JPWO2011036717A1 - 化合物薄膜太陽電池 - Google Patents
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Abstract
高い変換効率を維持したまま、SeあるいはCdに代表される有害元素及びInあるいはGaに代表される希少元素をできる限り含まない材料構成による化合物薄膜太陽電池を提供することを目的とする。化合物薄膜太陽電池は、基板と、前記基板上に設けられた裏面電極と、前記裏面電極上に設けられた取り出し電極と、前記裏面電極上に設けられた光吸収層と、前記光吸収層上に設けられたバッファ−層と、前記バッファー層上に設けられた透明電極層と、前記透明電極層上に設けられた反射防止膜と、前記透明電極層上に設けられた取り出し電極とを少なくとも備え、前記光吸収層がCu(Al1−x−yGaxIny)(Te1−zOz)2(ただし、xおよびyは(数式1)の範囲かつz=0、またはxおよびyは(数式2)の範囲かつ0.001≦z≦0.0625)であり、かつ前記化合物はカルコパイライト型の結晶構造をもつことを特徴とする。(数式1)Eg=2.25−1.02x−1.29y (1.5≧Eg≧1.0)(数式2)Eg=2.25−1.02x−1.29y (2.25≧Eg≧1.0)【選択図】 図3
Description
本発明は、化合物薄膜太陽電池に関する。
太陽電池の光吸収層として用いられる化合物半導体としては、CdTeに代表されるII−VI系とCuInSe2に代表されるI−III−VI2系が広く知られている。カルコパイライト構造を有するI−III−VI2系化合物半導体は、I族元素として、主にCu、III族元素としてIn及び/又はGa、VI族元素としてSe及び/又はSで構成される。係る材料の多様性に伴い、材料を適時選定することでバンドギャップを容易に制御することが可能である。実際、CuInSe2(Eg=1.04eV)とバンドギャップの大きなCuGaSe2(Eg=1.68eV)を固溶することで太陽光の吸収に最適な1.4eVにバンドギャップを調整する取り組みも行われている。
Cu(In1−xGax)(Se1−ySy)2を光吸収層に用いた化合物薄膜太陽電池は、構成元素として、In及びGaを含んでいる。In及びGaは希少金属で、資源埋蔵量が少ないあるいは経済的に採掘可能な高品位の鉱石を産出することが困難である等の理由から安定供給が難しくなる可能性が高い。また、精錬に非常に高度な技術や大きなエネルギ−が必要などの理由により、鉱石からの精錬が容易ではなく、価格が高騰する要因となっている。
高効率なCIGS(Cu(In1−xGax)Se2)太陽電池は、CIGSが定比から若干III族過剰組成を有するp型半導体の薄膜で得られる。作製法としては、多元蒸着法、特に3段階法が用いられる。3段階法では1層目にIn,Ga,Seを蒸着して(In,Ga)2Se3膜を形成し、次にCuとSeのみを供給して膜全体の組成をCu過剰組成にし、最後に再びIn,Ga,Seフラックスを供給して、膜の最終組成が(In,Ga)過剰組成にする。蒸着法は化学組成を精密に制御でき、高効率なCIGS太陽電池を作製可能であるが、プロセスの制約上、大面積化が困難である。
化合物薄膜太陽電池は光吸収層としてCuInxGa1−xSe2(CIGS)(CuInSe2及びCuGaSe2の固溶体)あるいはCdTeが用いられており、共に有害金属あるいは希少金属を含む材料で構成されており、環境負荷が大きく、太陽電池の製造コストが高くなるという問題がある。
本発明は係る問題を解決することを目的とし、高い変換効率を維持したまま、SeあるいはCdに代表される有害元素及びInあるいはGaに代表される希少元素をできる限り含まない材料構成による化合物薄膜太陽電池及びその製造方法を提供することを目的とする。
化合物薄膜太陽電池は基板と、前記基板上に設けられた裏面電極と、前記裏面電極上に設けられた取り出し電極と、前記裏面電極上に設けられた光吸収層と、前記光吸収層上に設けられたバッファ−層と、前記バッファー層上に設けられた透明電極層と、前記透明電極層上に設けられた反射防止膜と、前記透明電極層上に設けられた取り出し電極とを少なくとも備え、前記光吸収層がCu(Al1−x−yGaxIny)(Te1−zOz)2(ただし、xおよびyは(数式1)の範囲かつz=0、またはxおよびyは(数式2)の範囲かつ0.001≦z≦0.0625)であり、かつ前記化合物はカルコパイライト型の結晶構造をもつことを特徴とする。
(数式1)Eg=2.25−1.02x−1.29y (1.5≧Eg≧1.0)
(数式2)Eg=2.25−1.02x−1.29y (2.25≧Eg≧1.0)
(数式1)Eg=2.25−1.02x−1.29y (1.5≧Eg≧1.0)
(数式2)Eg=2.25−1.02x−1.29y (2.25≧Eg≧1.0)
本発明によれば、SeあるいはCdに代表される有害元素及びInあるいはGaに代表される希少元素をできる限り含まない材料構成による化合物薄膜太陽電池が提供される。
以下、本発明を実施するための形態について表及び図面を参照して詳細に説明する。
従来はI−III−VI2系のカルコパイライト型化合物半導体において、VI族元素にSeを用いている。しかし、Seには強い毒性があること、バンドギャップが大きくなることから、希少金属であるGaやInを多く用いる必要があることといった、環境問題やコストの問題がある。
TeはSeより毒性が低く、SeをVI族に用いたカルコパイライト型化合物半導体に比べてバンドギャップが小さく希少金属の使用量を少なくできるという好ましい特性がある。
従来はI−III−VI2系のカルコパイライト型化合物半導体において、VI族元素にSeを用いている。しかし、Seには強い毒性があること、バンドギャップが大きくなることから、希少金属であるGaやInを多く用いる必要があることといった、環境問題やコストの問題がある。
TeはSeより毒性が低く、SeをVI族に用いたカルコパイライト型化合物半導体に比べてバンドギャップが小さく希少金属の使用量を少なくできるという好ましい特性がある。
CuAlTe2、CuGaTe2及びCuInTe2はいずれもカルコパイライト構造を示し、固溶体を形成する。
表1にI−III−VI2系でVI族元素がTeから成るカルコパイライト型化合物半導体のバンドギャップを示す。表1のCuAlTe2は発明者らの実験値でCuGaTe2とCuInTe2の値は文献の実験値である。表1から明らかなようにI−III−VI2系でIII族元素のみを変化させることでバンドギャップを大きく変調させることができる。
太陽光スペクトルに好ましいバンドギャップとしては1.0eVから1.5eVである。最適な太陽光スペクトルのバンドギャップとしては1.4eVから1.5eVとされることが多い。1.2eV近傍で変換効率が最大になるという報告もある。
表1にI−III−VI2系でVI族元素がTeから成るカルコパイライト型化合物半導体のバンドギャップを示す。表1のCuAlTe2は発明者らの実験値でCuGaTe2とCuInTe2の値は文献の実験値である。表1から明らかなようにI−III−VI2系でIII族元素のみを変化させることでバンドギャップを大きく変調させることができる。
太陽光スペクトルに好ましいバンドギャップとしては1.0eVから1.5eVである。最適な太陽光スペクトルのバンドギャップとしては1.4eVから1.5eVとされることが多い。1.2eV近傍で変換効率が最大になるという報告もある。
これらの固溶体は、最もバンドギャップの小さいCuInTe2の0.96eVから最もバンドギャップの大きいCuAlTe2の2.25eVの間でバンッドギャップを自在に変調することができる。表2にCuAlTe2のAlの一部をGaあるいはInで置換したときのバンドギャップを例示する。表中の数値は固溶体のモル比で表している。
CuAlTe2のAlの一部をGaで置換した場合(Cu(Al1−xGax)Te2)では太陽電池の光吸収層として好ましいバンドギャップである1.0eVから1.5eVの範囲とするためには、0.73≦x≦1.0の条件を満たす組成で固溶体を作製することが望まれる。
CuAlTe2のAlの一部をInで置換した場合(Cu(Al1−yIny)Te2)では太陽電池の光吸収層として好ましいバンドギャップである1.0eVから1.5eVの範囲とするためには、0.58≦y≦0.97の条件を満たす組成で固溶体を作製することが望まれる。
CuAlTe2のAlの一部をInで置換した場合(Cu(Al1−yIny)Te2)では太陽電池の光吸収層として好ましいバンドギャップである1.0eVから1.5eVの範囲とするためには、0.58≦y≦0.97の条件を満たす組成で固溶体を作製することが望まれる。
AlをInおよびGaの両方の元素で置き換えることも可能である。その場合、組成範囲としてCu(Al1−x−yGaxIny)Te2(ただし、xおよびyはEg=2.25−1.02x−1.29y(1≧x+y>0、1.5≧Eg≧1.0))を満たすことが望まれる。
光吸収層であるI−III−VI2系カルコパイライト型化合物半導体のVI族のTeを一部Se又はSで部分的に置換した化合物半導体(Se、Sの量はTeの量(mol)より少ない)を光吸収層として用いることもできる。その際、バンドギャップが1.0から1.5eVの範囲内にあることカルコパイライト構造を保持していることが望まれる。
光吸収層であるI−III−VI2系カルコパイライト型化合物半導体のVI族のTeを一部Se又はSで部分的に置換した化合物半導体(Se、Sの量はTeの量(mol)より少ない)を光吸収層として用いることもできる。その際、バンドギャップが1.0から1.5eVの範囲内にあることカルコパイライト構造を保持していることが望まれる。
高効率化のためにカルコパイライト型化合物半導体Cu(Al1−x−yGaxIny)Te2の中間準位導入を検討した。種々の検討を行った結果、VI族のTeの一部を酸素で置換(Cu(Al1−x−yGaxIny)(Te1−zOz)2)することで、好適なバンドギャップの中間準位を形成することを見いだした。酸素置換において、具体的な検討は第一原理計算を用いて行った。図1にカルコパイライト型化合物半導体CuAlTe2のTeを一部Oで置換した分子構造を例示する。CuAlTe2の単位胞の格子定数にはa=5.964Å、c=11.78Å、バンドギャップにはバルク単結晶の値2.06eVを用いた。ユニットセルの全原子数64個の中の32個あるTeの一つを酸素で置換した系CuAl(Te1−zOz)2(z=0.03125)の計算結果を例示として図2に示す。状態密度とバンド構造から、酸素置換によりギャップ内に顕著な中間準位の形成を確認した。計算結果から、CuAl(Te1−zOz)2の酸素置換量zは0.001以上0.0625以下であると、中間準位が形成され、高い変換効率が望まれる。酸素置換量は、少ない程、状態密度は急峻になる。
CuAlTe2薄膜の光学バンドギャップは2.25eVであり、AlをInあるいはGaで置換することにより、バンドギャップを1.0eVまで制御できる。種々のバンドギャップをもついずれの母相に対しても、中間準位を形成することにより、長波長側の光も取り込むことができ、太陽電池の高効率化が期待される。
CuAlTe2薄膜の光学バンドギャップは2.25eVであり、AlをInあるいはGaで置換することにより、バンドギャップを1.0eVまで制御できる。種々のバンドギャップをもついずれの母相に対しても、中間準位を形成することにより、長波長側の光も取り込むことができ、太陽電池の高効率化が期待される。
TeはSeに比べて蒸気圧が低いため扱いやすく、製膜を行ったときの組成の制御が容易であることが期待される。さらには、Te系のカルコパイライト型化合物半導体を母相に用いると、最適なバンドギャップに調整するためのInあるいはGaの添加量を少なくできることで、偏析を抑制でき、均一組成の薄膜を作製できる。
図3に本発明に係る化合物薄膜太陽電池の一例の断面模式図を示す。化合物薄膜太陽電池は基板11、裏面電極12、光吸収層13、バッファ−層14a及びb、透明電極層15、取り出し電極16、反射防止膜17から構成されている。
基板11としては、青板ガラスを用いることが望ましく、ステンレス、Ti又はCr等の金属板あるいはポリイミド等の樹脂を用いることもできる。
裏面電極としては、W等の金属膜を用いることができる。その中でも、Mo膜を用いることが望ましい。
基板11としては、青板ガラスを用いることが望ましく、ステンレス、Ti又はCr等の金属板あるいはポリイミド等の樹脂を用いることもできる。
裏面電極としては、W等の金属膜を用いることができる。その中でも、Mo膜を用いることが望ましい。
バッファ−層14としては、CdS、Zn(O,S,OH)或いはMgを添加したZnOを用いることができる。図4に化合物薄膜太陽電池でのpn接合界面のバンド構造を示す。光吸収層13のカルコパイライト型化合物半導体はp型半導体、CdSあるいはZnO:Mgに代表されるバッファ−層14aはn型半導体、ZnOに代表されるバッファ−層14bはn+型層として機能すると考えられる。pn接合界面で伝導帯不連続量(CBO)ΔEcを誘起するようにバッファ−層14aの材料を選定することによりキャリアの再結合を低減できる。伝導帯不連続量(CBO)ΔEcは、0eV以上0.4eV以下であることが望ましく、0.1eV以上0.35eV以下であることが、さらに望ましい。伝導帯構造或いは伝導帯不連続量は光電子放出の逆過程である逆光電子分光により直接評価できる。実際の太陽電池構造では、光吸収層上に形成される窓層及びバッファ−層の厚さはそれぞれ数μm及び数十nmとかなり厚いため、表面から深い位置にある界面の評価を行うためには、損傷・劣化なしに各層を除去する必要があり、通常、低いイオンビ−ムによるエッチングが用いられる。
透明電極層15は太陽光を透過し、尚且つ導電性を有することが必要であり、例えば、アルミナ(Al2O3)を2wt%含有したZnO:Al或いはジボランからのBをド−パントとしたZnO:Bを用いることができる。
取り出し電極16としては、例えば、Al、Ag或いはAuを用いることができる。さらに、透明電極15との密着性を向上させるために、Ni或いはCrを堆積させた後、Al、Ag或いはAuを堆積させてもよい。
反射防止膜17としては、例えば、MgF2を用いることが望ましい。
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
取り出し電極16としては、例えば、Al、Ag或いはAuを用いることができる。さらに、透明電極15との密着性を向上させるために、Ni或いはCrを堆積させた後、Al、Ag或いはAuを堆積させてもよい。
反射防止膜17としては、例えば、MgF2を用いることが望ましい。
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
(実施例1)
基板11として青板ガラス基板を用い、スパッタ法により裏面電極12となるMo薄膜を700nm程度堆積した。スパッタは、Moをタ−ゲットとし、Arガス雰囲気中でRF200W印加することにより行った。
裏面電極12となるMo薄膜堆積後、光吸収層13となるCu(Al1−yIny)Te2薄膜を同じくRFスパッタにより2μm程度堆積した。ここでバンドギャップが1.18eV程度になるように、タ−ゲットの仕込み組成のyを0.8にした。製膜はArガス雰囲気中でRF200W印加することにより行った。
基板11として青板ガラス基板を用い、スパッタ法により裏面電極12となるMo薄膜を700nm程度堆積した。スパッタは、Moをタ−ゲットとし、Arガス雰囲気中でRF200W印加することにより行った。
裏面電極12となるMo薄膜堆積後、光吸収層13となるCu(Al1−yIny)Te2薄膜を同じくRFスパッタにより2μm程度堆積した。ここでバンドギャップが1.18eV程度になるように、タ−ゲットの仕込み組成のyを0.8にした。製膜はArガス雰囲気中でRF200W印加することにより行った。
製膜後、製膜室を真空引きし、超高真空雰囲気500℃にて加熱処理を行った。スパッタ製膜直後のCu(Al1−yIny)Te2薄膜は、非晶質で粒径も非常に小さいが、高温での加熱処理を行うことにより、結晶化し、粒径も100nm以上となり、太陽電池の高効率化に寄与できる。
図5は母相となるCuAlTe2を前記製膜条件と同様の条件にて堆積した薄膜のX線回折結果である。前記製膜条件にて作製した光吸収層13となる薄膜がカルコパイライト型構造の単相膜となることが分かる。作製したCuAlTe2薄膜の光学特性評価から光学バンドギャップが2.25eVであることを見積もった(図6)。
得られた光吸収層13の上にバッファ−層14aとしてMgを添加したZnO薄膜を50nm程度堆積した。図4に示したように、光吸収層13とバッファ−層14a界面でバンドオフセットを形成するようにMgの添加量は20%とした。製膜はRFスパッタを用いたが、界面でのプラズマダメ−ジを考慮して、50Wの出力で行った。このバッファ−層14a上にバッファ−層14bとして、ZnO薄膜を堆積し、続いて、透明電極15となるアルミナ(Al2O3)を2wt%含有するZnO:Alを1μm程度堆積した。取り出し電極16として、NiCr及びAuを蒸着法にて堆積した。膜厚はそれぞれ100nm及び300nmとした。最後に反射防止膜17としてMgF2をスパッタ法により500nm程度堆積することにより、図3に示した化合物薄膜太陽電池を作製した。
(実施例2)
基板11として青板ガラス基板を用い、スパッタ法により裏面電極12となるMo薄膜を700nm程度堆積した。スパッタは、Moをタ−ゲットとし、Arガス雰囲気中でRF200W印加することにより行った。
裏面電極12となるMo薄膜堆積後、光吸収層13となるCuAlTe2薄膜を同じくRFスパッタにより2μm程度堆積した。製膜はArガス雰囲気中でRF200W印加することにより行った。
基板11として青板ガラス基板を用い、スパッタ法により裏面電極12となるMo薄膜を700nm程度堆積した。スパッタは、Moをタ−ゲットとし、Arガス雰囲気中でRF200W印加することにより行った。
裏面電極12となるMo薄膜堆積後、光吸収層13となるCuAlTe2薄膜を同じくRFスパッタにより2μm程度堆積した。製膜はArガス雰囲気中でRF200W印加することにより行った。
製膜後、製膜室を真空引きし、超高真空雰囲気500℃にて加熱処理を行った。スパッタ製膜直後のCuAlTe2薄膜は、非晶質で粒径も非常に小さいが、高温での加熱処理を行うことにより、結晶化し、粒径も100nm以上とした。
作製したCuAlTe2薄膜に90keVのエネルギ−で酸素をイオン注入し、その後、イオン注入によりできた欠陥を補償するために、エキシマレ−ザ−アニ−ルにより再結晶化を行い、TeのOによる部分置換を行った。
作製したCuAlTe2薄膜に90keVのエネルギ−で酸素をイオン注入し、その後、イオン注入によりできた欠陥を補償するために、エキシマレ−ザ−アニ−ルにより再結晶化を行い、TeのOによる部分置換を行った。
得られた光吸収層13の上にバッファ−層14aとしてMgを添加したZnO薄膜を50nm程度堆積した。ワイドギャップのCuAlTe2に対して、光吸収層13とバッファ−層14a界面でバンドオフセットを形成するようにMgの添加量は40%とした。製膜はRFスパッタを用いたが、界面でのプラズマダメ−ジを考慮して、50Wの出力で行った。このバッファ−層14a上にバッファ−層14bとして、ZnO薄膜を堆積し、続いて、透明電極15となるアルミナ(Al2O3)を2wt%含有するZnO:Alを1μm程度堆積した。取り出し電極16として、NiCr及びAuを蒸着法にて堆積した。膜厚はそれぞれ100nm及び300nmとした。最後に反射防止膜17としてMgF2をスパッタ法により500nm程度堆積することにより、図3に示した化合物薄膜太陽電池を作製した。
11…基板、12…裏面電極、13…光吸収層、14a…バッファ−層、14b…バッファ−層、15…透明電極層、16…取り出し電極、17…反射防止膜
Claims (5)
- 基板と、
前記基板上に設けられた裏面電極と、
前記裏面電極上に設けられた取り出し電極と、
前記裏面電極上に設けられた光吸収層と、
前記光吸収層上に設けられたバッファ−層と、
前記バッファー層上に設けられた透明電極層と、
前記透明電極層上に設けられた反射防止膜と、
前記透明電極層上に設けられた取り出し電極とを少なくとも備え、
前記光吸収層がCu(Al1−x−yGaxIny)(Te1−zOz)2(ただし、xおよびyは(数式1)の範囲かつz=0、またはxおよびyは(数式2)の範囲かつ0.001≦z≦0.0625)であり、かつ前記化合物はカルコパイライト型の結晶構造をもつことを特徴とする化合物薄膜太陽電池。
(数式1)Eg=2.25−1.02x−1.29y (1.5≧Eg≧1.0)
(数式2)Eg=2.25−1.02x−1.29y (2.25≧Eg≧1.0) - 前記光吸収層のTeの一部がSe、S又はSe及びSのいずれかで置換され、
置換されたSe,Sの総mol数がTeのmol数より少ないことを特徴とする請求項1に記載の化合物薄膜太陽電池。 - 前記バッファ−層がCdS、Zn(O,S,OH)またはZnO:Mgであることを特徴とする請求項1に記載の化合物薄膜太陽電池。
- 前記光吸収層と前記バッファ−層の界面で形成されるバンド構造の伝導帯不連続量(ΔEc)が0<ΔEc≦0.4eVであることを特徴とする請求項1に記載の化合物薄膜太陽電池。
- 前記透明電極層にZnO、ZnO:Al又はZnO:Bを用いることを特徴とする請求項1に記載の化合物薄膜太陽電池。
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