の各部位のうち、少なくとも硬化後の前記第１の硬化性樹脂上に前記絞りが形成される部位に対応する部位は、平面であることを特徴とする積層型レンズアレイの製造方法。
8. 請求項５〜７のいずれか一項に記載の積層型レンズアレイの製造方法において、
   前記第１の硬化性樹脂と前記第２の硬化性樹脂とで異なる種類の樹脂を使用することを特徴とする積層型レンズアレイの製造方法。
9. 請求項５〜７のいずれか一項に記載の積層型レンズアレイの製造方法において、
   前記第１の硬化性樹脂と前記第２の硬化性樹脂とで同一の樹脂を使用することを特徴とする積層型レンズアレイの製造方法。

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