JP7442004B1 - 感光性組成物、それを用いた膜、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、及び赤外線センサ - Google Patents
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Abstract
Description
前記界面活性剤(D)が、実質的にフッ素原子を含まず、下記一般式(1)で表される単量体単位(d1)、及び下記一般式(2)で表される単量体単位(d2)を有する共重合体(D1)を含む感光性組成物に関する。
一般式(1)
R2は、それぞれ独立して炭素数1~6のアルキル基である。
R3は、炭素数1~6のアルキル基である。
R4は、水素原子、又はメチル基である。
L1は、2価の有機基、又は単結合である。
nは、1~70の整数である。
R7は、水素原子、又はメチル基である。
L2は、2価の有機基、又は単結合である。
また、本発明における化合物の分子量に関しては、分子量が特定できる低分子化合物については、計算により算出した値、若しくはESI-MS(エレクトロスプレーイオン化質量分析法)により測定した分子量であり、分子量の分布を持つ化合物については、テトラヒドロフランを溶剤とした場合のゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。
単量体は、重合により樹脂を形成する化合物である。単量体は、未反応状態であり、単量体単位は、単量体が重合後に重合体を形成している状態である。
本発明の一実施形態である感光性組成物は、顔料(A)、重合性化合物(B)、重合開始剤(C)、及び界面活性剤(D)を含む感光性組成物であって、
前記界面活性剤(D)が、実質的にフッ素原子を含まず、下記一般式(1)で表される単量体単位(d1)、及び下記一般式(2)で表される単量体単位(d2)を有する共重合体(D1)を含むことを特徴とする。
一般式(1)
R2は、それぞれ独立して炭素数1~6のアルキル基である。
R3は、炭素数1~6のアルキル基である。
R4は、水素原子、又はメチル基である。
L1は、2価の有機基、又は単結合である。
nは、1~70の整数である。
R7は、水素原子、又はメチル基である。
L2は、2価の有機基、又は単結合である。
一般式(1)で表される単量体単位(d1)、及び一般式(2)で表される単量体単位(d2)を有する共重合体(D1)(以下、単に共重合体(D1)ともいう)は、実質的にフッ素原子を含まない。そのため、リコート性に優れると推測する。また、共重合体(D1)は、シロキサン鎖を主鎖ではなく、側鎖に有するため適度に塗膜表面への配向能が制御され、塗工性とリコート性を両立できると推測する。更に、脂環式炭化水素基を有する一般式(2)で表される単量体単位(d2)のガラス転移温度は高い。そのため、膜表面で耐熱性の高い膜が形成でき、ポストベーク工程での顔料(A)に由来する成分の昇華を抑制することで、異物の発生を抑制できると推測する。
本発明の感光性組成物は、顔料(A)を含む。
有彩色顔料は、特に限定されものではなく、公知の有彩色顔料を用いることができる。例えば、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物を挙げることができる。
(1)黄色顔料、及び紫色顔料を含有する。
(2)赤色顔料、黄色顔料、及び紫色顔料を含有する。
(3)赤色顔料、黄色顔料、及び青色顔料を含有する。
(4)赤色顔料、黄色顔料、及び緑色顔料を含有する。
(5)黄色顔料、青色顔料、及び紫色顔料を含有する。
(6)赤色顔料、黄色顔料、青色顔料、及び紫色顔料を含有する。
(7)黄色顔料、青色顔料、緑色顔料、及び紫色顔料を含有する。
上記(2)の態様は、例えば、赤色顔料はC.I.ピグメントレッド177,254,291,295,296から選ばれる1種以上と、黄色顔料はC.I.ピグメントイエロー139,185,231,233から選ばれる1種以上と、紫色顔料はC.I.ピグメントバイオレット23とを含有する態様が挙げられる。
上記(3)の態様は、例えば、赤色顔料はC.I.ピグメントレッド177,254,291,295,296から選ばれる1種以上と、黄色顔料はC.I.ピグメントイエロー139,185,231,233から選ばれる1種以上と、青色顔料はC.I.ピグメントブルー15:3,15:4,15:6から選ばれる1種以上とを含有する態様が挙げられる。
上記(4)の態様は、例えば、赤色顔料はC.I.ピグメントレッド177,254,291,295,296から選ばれる1種以上と、黄色顔料はC.I.ピグメントイエロー139,185,231,233から選ばれる1種以上と、緑色顔料はC.I.ピグメントグリーン7,36,58,59,63から選ばれる1種以上とを含有する態様が挙げられる。
上記(5)の態様は、例えば、黄色顔料はC.I.ピグメントイエロー139,185,231,233から選ばれる1種以上と、青色顔料はC.I.ピグメントブルー15:3,15:4,15:6から選ばれる1種以上と、紫色顔料はC.I.ピグメントバイオレット23とを含有する態様が挙げられる。
上記(6)の態様は、例えば、赤色顔料はC.I.ピグメントレッド177,254,291,295,296から選ばれる1種以上と、黄色顔料はC.I.ピグメントイエロー139,185,231,233から選ばれる1種以上と、青色顔料はC.I.ピグメントブルー15:3,15:4,15:6から選ばれる1種以上と、紫色顔料はC.I.ピグメントバイオレット23とを含有する態様が挙げられる。
上記(7)の態様は、例えば、黄色顔料はC.I.ピグメントイエロー139,185,231,233から選ばれる1種以上と、青色顔料はC.I.ピグメントブルー15:3,15:4,15:6から選ばれる1種以上と、緑色顔料はC.I.ピグメントグリーン7,36,58,59,63から選ばれる1種以上と紫色顔料はC.I.ピグメントバイオレット23とを含有する態様が挙げられる。
白色顔料は、特に限定されものではなく、公知の白色顔料を用いることができる。例えば、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化アンチモン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、シリカ、酸化亜鉛、マイカ、タルク、カオリン、クレー、チタン酸ストロンチウム、タングステン酸バリウム、リン酸亜鉛、水酸化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、中空樹脂粒子、特開2011-075786号公報、国際公開第2013/061621号、特開2015-047520号公報、特開2015-164881号公報に記載の化合物等が挙げられる。
また、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物として、C.I.ピグメントホワイト1,2,3,4,5,6,6:1,7,8,10,11,12,13,14,15,16,17,18,18:1,19,20,21,22,23,24,25,26,27,28,30,32,33等が挙げられる。
黒色顔料は、特に限定されものではなく、公知の黒色顔料を用いることができる。例えば、カーボンブラック、チタンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、黒鉛、アニリンブラック、シアニンブラック、ペリレンブラック、特開平1-170601号公報、特開平2-34664号公報、特開2007-302836号公報、特表2010-534726号公報、特表2012-515233号公報に記載に化合物等が挙げられる。
また、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物として、C.I.ピグメントブラック1,6,7,12,20,31等が挙げられる。
近赤外線吸収顔料は、波長700~2,000nmの範囲に極大吸収を有する化合物であり、有機顔料(近赤外線吸収有機顔料ともいう)、無機顔料(近赤外線吸収無機顔料ともいう)のいずれであってもよい。また、近赤外線吸収有機顔料と近赤外線吸収無機顔料を併用してもよい。
本発明の感光性組成物は、重合性化合物(B)を含む。
ラクトン変性された重合性化合物は、分子内にラクトンで変性された構造を有する化合物である。ラクトン変性された重合性化合物は、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエチスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメトロールメラミン等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸およびε-カプロラクトンもしくはその他のラクトン化合物をエステル化することにより得られる。
酸性基を有する重合性化合物は、例えば、多価アルコールと(メタ)アクリル酸との遊離水酸基含有ポリ(メタ)アクリレート類と、ジカルボン酸類とのエステル化物;多価カルボン酸と、モノヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類とのエステル化物等が挙げられる。
モノヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類は、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、2-ヒドロキシ-3-アクリロイロキシプロピルメタクリレート等が挙げられる。
水酸基を有する重合性化合物は、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2,3-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート、イソシアヌル酸EO又はPO変性(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸EO又はPO変性ジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ポリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールEO又はPO変性ペンタ(メタ)アクリレート等のアクリル酸エステル、エポキシ化合物のエポキシ基と(メタ)アクリル酸のカルボキシル基を反応させたエポキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
ウレタン結合を有する重合性化合物は、例えば、水酸基含有(メタ)アクリレートに多官能イソシアネートを反応させて得られるウレタン(メタ)アクリレートや、多価アルコールに多官能イソシアネートを反応させ、さらに水酸基含有(メタ)アクリレートを反応させて得られるウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。
アミン構造を有する重合性化合物が有するアミン構造は、1級アミン、2級アミン、3級アミンのいずれの構造でもよいが、2級又は3級アミンが好ましい。ただし、アミン構造を有する重合性化合物が有するアミン構造は、カルボニル基が窒素原子と直接結合しているアミド構造、イミド構造及びウレタン構造は含まれない。
前記アルキレンオキサイド変性における、アルキレンオキサイド単位は、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド及びブチレンオキサイド等が挙げられる。
また、(メタ)アクリレート化合物(X)としては、酸性基を有する(メタ)アクリレート化合物も挙げられる。
ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジブチルアミン、シクロヘキシルアミン、モルフォリン、ピペリジン、1-メチルピペラジン、プロリン、N-メリルエタノールアミン、N-アセチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、3-アニリンフェノール、4-アニリンフェノール等の2級アミン等が挙げられる。
シクロヘキサン-1,4-ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジメチルシクロヘキシルジイソシアネート、メチルシクロヘキシルジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン-4,4'-ジイソシアネート、1,3-ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネート、ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサン等の脂環式構造を有するポリイソシアネート化合物;
1,5-ナフチレンジイソシアネート、4,4'-ジフェニルメタンジイソシアネート、4,4'-ジフェニルジメチルメタンジイソシアネート、4,4'-ジベンジルイソシアネート、ジアルキルジフェニルメタンジイソシアネート、テトラアルキルジフェニルメタンジイソシアネート、1,3-フェニレンジイソシアネート、1,4-フェニレンジイソシアネート、2,4-トルエンジイソシアネート、2,6-トルエンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、m-テトラメチルキシリレンジイソシアネート、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ビスクロロメチルジフェニルメタンジイソシアネート、2,6-ジイソシアネート-ベンジルクロライド、ビス(イソシアネートメチル)ベンゼン等の芳香族構造を有するポリイソシアネート化合物が挙げられる。
また、これら化合物のビュレット体、イソシアヌレート体、アダクト体、アロファネート体等が挙げられる。
デンドリマー構造を有する重合性化合物は、コアを構成する化学構造(以下、コア部ともいう)から、その外側へ規則的に分岐を繰り返し、その末端に重合性不飽和基が結合した化学構造を有するものであり、球状の高度に制御された化学構造及び分子量を有している。ハイパーブランチ構造は、デンドリマー構造と類似の化学構造を有する。
その他重合性化合物は、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、フェノキシテトラエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシヘキサエチレングリコール(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンPO変性トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンEO変性又はPO変性トリ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸EO変性又はPO変性トリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールEO又はPO変性ヘキサ(メタ)アクリレート、トリシクロデカニル(メタ)アクリレート、メチロール化メラミンの(メタ)アクリル酸エステル等の各種アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル、スチレン、酢酸ビニル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、(メタ)アクリルアミド、N-ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、重合開始剤(C)を含む。
光によってラジカルを発生させる重合開始剤(以下、単に光重合開始剤ともいう)は、紫外線から可視領域の光線に対してラジカルを発生させる化合物が好ましい。
熱によってラジカルを発生させる重合開始剤(以下、単に熱重合開始剤ともいう)は、熱及び光の作用によってラジカルを発生させる化合物であってもよい。
2,4,6-トリクロロ-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-トリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ピペロニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-スチリル-s-トリアジン、2-(ナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシ-ナフト-1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-(ピペロニル)-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-(4'-メトキシスチリル)-6-トリアジン等のトリアジン系化合物;
1,2-オクタンジオン,1-〔4-(フェニルチオ)フェニル-,2-(O-ベンゾイルオキシム)〕、エタノーン,1-〔9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール3-イル〕-,1-(O-アセチルオキシム)等のオキシムエステル系化合物;
ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ジフェニル-2,4,6-トリメチルベンゾイルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン系化合物;
9,10-フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物;ボレート系化合物;カルバゾール系化合物等が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、異物発生の抑制の観点から、重合開始剤(C)としてオキシムエステル系化合物(C1)を含むことが好ましい。
本発明の感光性組成物は、オキシムエステル系化合物(C1)とオキシムエステル系化合物(C1)以外の重合開始剤(C2)(以下、単にその他重合開始剤(C2)ともいう)を併用することもできる。
炭素数1~8のアルキル基としては、直鎖状でも、分岐状でも、環状でも、それらが結合したものであってもよく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、2-エチルヘキシル基、シクロペンチル基、シクロペンチルメチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルメチル基等が挙げられる。なかでも、炭素数3~8の直鎖のアルキル基が好ましく、炭素数4~6の直鎖のアルキル基がより好ましい。
1価の置換基としては、メチル基、エチル基等の炭素数1~20のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~20のアルコキシ基;F、Cl、Br、I等のハロゲン原子;炭素数1~20のアシル基;炭素数1~20のアルキルエステル基;炭素数1~20のアルコキシカルボニル基;炭素数1~20のハロゲン化アルキル基、炭素数4~20の芳香族環基;アミノ基;炭素数1~20のアミノアルキル基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;置換基を有してよいベンゾイル基;置換基を有してよいテノイル基等が挙げられる。ベンゾイル基、又はテノイル基が有してよい置換基としては、炭素数1~10のアルキル基、炭素数1~10のアルコキシ基、炭素数1~10のアルコキシカルボニル基等が挙げられる。なかでも、ラジカル生成効率の観点から、水素原子、ニトロ基が好ましく、水素原子がより好ましい。
2,2'-アゾビス(4-メトキシ2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2'-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)、ジメチル-2,2'-アゾビス(2-メチルプロピオネート)、2,2'-アゾビス(2-メチルブチロニトリル)、1,1'-アゾビス(シクロヘキサン-1-カルボニトリル)、2,2'-アゾビス[N-(2-プロペニル)2-メチルプロピオンアミド]、1-[(1-シアノ-1-メチルエチル)アゾ]ホルムアミド、2,2'-アゾビス(N-ブチル-2-メチルプロピオンアミド)、2,2'-アゾビス(N-シクロヘキシル-2-メチルプロピオンアミド)等のアゾ系化合物;
メチルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサノンパーオキサイド、3,3,5-トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、メチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1-ビス(tert-ブチルパーオキシ)-3,3,5-トリメチルシクロヘキサン、1,1-ビス(tert-ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2-ビス(tert-ブチルパーオキシ)ブタン、過酸化コハク酸、過酸化ベンゾイル等の有機過酸化物等が挙げられる。
(実質的にフッ素原子を含まず、一般式(1)で表される単量体単位(d1)、及び一般式(2)で表される単量体単位(d2)を有する共重合体(D1))
本発明の感光性組成物は、界面活性剤(D)として実質的にフッ素原子を含まず、下記一般式(1)で表される単量体単位(d1)、及び下記一般式(2)で表される単量体単位(d2)を有する共重合体(D1)を含む。なお、本発明の「実質的にフッ素原子含まず」とは、フッ素原子の含有量が、共重合体(D1)100質量%に対して、3質量%以下を意味し、1質量%以下が好ましく、0.1質量%がより好ましい。
R2は、それぞれ独立して炭素数1~6のアルキル基である。
R3は、炭素数1~6のアルキル基である。
R4は、水素原子、又はメチル基である。
L1は、2価の有機基、又は単結合である。
nは、1~70の整数である。
R7は、水素原子、又はメチル基である。
L2は、2価の有機基、又は単結合である。
一般式(1)で表される単量体単位(d1)は、一般式(1)で表される単量体から形成される単量体単位である。
炭素数1~50のアルキレン基は、例えば、メチレン基、エチレン基、n-プロピル基、n-ブチレン基、n-ペンチレン基、n-へキシレン基、n-へプチレン基、n-オクチレン基、イソプロピレン基、2-メチルプロピレン基、2-メチルへキシレン基、テトラメチルエチレン基等が挙げられる。これらの中でも、メチレン基、エチレン基、n-プロピレン基、イソプロピレン基が好ましい。
炭素数1~50のアルキレンオキシ基は、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロピレンオキシ基、オキシトリメチレン基、ブチレンオキシ基、オキシテトラメチレン基、ペンチレンオキシ基、へプチレンオキシ基等が挙げられる。
一般式(2)で表される単量体単位(d2)は、一般式(2)で表される単量体から形成される単量体単位である。
炭素数3~20の脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよい。置換基としては、アルキル基、ヒドロキシル基、ニトロ基、アミノ基、アルコキシ基、ハロゲン原子、及びこれらの組合せ等が挙げられる。
炭素数3~20の脂環式炭化水素基は、例えば、単環、又は多環脂環式炭化水素基が挙げられる。
単環脂環式炭化水素基は、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等が挙げられる。
多環脂環式炭化水素基は、イソボルニル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、ジシクロペンタニル基、ジシクロペンテニル基、トリシクロペンテニル基、トリシクロペンタジエン基、ジシクロペンタジエン基等が挙げられる。
これらの中でも、異物発生の抑制の観点から、多環脂環式炭化水素基が好ましく、イソボルニル基、ジシクロペンタニル基、アダマンチル基がより好ましく、アダマンチル基がさらに好ましい。
2価の有機基は、例えば、炭素数1~50のアルキレン基、又は炭素数1~50のアルキレンオキシ基が挙げられる。
炭素数1~50のアルキレン基は、例えば、メチレン基、エチレン基、n-プロピレン基、n-ブチレン基、n-ペンチレン基、n-へキシレン基、n-へプチレン基、n-オクチレン基、イソプロピレン基、2-メチルプロピレン基、2-メチルへキシレン基、テトラメチルエチレン基等が挙げられる。
炭素数1~50のアルキレンオキシ基は、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロピレンオキシ基、オキシトリメチレン基、ブチレンオキシ基、オキシテトラメチレン基、ペンチレンオキシ基、へプチレンオキシ基等が挙げられる。
共重合体(D1)が一般式(1)で表される単量体単位(d1)、及び一般式(2)で表される単量体単位(d2)を有するブロック共重合体である場合、各ブロックの数、配置は特に制限されない。例えば、一般式(1)で表される単量体単位(d1)からなる部分をブロックA、一般式(2)で表される単量体単位(d2)からなる部分をブロックBとした場合、共重合体(D1)は、ABブロック共重合体、ABAブロック共重合体、BABブロック共重合体等の配置が挙げられる。
リビングラジカル重合は、例えば、特開平9-62002号公報、特開2002-31713号公報や、P.Lutz,P.Masson et al,Polym.Bull.12,79 (1984),B.C.Anderson,G.D.Andrews et al,Macromolecules,14,1601(1981),K.Hatada,K.Ute,et al,Polym.J.17,977(1985),18,1037(1986),右手浩一、畑田耕一、高分子加工、36,366(1987),東村敏延、沢本光男、高分子論文集、46,189(1989),M.Kuroki,T.Aida,J.Am.Chem.Soc,109,4737(1987)、相田卓三、井上祥平、有機合成化学、43,300(1985),D.Y.Sogoh,W.R.Hertler et al,Macromolecules,20,1473(1987)等に記載された方法が挙げられる。これらの中でも、可逆的付加開裂連鎖移動重合(以下、RAFT)、原子移動ラジカル重合(以下、ATRP)、ヨウ素化合物を用いたリビングラジカル重合、有機テルル化合物を用いたリビングラジカル重合(以下、TERP)が好ましい。
具体的には、本発明の共重合体(D1)は、例えば、国際公開第2021/131726号、国際公開第2022/050062号、国際公開第2022/244586号等に記載の方法で合成できる。
共重合体(D1)は、一般式(1)で表される単量体単位(d1)、及び一般式(2)で表される単量体単位(d2)以外に、下記一般式(6)で表される単量体単位(d3)を有してもよい。
R9は、水素原子、又はメチル基である。
nは、1~4の整数である。
mは、2~200の整数である。
共重合体(D1)は、一般式(1)で表される単量体単位(d1)、一般式(2)で表される単量体単位(d2)、及び一般式(6)で表される単量体単位(d3)以外の単量体単位(d4)(以下、その他単量体単位(d4)ともいう)を有してもよい。
本発明の感光性組成物は、塗工性の観点から、共重合体(D1)以外の界面活性剤(D2)(以下、単にその他界面活性剤(D2)ともいう)を含むことが好ましい。
シリコーン系界面活性剤は、共重合体(D1)でなければ特に制限がなく、公知の化合物を用いることができる。例えば、側鎖変性ポリジメチルシロキサン、両末端変性ポリジメチルシロキサン、片末端変性ポリジメチルシロキサン、側鎖両末端変性ポリジメチルシロキサン、側鎖シリコーン変性アクリル等が挙げられる。前記変性基は、ポリエーテル基、アミノ基、エポキシ基、カルビノール基、メルカプト基、カルボキシル基、(メタ)アクリロイル基、アラルキル基、ポリエステル基等が挙げられる。
シリコーン系界面活性剤は、一般式(1)で表される単量体単位(d1)及び一般式(6)で表される単量体単位(d3)を有する共重合体、ならびに変性基としてポリエーテル基を有するポリジメチルシロキサンからなる群から選ばれる少なくとも1種を含むことが好ましい。
ブロック共重合体である場合、各ブロックの数、配置は特に制限されない。例えば、一般式(1)で表される単量体単位(d1)からなる部分をブロックA、一般式(6)で表される単量体単位(d3)からなる部分をブロックBとした場合、共重合体は、ABブロック共重合体、ABAブロック共重合体、BABブロック共重合体等の配置が挙げられる。
ブロック共重合体の製造方法は、上述した方法が挙げられる。
R2は、それぞれ独立して炭素数1~10のアルキル基である。
p及びqは、0以上の整数で、かつp+qが1~100の整数である。
Aは、酸素原子、又は単結合である。
mは、0~10の整数である。
n及びoは、0以上の整数で、かつn+oが1~100の整数である。
一般式(11)中、エチレンオキサイド基とプロピレンオキサイド基の順序は問わず、ランダムでもブロックであってもよい。
rは、1~80の整数である。
xは、1~40の整数である。
フッ素系界面活性剤は、例えば、フルオロアルキル基、又はフルオロアルキレン基を有する化合物が挙げられる。また、特開2014-41318号公報、特開2011-132505号公報、特開2016-216602号公報、特開2011-89090号公報、特開2010-164965号公報、特開2015-117327号公報等に記載の化合物も挙げられる。
アクリル系界面活性剤は、例えば、(メタ)アクリル酸系共重合体等が挙げられる。
アセチレンジオール系界面活性剤は、例えば、2,4,7,9-テトラメチル-5-デシン-4,7-ジオール、2,5,8,11-テトラメチル-6-ドデシン-5,8-ジオール、ヘキサデカ-8-イン-7,10-ジオール、6,9-ジメチル-テトラデカ-7-イン-6,9-ジオール、7,10-ジメチルヘキサデカ-8-イン-7,10-ジオール、及びそのエチレンオキサイド、及び/又はプロピレンオキサイド付加物等が挙げられる。
カチオン系界面活性剤は、例えば、アルキルアミン塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライド、ステアリルトリメチルアンモニウムクロライド、セチルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアルキル4級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。
アニオン系界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン-アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン-アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル等が挙げられる。
両性イオン系界面活性剤は、例えば、ラウリン酸アミドプロピルベタイン、ラウリルベタイン、コカミドプロピルベタイン、ステアリルベタイン、アルキルジメチルアミノ酢酸ベタイン等のアルキルベタイン、ラウリルジメチルアミンオキサイド等のアルキルアミンオキサイド等が挙げられる。
ノニオン系界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル等が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、異物発生の抑制の観点から、樹脂(E)を含むことが好ましい。
樹脂(E)は、異物発生の抑制の観点から、分散樹脂として樹脂(E1)を含むことがより好ましい。分散樹脂として樹脂(E1)を含むことで、顔料(A)の分散性が向上し、ポストベークでの顔料(A)の凝集を抑制すると推測する。
樹脂(E)は、異物発生の抑制の観点から、バインダー樹脂として多環脂環式炭化水素基含有単量体単位(e1)、及び重合性不飽和基含有単量体単位(e2)を有する樹脂(E2)(以下、単に樹脂(E2)ともいう)を含むことが好ましい。多環脂環式炭化水素基は、ガラス転移温度が高い。そのため、塗膜表面に耐熱性の高い膜が形成できるため、ポストベーク工程での顔料(A)由来成分の昇華を抑制すると推測する。更に、重合性不飽和基を有することで、露光により樹脂同士や重合性化合物(B)と架橋することで、顔料(A)の凝集を抑制すると推測する。
多環脂環式炭化水素基含有単量体単位(e1)を形成する単量体は、例えば、イソボロニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの中でも、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレートが好ましい。
樹脂(E2)に、重合性不飽和基含有単量体単位(e2)を導入する方法は、例えば、以下に示す(i)~(iii)の方法がある。
方法(i)は、例えば、まず、エポキシ基含有単量体、及びその他単量体の重合体(前駆体)を重合する。次いで、前記前駆体のエポキシ基に、カルボキシル基含有単量体(変性化合物)を付加する。
方法(ii)は、例えば、まず、カルボキシル基含有単量体、及びその他単量体の重合体(前駆体)を重合する。次いで、前記前駆体のカルボキシル基にエポキシ基含有単量体(変性化合物)を付加する。
方法(iii)は、例えば、まず、水酸基含有単量体、カルボキシル基含有単量体、及びその他単量体の重合体(前駆体)を重合する。次いで、前記前駆体の水酸基に、イソシアネート基含有単量体(変性化合物)のイソシアネート基を反応させる。
水酸基含有単量体は、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2,3-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート、2-アクリロイロキシエチル-2-ヒドロキシエチルフタル酸等が挙げられる。これらの単量体は、単独又は2種以上併用して使用できる。
酸性基含有単量体は、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、プロピオール酸、けい皮酸、イタコン酸、無水イタコン酸、マレイン酸、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル、無水マレイン酸、フマル酸、2-メタクリロイロキシエチルコハク酸、2-アクリロイロキシエチルフタル酸、2-アクリロイロキシエチルヘキシルヒドロフタル酸、p-スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、tert-ブチルアクリルアミドスルホン酸、2-(メタ)アクリロイルオキシエチルアシッドフォスフェート等が挙げられる。これらの単量体は、単独又は2種以上併用して使用できる。
エポキシ基含有単量体は、例えば、オキシラニル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2-メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2-エチルグリシジル(メタ)アクリレート、2-オキシラニルエチル(メタ)アクリレート、2-グリシジルオキシエチル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチル(メタ)アクリレート、2-(3,4-エポキシシクロヘキシルメチルオキシ)エチル(メタ)アクリレート、3-(3,4-エポキシシクロヘキシルメチルオキシ)プロピル(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの単量体は、単独又は2種以上併用して使用できる。
芳香環含有単量体は、例えば、スチレン、α-メチルスチレン、ビニルナフタレン、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールエチレンオキサイド(EO)又はプロピレンオキサイド(PO)変性(メタ)アクリレート、フェノールEO又はPO変性(メタ)アクリレート、ノニルフェノールEO又はPO変性(メタ)アクリレート、N-フェニルマレイミド、N-ベンジルマレイミド等が挙げられる。これらの単量体は、単独又は2種以上併用して使用できる。
ブロックイソシアネート基含有単量体は、イソシアネート基含有単量体のイソシアネート基を、熱で脱離する化合物(以下、ブロック剤ともいう)で保護した単量体である。ブロック剤の脱離温度は、60~160℃が好ましい。
ラクタム化合物としては、ε-カプロラクタム、δ-バレロラクタム、γ-ブチロラクタム、β-プロピオラクタム等が挙げられる。
フェノール化合物としては、フェノール、クレゾール、2,6-キシレノール、3,5-キシレノール、エチルフェノール、p-tert-ブチルフェノール、ノニルフェノール、2-ヒドロキシ安息香酸メチル、4-ヒドロキシ安息香酸メチル、p-ナフトール、p-ニトロフェノール等が挙げられる。これらの中でも、3,5-キシレノール、2-ヒドロキシ安息香酸メチル、4-ヒドロキシ安息香酸メチルが好ましい。
アルコール化合物としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ベンジルアルコール、フェニルセロソルブ、フルフリルアルコールが挙げられる。
アミン化合物としては、ジフェニルアミン、フェニルナフチルアミン、アニリン、カルバゾール等が挙げられる。
活性メチレン化合物としては、マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、アセチルアセトン等が挙げられ、マロン酸ジエチルが好ましい。
ピラゾール化合物としては、ピラゾール、メチルピラゾール、3,5-ジメチルピラゾール等が挙げられ、3,5-ジメチルピラゾールが好ましい。
メルカプタン化合物としては、ブチルメルカプタン、チオフェノール、tert-ドデシルメルカプタン等が挙げられる。
イミダゾール化合物としては、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール等が挙げられる。
イミド化合物としては、コハク酸イミド、マレイン酸イミド、マレイミド、フタルイミド等が挙げられる。
尿素化合物としては、尿素、チオ尿素、エチレン尿素等が挙げられる。
イミン化合物としては、エチレンイミン、ポリエチレンイミン等が挙げられる。
重亜硫酸塩化合物としては、重亜硫酸ソーダ、重亜硫酸カリウム等が挙げられる。
その他単量体は、例えば、エチル(メタ)アクリレート、n-プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n-ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、tert-ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート等のアクリル酸エステル類;
(メタ)アクリルアミド、N,N-ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N-ジエチル(メタ)アクリルアミド、N-イソプロピル(メタ)アクリルアミド、ダイアセトン(メタ)アクリルアミド、又はアクリロイルモルホリン等の(メタ)アクリルアミド類;
エチルビニルエーテル、n-プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、n-ブチルビニルエーテル、又はイソブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類;
酢酸ビニル、又はプロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類;
メチルマレイミド、エチルマレイミド、1,2-ビスマレイミドエタン1,6-ビスマレイミドヘキサン、3-マレイミドプロピオン酸、6,7-メチレンジオキシ-4-メチル-3-マレイミドクマリン等のN-置換マレイミド類;
ジメチル-2,2'-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート、ジエチル-2,2'-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート、ジ(n-プロピル)-2,2'-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート、ジ(イソプロピル)-2,2'-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート、ジ(2-エチルヘキシル)-2,2'-[オキシビス(メチレン)]ビス-2-プロペノエート等が挙げられる。これらの単量体は、単独又は2種以上併用して使用できる。
本発明の感光性組成物は、染料(F)を含有できる。
また、酸性染料とオニウム塩基を有する化合物との造塩化合物も、耐性(耐光性、溶剤耐性)に優れるため好ましい。なお、オニウム塩基を有する化合物は、カチオン性基を有する樹脂が好ましい。
本発明の感光性組成物は、顔料誘導体(G)を含有できる。顔料誘導体(G)を使用すると顔料(A)を安定的に分散できる。
顔料は、例えば、ジケトピロロピロール化合物、フタロシアニン化合物、アントラキノン化合物、キナクリドン化合物、ジオキサジン化合物、ペリノン化合物、ペリレン化合物、チアジンインジゴ化合物、トリアジン化合物、ベンズイミダゾロン化合物、ベンゾイソインドール化合物、イソインドリン化合物、イソインドリノン化合物、キノフタロン化合物、ナフトール化合物、スクアリリウム化合物、スレン化合物、ナフタロシアニン化合物等が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、増感剤(H)を含有できる。
本発明の感光性組成物は、熱硬化性化合物(I)を含有できる。
エポキシ化合物は、例えば、ビスフェノール類(ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、ビフェノール、ビスフェノールAD等)、フェノール類(フェノール、アルキル置換フェノール、芳香族置換フェノール、ナフトール、アルキル置換ナフトール、ジヒドロキシベンゼン、アルキル置換ジヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシナフタレン等)と各種アルデヒド(ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、アルキルアルデヒド、ベンズアルデヒド、アルキル置換ベンズアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、ナフトアルデヒド、グルタルアルデヒド、フタルアルデヒド、クロトンアルデヒド、シンナムアルデヒド等)との重縮合物、フェノール類と各種ジエン化合物(ジシクロペンタジエン、テルペン類、ビニルシクロヘキセン、ノルボルナジエン、ビニルノルボルネン、テトラヒドロインデン、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、ジイソプロペニルビフェニル、ブタジエン、イソプレン等)との重合物、フェノール類とケトン類(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトフェノン、ベンゾフェノン等)との重縮合物、フェノール類と芳香族ジメタノール類(ベンゼンジメタノール、α,α,α',α'-ベンゼンジメタノール、ビフェニルジメタノール、α,α,α',α'-ビフェニルジメタノール等)との重縮合物、フェノール類と芳香族ジクロロメチル類(α,α'-ジクロロキシレン、ビスクロロメチルビフェニル等)との重縮合物、ビスフェノール類と各種アルデヒドの重縮合物、アルコール類等をグリシジル化したグリシジルエーテル系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂等が挙げられる。
オキセタン化合物は、オキセタン基を有する公知の化合物である。オキセタン化合物は、1官能オキセタン化合物、2官能オキセタン化合物、3官能以上のオキセタン化合物が挙げられる。
メラミン化合物は、メラミン環構造を有する化合物である。メラミン化合物は、メチロール基を有する化合物が好ましい。
ブロックイソシアネート化合物は、分子内に2個以上のイソシアネート基を有する化合物にブロック剤を反応させることにより得られる化合物である。
シクロヘキサン-1,4-ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジメチルシクロヘキシルジイソシアネート、メチルシクロヘキシルジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン-4,4'-ジイソシアネート、1,3-ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネート、ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサン等の脂環式構造を有する化合物;
1,5-ナフチレンジイソシアネート、4,4'-ジフェニルメタンジイソシアネート、4,4'-ジフェニルジメチルメタンジイソシアネート、4,4'-ジベンジルイソシアネート、ジアルキルジフェニルメタンジイソシアネート、テトラアルキルジフェニルメタンジイソシアネート、1,3-フェニレンジイソシアネート、1,4-フェニレンジイソシアネート、2,4-トルエンジイソシアネート、2,6-トルエンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、m-テトラメチルキシリレンジイソシアネート、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ビスクロロメチルジフェニルメタンジイソシアネート、2,6-ジイソシアネート-ベンジルクロライド、ビス(イソシアネートメチル)ベンゼン等の芳香族構造を有する化合物が挙げられる。
また、これら化合物のビュレット体、イソシアヌレート体、アダクト体、アロファネート体等が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、熱硬化性化合物(I)の硬化を補助するため、硬化剤(硬化促進剤)を併用できる。硬化剤は、例えば、アミン系化合物、酸無水物、活性エステル、カルボン酸系化合物、スルホン酸系化合物等が挙げられる。硬化剤は、例えば、アミン化合物(例えば、ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4-(ジメチルアミノ)-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メトキシ-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メチル-N,N-ジメチルベンジルアミン等)、4級アンモニウム塩化合物(例えば、トリエチルベンジルアンモニウムクロリド等)、ブロックイソシアネート化合物(例えば、ジメチルアミン等)、イミダゾール誘導体二環式アミジン化合物及びその塩(例えば、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、4-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-(2-シアノエチル)-2-エチル-4-メチルイミダゾール等)、リン化合物(例えば、トリフェニルホスフィン等)、S-トリアジン誘導体(例えば、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン、2-ビニル-2,4-ジアミノ-S-トリアジン、2-ビニル-4,6-ジアミノ-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物等)等が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、チオール系連鎖移動剤(J)を含有できる。チオール系連鎖移動剤(J)は、重合開始剤(C)と併用すると光照射後のラジカル重合の際、酸素による重合阻害を受けにくいチイルラジカルが発生し、感光性組成物の光感度が向上する。
2-メルカプトエタノール、1-チオグリセロール、チオグリコール酸、2-メルカプト安息香酸、3-メルカプト安息香酸、4-メルカプトニコチン酸、2-メルカプトプロピオン酸、3-メルカプトプロピオン酸、4-メルカプトブタン酸、チオグリコール酸オクチル、メルカプトコハク酸、11-メルカプトウンデカン酸、2-メルカプトエタンスルホン酸等の水酸基又は酸性基を有する単官能チオール化合物;
ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4-ブタンジオールビスチオプロピオネート、1,4-ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン、2、4、6-トリメルカプト-s-トリアジン、2-(N,N-ジブチルアミノ)-4,6-ジメルカプト-s-トリアジン等の多官能チオール化合物が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、重合禁止剤(K)を含有できる。
本発明の感光性組成物は、紫外線吸収剤(L)を含有できる。
本発明の感光性組成物は、酸化防止剤(M)を含有できる。酸化防止剤(M)は、感光性組成物中の重合開始剤(C)や熱硬化性化合物(I)が、加熱工程やITOアニール時の熱によって酸化され、黄変することを防ぐ。
本発明の感光性組成物は、貯蔵安定剤(N)を含有できる。これにより、感光性組成物の経時粘度が安定化する。
本発明の感光性組成物は、密着向上剤(O)を含有できる。これにより、密着性が向上する。また、フォトリソグラフィー法で幅が狭いパターンを形成し易くなる。
また、前記それ以外の官能基は、例えば、エポキシ基、アミノ基、ビニル基、(メタ)アクリロイル基、イソシアネート基、イソシアヌレート基、メルカプト基、オキセタニル基、スチリル基、ウレイド基等が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、塗工性の観点から、有機溶剤(P)を含むことが好ましい。
本発明の感光性組成物は、感光性組成物に含まれるLi、Na、K、Mg、Ca、Fe、及びCr(以下、特定金属元素ともいう)の合計含有量が、500質量ppm以下であることが好ましい。
本発明の感光性組成物は、保存安定性の観点から、感光性組成物に含まれる水の含有量が2.0質量%以下であることが好ましい。
本発明の感光性組成物は、上述の各成分を混合して調整できる。調整に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分を重合性化合物(B)や有機溶剤(P)に溶解や分散した後に逐次配合してもよい。
例えば、顔料(A)、樹脂(E)、及び有機溶剤(P)等を加えて分散処理を行うことで、分散体を製造する。その後、前記分散体に、重合性化合物(B)、重合開始剤(C)、及び界面活性剤(D)等を配合し混合することで製造できる。なお、各材料を配合するタイミングは、任意である。また、分散工程を複数回行うこともできる。
本発明の膜は、上述した感光性組成物を用いて形成されたものである。膜はパターンを形成した膜が好ましいが、平坦膜として用いることもできる。
膜の製造方法は、特に限定されず、公知の方法を使用できる。例えば、本発明の感光性組成物を基材上に塗工する工程を経て製造できる。
露光工程は、塗工で形成した層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、マスクを介して特定のパターンを露光する。これにより、露光部分を硬化することができる。露光に用いる活性エネルギー線は、例えば、g線(波長436nm)、h線(波長405nm)、i線(波長365nm)等の紫外線が挙げられる。また、波長300nm以下の光を用いることもできる。波長300nm以下の光としては、KrF線(波長248nm)、ArF線(波長193nm)などが挙げられる。
また、露光に際しては、光を連続的に照射して露光してもよく、短時間(例えば、ミリ秒レベル以下)のサイクルで光の照射と休止を繰り返して露光(パルス露光)してもよい。
また、複数の活性エネルギー線を併用したり、複数回に分けて露光することもできる。
次に、アルカリ現像処理を行うことで、未露光部分の層がアルカリ水溶液に溶出し、硬化部分のみが残りパターン状の膜が得られる。
アルカリ現像液は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ-〔5.4.0〕-7-ウンデセン等のアルカリ性化合物が挙げられる。
アルカリ現像液の濃度は、0.001~10質量%が好ましく、0.01~1質量%がより好ましい。アルカリ現像液のpHは、11~13が好ましく、11.5~12.5がより好ましい。適度なpHで使用するとパターンの荒れや剥離を抑制し、現像後の残膜率が向上する。
現像方法は、例えば、ディップ法、スプレー法、パドル法等が挙げられる。現像温度は15~40℃が好ましい。なお、アルカリ現像後は、純水で洗浄することが好ましい。
現像後、加熱処理(ポストベーク)を行う。ポストベークにより、膜の耐性が向上する。
温度は、80~300℃が好ましく、100~260℃がより好ましい。時間は、2分間~2時間程度が好ましい。基材に耐熱性の低い素材を用いた場合、発光層として有機エレクトロルミネッセンス素子を有する基材を用いた場合、又は環境面の観点からは、180℃以下が好ましい。
本発明の光学フィルタは、上記膜を有する。光学フィルタは、例えば、カラーフィルタ、ブラックマトリックス、遮光フィルタ、反射防止フィルタ、赤外線カットフィルタ、赤外線透過フィルタ、マイクロレンズ等に用いられる。本発明の光学フィルタの製造は、上述の膜と同様の方法で製造できる。
本発明の固体撮像素子は、上記光学フィルタを有する。
固体撮像素子は、本発明の光学フィルタを備え、固体撮像素子として機能すれば特に制限されないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、例えば、デジタルカメラ、撮像機能を有する電子機器(携帯電話、スマートフォン等)、車載カメラ、監視カメラ等様々な用途に使用できる。
本発明の画像表示装置は、上記光学フィルタを有する。画像表示装置は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等が挙げられる。
画像表示装置に用いる形態は、画像表示装置として機能すればよく、特に制限されない。例えば、「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男著、(株)工業調査会、1994年発行)」に記載されている構成等が挙げられる。
画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば、「電子ディスプレイデバイス(佐々木昭夫著、(株)工業調査会、1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹順章著、産業図書(株)、平成元年発行)」等に記載されている。
本発明の赤外線センサは、上記光学フィルタを有する。
赤外線センサに用いる形態は、本発明の光学フィルタを備え、赤外線センサとして機能すれば特に制限されないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
樹脂溶液0.5~1gに、アセトン80ml及び水10mlを加えて攪拌して均一に溶解させ、0.1mol/LのKOH水溶液を滴定液として、自動滴定装置(「COM-555」平沼産業社製)を用いて滴定し、酸価(mgKOH/g)を測定した。そして、樹脂溶液の酸価と樹脂溶液の不揮発分濃度から、樹脂の不揮発分あたりの酸価を算出した。
樹脂のアミン価は、ASTM D 2074の方法に準拠し、測定した全アミン価(mgKOH/g)を不揮発分換算した値である。
(顔料(A-7))
特開2014-12838号公報の記載に従って、Ni及びZnの金属イオンのモル比が65:35で、一般式(3)で表されるアゾ化合物及びそれの互変異性構造のアゾ化合物のアニオンと、一般式(4)で表される化合物を含む顔料(A-7)を得た。
(重合性化合物(B-4))
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、温度計、滴下管を備えた5口フラスコに、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート400部、N,N-ジメチルベンジルアミン0.5部を仕込み、70℃に昇温し、滴下管からトルエンジイソシアネート66部を2時間かけて滴下した。滴下後、50~70℃の温度で8時間反応させ、IRにより2,180cm-1のイソシアネートの吸収の消失を確認した。ついで、メルカプト酢酸35部、4-メトキシフェノール0.6部を仕込み、50~60℃の温度で6時間反応させ、ウレタン結合を有する重合性化合物(B-4)を得た。
(共重合体(D1-1)溶液)
窒素置換したフラスコに、溶剤として酢酸ブチル133部を仕込み、窒素気流下にて撹拌しながら100℃まで昇温した。次いで、下記化学式(12)で表される単量体67.6部、1-アダマンチルメタクリレート32.4部、重合開始剤であるtert-ブチルペルオキシ-2-エチルヘキサエート6.0部を酢酸ブチル100部に溶解し滴下装置に仕込み、フラスコ内に2時間かけて滴下した。滴下終了後、100℃で4時間反応させた。溶剤を減圧蒸留してランダム構造を有する共重合体(D1-1)を得た。1-アダマンチルメタクリレートの含有量は、共重合体(D1-1)100質量%に対して、32.4質量%であった。
その後、不揮発分が1質量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、PGMAc)を添加し、共重合体(D1-1)溶液を得た。
表2に記載の構成・構造となるように単量体の種と量を変え、共重合体(D1-2)~共重合体(D1-9)を合成し、PGMAcを添加し不揮発分を1質量%とした。
窒素置換したフラスコに、3-メタクリロイルオキシプロピルトリス(トリメチルシロキシ)シラン15.0部、溶剤としてメチルエチルケトン79.0部を仕込み、窒素気流下にて撹拌しながら50℃まで昇温した。次いで、2,2'-ビピリジル4.2部、塩化第一銅1.5部を仕込み、50℃で30分撹拌した。その後、2-ブロモイソ酪酸エチル2.7部を加え、窒素気流下、50℃で3時間反応させて、3-メタクリロイルオキシプロピルトリス(トリメチルシロキシ)シランの重合体ブロックを得た。
次いで、ポリプロピレングリコールモノメタクリレート(プロピレングリコールの平均繰り返し数4~6)35.0部加え、50℃で18時間反応させた。その後、活性アルミナ30部を加え撹拌した。ろ過後、溶剤を減圧蒸留してブロック構造を有する共重合体を得た。
その後、不揮発分が1質量%になるようにPGMAcを添加し、その他界面活性剤(D2-1)溶液を得た。
表3に記載の構成・構造となるように単量体の種と量を変え、その他界面活性剤(D2-2)~(D2-6)を合成し、PGMAcを添加し不揮発分を1質量%とした。
(樹脂(E1-1)溶液)
ガス導入管、温度、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、メタクリル酸10部、メチルメタクリレート100部、i-ブチルメタクリレート70部、ベンジルメタクリレート20部、PGMAc50部を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を50℃に加熱撹拌し、3-メルカプト-1,2-プロパンジオール12部を添加した。90℃に昇温し、2,2'-アゾビスイソブチロニトリル0.1部をPGMAc90部に加えた溶液を添加しながら7時間反応した。不揮発分測定により95%が反応したことを確認した。ピロメリット酸無水物19部、PGMAc50部、シクロヘキサノン50部、触媒として1,8-ジアザビシクロ-[5.4.0]-7-ウンデセン0.4部を追加し、100℃で7時間反応させた。酸価の測定で98%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了し、不揮発分30%となるようPGMAcを添加して、くし形型構造の樹脂(E1-1)を得た。なお、樹脂は、酸価70mgKOH/g、重量平均分子量8,500であった。
ガス導入管、コンデンサー、攪拌翼、及び温度計を備え付けた反応装置に、メチルメタクリレート40部、n-ブチルメタクリレート10部、触媒としてテトラメチルエチレンジアミン13.2部を仕込み、窒素を流しながら50℃で1時間撹拌し、系内を窒素置換した。次に、開始剤としてブロモイソ酪酸エチル9.3部、触媒として塩化第一銅5.6部、PGMAc100部を仕込み、窒素気流下で、110℃まで昇温して第一ブロック(Bブロック)の重合を開始した。4時間重合後、重合溶液をサンプリングして不揮発分測定を行い、不揮発分から換算して重合転化率が98%以上であることを確認した。次に、この反応装置に、PGMAc50部、第二ブロック(Aブロック)モノマーとしてジメチルアミノエチルメタクリレート40部、メタクリロイルオキシエチルベンジルジメチルアンモニウムクロライド10部を投入し、110℃・窒素雰囲気下を保持したまま撹拌し、反応を継続した。投入から2時間後、重合溶液をサンプリングして不揮発分測定を行い、不揮発分から換算して第二ブロック(Aブロック)の重合転化率が98%以上であることを確認し、反応溶液を室温まで冷却して重合を停止した。室温まで冷却した後、約2gをサンプリングして180℃、20分間加熱乾燥して不揮発分を測定し、不揮発分が30質量%になるようにPGMAcを添加して、ブロック構造の樹脂(E1-2)を得た。なお樹脂は、アミン価が169.8mgKOH/gであった。
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、撹拌装置を取り付けた反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテル262.0部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら120℃に加熱して、同温度で滴下管より2-エチルヘキシルアクリレート(以下、2-EHA)49.7部、グリシジルメタクリレート(以下、GMA)99.4部、ジシクロペンタニルメタクリレート6.6部と、重合開始剤であるt-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート19.0部、PGMAcの混合物を2.5時間かけて滴下した。
滴下終了後、120℃で更に2時間撹拌し前駆体を得た。その後、フラスコ内を空気に置換し、変性化合物としてアクリル酸(以下、AA)50.4部と、触媒であるトリフェニルホスフィン0.6部及びメチルハイドロキノン0.2部を投入し、110℃で10時間反応させた。これにより、GMAのエポキシ基とAAのカルボキシル基を反応させた単量体単位(以下、GMA+AA)を得て、重合性不飽和基含有単量体単位(e2)を導入した。
次いで、変性化合物としてテトラヒドロ無水フタル酸(以下、THPA)21.3部を加え、110℃で4時間反応させた。これにより、GMA+AAの水酸基の一部とTHPAを反応させた。その後、不揮発分が40質量%になるようにPGMAcを添加して、樹脂(E2-1)溶液を調製した。樹脂(E2-1)は、酸価38mgKOH/g、重量平均分子量12,000であった。なお、表1で配合量はモル%で表記する。
表4に記載の構成比率、重量平均分子量になるように単量体の種と量、重合開始剤の量を変え、樹脂(E2-2)、(E2-3)、及び(E3-1)~(E3-4)を合成し、PGMAcを添加し不揮発分を40質量%とした。
(染料(F-1))
温度計、攪拌機、蒸留管、冷却器を具備した4つ口セパラブルフラスコに、メチルエチルケトン67.3 部を仕込み窒素気流下で75℃に昇温した。別途、メチルメタクリレート34.0部、n-ブチルメタクリレート28.0部、2-エチルヘキシルメタクリレート28.0部、ジメチルアミノエチルメタクリレート10.0部、2,2'-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)6.5部、およびメチルエチルケトン25.1部を均一にした後、滴下ロートに仕込み、4つ口セパラブルフラスコに取り付け、2時間かけて滴下した。滴下終了2時間後、不揮発分から重合収率が98%以上であり、重量平均分子量が、6,830であることを確認し、50℃へ冷却した。ここへ、塩化メチル3.2部、エタノール22.0部を追加し、50℃で2時間反応させた後、1時間かけて80℃まで加温し、2時間反応させ樹脂1を得た。
次に、水2,000部に不揮発分換算で30部の樹脂1を添加し、十分に攪拌混合を行った後、60℃に加熱した。一方、90部の水に10部のC.I.アシッドレッド52を溶解させた水溶液を調製し、先ほどの樹脂1溶液に少しずつ滴下した。滴下後、60℃で120分間攪拌し、十分に反応を行った。反応の終点確認としては濾紙に反応液を滴下して、にじみがなくなったところを終点として、造塩化合物が得られたものと判断した。攪拌しながら室温まで冷却した後、吸引濾過を行い、水洗後、濾紙上に残った造塩化合物を乾燥機にて水分を除去して乾燥し、32部のC.I.アシッドレッド52と樹脂1との造塩化合物である染料(F-1)を得た。このとき染料(F-1)中のC.I.アシッドレッド52に由来する成分の含有量は25質量%であった。
(分散体1)
下記の原料を均一になるように攪拌混合した後、直径0.5mmのジルコニアビ-ズを用いて、アイガーミル(アイガージャパン社製「ミニモデルM-250 MKII」)で3時間分散した後、孔径1.0μmのフィルタで濾過し、分散体1を作製した。
顔料(A-1) :15.0部
樹脂(E1-1)溶液 : 5.0部
樹脂(E1-2)溶液 :10.0部
有機溶剤(P-1) :70.0部
表5に記載した成分、量を変えた以外は、分散体1と同様にして分散体2~11を作製した。
A-1:C.I.ピグメントグリーン58
A-2:C.I.ピグメントグリーン59
A-3:C.I.ピグメントグリーン63
A-4:C.I.ピグメントイエロー138
A-5:C.I.ピグメントイエロー139
A-6:C.I.ピグメントイエロー150
A-8:C.I.ピグメントレッド254
A-9:C.I.ピグメントレッド177
A-10:C.I.ピグメントブルー15:6
A-11:C.I.ピグメントバイオレット23
P-1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
[実施例1]
(感光性組成物1)
以下の原料を混合、攪拌し、孔径1.0μmのフィルタで濾過して感光性組成物1を得た。不揮発分は15質量%であった。
分散体1 :24.0部
分散体4 :12.0部
樹脂(E2-2)溶液 : 6.0部
樹脂(E3-2)溶液 : 2.0部
重合性化合物(B-1) : 3.8部
オキシムエステル系化合物(C1-1) : 0.8部
共重合体(D1-1)溶液 : 1.5部
その他界面活性剤(D2-7)溶液 : 0.3部
有機溶剤(P) :49.6部
(感光性組成物2~60)
実施例1の感光性組成物1を、表6-1~表6-6に記載した原料、量に変えた以外は、実施例1と同様にして感光性組成物2~60を作製した。
B-2:アロニックスM-510(東亞合成社製)
B-3:KAYARAD DPCA-20(日本化薬社製)
(オキシムエステル系化合物(C1))
C1-1:上述した(C1-1)の化合物
C1-2:上述した(C1-2)の化合物
C1-3:上述した(C1-3)の化合物
C1-4:上述した(C1-4)の化合物
C1-5:上述した(C1-5)の化合物
C1-6:上述した(C1-6)の化合物
C1-7:上述した(C1-7)の化合物
C2-1:上述した(C2-1)の化合物
C2-5:Omnirad 907(IGM Resins社製)
(その他界面活性剤(D2))
D2-7:下記構造の化合物(一般式(8)で表される化合物)の1%PGMAc溶液
D2-8:下記構造の化合物(一般式(9)で表される化合物)の1%PGMAc溶液
D2-9:下記構造の化合物(一般式(10)で表される化合物)の1%PGMAc溶液
D2-10:メガファックF-563(DIC社製のフッ素系界面活性剤)の1%PGMAc溶液
D2-11:BYK-330(ビックケミー社製、一般式(8)で表される化合物)の1%PGMAc溶液
D2-12:DOWSIL FZ-2122(ダウ・東レ社製、一般式(10)で表される化合物)の1%PGMAc溶液
P-1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
P-2:シクロヘキサノン
P-3:3-エトキシプロピオン酸エチル
以上、P-1、P-2、及びP-3を8:1:1の質量比にて混合し、有機溶剤(P)とした。
分散体10を26.0部、分散体11を10.0部、樹脂(E3-3)溶液を8.0部、アロニックスM-402を3.8部、Omnirad 907を0.8部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.1部、及びBYK-333(ビックケミー社製のシリコーン系界面活性剤)の1%PGMAc溶液1.8部を加えて、混合・攪拌し、孔径1.0μmのフィルタで濾過して上塗り層形成用組成物を得た。なお、BYK-333は、共重合体(D1)に含まれない。
得られた感光性組成物1~60について、以下の評価を行った。評価結果を表7に示す。
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mmのガラス基板(コーニング社製イーグル2000)上に、回転数1000rpm、回転時間10秒で塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。
ナトリウムランプを照射して、塗膜の状態を目視で観察した。評価基準は、以下の通りであり、3以上を実用可能とする。
5:波状の塗工ムラが観察されなかった。
4:波状の塗布ムラが基板端面部のみで僅かに観察された。
3:波状の塗布ムラが僅かに観察された。
2:波状の塗布ムラが基板端面部のみではっきりと観察された。
1:波状の塗布ムラがはっきりと観察された。
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mmのガラス基板(コーニング社製イーグル2000)上に、回転数200rpm、回転時間10秒で塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。
光学顕微鏡を用いてハジキの発生を観察した。なお、ハジキは、ガラス基板上に感光性組成物を塗工し乾燥した後に、塗膜表面に円形状の凹みや穴が生じる現象である。評価基準は、以下の通りであり、3以上を実用可能とする。
5:ハジキの個数が3個未満であった。
4:ハジキの個数が3個以上5未満であった。
3:ハジキの個数が5個以上15未満であった。
2:ハジキの個数が15個以上30未満であった。
1:ハジキの個数が30個以上であった。
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製イーグル2000)に、回転数200rpm、回転時間10秒で塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。
フィルメトリクス社製(F50)の光学式膜厚計を用いて、膜厚を測定した。評価は、最も薄い部分の膜厚と最も厚い部分の膜厚の差(以下、膜厚差という)を算出した。評価基準は、以下の通りであり、3以上が実用可能である。
5:膜厚差が0.02μm以下
4:膜厚差が0.02μmより大きく、0.03μm以下
3:膜厚差が0.03μmより大きく、0.04μm以下
2:膜厚差が0.04μmより大きく、0.05μm以下
1:膜厚差が0.05μmより大きい
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製イーグル2000)に、回転数200rpm、回転時間10秒で塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、超高圧水銀灯を用い、照度30mW/cm2、露光量50mJ/cm2で露光した。
得られた塗膜上に、上塗り層形成用組成物を回転数1000rpm、回転時間10秒で塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。
上塗り層を目視及び光学顕微鏡で観察した。評価基準は、以下の通りであり、3以上を実用可能とする。
5:ムラ、ハジキが観察されなかった。
4:ムラ、若しくはハジキが僅かに観察された。
3:ムラ、ハジキが僅かに観察された。
2:ムラ、若しくはハジキがはっきりと観察された。
1:ムラ、ハジキがはっきりと観察された。
得られた感光性組成物を、スピンコート法により縦100mm×横100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製イーグル2000)に、回転数200rpm、回転時間10秒で塗工し、70℃1分間ホットプレートで乾燥した。次いで、この基板を室温に冷却後、超高圧水銀灯を用い、100μm幅のストライプパターンを有するフォトマスクを介して照度30mW/cm2、露光量50mJ/cm2で露光した。その後、この基板を23℃の非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%とを含む水系現像液を用いて、スプレー現像した後、イオン交換水で洗浄、風乾した。スプレー現像は、現像残りなくパターン形成可能な最短時間で行った。得られた基板をクリーンオーブンで、230℃30分間ポストベークした後、更に230℃3時間加熱した。
金属顕微鏡「BX60」(オリンパスシステム社製)を用いて、パターン画素の間のガラス基板上の異物の数を計測した。倍率は500倍とし、透過にて任意の5視野で観測可能な異物の数を積算で計測した。評価基準は、以下の通りであり、3以上が実用可能である。
5:異物の数が5個未満
4:異物の数が5個以上、10個未満
3:異物の数が10個以上、20個未満
2:異物の数が20個以上、50個未満
1:異物の数が50個以上
Claims (10)
- 顔料(A)、重合性化合物(B)、重合開始剤(C)、及び界面活性剤(D)を含む感光性組成物であって、
前記界面活性剤(D)が、実質的にフッ素原子を含まず、下記一般式(1)で表される単量体単位(d1)を含むブロックA、及び下記一般式(2)で表される単量体単位(d2)を含むブロックBを有するブロック共重合体(D1)を含む感光性組成物。
一般式(1)
(一般式(1)中、R1は、それぞれ独立して炭素数1~6のアルキル基、又は-OSi(R5)3で表わされる基(R5は、それぞれ独立して炭素数1~3のアルキル基)である。
R2は、それぞれ独立して炭素数1~6のアルキル基である。
R3は、炭素数1~6のアルキル基である。
R4は、水素原子、又はメチル基である。
L1は、2価の有機基、又は単結合である。
nは、1~70の整数である。)
一般式(2)
(一般式(2)中、R6は、炭素数3~20の脂環式炭化水素基である。
R7は、水素原子、又はメチル基である。
L2は、2価の有機基、又は単結合である。) - 前記一般式(2)で表される単量体単位(d2)の含有量が、前記共重合体(D1)100質量%に対して、5~70質量%である請求項1に記載の感光性組成物。
- 前記一般式(2)中のR6が、多環脂環式炭化水素基である請求項1に記載の感光性組成物。
- 前記界面活性剤(D)が、更に、前記共重合体(D1)以外の界面活性剤(D2)を含む請求項1に記載の感光性組成物。
- 前記重合開始剤(C)が、オキシムエステル系化合物(C1)を含む請求項1に記載の感光性組成物。
- 請求項1~5のいずれか1項に記載の感光性組成物から形成されてなる膜。
- 請求項6に記載の膜を有する光学フィルタ。
- 請求項7に記載の光学フィルタを有する固体撮像素子。
- 請求項7に記載の光学フィルタを有する画像表示装置。
- 請求項7に記載の光学フィルタを有する赤外線センサ。
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