JPWO2009084196A1 - 移動体駆動システム、パターン形成装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (31)
- 実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記移動体が対向する前記所定平面と平行な第1面上に、第1方向を長手方向として配置され、前記第1方向又は該第1方向に垂直な第2方向を周期方向とする第1格子が形成された第1スケールと;
前記第1面に、前記第2方向を長手方向として配置され、前記第1格子と周期方向が直交する第2格子が形成された第2スケールと;
前記移動体の前記所定平面に実質的に平行な第2面に前記第2方向の位置を異ならせて配置された前記第1格子の周期方向を計測方向とする複数の第1ヘッドを含む第1ヘッド群と、前記移動体の前記第2面に前記第1方向の位置を異ならせて配置された前記第2格子の周期方向を計測方向とする複数の第2ヘッドを含む第2ヘッド群と、を有し、前記第1スケールに対向する前記第1ヘッドの出力と、前記第2スケールに対向する前記第2ヘッドの出力とに基づいて、前記移動体の前記第1及び第2方向を含む前記所定平面内の少なくとも2自由度方向の位置情報を算出する計測システムと;
前記計測システムにより算出された位置情報に基づいて、前記移動体を前記所定平面に沿って駆動する駆動系と;を備える移動体駆動システム。 - 請求項1に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記第1スケールは、前記第1ヘッドが3つ同時に対向可能な前記第2方向の幅を有し、
前記計測システムは、前記第1スケールに同時に対向する少なくとも2つの第1ヘッドの出力と、前記第2スケールに対向する前記第2ヘッドの出力とに基づいて、前記移動体の前記所定平面内の3自由度方向の位置情報を算出する移動体駆動システム。 - 請求項1に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記第1スケールは、前記第1面上に、長手方向を前記第1方向に向けて所定間隔で一対配置され、
前記第1ヘッド群は、前記移動体が所定の有効領域内にあるとき、前記一対の第1スケールの各々に、少なくとも各1つ同時に対向可能となる配置で、前記移動体の前記第2面に配置され、
前記計測システムは、前記一対の第1スケールの各々に同時に対向する2つの第1ヘッドの出力と、前記第2スケールに対向する前記第2ヘッドの出力とに基づいて、前記移動体の前記所定平面内の3自由度方向の位置情報を算出する移動体駆動システム。 - 請求項1に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記第2スケールは、前記第1面上に、長手方向を前記第2方向に向けて所定間隔で一対配置され、
前記第2ヘッド群は、前記移動体が前記有効領域内にあるとき、前記一対の第2スケールの各々に、少なくとも各1つ同時に対向可能となる配置で、前記移動体の前記第2面に配置され、
前記計測システムは、前記一対の第1スケールの各々に同時に対向する2つの第1ヘッドの出力と、前記一対の第2スケールの各々に同時に対向する2つの第2ヘッドの出力に基づいて、前記移動体の前記所定平面内の3自由度方向の位置情報を算出する移動体駆動システム。 - 実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記移動体が対向する前記所定平面と平行な第1面上に、第1方向を長手方向として配置され、前記第1方向及び該第1方向に垂直な第2方向を周期方向とする2次元格子が形成されたスケールと;
前記移動体の前記所定平面に実質的に平行な第2面に前記第2方向の位置を異ならせて配置された前記第1、第2方向を計測方向とする複数の2次元ヘッドを有し、前記スケールに対向する2次元ヘッドの出力に基づいて、前記移動体の前記第1及び第2方向を含む前記所定平面内の少なくとも2自由度方向の位置情報を算出する計測システムと;
前記計測システムにより算出された位置情報に基づいて、前記移動体を前記所定平面に沿って駆動する駆動系と;を備える移動体駆動システム。 - 請求項5に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記スケールは、前記2次元ヘッドが3つ同時に対向可能な前記第2方向の幅を有し、
前記計測システムは、前記スケールに同時に対向する少なくとも2つの2次元ヘッドの出力に基づいて、前記移動体の前記所定平面内の3自由度方向の位置情報を算出する移動体駆動システム。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記駆動系は、前記移動体を前記所定平面に沿って駆動する平面モータを含む移動体駆動システム。 - 物体にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記物体上にパターンを生成するパターニング装置と;
請求項1〜7のいずれか一項に記載の移動体駆動システムと;を備え、
前記物体に対するパターン形成のために前記移動体駆動システムによる前記物体が載置される移動体の駆動を行うパターン形成装置。 - 請求項8に記載のパターン形成装置において、
前記物体は感応層を有し、前記パターニング装置は、エネルギビームの照射による前記感応層の露光によって前記物体上にパターンを生成するパターン形成装置。 - エネルギビームの照射によって物体にパターンを形成する露光装置であって、
前記物体に前記エネルギビームを照射するパターニング装置と;
請求項1〜7のいずれか一項に記載の移動体駆動システムと;を備え、
前記エネルギビームと前記物体との相対移動のために、前記移動体駆動システムによる前記物体が載置される移動体の駆動を行う露光装置。 - エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持して所定平面に沿って移動可能な移動体と;
前記所定平面と実質的に平行かつ第1方向を長手方向として配置されるスケールと;
前記移動体に設けられ、前記所定平面内で前記第1方向と直交する第2方向に関して位置が異なる複数のヘッドを有し、少なくとも前記物体の露光時に前記移動体の位置情報を、前記スケールと対向する、前記複数のヘッドの少なくとも1つによって計測するエンコーダシステムと;を備える露光装置。 - 請求項11に記載の露光装置において、
前記エネルギビームを前記物体に投射する投影系と;
前記投影系を保持する保持部材と;をさらに備え、
前記スケールは、前記保持部材に吊り下げ支持される露光装置。 - 請求項11又は12に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドはそれぞれ、異なる2方向に関して前記移動体の位置情報を計測可能である露光装置。 - 請求項11〜13のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記スケールは複数設けられ、
前記エンコーダシステムは、前記複数のヘッドが前記複数のスケールにそれぞれ対応して前記移動体に設けられる露光装置。 - 請求項11、13、14のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記エネルギビームを前記物体に投射する投影系と;
前記物体のマークを検出可能なマーク検出系と;をさらに備え、
前記エンコーダシステムは、前記マークの検出時に前記移動体の位置情報を計測可能である露光装置。 - 請求項15に記載の露光装置において、
前記スケールは、前記投影系に近接して配置され、前記スケールとは別のスケールが前記マーク検出系に近接して配置される露光装置。 - 請求項10〜16のいずれか一項に記載の露光装置を用いて物体を露光することと;
前記露光された物体を現像することと;
を含むデバイス製造方法。 - エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
前記物体を移動体で保持することと;
請求項1〜7のいずれか一項に記載の移動体駆動システムによって前記移動体を駆動して、前記物体を前記エネルギビームで露光することと:
を含む露光方法。 - 実質的に所定平面に沿って移動する移動体に保持された物体をエネルギビームで露光する露光方法であって、
前記移動体が対向する前記所定平面と平行な第1面上に、第1方向を長手方向とし、かつ前記第1方向又は該第1方向に垂直な第2方向を周期方向とする第1格子が形成された第1スケールと、前記第2方向を長手方向とし、かつ前記第1格子と周期方向が直交する第2格子が形成された第2スケールと、が配置され、
前記移動体の前記所定平面に実質的に平行な第2面に前記第2方向の位置を異ならせて配置された前記第1格子の周期方向を計測方向とする複数の第1ヘッドを含む第1ヘッド群と、前記移動体の前記第2面に前記第1方向の位置を異ならせて配置された前記第2格子の周期方向を計測方向とする複数の第2ヘッドを含む第2ヘッド群とのうち、前記第1スケールに対向する前記第1ヘッドの出力と、前記第2スケールに対向する前記第2ヘッドの出力とに基づいて、前記移動体の前記第1及び第2方向を含む前記所定平面内の少なくとも2自由度方向の位置情報を算出する計測工程と;
前記計測工程で算出された位置情報に基づいて、前記移動体を前記所定平面に沿って駆動する駆動工程と;を含む露光方法。 - 請求項19に記載の露光方法において、
前記第1スケールは、前記第1ヘッドが3つ同時に対向可能な前記第2方向の幅を有し、
前記計測工程では、前記第1スケールに同時に対向する少なくとも2つの第1ヘッドの出力と、前記第2スケールに対向する前記第2ヘッドの出力とに基づいて、前記移動体の前記所定平面内の3自由度方向の位置情報を算出する露光方法。 - 請求項19に記載の露光方法において、
前記第1スケールは、前記第1面上に、長手方向を前記第1方向に向けて所定間隔で一対配置され、
前記第1ヘッド群は、前記移動体が所定の有効領域内にあるとき、前記一対の第1スケールの各々に、少なくとも各1つ同時に対向可能となる配置で、前記移動体の前記第2面に配置され、
前記計測工程では、前記一対の第1スケールの各々に同時に対向する2つの第1ヘッドの出力と、前記第2スケールに対向する前記第2ヘッドの出力とに基づいて、前記移動体の前記所定平面内の3自由度方向の位置情報を算出する露光方法。 - 請求項19に記載の露光方法において、
前記第2スケールは、前記第1面上に、長手方向を前記第2方向に向けて所定間隔で一対配置され、
前記第2ヘッド群は、前記移動体が前記有効領域内にあるとき、前記一対の第2スケールの各々に、少なくとも各1つ同時に対向可能となる配置で、前記移動体の前記第2面に配置され、
前記計測工程では、前記一対の第1スケールの各々に同時に対向する2つの第1ヘッドの出力と、前記一対の第2スケールの各々に同時に対向する2つの第2ヘッドの出力に基づいて、前記移動体の前記所定平面内の3自由度方向の位置情報を算出する露光方法。 - 実質的に所定平面に沿って移動する移動体に保持された物体をエネルギビームで露光する露光方法であって、
前記移動体が対向する前記所定平面と平行な第1面上に、第1方向を長手方向とし、かつ前記第1方向及び該第1方向に垂直な第2方向を周期方向とする2次元格子が形成されたスケールが配置され、
前記移動体の前記所定平面に実質的に平行な第2面に前記第2方向の位置を異ならせて配置された前記第1、第2方向を計測方向とする複数の2次元ヘッドのうち、前記スケールに対向する2次元ヘッドの出力に基づいて、前記移動体の前記第1及び第2方向を含む前記所定平面内の少なくとも2自由度方向の位置情報を算出する計測工程と;
前記計測工程で算出された位置情報に基づいて、前記移動体を前記所定平面に沿って駆動する駆動工程と;を含む露光方法。 - 請求項23に記載の露光方法において、
前記スケールは、前記2次元ヘッドが3つ同時に対向可能な前記第2方向の幅を有し、
前記計測工程では、前記スケールに同時に対向する少なくとも2つの2次元ヘッドの出力に基づいて、前記移動体の前記所定平面内の3自由度方向の位置情報を算出する露光方法。 - 所定平面に沿って移動可能な移動体に保持された物体をエネルギビームで露光する露光方法であって、
前記移動体に設けられ、前記所定平面内で前記第1方向と直交する第2方向に関して位置が異なる複数のヘッドを有するエンコーダシステムを用い、前記所定平面と実質的に平行かつ第1方向を長手方向として配置されるスケールと対向する前記複数のヘッドのうちの少なくとも1つのヘッドによって、少なくとも前記物体の露光時に前記移動体の位置情報を、計測する露光方法。 - 請求項25に記載の露光方法において、
前記スケールは、前記エネルギビームを前記物体に投射する投影系を保持する保持部材に吊り下げ支持される露光方法。 - 請求項25又は26に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドそれぞれとして、異なる2方向に関して前記移動体の位置情報を計測可能なヘッドが用いられる露光方法。 - 請求項25〜27のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記スケールは複数設けられ、
前記複数のヘッドが前記複数のスケールにそれぞれ対応して前記移動体に設けられる露光方法。 - 請求項25〜28のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記エンコーダシステムは、マーク検出系による前記物体のマークの検出時に前記移動体の位置情報を計測可能である露光方法。 - 請求項29に記載の露光方法において、
前記スケールは、前記エネルギビームを前記物体に投射する投影系に近接して配置され、前記スケールとは別のスケールが前記マーク検出系に近接して配置される露光方法。 - 請求項19〜30のいずれか一項に記載の露光方法を用いて物体を露光することと;
前記露光された物体を現像することと;
を含むデバイス製造方法。
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