JPWO2010140395A1 - 撮像装置及び撮像装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

本発明の課題は、製造性を高めコストを低減できる撮像装置及びその製造方法を提供することである。本発明においては、樹脂製の撮像レンズは、リフロー槽内で遮光枠の外部から加熱されるが、耐熱性の遮光枠と空間により有効に遮熱されるため、内部の撮像レンズの温度上昇を抑えることができる。又、ベース枠を熱伝導率の低い材料で構成することで、撮像レンズの温度上昇を抑えることができる。以上により、撮像レンズを耐熱性が低い樹脂素材から形成でき、コスト低減を図ることができる。

Description

本発明は、撮像装置及び撮像装置の製造方法に関し、特には樹脂製の撮像レンズと撮像素子とを備えた撮像装置及び撮像装置の製造方法に関する。
近年、撮像装置を組み込むことにより撮影機能を付与した携帯電話機が普及している。また、携帯電話機等の小型電子機器への撮影機能の組み込みを容易にするため、予め撮像レンズが組み込まれた光学ユニットと、固体撮像素子及び制御回路が設けられた実装基板とを組み立ててユニット化したカメラモジュールが提供されている。
ここで、従来の撮像装置においては、基板と撮像素子との間での信号の授受を、両者間を接続した多数のワイヤを介して行っているが、そのためワイヤを結線するワイヤボンディングが必要になり、これに手間と時間がかかるという問題がある。これに対し、特許文献1には、ガラス基板の背面に撮像素子を直接実装することで、ワイヤボンディングを用いることなく配線接続が行える技術が開示されている。
特開2007−288755号公報
ところで、特許文献1には、ガラス基板の背面に撮像素子を実装する際に、配線したい複数の箇所にハンダボールを配置して、内部が高温のリフロー槽を通過させることで溶融したハンダボールによって配線接続を行えば、製造工程の簡略化と工数の低減を図ることができると記載されている。ところが、撮像レンズに用いる光学性能の高い樹脂(PC等)は、比較的耐熱性が低く、リフロー槽を通過させる際に変形して光学特性が劣化するという問題がある。これに対し、撮像素子に耐熱性を有するガラス素材から形成すれば足りるという考えもあるが、撮像レンズの高コスト化を招くという別な問題が生じる。
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、製造性を高めコストを低減できる撮像装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
請求項1の撮像装置は、
一方の側に配線部を備えた透明な基板と、
前記基板の前記一方の側に、前記配線部と接続するように配置された撮像素子と、
前記基板の他方の側に配置された樹脂製の撮像レンズと、
前記撮像レンズを囲う筐体と、を有する撮像装置であって、
前記撮像装置の製造工程は、前記基板に対して前記撮像レンズ及び前記筐体を配置した状態で高温環境に曝される工程を少なくとも含み、
前記筐体は、前記基板に取り付けられる熱伝導率の低いベース枠と、前記ベース枠に組み付けられて前記撮像レンズを覆うように光軸方向に延在する耐熱性の遮光枠とを含み、前記遮光枠と前記撮像レンズとの間には空間が設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、前記筐体が、前記基板に取り付けられる熱伝導率の低いベース枠と、前記ベース枠に組み付けられて前記撮像レンズを覆うように光軸方向に延在する耐熱性の遮光枠とを含み、前記遮光枠と前記撮像レンズとの間には空間が設けられているので、製造時において、前記基板に対して前記撮像レンズ及び前記筐体を配置した状態で高温環境に曝される工程を経たとしても、前記筐体と前記空間とにより前記撮像レンズを遮熱することができ、また前記ベース枠により外部の熱が前記撮像レンズに伝導することを抑制することができる。これにより前記撮像レンズの熱変形を抑制して、光学性能の劣化を抑えることができる。
よって、前記撮像レンズを組み付けたまま例えばリフロー工程を通過させることが可能となり、撮像装置を短時間且つ低コストで製造することができる。尚、「高温環境」とは少なくとも200℃以上に維持される環境をいい、「熱伝導率が低い素材」とは10W/m・K以下の素材をいい、例えば窒化珪素やジルコニア等のセラミックがある。又、耐熱性を有する素材とは、例えば260℃で変形しない素材をいい、例えばアルミ等の金属などがあるが、熱硬化性樹脂などの耐熱樹脂でもよい。
請求項2に記載の撮像装置は、請求項1に記載の発明において、前記ベース枠は、前記撮像レンズの脚部に係合する凹部及び/または前記基板の交差する少なくとも2つの縁に係合する突起を有し、前記ベース枠の凹部に前記撮像レンズを係合させるか、前記ベース枠の突起を前記基板の交差する少なくとも2つの縁に係合させることにより、前記撮像レンズを前記基板に対して光軸方向及び光軸直交方向のうち少なくとも一方の方向に位置決めすることを特徴とする。これにより、前記ベース枠に前記撮像レンズを組み付けるのみで、前記撮像レンズの焦点位置に、前記撮像素子の撮像面の中心を精度良く位置させることができ、製造工程を簡略化できる。
請求項3に記載の撮像装置は、請求項2に記載の発明において、前記ベース枠の素材はセラミックであり、前記遮光枠の素材は金属又は耐熱樹脂であることを特徴とする。
請求項4に記載の撮像装置は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記遮光枠は、前記撮像レンズへの被写体光を通過させる開口を有し、前記基板に対して前記撮像レンズ及び前記筐体を配置した状態で高温環境に曝される工程では、前記開口が蓋部材により遮蔽されることを特徴とする。これにより、前記遮光枠の開口を介して、前記撮像レンズに外部の熱が伝導することを抑制できる。
請求項5に記載の撮像装置の製造工程は、
一方の側に配線部を備えた透明な基板と、
前記基板の前記一方の側に、前記配線部と接続するように配置された撮像素子と、
前記基板の他方の側に配置された樹脂製の撮像レンズと、
前記撮像レンズを囲う樹脂製の筐体と、を有する撮像装置の製造方法であって、
前記基板に対して、前記撮像素子と前記撮像レンズと前記筐体とを配置した中間組立体を形成する第1工程と、
前記中間組立体に対し、前記筐体の周囲に耐熱性のキャップを被せた状態で高温環境に曝す第2工程と、
前記中間組立体の冷却後に、前記キャップを取り外す第3工程と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、前記中間組立体に対し、前記筐体の周囲に耐熱性のキャップを被せた状態で高温環境に曝すので、前記キャップを被せることによって前記筐体及び前記撮像レンズを遮熱することができ、これにより前記撮像レンズの熱変形を抑制して、光学性能の劣化を抑えることができる。
請求項6に記載の撮像装置の製造方法は、請求項5に記載の発明において、前記第2工程は、ハンダにより前記基板の配線部と前記撮像素子との電気的接続を行うリフロー工程であることを特徴とする。
本発明によれば、製造性を高めコストを低減できる撮像装置及びその製造方法を提供することができる。
本実施の形態にかかる撮像装置50の斜視図である。 図1の構成を矢印II−II線で切断して矢印方向に見た断面図である。 本実施の形態にかかる撮像装置の製造方法を示す図である。 別な実施の形態にかかる撮像装置の製造方法を示す図である。 撮像装置50を携帯端末としての携帯電話機100に装備した状態を示す図である。 携帯電話機100の制御ブロック図である。 (a)は、ガラス基板GPに対してイメージセンサ51を組み付けられたユニットを側方から見た図であり、(b)は、(a)の構成を矢印VIIB方向に見た図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、本実施の形態にかかる撮像装置50の斜視図であり、図2は、図1の構成を矢印II−II線で切断して矢印方向に見た断面図である。図2に示すように、撮像装置50は、光電変換部51aを有する固体撮像素子としてのCMOS型イメージセンサ51と、このイメージセンサ51の光電変換部51aに被写体像を結像させる撮像レンズ10と、イメージセンサ51を背面に取り付けた矩形板状の平行平板である透明なガラス基板GPと、撮像レンズ10を覆う筐体20とを備えている。図2で、HBは、ガラス基板GPの配線部に固着されたハンダボールであり、ガラス基板GPの背面に接しているハンダボールHBは点線で示している。
上記イメージセンサ51は、その受光側の平面の中央部に、画素(光電変換素子)が2次元的に配置された、受光部としての光電変換部51aが形成されており、その周囲には信号処理回路(不図示)が形成されている。かかる信号処理回路は、各画素を順次駆動し信号電荷を得る駆動回路部と、各信号電荷をデジタル信号に変換するA/D変換部と、このデジタル信号を用いて画像信号出力を形成する信号処理部等から構成されている。また、イメージセンサ51の受光側の平面の外縁近傍には、多数の端子51b(図7(b)参照)が形成されており、一方、ガラス基板GPの背面(下面)には、金属蒸着等によりプリント配線である配線部GPaが形成されている。イメージセンサ51の端子51bは、スタッドバンプSB(図7(a)参照)を介して配線部GPaに対して電気的に接続される。
イメージセンサ51は、光電変換部51aからの信号電荷をデジタルYUV信号等の画像信号等に変換し、配線部GPaを介して不図示の外部回路(例えば、撮像装置を実装した上位装置が有する制御回路)に出力し、外部回路からイメージセンサ51を駆動するための電圧やクロック信号の供給を受ける。ここで、Yは輝度信号、U(=B−Y)は青と輝度信号との色差信号Cb、V(=R−Y)は赤と輝度信号との色差信号Crである。なお、撮像素子は上記CMOS型のイメージセンサに限定されるものではなく、CCD等の他のものを使用しても良い。
遮光性材料からなる筐体20は、セラミック製のベース枠21と、アルミ製の略円筒状の遮光枠22とからなる。ベース枠21は、矩形平板状の本体21aと、ガラス基板GPを囲うように本体21aの側縁から下方に壁状に突出する突起21bと、本体21aの上面から突出する環状壁21cとを有する。本体21aの中央には、矩形状の開口21dが形成されている。環状壁21cの内側が凹部を構成する。
ベース枠21とガラス基板GPは、ベース枠21をガラス基板GPに組み付けたとき、本体21aの下面がガラス基板GPの上面に当接し、突起21bがガラス基板GPの側縁に当接することで、撮像レンズ10における光軸方向及び光軸直交方向に位置決めされるようになっている。尚、不図示の耐熱性接着剤で、ベース枠21をガラス基板GPに固定しても良い。また、突起21bはガラス基板GPを囲うように、即ち、ガラス基板GPの四周の縁に係合する構成としているが、ガラス基板GPの交差する少なくとも2つの縁に係合する突起としてもよい。この場合、接着かバネ付勢でガラス基板GPの縁に係合させるのが好適である。
遮光枠22は、円筒状の本体22aと、本体22aの上端から半径方向内方に延在するように形成されたフランジ部22bと、フランジ部22bの中央に形成された円形開口22cとを有する。本体22aの下端をベース枠21の環状壁21cの外周に嵌合させることにより、遮光枠22はベース枠21に同軸的に取り付けられる。尚、不図示の耐熱性接着剤で、遮光枠22をベース枠21に固定しても良い。
ガラス基板GPの表側(上側)であって、筐体20の中央に設けられた撮像レンズ10は、物体側から第1レンズL1,第2レンズL2,第3レンズL3の順序で、軸線方向に延在するフランジ部同士を接合して接着剤にて互いに固定され、これによりレンズ間距離を精度良く確保している。最もイメージセンサ51に近い第3レンズL3のフランジ部L3aの端面は、ベース枠21の本体21aの上面に当接し、且つフランジ部L3aの外周は環状壁21cの内周に嵌合している。
これにより、撮像レンズ10はベース枠21に対して精度良く位置決めされる。即ち、フランジ部L3aの光軸方向長さ(レンズ部に対する端面の位置)と、ベース枠21の本体21aの厚さと、ガラス基板GPの厚さを管理すれば、撮像レンズ10とイメージセンサ51とを精度良く光軸方向に位置決めできる。又、フランジ部L3aの外周面と、これが係合するベース枠21の環状壁21cと、突起21bと、これが係合するガラス基板GPとの寸法形状を管理すれば、撮像レンズ10とガラス基板GP1とを精度良く光軸直交方向に位置決めできる。従って、イメージセンサ51をガラス基板GPに精度良く組み付けることで、撮像レンズ10の焦点位置が、ガラス基板GPを通って、イメージセンサ51の光電変換部51aの中央に精度良く一致するようになっている。尚、ベース枠21の環状壁21cの内側には、周溝21e(図示せず)が設けられており、周溝21e内に充填された耐熱性の接着剤により、第3レンズL3がベース枠21に固定される。
ここで、第3レンズL3のフランジ部L3aが、撮像レンズ10の脚部を構成し、この脚部がベース枠21の本体21aと当節し、且つ環状壁21cと嵌合することで光軸方向と光軸直行方向との位置決めができる。なお、本実施形態では、光軸方向と光軸直行方向の両方向での位置決めを行っているが、本構成によるいずれか一方向のみの位置決めを行い、他方向の位置決めは別途の方法によってもよい。
さらに、第1レンズL1のフランジ部L1aの上部には、ドーナツ板状の遮光部材SH1が固着されており、第2レンズL2のフランジ部L2aの上部には、ドーナツ板状の絞り部材APが固着されており、第3レンズL3のフランジ部L3aの上部には、環状の遮光部材SH2が固定されている。遮光部材SH1、SH2により、筐体20の内部に不要光が入射することを防止し、ゴーストやフレアの発生を抑えることができる。遮光枠22の中央開口22cを通過して撮像レンズ10に入射した光線(被写体光)は、ベース枠21の開口21dを通過し、ガラス基板GPを透過して、イメージセンサ51の光電変換部51aに結像するようになっている。
図2から明らかであるが、遮光枠22と撮像レンズ10との間には、筒状の空間SPが設けられており、これにより遮熱性を確保している。
次に、図3を参照して、本実施の形態にかかる撮像装置の製造方法について説明する。図3は、本実施の形態にかかる撮像装置の製造方法を示す図である。まず、図7に示すように、ガラス基板GPに対してイメージセンサ51を平行になるように組み付けてユニット化する。具体的には、ガラス基板GPの背面に金属蒸着等で形成された多数のプリント配線である配線部GPaの内側端に、例えば金を素材とするスタッドバンプSBを形成し、スタッドバンプSBをイメージセンサ51の端子51bに対して振動接触させ摩擦熱で溶着させる。これにより、端子51bと配線部GPaとの接続を行える。
次いで、配線部GPaの外側端に、それぞれハンダボールHBを固着させる。尚、スタッドバンプの代わりに、ハンダメッキを用いて端子51bと配線部GPaとの接続を行っても良いが、この場合のハンダメッキは、ハンダボールHBより溶融温度が高いことが必要になる。
更に図3(a)に示すように、イメージセンサ51を背面側に組み付けたガラス基板GP上に、ベース枠21と撮像レンズ10を組み付けて固定し、更にベース枠21に遮光枠22を固定する。遮光枠22の円形開口22cは、アルミ製の蓋部材DPで覆う(第1工程)。蓋部材DPの代わりに、アルミテープを貼り付けても良い。以上を中間組立体MAと呼ぶ。更に、ガラス基板GPの配線部GPaに固着されたハンダボールHBが、他の電子回路部品(不図示)を載せたプリント基板CBのプリント配線LF上に接触するようにして、プリント基板CB上に中間組立体MAを載置する。
次いで、図3(b)に示すように、ヒータHTにより加熱されたリフロー槽RB内に、240℃で10秒間(例えば電子部品の動作が保証される時間と温度)、プリント基板CBと共に中間組立体MAを保持する(高温環境に曝される工程又は第2工程)。これにより、他の不図示の電子回路の結線と同時に、ヒータHTの熱でハンダボールHBが溶融し、配線部GPaとプリント基板CBのプリント配線LFとが電気的に接続される。しかしながら、ハンダボールHBより溶融温度の高いスタッドバンプSBと端子51bとの固着が剥がれることはない。以上により、外部の電子回路とイメージセンサ51との結線が行われ、結線の手間を大幅に減少させることができる。
このとき、撮像レンズ10は、リフロー槽RB内で遮光枠22の外部から加熱されることとなるが、アルミ製の遮光枠22と空間SPにより有効に遮熱されるため、内部の撮像レンズ10の温度上昇を抑えることができる。又、ベース枠21はセラミック製であるため伝熱性が低く、撮像レンズ10の温度上昇を抑えることができる。これにより撮像レンズ10の熱変形を抑制できる。従って、撮像レンズ10を耐熱性が低い樹脂素材から形成でき、コスト低減を図ることができる。
その後、図3(c)に示すように、リフロー槽RBから中間組立体MAを取り出し、冷却する(第3工程)ことで、溶融したハンダボールが固化(H)するため、イメージセンサ51の端子は、配線部GPaを介してプリント基板CBのプリント配線LFに恒久的に接続されることとなる。更に蓋部材DPを取り外すことで、撮像装置50を製造できる。取り外した蓋部材DPは再利用が可能である。
図4は、別な実施の形態にかかる撮像装置の製造方法を示す図である。本実施の形態においては、遮光枠22は耐熱性の低い樹脂製であっても良い。まず、上述と同様に、ガラス基板GPに対してイメージセンサ51を組み付けてユニット化する。
更に図4(a)に示すように、イメージセンサ51を背面側に組み付けたガラス基板GP上に、ベース枠21と撮像レンズ10を組み付けて固定し、更にベース枠21に遮光枠22を固定する。更に、遮光枠22及びベース枠21の外側にセラミック製のキャップCP(上端が閉止した円筒状又は角筒状)を被せる。かかる状態では、キャップCPと遮光枠22との間に隙間Δが生じると好ましいが、ベース枠21とは嵌合的に接していても良い。更に、ガラス基板GPの配線部GPaに固着されたハンダボールHBが、他の電子回路部品(不図示)を載せたプリント基板CBのプリント配線LF上に接触するようにして、プリント基板CB上に中間組立体MAを載置する。
次いで、図4(b)に示すように、ヒータHTにより加熱されたリフロー槽RB内に、240℃で10秒間(例えば電子部品の動作が保証される時間と温度)、プリント基板CBと共に中間組立体MAを保持する(高温環境に曝される工程又は第2工程)。これにより、他の不図示の電子回路の結線と同時に、ヒータHTの熱でハンダボールHBが溶融し、配線部GPaとプリント基板CBのプリント配線LFとが電気的に接続される。しかしながら、ハンダボールHBより溶融温度の高いスタッドバンプSBと端子51bとの固着が剥がれることはない。以上により、外部の電子回路とイメージセンサ51との結線が行われ、結線の手間を大幅に減少させることができる。
このとき、撮像レンズ10は、リフロー槽RB内でキャップCPの外部から加熱されることとなるが、セラミック製のキャップCP及び遮光枠22により二重に遮熱されるため、内部の撮像レンズ10の温度上昇を有効に抑えることができる。又、ベース枠21はセラミック製であるため伝熱性が低く、撮像レンズ10の温度上昇を抑えることができる。これにより撮像レンズ10の熱変形を抑制できる。従って、撮像レンズ10を耐熱性が低い樹脂素材から形成でき、コスト低減を図ることができる。
その後、図4(c)に示すように、リフロー槽RBから中間組立体MAを取り出し、冷却する(第3工程)ことで、溶融したハンダボールが固化(H)するため、イメージセンサ51の端子は、配線部GPaを介してプリント基板CBのプリント配線LFに恒久的に接続されることとなる。更にキャップCPを取り外すことで、撮像装置50を製造できる。取り外したキャップCPは再利用が可能である。尚、キャップCPはセラミック製でなく、例えばアルミ等の金属製であっても良い。
上述した撮像装置50の使用態様について説明する。図5は、撮像装置50を携帯端末としての携帯電話機100に装備した状態を示す図である。また、図6は携帯電話機100の制御ブロック図である。
撮像装置50は、例えば、撮像レンズにおける筐体20の物体側端面が携帯電話機100の背面(液晶表示部側を正面とする)に設けられ、液晶表示部の下方に相当する位置になるよう配設される。
撮像装置50は、ガラス基板GPの配線部GPa(図2)を介して、携帯電話機100の制御部101(図6参照)と接続され、輝度信号や色差信号等の画像信号を制御部101側に出力する。
一方、携帯電話機100は、図6に示すように、各部を統括的に制御すると共に、各処理に応じたプログラムを実行する制御部(CPU)101と、番号等をキーにより入力するための入力部60と、所定のデータの他に撮像した画像や映像等を表示する表示部70と、外部サーバとの間の各種情報通信を実現するための無線通信部80と、携帯電話機100のシステムプログラムや各種処理プログラム及び端末ID等の必要な諸データを記憶している記憶部(ROM)91と、制御部101によって実行される各種処理プログラムやデータ、若しくは処理データ、或いは撮像装置50により撮像データ等を一時的に格納する作業領域として用いられる一時記憶部(RAM)92とを備えている。
携帯電話機100を把持する撮影者が、被写体に対して撮像装置50の撮像レンズ10を向けると、イメージセンサ51に画像信号が取り込まれる。所望のシャッタチャンスで、図5に示すボタンBTを撮影者が押すことでレリーズが行われ、画像信号が撮像装置50に取り込まれることとなる。撮像装置50から入力された画像信号は、上記携帯電話機100の制御系に送信され、記憶部92に記憶されたり、或いは表示部70で表示され、さらには、無線通信部80を介して映像情報として外部に送信されることとなる。
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。遮光枠22は耐熱性の樹脂から形成されていても良い。また、ガラス基板GPの上面にIRカットフィルタ膜を設けても良い。
10 撮像レンズ
20 筐体
21 ベース枠
21a 本体
21b 突起
21c 環状壁
21d 開口
21e 周溝
22 遮光枠
22a 本体
22b フランジ部
22c 円形開口
50 撮像装置
51 イメージセンサ
51a 光電変換部
AP 絞り部材
CP キャップ
DP 蓋部材
GP ガラス基板
GPa 配線部
HB ハンダボール
HT ヒータ
L1 第1レンズ
L1a フランジ部
L2 第2レンズ
L2a フランジ部
L3 第3レンズ
L3a フランジ部
MA 中間組立体
RB リフロー槽
SH1 遮光部材
SH2 遮光部材
SP 空間
Δ 隙間

Claims (6)

  1. 一方の側に配線部を備えた透明な基板と、
    前記基板の前記一方の側に、前記配線部と接続するように配置された撮像素子と、
    前記基板の他方の側に配置された樹脂製の撮像レンズと、
    前記撮像レンズを囲う筐体と、を有する撮像装置であって、
    前記撮像装置の製造工程は、前記基板に対して前記撮像レンズ及び前記筐体を配置した状態で高温環境に曝される工程を少なくとも含み、
    前記筐体は、前記基板に取り付けられる熱伝導率の低いベース枠と、前記ベース枠に組み付けられて前記撮像レンズを覆うように光軸方向に延在する耐熱性の遮光枠とを含み、前記遮光枠と前記撮像レンズとの間には空間が設けられていることを特徴とする撮像装置。
  2. 前記ベース枠は、前記撮像レンズの脚部に係合する凹部及び/または前記基板の交差する少なくとも2つの縁に係合する突起とを有し、
    前記ベース枠の凹部に前記撮像レンズを係合させるか、前記ベース枠の突起を前記基板の交差する少なくとも2つの縁に係合させることにより、前記撮像レンズを前記基板に対して光軸方向及び光軸直交方向のうち少なくとも一方の方向に位置決めすることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
  3. 前記ベース枠の素材はセラミックであり、前記遮光枠の素材は金属又は耐熱樹脂であることを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。
  4. 前記遮光枠は、前記撮像レンズへの被写体光を通過させる開口を有し、
    前記基板に対して前記撮像レンズ及び前記筐体を配置した状態で高温環境に曝される工程では、前記開口が蓋部材により遮蔽されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の撮像装置。
  5. 一方の側に配線部を備えた透明な基板と、
    前記基板の前記一方の側に、前記配線部と接続するように配置された撮像素子と、
    前記基板の他方の側に配置された樹脂製の撮像レンズと、
    前記撮像レンズを囲う樹脂製の筐体と、を有する撮像装置の製造方法であって、
    前記基板に対して、前記撮像素子と前記撮像レンズと前記筐体とを配置した中間組立体を形成する第1工程と、
    前記中間組立体に対し、前記筐体の周囲に耐熱性のキャップを被せた状態で高温環境に曝す第2工程と、
    前記中間組立体の冷却後に、前記キャップを取り外す第3工程と、を有することを特徴とする撮像装置の製造方法。
  6. 前記第2工程は、ハンダにより前記基板の配線部と前記撮像素子との電気的接続を行うリフロー工程であることを特徴とする請求項5に記載の撮像装置の製造方法。
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