JPWO2010001976A1 - 感光性組成物、隔壁、カラーフィルタ及び有機ｅｌ素子 - Google Patents

Abstract

本発明は、撥液性が良好な上面を有する隔壁及び親液性が良好であり、インクが濡れ拡がりやすい開口部を形成することが可能な感光性組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、該感光性組成物を硬化することにより形成されている隔壁並びに該隔壁を有するカラーフィルタ及び有機ＥＬ素子を提供することを目的とする。感光性組成物は、一般式−ＣＦＸＲｆ（１）で表される基、又は、一般式（化１）で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）、黒色の着色剤（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）及び酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂（Ｄ）を含む感光性組成物であって、重合体（Ａ）は、数平均分子量が２×１０４以上７×１０４以下であり、重量平均分子量が５×１０４以上２５×１０４以下である。

Description

本発明は、感光性組成物、隔壁、カラーフィルタ及び有機ＥＬ素子に関する。

近年、カラーフィルタや有機ＥＬ素子の製造方法としては、インクジェット法を用いる方法が知られている。例えば、カラーフィルタを製造する際に、フォトリソグラフィを用いて、隔壁からなるブラックマトリックスを形成した後に、インクジェット法を用いて、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）及びＢ（ブルー）のインクをブラックマトリックスの開口部に塗布し、画素を形成する。また、有機ＥＬ素子を製造する際に、フォトリソグラフィを用いて、隔壁からなるブラックマトリックスを形成した後に、インクジェット法を用いて、正孔輸送材料、発光材料等の溶液をブラックマトリックスの開口部に塗布し、正孔輸送層、発光層等を有する画素を形成する。

このようなカラーフィルタや有機ＥＬ素子の隣接する画素間における混色の発生を防ぐために、ブラックマトリックスの上面は、インクをはじく性質、いわゆる撥液性を有する必要がある。また、カラーフィルタや有機ＥＬ素子の白抜けを防ぐために、ブラックマトリックスの開口部は、インクに対して濡れる性質、いわゆる親液性を有する必要がある。

特許文献１には、エチレン性不飽和二重結合およびフルオロアルキル基を有するビニル重合体を含む隔壁用組成物（アルカリ現像型感光性レジスト）が開示されている。実施例に開示されるビニル重合体の重量平均分子量は、２０，０００、１８，０００、２２，０００、２３，０００、１７，０００である。

特許文献２には、２−（パーフルオロヘキシル）エチルメタクリレートと２−ヒドロキシエチルメタクリレートとメタクリル酸との共重合体に１，１−ビス（アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネートを反応させた化合物である含フッ素重合体を含むネガ型感光性組成物が開示されている。実施例に開示される含フッ素重合体の数平均分子量は、４，３００、７，３００、７，２５０、１１５，００である。

特開２００５−０６０５１５号公報 国際公開第２００７／６９７０３号パンフレット

本発明者らは、特許文献１又は２に記載される組成物を用いて隔壁を形成すると、隔壁で囲まれた開口部にインクが濡れ拡がりにくい場合があることを見出した。

本発明は、上記の従来技術が有する問題に鑑み、撥液性が良好な上面を有する隔壁及び親液性が良好であり、インクが濡れ拡がりやすい開口部を形成することが可能な感光性組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、該感光性組成物を硬化することにより形成されている隔壁並びに該隔壁を有するカラーフィルタ及び有機ＥＬ素子を提供することを目的とする。

本発明は、以下の要旨を有する。

［１］一般式
−ＣＦＸＲ^ｆ （１）
（式中、Ｘは、水素原子、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であり、Ｒ^ｆは、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１以上２０以下のフルオロアルキル基、又はフッ素原子である。）
で表される基、又は、一般式

（式中、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基であり、Ｒ^３は、水素原子又は炭素数が１以上１０以下の有機基であり、ｎは、１以上２００以下の整数である。）
で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）、黒色の着色剤（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）及び酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂（Ｄ）を含む感光性組成物であって、前記重合体（Ａ）は、数平均分子量が２×１０^４以上７×１０^４以下であり、重量平均分子量が５×１０^４以上２５×１０^４以下であることを特徴とする感光性組成物。なお、フルオロアルキル基とは、水素原子の少なくとも１つがフッ素原子に置換されたアルキル基を意味する。
［２］前記重合体（Ａ）が、前記式（１）で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）であって、重合体（Ａ）中のフッ素原子の含有量が５〜３５質量％である上記［１］に記載の感光性組成物。
［３］前記重合体（Ａ）が、前記式（２）で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）であって、重合体（Ａ）中のケイ素原子の含有量が０．１〜２５質量％である上記［１］に記載の感光性組成物。

［４］前記感光性樹脂（Ｄ）は、重量平均分子量が１．５×１０^３以上２０×１０^３以下である上記［１］乃至［３］のいずれか１項に記載の感光性組成物。

［５］前記重合体（Ａ）が、エチレン性二重結合を１．０〜５．０ｍｍｏｌ／ｇ含有する、上記［１］乃至［４］のいずれか１項に記載の感光性組成物。
［６］前記式（１）で表される基が、パーフルオロアルキル基である、上記［１］乃至［５］のいずれか１項に記載の感光性組成物。
［７］前記重合体（Ａ）が、酸性基を有する側鎖をさらに有する、上記［１］乃至［６］のいずれか１項に記載の感光性組成物。
［８］エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｅ）をさらに含む上記［１］乃至［７］のいずれか一項に記載の感光性組成物。

［９］上記［１］乃至［８］のいずれか１項に記載の感光性組成物を硬化することにより形成されているとを特徴とする隔壁。

［１０］基板上に複数の画素が形成されているカラーフィルタであって、該複数の画素は、［９］に記載の隔壁で隔てられていることを特徴とするカラーフィルタ。

［１１］基板上に複数の画素が形成されている有機ＥＬ素子であって、該複数の画素は、上記［９］に記載の隔壁で隔てられていることを特徴とする有機ＥＬ素子。

本発明の感光性組成物によれば、撥液性が良好な上面を有する隔壁及びインクが濡れ拡がりやすい開口部を形成することが可能である。また、本発明によれば、該感光性組成物を硬化することにより形成されている隔壁並びに該隔壁を有するカラーフィルタ及び有機ＥＬ素子を提供することができる。

開口部内のインクの濡れ拡がり性の評価結果を示す写真である。

次に、本発明を実施するための形態を説明する。なお、本明細書において、特に説明のない場合、％は、質量％を表す。（メタ）アクリロイル基は、アクリロイル基とメタクリロイル基の両者を意味する総称として使用する。（メタ）アクリレートは、アクリレートとメタクリレートの両者を意味する総称として使用する。（メタ）アクリル酸は、アクリル酸とメタクリル酸の両者を意味する総称として使用する。（メタ）アクリルアミドは、アクリルアミドとメタクリルアミドの両者を意味する総称として使用する。（メタ）アリルは、アリルとメタリルの両者を意味する総称として使用する。一般式（１）で表される基を、基（１）ともいう。他の基も同様である。

本発明の感光性組成物は、一般式
−ＣＦＸＲ^ｆ （１）
（式中、Ｘは、水素原子、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であり、Ｒ^ｆは、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１〜２０のフルオロアルキル基又はフッ素原子である。）
で表される基、又は、一般式

（式中、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基であり、Ｒ^３は、水素原子又は炭素数が１〜１０の有機基であり、ｎは、１〜２００の整数である。）
で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）、黒色の着色剤（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）及び酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂（Ｄ）を含む。このとき、重合体（Ａ）の数平均分子量は、２×１０^４〜７×１０^４であり、２．２×１０^４〜６．５×１０^４が好ましく、２．５×１０^４〜６×１０^４がより好ましい。また、重合体（Ａ）の重量平均分子量は、５×１０^４〜２５×１０^４であり、５．５×１０^４〜２２×１０^４が好ましく、６×１０^４〜２０×１０^４がより好ましい。なお、数平均分子量及び重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により、ポリスチレンを標準物質として測定する。

重合体（Ａ）は、基（１）又は基（２）を有する側鎖を有するため、基板上に、本発明の感光性組成物を塗布することにより形成される塗膜を乾燥する際に、塗膜の表面近傍に移行しやすい。また、重合体（Ａ）は、エチレン性二重結合を有する側鎖を有するため、露光時に硬化が進行し、塗膜の表面近傍に固定化されやすい。その結果、露光後の塗膜を現像することにより形成される隔壁は、上面に撥液性を発現する。このため、インクジェット法を用いて、隔壁で囲まれた開口部にインクを塗布する際に、隣接する開口部間における混色の発生を抑制することができる。

重合体（Ａ）の数平均分子量が２×１０^４未満であると、開口部の親液性が不十分であり、インクジェット法を用いてインクを塗布したとき、インクが十分に濡れ拡がらない。数平均分子量が７×１０^４を超えると、アルカリ溶解性、現像性が不十分となる。また、重合体（Ａ）の重量平均分子量が５×１０^４未満であると、開口部の親液性が不十分であり、インクジェット法を用いてインクを塗布したときインクが十分に濡れ拡がらない。重量平均分子量が２５×１０^４を超えると、アルカリ溶解性、現像性が不十分となる。

重合体（Ａ）の数平均分子量又は重量平均分子量と、開口部の親液性との関係については定かではない。一般に、黒色の着色剤を含む感光性組成物は遮光性を有するため、露光時の硬化反応が十分に進行しない場合があるところ、固定化されなかった重合体（Ａ）は、ポストベーク時に、隔壁の側面へ移行したり、開口部へ流出したりすることがある。重合体（Ａ）の数平均分子量が２×１０^４以上であり、重量平均分子量が５×１０^４以上であると、上記現象が抑制されると考えられる。

重合体（Ａ）の分子量分布（重量平均分子量／数平均分子量）は、８以下であることが好ましく、４以下がより好ましい。この範囲であると、現像性が良好である。

重合体（Ａ）が基（１）を有する側鎖を有する場合、重合体（Ａ）中のフッ素原子の含有量は、５〜３５％であることが好ましく、１０〜３０％がより好ましく、１０〜２５％がとりわけ好ましい。フッ素原子の含有量が５％未満であると、隔壁の上面の撥液性が不十分となることがあり、３５％を超えると、隔壁と基板の密着性が低下することがある。

重合体（Ａ）が基（２）を有する側鎖を有する場合、重合体（Ａ）中のケイ素原子の含有量は、０．１〜２５％が好ましく、０．５〜１０％がより好ましく、０．５〜５％がとりわけ好ましい。ケイ素原子の含有量が０．１％未満であると、隔壁の上面の撥液性が不十分となることがあり、２５％を超えると、隔壁と基板の密着性が低下することがある。

重合体（Ａ）中のエチレン性二重結合の含有量は、１．０〜５．０ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましく、２．５〜４．５ｍｍｏｌ／ｇがより好ましい。１．０〜５．０ｍｍｏｌ／ｇであると、重合体（Ａ）の隔壁への固定化及び現像性が良好となる。

なお、重合体（Ａ）は、基（１）を有する側鎖として、二種以上の側鎖を有してもよく、基（２）を有する側鎖として、二種以上の側鎖を有してもよく、二種以上のエチレン性二重結合を有する側鎖を有してもよい。この場合、重合体（Ａ）が基（１）を有する側鎖と、基（２）を有する側鎖とを有する場合も含む。また、本発明の感光性組成物は、基（１）を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）と、基（２）を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）の両方を含んでいてもよい。

基（１）を有する側鎖又は基（２）を有する側鎖は、重合反応によって直接形成しても、重合反応後の化学変換によって形成してもよい。

基（１）において、Ｒ^ｆがエーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１〜２０のフルオロアルキル基である場合、Ｒ^ｆは、フッ素原子を除くハロゲン原子を有していてもよく、ハロゲン原子としては塩素原子が好ましい。また、フルオロアルキル基の構造としては、特に限定されず、直鎖構造、分岐構造、環構造、部分的に環を有する構造等が挙げられるが、直鎖構造が好ましい。さらに、Ｒ^ｆがエーテル性酸素原子を有するフルオロアルキル基である場合、エーテル性酸素原子は、フルオロアルキル基の炭素−炭素結合間に存在してもよいし、フルオロアルキル基の末端に存在していてもよい。

エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１以上２０以下のフルオロアルキル基としては、特に限定されないが、−ＣＦ_３、−ＣＦ_２ＣＦ_３、−ＣＦ_２ＣＨＦ_２、−（ＣＦ_２）_２ＣＦ_３、−（ＣＦ_２）_３ＣＦ_３、−（ＣＦ_２）_４ＣＦ_３、−（ＣＦ_２）_５ＣＦ_３、−（ＣＦ_２）_６ＣＦ_３、−（ＣＦ_２）_７ＣＦ_３、−（ＣＦ_２）_８ＣＦ_３、−（ＣＦ_２）_９ＣＦ_３、−（ＣＦ_２）_１１ＣＦ_３、−（ＣＦ_２）_１５ＣＦ_３、−ＣＦ（ＣＦ_３）Ｏ（ＣＦ_２）_５ＣＦ_３、−ＣＦ_２Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｐＣＦ_３（ｐは、１〜８の整数である。）、−ＣＦ（ＣＦ_３）Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）Ｏ）_ｑＣ_６Ｆ_１３（ｑは、１〜４の整数である。）、−ＣＦ（ＣＦ_３）Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）Ｏ）_ｒＣ_３Ｆ_７（ｒは、１〜５の整数である。）等が挙げられる。

基（１）としては、パーフルオロアルキル基又は水素原子を１個有するポリフルオロアルキル基が好ましく、パーフルオロアルキル基が特に好ましい。なお、パーフルオロアルキル基及びポリフルオロアルキル基は、エーテル性酸素原子を有するものを含む。これにより、本発明の感光性組成物を用いて形成される隔壁は、上面の撥液性が良好となる。

また、基（１）は、炭素数が４〜６であることが好ましい。これにより、重合体（Ａ）と、感光性組成物を構成する他の成分との相溶性を向上させることができるため、感光性組成物を塗布することにより形成される塗膜中における重合体（Ａ）の凝集を抑制することができ、その結果、外観が良好な隔壁を形成することができる。

基（２）において、Ｒ^１及びＲ^２は、構成単位毎に同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、感光性組成物を用いて形成される隔壁の撥液性を考慮すると、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はフェニル基であることが好ましく、全シロキサン単位のＲ^１及びＲ^２がメチル基であることが特に好ましい。また、Ｒ^３が有機基である場合、窒素原子、酸素原子等を有していてもよく、Ｒ^３は、水素原子又は炭素数が１〜５のアルキル基であることが好ましい。さらに、ｎは、２〜１００の整数であることが好ましい。

エチレン性二重結合としては、特に限定されないが、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基等の付加重合性基が挙げられる。

重合体（Ａ）は、酸性基を有する側鎖をさらに有することが好ましい。これにより、露光時に硬化されなかった重合体（Ａ）が現像時に、隔壁上面から除去されやすくなる。したがって、硬化されなかった重合体（Ａ）がポストベーク時に開口部へ流出することを抑制することができ、開口部の親液性を向上させることができる。なお、重合体（Ａ）は、二種以上の酸性基を有する側鎖を有してもよい。

酸性基としては、特に限定されないが、カルボキシ基、フェノール性水酸基、スルホン酸基等が挙げられる。

重合体（Ａ）は、酸価が１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、１０〜５０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。この範囲であると、露光時に固定化されなかった重合体（Ａ）が現像時に隔壁上面から除去されやすくなる。なお、酸価は、試料１ｇを中和するのに必要な水酸化カリウムの質量［ｍｇ］であり、本明細書においては、単位をｍｇＫＯＨ／ｇと記載する。

酸性基を有する側鎖は、重合反応によって直接形成しても、重合反応後の化学変換によって形成してもよい。

本発明において、重合体（Ａ）は、基（１）を有する単量体又は基（２）を有する単量体と、反応性基を有する単量体、必要に応じて、酸性基を有する単量体及び／又はその他の単量体を共重合することにより得られる共重合体と、反応性基に対して結合し得る官能基とエチレン性二重結合とを有する化合物とを反応させることにより合成することができる。

基（１）を有する単量体は、一般式
ＣＨ_２＝ＣＲ^４−ＣＯＯ−Ｙ−ＣＦＸＲ^ｆ （３）
（式中、Ｒ^４は、水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１〜２０のフルオロアルキル基、シアノ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数７〜２０のアリール基で置換されたアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、又は炭素数３〜２０のシクロアルキル基、である。Ｙは、単結合又は炭素数が１〜６のフッ素原子を有さない２価の有機基である。Ｘは、水素原子、フッ素原子又はトリフルオロメチル基である。Ｒ^ｆは、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１〜２０のフルオロアルキル基、又はフッ素原子である。）
で表される化合物であることが好ましく、二種以上併用してもよい。なお、−ＣＦＸＲ^ｆの好ましい態様は、上記基（１）に関して説明したのと同様である。また、Ｙとしては、−Ｒ^５−、−Ｒ^５−ＮＲ^６−ＳＯ_２−、−Ｒ^５−ＮＲ^６−ＣＯ−、−ＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）−Ｒ^７−（Ｒ^５は、炭素数が１〜６のアルキレン基であり、Ｒ^６は、水素原子又はメチル基であり、Ｒ^７は、単結合又は炭素数が１〜４のアルキレン基である。）等が挙げられるが、入手の容易さから、炭素数が２〜４のアルキレン基が好ましい。
Ｒ^４としては、水素原子、フッ素原子、塩素原子、メチル基、トリフルオロメチル基、フェニル基、ベンジル基等が挙げられ、水素原子、フッ素原子、塩素原子、メチル基、又はトリフルオロメチル基が好ましい。

Ｒ^５としては、−ＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ（ＣＨ_３）−、−ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−Ｃ（ＣＨ_３）_２−、−ＣＨ（ＣＨ_２ＣＨ_３）−、−ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_３）−、−ＣＨ_２（ＣＨ_２）_３ＣＨ_２−、−ＣＨ（ＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）_２）−等が挙げられる。

Ｒ^７としては、−ＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ（ＣＨ_３）−、−ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−Ｃ（ＣＨ_３）_２−、−ＣＨ（ＣＨ_２ＣＨ_３）−、−ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_３）−等が挙げられる。

一般式（３）で表される化合物としては、２−（パーフルオロヘキシル）エチル（メタ）アクリレート、２−（パーフルオロブチル）エチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

基（２）を有する単量体は、一般式

（式中、Ｒ^８は、水素原子又はメチル基であり、Ｚは、単結合又は炭素数が１〜６の２価の有機基であり、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基であり、Ｒ^３は、水素原子又は炭素数が１〜１０の有機基であり、ｎは、１〜２００の整数である。）
で表される化合物であることが好ましく、二種以上併用してもよい。なお、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３及びｎの好ましい態様は、上記基（２）に関して説明したのと同様である。また、Ｚは、炭素数が１〜６の２価の炭化水素基であることが好ましく、−ＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ（ＣＨ_３）−、−ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−Ｃ（ＣＨ_３）_２−、−ＣＨ（ＣＨ_２ＣＨ_３）−、−ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_３）−、−ＣＨ_２（ＣＨ_２）_３ＣＨ_２−、−ＣＨ（ＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）_２）−等が挙げられる。

反応性基を有する単量体としては、特に限定されないが、水酸基を有する単量体、エチレン性二重結合を有する酸無水物、カルボキシ基を有する単量体、エポキシ基を有する単量体等が挙げられ、二種以上併用してもよい。なお、反応性基を有する単量体は、基（１）又は基（２）を実質的に有さないことが好ましい。

水酸基を有する単量体としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、シクロヘキサンジオールモノビニルエーテル、２−ヒドロキシエチルアリルエーテル、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ビス（ヒドロキシメチル）（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。

さらに、水酸基を有する単量体は、末端が水酸基であるポリオキシアルキレン基を有してもよく、ＣＨ_２＝ＣＨＯＣＨ_２Ｃ_６Ｈ_１０ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｋＨ、ＣＨ_２＝ＣＨＯＣ_４Ｈ_８Ｏ（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｋＨ、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯＯＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｋＨ、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯＯＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｋＨ、ＣＨ_２＝ＣＨＣＯＯＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｍ（Ｃ_３Ｈ_６Ｏ）_ｊＨ、ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯＯＣ_２Ｈ_４Ｏ（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｍ（Ｃ_３Ｈ_６Ｏ）_ｊＨ（ｋは、１〜１００の整数であり、ｍは、０〜１００の整数であり、ｊは、１〜１００の整数であり、ｍ＋ｊは、１〜１００である。）等が挙げられる。なお、上記Ｃ_６Ｈ_１０は、シクロヘキシレン基であり、Ｃ_４Ｈ_８は、ｎ−ブチレン基であり、Ｃ_３Ｈ_６は、２―プロピレン基である。

エチレン性二重結合を有する酸無水物としては、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ｃｉｓ−１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、２−ブテン−１−イルサクシニックアンハイドライド等が挙げられる。

カルボキシ基を有する単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸及びこれらの塩等が挙げられる。

エポキシ基を有する単量体としては、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート等が挙げられる。

酸性基を有する単量体としては、カルボキシ基を有する単量体、フェノール性水酸基を有する単量体、スルホン酸基を有する単量体等が挙げられ、二種以上併用してもよい。なお、酸性基を有する単量体として、カルボキシ基を有する単量体を用い、反応性基を有する単量体としてもカルボキシ基を有する単量体を用いるときは、最終的にエチレン性二重結合が導入されず、カルボキシ基として残るものを単量体とみなすこととする。

フェノール性水酸基を有する単量体としては、ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレン及びこれらのベンゼン環の１個以上の水素原子が、メチル基、エチル基、ｎ−ブチル基等のアルキル基、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−ブトキシ基等のアルコキシ基、ハロゲン原子、１個以上のハロゲン原子を有するハロアルキル基、ニトロ基、シアノ基、アミド基に置換された化合物等が挙げられる。

スルホン酸基を有する単量体としては、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、（メタ）アリルスルホン酸、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アリルオキシプロパンスルホン酸、（メタ）アクリル酸２−スルホエチル、（メタ）アクリル酸２−スルホプロピル、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイルオキシプロパンスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸等が挙げられる。

その他の単量体としては、炭化水素系オレフィン類、ビニルエーテル類、イソプロペニルエーテル類、アリルエーテル類、ビニルエステル類、アリルエステル類、（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリルアミド類、芳香族ビニル化合物、クロロオレフィン類、共役ジエン類等が挙げられ、隔壁の耐熱性を考慮すると、（メタ）アクリル酸エステル類、又は（メタ）アクリルアミド類が好ましい。なお、これらの化合物は、カルボニル基、アルコキシ基等の官能基を有していてもよい。

共重合させる単量体の総質量に対する基（１）を有する単量体又は基（２）を有する単量体の質量の割合は、２０〜８０％であることが好ましく、３０〜６０％がより好ましい。この割合が低すぎると、本発明の感光性組成物を用いて形成される隔壁の上面近傍に重合体（Ａ）が移行しにくくなって、隔壁の上面の撥液性が不十分となることがある。この割合が高すぎると、隔壁と基板の密着性が低下することがある。

共重合させる単量体の総質量に対する反応性基を有する単量体の質量の割合は、２０〜７０％であることが好ましく、３０〜５０％がより好ましい。この範囲であると、重合体（Ａ）の隔壁への固定化及び現像性が良好となる。

共重合させる単量体の総質量に対する酸性基を有する単量体の質量の割合は、２〜２０％であることが好ましく、４〜１２％がより好ましい。この範囲であると露光時に硬化されなかった重合体（Ａ）が現像時に隔壁から洗い流されやすい。

共重合させる単量体の総質量に対するその他の単量体の質量の割合は、７０％以下であることが好ましく、５０％以下がより好ましい。この質量の比が７０％を超えると、アルカリ現像性が低下することがある。

基（１）又は基（２）を有する側鎖と反応性基を有する側鎖、必要に応じて、酸性基を有する側鎖を有する共重合体は、基（１）を有する単量体又は基（２）を有する単量体と、反応性基を有する単量体、必要に応じて、酸性基を有する単量体及び／又はその他の単量体を溶媒に溶解させて加熱し、重合開始剤を加えて共重合させることにより合成することができる。なお、共重合させる際には、必要に応じて、連鎖移動剤を添加することが好ましい。また、単量体、重合開始剤、溶媒及び連鎖移動剤を連続して添加してもよい。

重合開始剤、溶媒及び連鎖移動剤としては、国際公開第２００７／６９７０３号パンフレットの［００５３］〜［００５６］に記載されたものを用いることができる。

反応性基に対する、当該反応性基と結合し得る官能基とエチレン性二重結合とを有する化合物とエチレン性二重結合とを有する化合物との組み合わせとして、例えば以下の組み合わせが挙げられる。
（１）水酸基に対し、エチレン性二重結合を有する酸無水物、
（２）水酸基に対し、イソシアネート基とエチレン性二重結合を有する化合物、
（３）水酸基に対し、塩化アシル基とエチレン性二重結合を有する化合物、
（４）酸無水物に対し、水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物、
（５）カルボキシ基に対し、エポキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物、
（６）エポキシ基に対し、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物。

イソシアネート基とエチレン性二重結合を有する化合物としては、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、１，１−ビス（（メタ）アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート等が挙げられる。中でも、エチレン性二重結合を２個以上有する側鎖を有する重合体（Ａ）は、隔壁の上面近傍に固定化されやすく、隔壁の上面の撥液性を向上させることができるため、１，１−ビス（（メタ）アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネートが好ましい。塩化アシル基とエチレン性二重結合を有する化合物としては、（メタ）アクリロイルクロライド等が挙げられる。エチレン性二重結合を有する酸無水物としては、前述の反応性基を有する単量体で例示したものを用いることができる。水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物としては、前述の水酸基を有する単量体で例示したものを用いることができる。エポキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物としては、前述のエポキシ基を有する単量体で例示したものを用いることができる。カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物としては、前述のカルボキシ基を有する単量体で例示したものを用いることができる。

なお、基（１）又は基（２）を有する側鎖と反応性基を有する側鎖、必要に応じて、酸性基を有する側鎖を有する共重合体と、反応性基に対して結合し得る官能基とエチレン性二重結合とを有する化合物を反応させる際には、上記共重合体の反応性基に対する上記化合物の官能基の当量比が０．５〜２．０であることが好ましく、０．８〜１．５がより好ましい。この当量比が０．５未満であると、隔壁の上面近傍に重合体（Ａ）が固定化されにくくなって、隔壁で囲まれた開口部の親液性が不十分となることがあり、２．０を超えると、未反応の化合物が多くなり、隔壁の外観が低下することがある。

重合体（Ａ）は、基（１）又は基（２）を有する側鎖と反応性基を有する側鎖、必要に応じて、酸性基を有する側鎖を有する共重合体と、反応性基に対して結合し得る官能基とエチレン性二重結合とを有する化合物を溶媒に溶解させて反応させることにより合成することができる。

なお、前記のように重合体（Ａ）における酸性基を有する側鎖は、重合反応後の化学変換によっても形成できる。たとえば、基（１）又は基（２）を有する側鎖と反応性基を有する側鎖を有する共重合体と、反応性基に対して結合し得る官能基とエチレン性二重結合とを有する化合物を反応させた後に、酸性基を形成してもよい。具体的には、前記（６）の組み合わせを採用した場合、エポキシ基とカルボキシ基との反応で生じたヒドロキシル基と、多塩基酸無水物（無水マレイン酸等）とを反応させ、重合体（Ａ）中にカルボキシル基を導入してもよい。

本発明の感光性組成物の全固形分中の重合体（Ａ）の含有量は、０．０１〜３０％であることが好ましく、０．０５〜２０％がより好ましい。この含有量が少なすぎると、本発明の感光性組成物を用いて形成される隔壁の上面の撥液性が不十分となることがあり、含有量が多すぎると、隔壁と基板の密着性が低下することがある。

黒色の着色剤（Ｂ）としては、特に限定されないが、カーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料、チタンブラック等の金属酸化物、銀スズ合金等の金属粒子、ペリレン系黒色顔料等が挙げられ、具体的には、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、６、７、１２、２０、３１等が挙げられる。また、黒色の着色剤（Ｂ）は、赤色顔料、青色顔料、緑色顔料等の有機顔料や無機顔料の混合物であってもよい。中でも、遮光性の大きさを考慮すると、カーボンブラックが好ましい。なお、カーボンブラックは、樹脂等で表面処理されていてもよい。また、黒色の着色剤（Ｂ）の色調を調整するために、カーボンブラックを、青色顔料や紫色顔料と併用することができる。

また、カーボンブラックは、ＢＥＴ法による比表面積が５０〜２００ｍ^２／ｇであることが好ましい。この比表面積が小さすぎると、隔壁の形状の劣化を引き起こすことがあり、比表面積が大きすぎると、分散助剤がカーボンブラックに過度に吸着してしまい、多量の分散助剤を添加する必要が生じることがある。

さらに、感光性組成物の露光感度を考慮すると、カーボンブラックは、フタル酸ジブチルの吸油量が１２０ｃｃ／１００ｇ以下であることが好ましく、少ないものほどより好ましい。

また、カーボンブラックは、平均一次粒子径が２０〜５０ｎｍであることが好ましい。この平均一次粒子径が小さすぎると、高濃度で分散させることが困難になって、経時安定性が良好な感光性組成物が得られにくくなることがあり、平均一次粒子径が大きすぎると、隔壁の形状の劣化を引き起こすことがある。また、カーボンブラックは、平均二次粒子径が８０〜２００ｎｍであることが好ましい。なお、カーボンブラックの粒子径は、透過型電子顕微鏡を用いて測定することができる。

本発明の感光性組成物の全固形分中の黒色の着色剤（Ｂ）の含有量は、１５〜６０％であることが好ましく、２０〜５０％がより好ましく、２５〜４０％が特に好ましい。この含有量が少なすぎると、隔壁の光学濃度が不足することがあり、含有量が多すぎると、感光性組成物の硬化性が低下し、隔壁の外観が低下し、撥液性が低下することがある。

本発明の感光性組成物は、黒色の着色剤（Ｂ）の分散性を向上させるために、高分子分散剤を含有することが好ましい。高分子分散剤としては、特に限定されず、ウレタン系、ポリイミド系、アルキッド系、エポキシ系、ポリエステル系、メラミン系、フェノール系、アクリル系、ポリエーテル系、塩化ビニル系、塩化ビニル酢酸ビニル系共重合体系、ポリアミド系、ポリカーボネート系等が挙げられるが、ウレタン系、又はポリエステル系が好ましい。また、高分子分散剤は、エチレンオキサイド及び／又はプロピレンオキサイド由来の構成単位を有していてもよい。

高分子分散剤は、黒色の着色剤（Ｂ）に対する親和性を考慮すると、塩基性基を有することが好ましい。塩基性基としては、特に限定されないが、１級、２級又は３級のアミノ基が挙げられる。

高分子分散剤の市販品としては、ディスパロンＤＡ−７３０１（楠本化成社製）、ＢＹＫ１６１、ＢＹＫ１６２、ＢＹＫ１６３、ＢＹＫ１８２（以上、ＢＹＫ−Ｃｈｅｍｉｅ社製）、ソルスパーズ５０００、ソルスパーズ１７０００（以上、ゼネカ社製）等が挙げられる。

高分子分散剤の添加量は、黒色の着色剤（Ｂ）に対して、５〜３０％であることが好ましく、１０〜２５％がより好ましい。この添加量が少なすぎると、分散性を向上させる効果が不十分となることがあり、添加量が多すぎると、現像性が低下することがある。

また、本発明の感光性組成物は、分散助剤として、フタロシアニン系顔料誘導体や金属フタロシアニンスルホンアミド化合物を含有してもよい。分散助剤は、黒色の着色剤（Ｂ）と高分子分散剤に吸着して、分散安定性を向上させる機能を有すると考えられる。

光重合開始剤（Ｃ）としては、特に限定されないが、ベンジル、ジアセチル、メチルフェニルグリオキシレート、９，１０−フェナンスレンキノン等のα−ジケトン類；ベンゾイン等のアシロイン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類；チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、チオキサントン−４−スルホン酸等のチオキサントン類；ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；アセトフェノン、２−（４−トルエンスルホニルオキシ）−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、２，２'−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキシアセトフェノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のアセトフェノン類；アントラキノン、２−エチルアントラキノン、カンファーキノン、１，４−ナフトキノン等のキノン類；２−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸（ｎ−ブトキシ）エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル等のアミノ安息香酸類；フェナシルクロライド、トリハロメチルフェニルスルホン等のハロゲン化合物；アシルホスフィンオキシド類；ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等の過酸化物；１，２−オクタンジオン、
１−［４−（フェニルチオ）−，２−（O−ベンゾイルオキシム）］、エタノン １−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾイル−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）等のオキシムエステル類等が挙げられ、二種以上併用してもよい。中でも、一般式

（式中、Ｒ^１は、水素原子、炭素数が１〜１２のアルキル基、炭素数が３〜８のシクロアルキル基、炭素数が２〜５のアルケニル基、アルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が６〜２０のフェニル基又はアルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が６〜２０のフェノキシ基であり、Ｒ^２は、水素原子、炭素数が１〜２０のアルキル基、炭素数が３〜８のシクロアルキル基、アルキル基で置換若しくは置換の炭素数が６〜２０のフェニル基、炭素数が２〜２０のアルカノイル基、アルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が７〜２０のベンゾイル基、炭素数が２〜１２のアルコキシカルボニル基又はアルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が７〜２０のフェノキシカルボニル基であり、Ｒ^３は、炭素数が１〜１２のアルキル基であり、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数が１〜１２のアルキル基、アルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が３〜８のシクロヘキシル基、アルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が６〜２０のフェニル基、炭素数が２〜２０のアルカノイル基、アルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が７〜２０のベンゾイル基、アルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が７〜２０のベンジルカルボニル基、炭素数が２〜１２のアルコキシカルボニル基、アルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が７〜２０のフェノキシカルボニル基、炭素数が１〜２０のアミド基又はニトロ基である。）
で表される化合物が好ましい。

一般式（５）で表される化合物において、Ｒ^１としては、炭素数が１〜１０のアルキル基又はアルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が６〜１２のフェニル基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、フェニル基等が挙げられる。中でも、炭素数が１〜４のアルキル基が好ましく、炭素数が１、又は２のアルキル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。

一般式（５）で表される化合物において、Ｒ^２としては、炭素数が１〜１０のアルキル基又は炭素数が２〜５のアルコキシカルボニル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基等が挙げられる。中でも、炭素数が１〜６のアルキル基が好ましく、炭素数が１〜３のアルキル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。

一般式（５）で表される化合物において、Ｒ^３としては、炭素数が１〜８のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。中でも、炭素数が２〜６のアルキル基が好ましく、エチル基が特に好ましい。

一般式（５）で表される化合物において、Ｒ^４、Ｒ^６及びＲ^７としては、水素原子が好ましい。

一般式（５）で表される化合物において、Ｒ^５としては、アルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が７〜２０のベンゾイル基又はアルキル基で置換若しくは無置換の炭素数が７〜２０のベンジルカルボニル基が好ましく、２−メチルベンゾイル基、ベンジルカルボニル基、又は１，３，５−トリメチルベンジルカルボニル基が特に好ましい。

一般式（５）で表される化合物（Ｏ−アシルオキシム系化合物）としては、特に限定されないが、一般式（５）において、Ｒ^１がフェニル基、Ｒ^２がオクチル基、Ｒ^３がエチル基、Ｒ^４、Ｒ^６及びＲ^７が水素原子、Ｒ^５がベンゾイル基である化合物；Ｒ^１がメチル基、Ｒ^２がブチル基、ヘプチル基又はオクチル基、Ｒ^３がエチル基、Ｒ^４、Ｒ^６及びＲ^７が水素原子、Ｒ^５がベンゾイル基である化合物；Ｒ^１がフェニル基、Ｒ^２がオクチル基、Ｒ^３がエチル基、Ｒ^４、Ｒ^６及びＲ^７が水素原子、Ｒ^５が２−メチルベンゾイル基である化合物；Ｒ^１がメチル基、Ｒ^２がメチル基又はオクチル基、Ｒ^３がエチル基、Ｒ^４、Ｒ^６及びＲ^７が水素原子、Ｒ^５が２−メチルベンゾイル基である化合物；Ｒ^１及びＲ^２がメチル基、Ｒ^３がエチル基、Ｒ^４、Ｒ^６及びＲ^７が水素原子、Ｒ^５が２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル基、２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル基又は２−メチル−５−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル基である化合物等が挙げられる。

本発明の感光性組成物の全固形分中の光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、１〜１０％であることが好ましく、２〜５％がより好ましい。１〜１０％であると、硬化性が良好で、露光、現像によってマスクパターンに近いパターンや線幅を形成することができる。

なお、光重合開始剤（Ｃ）と共に、２−メルカプトベンズイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、１，４−ブタノールビス（３−メルカプトブチレート）、トリス（２−メルカプトプロパノイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）等のチオール化合物を用いると、増感効果を発現することがある。

感光性樹脂（Ｄ）は、１分子内に酸性基及びエチレン性二重結合を有するため、アルカリ現像液を用いて、硬化されていない感光性組成物の未露光部を選択的に除去することができ、その結果、隔壁を形成することができる。なお、感光性樹脂（Ｄ）は、重合体（Ａ）以外の化合物であり、基（１）又は基（２）を実質的に有さないことが好ましい。

酸性基としては、特に限定されないが、カルボキシ基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられ、二種以上併用してもよい。

エチレン性二重結合としては、特に限定されないが、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基等の付加重合性基が有する二重結合が挙げられ、二種以上併用してもよい。なお、これらの付加重合性基が有する水素原子の一部又は全てが、炭化水素基、好ましくはメチル基で置換されていてもよい。

感光性樹脂（Ｄ）としては、特に限定されないが、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する樹脂（Ｄ−１）、エポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂（Ｄ−２）等が挙げられ、二種以上併用してもよい。

樹脂（Ｄ−１）は、基（１）を有する単量体又は基（２）を有する単量体を使用しない以外は、重合体（Ａ）と同様にして、合成することができる。なお、リン酸基を有する単量体としては、特に限定されないが、２−（メタ）アクリロイルオキシエタンリン酸等が挙げられる。

樹脂（Ｄ−２）は、エポキシ樹脂と、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させた後に、多塩基性カルボン酸又はその無水物とを反応させることにより合成することができる。具体的には、エポキシ樹脂と、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させることにより、エポキシ樹脂にエチレン性二重結合が導入される。次に、エチレン性二重結合が導入されたエポキシ樹脂に多塩基性カルボン酸又はその無水物を反応させることにより、カルボキシ基を導入することができる。

エポキシ樹脂としては、特に限定されないが、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、一般式

（式中、ｓは、１〜５０であり、２〜１０が好ましい。）
で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂、一般式

（式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３及びＲ^４は、それぞれ独立に、水素原子、塩素原子又は炭素数が１〜５のアルキル基であり、ｔは、０〜１０である。）
で表されるエポキシ樹脂等が挙げられる。

なお、一般式（７）で表されるエポキシ樹脂と、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させた後に、多塩基性カルボン酸無水物を反応させる場合、多塩基性カルボン酸無水物として、ジカルボン酸無水物及びテトラカルボン酸二無水物の混合物を用いることが好ましい。このとき、ジカルボン酸無水物とテトラカルボン酸二無水物の比率を変化させることにより、分子量を制御することができる。

エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂（Ｄ−２）の市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ ＰＣＲ−１０６９、Ｋ−４８Ｃ、ＣＣＲ−１１０５、ＣＣＲ−１１１５、ＣＣＲ−１１６３Ｈ、ＣＣＲ−１１６６Ｈ、ＣＣＲ−１１５９Ｈ、ＴＣＲ−１０２５、ＴＣＲ−１０６４Ｈ、ＴＣＲ−１２８６Ｈ、ＺＡＲ−１５３５Ｈ、ＺＦＲ−１１２２Ｈ、ＺＦＲ−１１２４Ｈ、ＺＦＲ−１１８５Ｈ、ＺＦＲ−１４９２Ｈ、ＺＣＲ−１５７１Ｈ、ＺＣＲ−１５６９Ｈ、ＺＣＲ−１５８０Ｈ、ＺＣＲ−１５８１Ｈ、ＺＣＲ−１５８８Ｈ、ＺＣＲ−１６２９Ｈ（以上、日本化薬社製）等が挙げられる。

感光性樹脂（Ｄ）は、重量平均分子量が１．５×１０^３〜２０×１０^３であることが好ましく、２．０×１０^３〜１５×１０^３がより好ましい。この重量平均分子量が１．５×１０^３未満であると、露光時の硬化が不十分となることがあり、２０×１０^３を超えると、現像性が低下することがある。

感光性樹脂（Ｄ）が有するエチレン性二重結合の数は、平均して１分子内に３個以上であることが好ましく、６個以上がより好ましい。このエチレン性二重結合の数が３個以上であると、露光部分と未露光部分とのアルカリ溶解度に差がつきやすく、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。

感光性樹脂（Ｄ）は、酸価が１０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、３０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。１０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであると、感光性組成物の現像性が良好である。

本発明の感光性組成物の全固形分中の感光性樹脂（Ｄ）の含有量は、５〜８０％であることが好ましく、１０〜６０％がより好ましい。５〜８０％であると、感光性組成物の現像性が良好である。

本発明の感光性組成物は、エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｅ）を含むことが好ましい。これにより、感光性組成物の硬化性が向上し、隔壁を形成する際の露光量を低減することができる。なお、架橋剤（Ｅ）は、酸性基を実質的に有さないことが好ましい。

架橋剤（Ｅ）としては、特に限定されないが、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ウレタンアクリレート等が挙げられ、二種以上併用してもよい。

本発明の感光性組成物の全固形分中の架橋剤（Ｅ）の含有量は、５〜５０％であることが好ましく、１０〜３０％がより好ましい。５〜５０％であると、感光性組成物の現像性が良好となる。

本発明の感光性組成物は、必要に応じて、微粒子を含んでいてもよい。これにより、ポストベーク時に隔壁の形状が変化することを抑制することができる。

微粒子としては、特に限定されず、シリカ、ジルコニア、フッ化マグネシウム、ＩＴＯ、ＡＴＯ等の無機系微粒子；ポリエチレン、ＰＭＭＡ等の有機系微粒子が挙げられるが、耐熱性を考慮すると、無機系微粒子が好ましく、入手の容易性や分散安定性を考慮すると、シリカ、又はジルコニアが好ましい。また、黒色の着色剤（Ｂ）の分散性を向上させるために用いられる高分子分散剤の吸着能を考慮すると、微粒子は、負に帯電していることが好ましい。さらに、感光性組成物の露光感度を考慮すると、微粒子は、露光時に照射される光を吸収しないことが好ましく、超高圧水銀灯の主発光波長であるｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｇ線（４３６ｎｍ）を吸収しないことが特に好ましい。

微粒子は、隔壁の表面平滑性が良好となることから、平均粒子径が１μｍ以下であることが好ましく、２００ｎｍ以下がより好ましい。

本発明の感光性組成物の全固形分中の微粒子の含有量は、３〜２０％であることが好ましく、５〜１５％がより好ましい。この含有量が少なすぎると、ポストベーク時に隔壁の形状が変化することがあり、含有量が多すぎると、感光性組成物の分散安定性が低下することがある。

本発明の感光性組成物は、必要に応じて、シランカップリング剤を含んでいてもよい。
これにより、隔壁と基板との密着性を向上させることができる。

シランカップリング剤としては、特に限定されないが、テトラエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルエチルトリメトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、トリエトキシシリル基を有するポリオキシアルキレン、イミダゾールシラン等が挙げられ、二種以上併用してもよい。

本発明の感光性組成物は、必要に応じて、熱硬化剤を含んでいてもよい。これにより、隔壁の耐熱性、耐透水性を向上させることができる。

熱硬化剤としては、特に限定されないが、アミノ樹脂（ヘキサメトキシメチロールメラミンなどのメラミン化合物など）、エポキシ基を２個以上有する化合物、ヒドラジノ基を２個以上有する化合物、ポリカルボジイミド化合物、オキサゾリン基を２個以上有する化合物、アジリジン基を２個以上有する化合物、多価金属類、メルカプト基を２個以上有する化合物、ポリイソシアネート化合物等が挙げられ、二種以上併用してもよい。中でも、隔壁の耐薬品性を考慮すると、アミノ樹脂、エポキシ基を２個以上有する化合物又はオキサゾリン基を２個以上有する化合物が好ましい。

本発明の感光性組成物を用いて隔壁を形成する際には、感光性組成物を溶媒で希釈した希釈液を用いて塗膜（湿潤膜）を形成した後に、溶媒を揮発除去し、感光性組成物の塗膜を形成することが好ましい。

感光性組成物を希釈する溶媒としては、特に限定されないが、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類；アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール等のセルソルブ類；２−（２−メトキシエトキシ）エタノール、２−（２−エトキシエトキシ）エタノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール等のカルビトール類；メチルアセテート、エチルアセテート、ｎ−ブチルアセテート、エチルラクテート、ｎ−ブチルラクテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチル、シクロヘキサノールアセテート、乳酸エチル、乳酸ｎ−ブチル、γ−ブチロラクトン、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、グリセリントリアセテート等のエステル類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等のエーテル類が挙げられ、二種以上併用してもよい。なお、希釈液は、固形分濃度が５〜４０％であることが好ましく、１０〜２５％がより好ましい。

本発明の感光性組成物は、必要に応じて、硬化促進剤、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、ハジキ防止剤、紫外線吸収剤等を含んでいてもよい。

本発明の隔壁は、本発明の感光性組成物を硬化することにより形成されており、カラーフィルタや有機ＥＬ素子のブラックマトリックスに適用することができる。

以下、本発明の隔壁を製造する方法の一例として、本発明の感光性組成物を用いて、フォトリソグラフィ工程により隔壁を製造する方法について説明する。

（塗布工程）
まず、本発明の感光性組成物の希釈液を基板に塗布する。基板としては、特に限定されず、各種ガラス板；ＳｉＣ基板、シリコン等の無機基板；ＩＴＯ等の無機酸化物基板；ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート等）、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルホン、ポリイミド、ポリ（メタ）アクリル樹脂等の熱可塑性樹脂シート；エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂の硬化シート等が挙げられるが、耐熱性を考慮すると、ガラス板、ポリイミド等の耐熱性樹脂が好ましい。また、基板の隔壁が形成されていない側の面からの露光が可能であることから、基板は、透明であることが好ましい。さらに、基板は、ガラス基板等の透明基板上に、有機膜又はＴＦＴ、ＩＴＯ、ＳｉＯ_２等の無機酸化物膜が形成された基板又はパターニングされた基板、シリコンナイトライドやポリイミドなどの絶縁膜を形成させた基板、これらの基板が積層されている積層基板であってもよい。

塗布方法としては、特に限定されないが、スピンコート法、スプレー法、スリットコート法、ロールコート法、回転塗布法、バー塗布法等が挙げられる。

（乾燥工程）
次に、基板に形成された塗膜を乾燥する。これにより、溶媒が揮発するため、粘着性の無い感光性組成物の塗膜が得られる。乾燥方法としては、特に限定されず、真空乾燥、加熱乾燥が挙げられるが、塗膜の外観のムラを発生させず、効率よく乾燥させるために、真空乾燥と加熱乾燥を併用することが好ましい。乾燥条件は、感光性組成物に含まれる成分の種類、組成等により異なるが、真空乾燥は、１０〜５００Ｐａ（絶対圧）で１０〜３００秒間であることが好ましく、加熱乾燥は、５０〜１２０℃で１０〜２０００秒間であることが好ましい。

（露光工程）
次に、所定パターンのマスクを介して、塗膜を露光する。露光時に照射される光としては、特に限定されず、可視光、紫外線、遠紫外線、ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ_２エキシマレーザー、Ｋｒ_２エキシマレーザー、ＫｒＡｒエキシマレーザー、Ａｒ_２エキシマレーザー等のエキシマレーザー、Ｘ線、電子線等が挙げられるが、波長が１００〜６００ｎｍの光が好ましく、波長が３００〜５００ｎｍの光がより好ましく、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｇ線（４３６ｎｍ）が特に好ましい。なお、光源としては、公知の超高圧水銀灯等を用いることができる。

露光量は、通常、ｉ線基準で５〜１０００ｍＪ／ｃｍ^２であり、１０〜４００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、２０〜２００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましく、５０〜１００ｍＪ／ｃｍ^２が特に好ましい。露光量が５０ｍＪ／ｃｍ^２未満であると、塗膜の硬化が不十分となって、現像性が低下することがあり、４００ｍＪ／ｃｍ^２を超えると、高い解像度が得られないことがある。

（現像工程）
次に、現像液を用いて、塗膜の未露光部を除去し、現像する。現像液としては、特に限定されないが、無機アルカリ類、アミン類、アルコールアミン類、第４級アンモニウム塩等のアルカリの水溶液が挙げられる。現像時間、即ち、現像液に接触させる時間は、５〜１８０秒間であることが好ましい。現像方法としては、特に限定されないが、液盛り法、ディッピング法、シャワー法等が挙げられる。

なお、現像後に、流水洗浄を行い、圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることにより、基板上の水分を除去することができる。

（ポスト露光工程）
次に、現像された隔壁に対してポスト露光を行ってもよい。このとき、隔壁が形成されている側の面及び隔壁が形成されていない側の面のいずれから露光してもよいし、両面から露光してもよい。露光時に照射される光は、紫外線であることが好ましい。

光源としては、公知の超高圧水銀灯、高圧水銀灯等を用いることができる。これらの光源は、隔壁の硬化に寄与する波長６００ｎｍ以下の光を発光し、隔壁の酸化分解の原因となる波長が２００ｎｍ以下の光の発光が少ない。さらに、光源に用いられている石英管ガラスが、波長が２００ｎｍ以下の光をカットする光学フィルターの機能を有することが好ましい。

露光量は、通常、５０ｍＪ／ｃｍ^２以上であり、２００ｍＪ／ｃｍ^２以上が好ましく、１０００ｍＪ／ｃｍ^２以上がより好ましく、２０００ｍＪ／ｃｍ^２以上が特に好ましい。

また、光源として、低圧水銀灯を用いてもよいが、低圧水銀灯は、波長が２００ｎｍ以下の光の発光が多いため、露光量は、５００ｍＪ／ｃｍ^２以下であることが好ましく、３００ｍＪ／ｃｍ^２以下がより好ましい。

（ポストベーク工程）
現像後（ポスト露光を行う際は、ポスト露光後）に、隔壁を加熱することが好ましい。加熱条件は、１５０〜２５０℃で５〜９０分間であることが好ましく、加熱温度は、１８０℃以上がより好ましい。加熱温度が低すぎると、耐薬品性が不十分となることがあり、隔壁にインクを塗布した場合に、隔壁が膨潤したり、インクが滲んだりすることがある。一方、加熱温度が高すぎると、隔壁が熱分解することがある。

加熱装置としては、ホットプレート、オーブン等を用いることができる。

以上のようなフォトリソグラフィ工程を経て、本発明の感光性組成物を硬化することにより、本発明の隔壁が形成される。本発明の隔壁は、黒色を呈するため、ブラックマトリックスを構成することができる。すなわち、隔壁を形成することにより、ブラックマトリックスが形成されることとなる。

本発明の隔壁は、幅（平均値）が１００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下がより好ましい。また、隣接する隔壁間の距離、即ち、開口部の幅（平均値）が３００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下がより好ましい。さらに、隔壁は、高さ（平均値）が０．０５〜５０μｍであることが好ましく、０．２〜１０μｍがより好ましい。

一般に、撥液性としては、撥水性及び撥油性が挙げられるが、それぞれ水及び１−メトキシ−２−アセトキシプロパンの接触角で評価することができる。本発明の隔壁の上面は、水の接触角が９０°以上であることが好ましく、９５°以上がより好ましい。また、隔壁の上面は、１−メトキシ−２−アセトキシプロパンの接触角が２０°以上であることが好ましく、２５°以上がより好ましい。

本発明のカラーフィルタは、基板上に複数の画素が形成されており、複数の画素は、本発明の隔壁で隔てられている。本発明のカラーフィルタは、前述のように、基板上に、隔壁（ブラックマトリックス）を形成した後、インクジェット法を用いて、ブラックマトリックスの開口部にインクを塗布して画素を形成することにより製造することができる。

インクジェット法としては、特に限定されないが、帯電したインクを連続的に噴射し磁場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱し、その発泡を利用して間欠的に噴射する方法等が挙げられる。

画素の配列としては、特に限定されないが、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列が挙げられる。

インクは、主に着色成分とバインダー樹脂成分と溶剤とを含み、水性インク及び油性インクのいずれであってもよい。着色成分としては、耐熱性、耐光性等に優れた顔料及び／又は染料が好ましい。バインダー樹脂成分としては、透明で耐熱性に優れた樹脂が好ましく、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。水性インクは、溶剤として、水、必要に応じて、水溶性有機溶媒を含み、バインダー樹脂成分として、水溶性樹脂及び／又は水分散性樹脂を含む。また、油性インクは、溶剤として、有機溶剤を含み、バインダー樹脂成分として、有機溶剤に可溶な樹脂を含む。

なお、インクジェット法を用いて、ブラックマトリックスの開口部にインクを塗布した後、必要に応じて、乾燥、加熱硬化、紫外線硬化等を行うことができる。

また、ブラックマトリックスの開口部に画素を形成した後、必要に応じて、保護膜を形成することができる。これにより、カラーフィルタの表面平滑性を向上させると共に、ブラックマトリックスや画素からの溶出物が保護膜に隣接する液晶層に到達するのを遮断することができる。

このとき、保護膜を形成する前に、ブラックマトリックスの上面の撥液性を除去することが好ましい。これにより、ブラックマトリックスの上面が保護膜用の塗布液をはじくことを抑制することができる。ブラックマトリックスの上面の撥液性を除去する方法としては、特に限定されないが、プラズマアッシング処理、光アッシング処理等が挙げられる。

さらに、本発明のカラーフィルタを用いて製造される液晶パネルを高品位化するために、必要に応じて、ブラックマトリックス上にフォトスペーサーを形成してもよい。

本発明の有機ＥＬ素子は、基板上に複数の画素が形成されており、複数の画素は、本発明の隔壁で隔てられている。本発明の有機ＥＬ素子は、以下のようにして、製造することができる。まず、スパッタ法等を用いて、ガラス基板等の透明基板にＩＴＯ等の透明電極を形成し、必要に応じて、透明電極を所望のパターンにエッチングする。次に、カラーフィルタの場合と同様にして、基板上に、隔壁（ブラックマトリックス）を形成した後、インクジェット法を用いて、ブラックマトリックスの開口部に、インクとして、正孔輸送材料の溶液及び発光材料の溶液を順次塗布、乾燥して、正孔輸送層及び発光層を形成する。さらに、蒸着法等を用いて、アルミニウム等の電極を形成して画素を形成することにより、有機ＥＬ素子が得られる。

以下に、実施例に基づいて、本発明について説明するが、本発明は、これらに限定されない。なお、部は、質量部を意味する。

以下の各例において用いた化合物の略号を以下に示す。

Ｘ−１７４ＤＸ：ジメチルシリコーン鎖含有メタクリレートＸ−２２−１７４ＤＸ（信越化学工業社製）
Ｘ−８２０１：ジメチルシリコーン鎖含有メタクリレートＸ−２４−８２０１（信越化学工業社製）
Ｃ６ＦＭＡ：ＣＨ_２＝Ｃ（ＣＨ_３）ＣＯＯＣＨ_２ＣＨ_２（ＣＦ_２）_６Ｆ
ＭＡＡ：メタクリル酸
２−ＨＥＭＡ：２−ヒドロキシエチルメタクリレート
ＩＢＭＡ：イソボルニルメタクリレート
Ｖ−７０：Ｖ−７０（和光純薬社製、２，２'−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル））
２−ＭＥ：２−メルカプトエタノール
ＡＯＩ：カレンズＡＯＩ（昭和電工社製、２−アクリロイルオキシエチルイソシアネート）
ＢＥＩ：カレンズＢＥＩ（昭和電工社製、１，１−ビス（アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート）
ＤＢＴＤＬ：ジブチル錫ジラウレート
ＢＨＴ：２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール
ＭＥＫ：２−ブタノン
ＯＸＥ０２：ＯＸＥ０２（チバスペシャルティケミカルズ社製、エタノン １−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾイル−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）（一般式（５）において、Ｒ^１及びＲ^２がメチル基、Ｒ^３がエチル基、Ｒ^４、Ｒ^６及びＲ^７が水素原子、Ｒ^５が２−メチルベンゾイル基である化合物）
ＥＸ１０１０：ＥＸ−１０１０（ナガセケムテックス社製、一般式（７）で表されるエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂の溶液；固形分７０％、重量平均分子量３０２０）
ＺＣＲ１５６９：ＺＣＲ−１５６９（日本化薬社製、一般式（６）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂の溶液；固形分７０％、重量平均分子量４７１０）
ＺＣＲ１６２９：ＺＣＲ−１６２９（日本化薬社製、一般式（６）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂の溶液；固形分７０％、重量平均分子量１４５００）
ＤＰＨＡ：ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ（日本化薬社製、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物）
Ａ９３００：ＮＫエステル Ａ−９３００（新中村化学工業社製、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート）
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート
ＣＢ：カーボンブラック分散液（平均二次粒径１２０ｎｍ、分散媒ＰＧＭＥＡ、カーボンブラック２０％、アミン価が１８ｍｇＫＯＨ／ｇのポリウレタン系高分子分散剤５％） シリカ：シリカ分散液（平均粒径２０ｎｍ、分散媒ＰＧＭＥＡ、固形分３０％、シリカは負に帯電している。）
［重合体（Ａ−１）の合成］
撹拌機を備えた内容積１Ｌのオートクレーブに、ＭＥＫ（４２０．０ｇ）、Ｘ−１７４ＤＸ（５．４ｇ）、ＭＡＡ（１８．０ｇ）、２−ＨＥＭＡ（９９．０ｇ）、ＩＢＭＡ（５７．６ｇ）及び重合開始剤Ｖ−７０（２．０ｇ）を仕込み、窒素雰囲気下で撹拌しながら、３０℃で２４時間重合させ、粗共重合体を合成した。得られた粗共重合体の溶液にヘプタンを加えて再沈精製した後、真空乾燥し、共重合体１（１４９．２ｇ）を得た。共重合体１は、数平均分子量が１７１００、重量平均分子量が５０５００であった。

温度計、撹拌機、加熱装置を備えた内容量３００ｍＬのガラス製フラスコに、共重合体１（４０．０ｇ）、ＢＥＩ（４２．０ｇ）、ＤＢＴＤＬ（０．１７ｇ）、ＢＨＴ（２．１ｇ）及びＭＥＫ（１１５．４ｇ）を仕込み、撹拌しながら、４０℃で４８時間反応させ、粗重合体を合成した。得られた粗重合体の溶液にヘプタンを加えて再沈精製した後、真空乾燥し、重合体（Ａ−１）（６６．０ｇ）を得た。重合体（Ａ−１）は、数平均分子量が４２３００、重量平均分子量が１１９９９０、Ｓｉ原子の含有量が０．５５％、エチレン性二重結合の含有量が４．１３×１０^−３ｍｏｌ／ｇ、酸価が３８．０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。

［重合体（Ａ−２）〜（Ａ−７）、（Ｒ−１）、（Ｒ−２）の合成］
重合体（Ａ−１）の合成において、原料の配合を表１のように変更した他は同様の反応により、共重合体２〜９の作製を経て、重合体（Ａ−２）〜（Ａ−５）、（Ｒ−１）、（Ｒ−２）を得た。得られた重合体の収量、数平均分子量（Ｍｎ）、重量平均分子量（Ｍｗ）、ケイ素原子（Ｓｉ）の含有量、フッ素原子（Ｆ）の含有量、エチレン性二重結合（Ｃ＝Ｃ）の含有量、酸価を表１に示す。

なお、数平均分子量及び重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により、ポリスチレンを標準物質として測定した。ゲルパーミエーションクロマトグラフィーとしては、ＨＰＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー社製）を使用した。カラムとしては、ｓｈｏｄｅｘ ＬＦ−６０４を３本接続したものを使用した。検出器としては、ＲＩ検出器を使用した。標準物質としては、ＥａｓｉＣａｌ ＰＳ１（Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ社製）を使用した。さらに、数平均分子量及び重量平均分子量を測定する際は、カラムを３７℃で保持し、溶離液としては、テトラヒドロフランを用い、流速を０．２ｍＬ／分とし、測定サンプルの０．５％テトラヒドロフラン溶液４０μＬを注入した。

重合体中のケイ素原子の含有量は、原料である単量体の配合割合から算出した理論値である。

重合体中のフッ素原子の含有量は、１，４−ジトリフルオロメチルベンゼンを標準物質として、^１９Ｆ ＮＭＲ測定により算出した。

重合体中のエチレン性二重結合の含有量は、１，４−ジトリフルオロメチルベンゼンを標準物質として、^１Ｈ ＮＭＲ測定により算出した。

酸価は、原料である単量体の配合割合から算出した理論値である。

［実施例１］
重合体（Ａ−１）（０．２２部）、黒色着色剤（Ｂ）の分散液としてのＣＢ（５８．９部）、光重合開始剤（Ｃ）としてのＯＸＥ０２（２．１部）、感光性樹脂（Ｄ）の分散液としてのＥＸ１０１０（１３．１部）、架橋剤（Ｅ）としてのＤＰＨＡ（３．９部）及び溶媒としてのＰＧＭＥＡ（２１．７部）を混合して、感光性組成物の希釈液を得た。感光性組成物の希釈液の全固形分中の重合体（Ａ−１）の含有量は、０．７４％であった。

スピンナーを用いて、ガラス基板上に感光性組成物の希釈液を塗布した後、ホットプレート上で、１００℃で２分間乾燥させ、膜厚が２．０μｍの感光性組成物の塗膜を形成した。次に、超高圧水銀灯を用いて、露光量がｉ線（３６５ｎｍ）基準で１００ｍＪ／ｃｍ^２の光を、マスクを通して、塗膜に照射し、露光した。なお、マスクは、光透過部が１００μｍ×２００μｍ、遮光部２０μｍの格子状パターンであり、形成される開口部の容積は４０ｐＬである。次に、無機アルカリタイプ現像液セミクリーンＤＬ−Ａ４（横浜油脂工業社製）の１０倍希釈水溶液にガラス基板を浸漬して現像し、未露光部を水により洗い流し、乾燥させた。次に、ホットプレート上で、２２０℃で３０分間、ガラス板を加熱することにより、隔壁が形成されたガラス基板（１）を得た。

また、マスクを用いずに露光した以外は、上記と同様にして、感光性組成物の塗膜の硬化物が形成されたガラス基板（２）を得た。

［実施例２〜８、比較例１、２］
各成分の配合を表２に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして、隔壁が形成されたガラス基板（１）、及び、感光性組成物の塗膜の硬化物が形成されたガラス基板（２）を得た。

［評価方法及び評価結果］
実施例１〜６及び比較例１、２のガラス基板（１）及び（２）を用いて、現像性、撥水撥油性、開口部内のインクの濡れ拡がり性を以下に示す方法で評価した。評価結果を表２に示す。

［現像性］
ガラス基板（１）において、隔壁が完全に現像できたものを○、現像されない部分があったものを×として、判定した。

［撥水性］
ガラス基板（２）の塗膜硬化物の表面の水の接触角を測定することにより、撥水性を評価した。接触角とは、固体と液体が接触する点における液体表面に対する接線と固体表面がなす角であり、液体を含む側の角度で定義する。このため、接触角が大きい程、塗膜硬化物の撥水性が優れることを意味する。

なお、水の接触角が９５°以上であるものを○、９０°未満であるものを×と判定した。

［撥油性］
ガラス基板（２）の塗膜硬化物の表面のＰＧＭＥＡの接触角を測定することにより、撥油性を評価した。接触角の定義は、撥水性と同様であり、接触角が大きい程、塗膜硬化物の撥油性が優れることを意味する。

なお、ＰＧＭＥＡの接触角が２５°以上であるものを○、２０°未満であるものを×として、判定した。

［開口部内のインクの濡れ拡がり性］
液状エポキシＭＥ−５６２（日本ペルノックス社製）（６．２５ｇ）、硬化剤ＨＶ−５６２（日本ペルノックス社製）（６．２５ｇ）、アジピン酸ジエチル（１２．５ｇ）及びマロン酸ジエチル（２５．０ｇ）を、スターラーを用いて、１時間攪拌混合し、インクを調製した。

インクジェット法を用いて、ガラス基板（１）の開口部にインク約２０ｐＬを塗布し、超深度形状測定顕微鏡ＶＫ−８５００（キーエンス社製）を用いて撮影した写真を観察することにより、開口部内のインクの濡れ拡がり性を評価した（図１参照）。なお、図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）は、それぞれ実施例３、５、６、比較例１、２、及び実施例７の開口部内のインクの濡れ拡がり性の評価結果を示す。

なお、開口部内がインクで覆われ、インクが弾かれている部分が無かったものを○、インクが弾かれている部分があったものを×として、判定した。

なお、容積が４０ｐＬの開口部に約２０ｐＬのインクを塗布した場合、即ち、インクの塗布量が少ない場合でも、数平均分子量が２×１０^４〜７×１０^４であり、重量平均分子量が５×１０^４〜２５×１０^４である重合体（Ａ）を含む実施例１〜６のガラス基板（１）は、インクが開口部内に濡れ拡がり、白抜けが無かった。

一方、数平均分子量が２×１０^４未満であり、重量平均分子量が５×１０^４未満である重合体（Ｒ）を含む比較例１、２のガラス基板（１）は、インクが開口部内に濡れ拡がらない部分が存在した。

本発明の感光性組成物は、隔壁を有するカラーフィルタ及び有機ＥＬ素子用途に有用である。

なお、２００８年７月３日に出願された日本特許出願２００８−１７４９７４号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。

Claims (11)

1. 一般式
   −ＣＦＸＲ^ｆ （１）
   （式中、Ｘは、水素原子、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であり、Ｒ^ｆは、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１以上２０以下のフルオロアルキル基又はフッ素原子である。）
   で表される基、又は、一般式
   

   

   （式中、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基であり、Ｒ^３は、水素原子又は炭素数が１以上１０以下の有機基であり、ｎは、１以上２００以下の整数である。）
   で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）、黒色の着色剤（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）及び酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂（Ｄ）を含む感光性組成物であって、
   前記重合体（Ａ）は、数平均分子量が２×１０^４以上７×１０^４以下であり、重量平均分子量が５×１０^４以上２５×１０^４以下であることを特徴とする感光性組成物。
2. 前記重合体（Ａ）が、前記式（１）で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）であって、重合体（Ａ）中のフッ素原子の含有量が５〜３５質量％である請求項１に記載の感光性組成物。
3. 前記重合体（Ａ）が、前記式（２）で表される基を有する側鎖と、エチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ）であって、重合体（Ａ）中のケイ素原子の含有量が０．１〜２５質量％である請求項１に記載の感光性組成物。
4. 前記感光性樹脂（Ｄ）は、重量平均分子量が１．５×１０^３以上２０×１０^３以下である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の感光性組成物。
5. 前記重合体（Ａ）が、エチレン性二重結合を１．０〜５．０ｍｍｏｌ／ｇ含有する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の感光性組成物。
6. 前記式（１）で表される基が、パーフルオロアルキル基である、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の感光性組成物。
7. 前記重合体（Ａ）が、酸性基を有する側鎖をさらに有する、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の感光性組成物。
8. エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｅ）をさらに含む請求項１乃至７のいずれか１項に記載の感光性組成物。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の感光性組成物を硬化することにより形成されていることを特徴とする隔壁。
10. 基板上に複数の画素が形成されているカラーフィルタであって、
    該複数の画素は、請求項９に記載の隔壁で隔てられていることを特徴とするカラーフィルタ。
11. 基板上に複数の画素が形成されている有機ＥＬ素子であって、
    該複数の画素は、請求項９に記載の隔壁で隔てられていることを特徴とする有機ＥＬ素子。

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