JP2012032215A - 産業機械 - Google Patents

産業機械 Download PDF

Info

Publication number
JP2012032215A
JP2012032215A JP2010170405A JP2010170405A JP2012032215A JP 2012032215 A JP2012032215 A JP 2012032215A JP 2010170405 A JP2010170405 A JP 2010170405A JP 2010170405 A JP2010170405 A JP 2010170405A JP 2012032215 A JP2012032215 A JP 2012032215A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spindle
axis direction
moving mechanism
absolute
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010170405A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Majima
崇 間嶋
Hideki Kumagai
英樹 熊谷
Kazumi Mizukami
一己 水上
Tomohiro Usui
智祐 臼井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2010170405A priority Critical patent/JP2012032215A/ja
Priority to US13/179,783 priority patent/US8578618B2/en
Publication of JP2012032215A publication Critical patent/JP2012032215A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Numerical Control (AREA)

Abstract

【課題】 移動機構の位置に基づく信号を出力するリニアエンコーダの原点位置を検出する動作を不要にでき、短時間で測定を開始できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機1は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル2と、スピンドル2の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置3とを備えるものであって、スピンドル2の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダ11を備える。このため、三次元測定機1による測定を短時間で開始できる。
【選択図】図1

Description

本発明は産業機械に関する。
従来、被測定物を測定するために設けられた制御対象物としてのプローブを互いに直交するX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向に移動させる移動機構と、移動機構の位置を制御することによりプローブの位置を制御する制御装置とを備える産業機械としての三次元測定機が知られている(例えば、特許文献1参照)。
このような三次元測定機では、移動機構は、鉛直方向(Z軸方向)に立設され、プローブを水平面内のX軸方向に移動させるX軸方向移動機構としての門形フレームと、門形フレームのY軸方向に延びる水平部にY軸方向に沿って移動可能にZ軸方向に立設され、プローブをY軸方向に移動させるY軸方向移動機構としてのスライダと、スライダにZ軸方向に沿って移動可能に設けられ、プローブを支持するとともにZ軸方向に移動させるZ軸方向移動機構としてのスピンドルとを備えている。
各軸方向移動機構にはそれぞれインクリメンタル型のリニアエンコーダが設けられ、このリニアエンコーダからの各軸方向移動機構の各軸方向の位置に基づく信号が制御装置に送られる。この信号に基づいて、プローブの各軸方向における位置が制御装置によってフィードバック制御される。
特表2009−527747号公報
しかし、このような三次元測定機では、インクリメンタル型のリニアエンコーダを用いているため、電源投入直後はプローブの位置はわからない。このとき、プローブの位置を認識するためには、三次元測定機の電源投入後、予め定められたリニアエンコーダの原点位置を検出する動作が必要であり、またその検出に時間が必要となる。よって、三次元測定機による測定開始までに時間がかかる。
このことは、特に大型の三次元測定機などにおいて、電源投入時のプローブの位置がリニアエンコーダの原点位置から大きく離れている場合に顕著となる。
本発明の目的は、移動機構の位置に基づく信号を出力するリニアエンコーダの原点位置を検出する動作を不要にでき、短時間で測定を開始できる産業機械を提供することである。
本発明の産業機械は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構と、前記移動機構の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置とを備えた産業機械であって、前記移動機構の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダを備えることを特徴とする。
このような構成によれば、産業機械の電源投入直後に、アブソリュート型のリニアエンコーダによって移動機構の絶対位置がわかり、この移動機構の絶対位置に基づいて制御対象物の絶対位置がわかって、リニアエンコーダの原点位置を検出する動作が不要となる。よって、産業機械による測定を短時間で開始できる。
本発明の実施形態に係る三次元測定機を示すブロック図。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1に示す産業機械としての三次元測定機1には、図示しない被測定物を測定するための制御対象物としてのプローブが設けられ、三次元測定機1は、互いに直交するX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向(図1中左右方向)へプローブを移動させる移動機構と、移動機構の位置を制御することによりプローブの位置を制御する制御装置3とを備える。移動機構は、図示しないX軸方向移動機構とY軸方向移動機構、および図1に示すZ軸方向移動機構としてのスピンドル2を備える。
以下の説明では、Z軸方向移動機構としてのスピンドル2と関連した構成等についてのみ説明し、他は説明を省略する。
スピンドル2にはリニアスケール111が設けられている。スピンドル2とリニアスケール111とは、駆動モータ40からの駆動力によって、駆動モータ40の出力側に取り付けられたボールねじ41の軸方向に沿って一体で移動される。リニアスケール111に対向してヘッド112が固定配置されており、リニアスケール111とヘッド112とでアブソリュート型のリニアエンコーダ11が構成されている。
ヘッド112は、スピンドル2とリニアスケール111との移動により、スピンドル2のZ軸方向における絶対位置に基づく信号から、スピンドル2のZ軸方向における絶対位置を出力する。この絶対位置は位置信号値K1として制御装置3に送られる。
駆動モータ40には、ロータリーエンコーダ42が取り付けられている。ロータリーエンコーダ42はインクリメンタル型のものでもアブソリュート型のものでもどちらでもよい。ロータリーエンコーダ42は、駆動モータ40の回転角度に基づくパルス波形の信号を出力する。この信号は信号値K3として制御装置3に送られる。
制御装置3は、スピンドル2の位置の制御を実行するモーションコントローラ31と、モーションコントローラ31に所定の指令を与えるホストコンピュータ32とを備える。
モーションコントローラ31は、位置制御部311と速度制御部312と電流制御部313とを備える。
位置制御部311は、ホストコンピュータ32からのZ軸方向の位置指令値K0と位置信号値K1に基づくスピンドル2のZ軸方向における絶対位置との差を受け取り、その差に基づいてスピンドル2の位置をフィードバック制御する。また、位置制御部311は、前述した差を0とするように速度指令値K2を出力する。
速度制御部312は、速度指令値K2と信号値K3に基づく駆動モータ40の回転速度との差を受け取り、その差を0とするように電流指令値K4を出力する。
電流制御部313は、電流指令値K4を受け取り、フィードバック制御により、電流指令値K4に等しい電流指令値K5を駆動モータ40に出力する。これにより、駆動モータ40は電流指令値K5に基づいて駆動される。
ホストコンピュータ32は、リニアエンコーダ11によって検出されるスピンドル2の絶対位置に基づいてプローブの絶対位置を取得する。具体的には、プローブの絶対位置とスピンドル2の絶対位置とが予め関連付けられた対応テーブルがホストコンピュータ32に記憶されており、この対応テーブルとリニアエンコーダ11で検出されたスピンドル2の絶対位置とに基づいてプローブの絶対位置が取得される。
以上のような本実施形態の三次元測定機1では、以下の効果がある。
本実施形態の三次元測定機1では、電源投入直後に、アブソリュート型のリニアエンコーダ11によってスピンドル2の絶対位置がわかり、このスピンドル2の絶対位置に基づいてプローブの絶対位置がわかって、リニアエンコーダ11の原点位置を検出する動作が不要となる。よって、三次元測定機1による測定を短時間で開始できる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記実施形態では、プローブをX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向に沿って移動させる三次元測定機1について説明したが、プローブを少なくとも1軸方向、例えばX軸方向に移動させる産業ロボットなどであってもよい。
また、前記実施形態では、プローブの絶対位置は、予め記憶された対応テーブルに基づいて取得されたが、ホストコンピュータ32が、所定の数式を用いることで、リニアエンコーダ11で検出されるスピンドル2の絶対位置からプローブの絶対位置を算出してもよい。
本発明は産業機械に利用することができる。
1…三次元測定機(産業機械)
2…スピンドル(移動機構)
3…制御装置
11…アブソリュート型のリニアエンコーダ

Claims (1)

  1. 所定の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構と、前記移動機構の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置とを備えた産業機械であって、
    前記移動機構の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダを備えることを特徴とする産業機械。
JP2010170405A 2010-07-29 2010-07-29 産業機械 Pending JP2012032215A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010170405A JP2012032215A (ja) 2010-07-29 2010-07-29 産業機械
US13/179,783 US8578618B2 (en) 2010-07-29 2011-07-11 Three-dimensional measuring instrument

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010170405A JP2012032215A (ja) 2010-07-29 2010-07-29 産業機械

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012032215A true JP2012032215A (ja) 2012-02-16

Family

ID=45525238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010170405A Pending JP2012032215A (ja) 2010-07-29 2010-07-29 産業機械

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8578618B2 (ja)
JP (1) JP2012032215A (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012032215A (ja) * 2010-07-29 2012-02-16 Mitsutoyo Corp 産業機械
JP2019066418A (ja) 2017-10-04 2019-04-25 株式会社ミツトヨ 測定装置および測定システム
JP7306883B2 (ja) 2019-06-05 2023-07-11 株式会社ミツトヨ 座標測定機、及び座標測定プログラム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3042157U (ja) * 1997-04-04 1997-10-14 ダイトーエムイー株式会社 三次元座標測定機
JPH11142138A (ja) * 1997-11-11 1999-05-28 Kawasaki Heavy Ind Ltd 3次元自動計測装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4492356A (en) * 1982-02-26 1985-01-08 Hitachi, Ltd. Precision parallel translation system
US4575942A (en) * 1982-10-18 1986-03-18 Hitachi, Ltd. Ultra-precision two-dimensional moving apparatus
US5040431A (en) * 1988-01-22 1991-08-20 Canon Kabushiki Kaisha Movement guiding mechanism
JP2974535B2 (ja) * 1993-03-11 1999-11-10 キヤノン株式会社 位置決め装置
US5523941A (en) * 1994-10-04 1996-06-04 Burton; Gary L. X-Y-theta positioning mechanism
US5699621A (en) * 1996-02-21 1997-12-23 Massachusetts Institute Of Technology Positioner with long travel in two dimensions
WO2003026838A1 (en) * 2001-09-24 2003-04-03 Agency For Science, Technology And Research Decoupled planar positioning system
GB0411837D0 (en) * 2004-05-27 2004-06-30 Leuven K U Res & Dev A measurement configuration based on linear scales able to measure to a target also moving perpendicular to the measurement axis
DE102006009181A1 (de) 2006-02-24 2007-09-06 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Sichere Überwachung der Geschwindigkeit bei Koordinatenmessgeräten
US7712354B2 (en) * 2006-06-06 2010-05-11 Jeol Ltd. Method and apparatus for controlling Z-position of probe
US8237916B2 (en) * 2007-12-28 2012-08-07 Nikon Corporation Movable body drive system, pattern formation apparatus, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method
JP5528038B2 (ja) 2009-09-15 2014-06-25 株式会社ミツトヨ 形状測定装置
JP2012032215A (ja) * 2010-07-29 2012-02-16 Mitsutoyo Corp 産業機械
JP5843531B2 (ja) * 2010-09-27 2016-01-13 株式会社ミツトヨ 座標測定用ヘッドユニット及び座標測定機
US8552879B2 (en) * 2010-10-21 2013-10-08 Xerox Corporation Method and apparatus for determining the amount of media on an elevator that supports a media stack in an image production device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3042157U (ja) * 1997-04-04 1997-10-14 ダイトーエムイー株式会社 三次元座標測定機
JPH11142138A (ja) * 1997-11-11 1999-05-28 Kawasaki Heavy Ind Ltd 3次元自動計測装置

Also Published As

Publication number Publication date
US8578618B2 (en) 2013-11-12
US20120023765A1 (en) 2012-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109129414B (zh) 控制装置、机器人以及机器人系统
JP5639934B2 (ja) 表面性状測定機
EP2530428A1 (en) Coordinate positioning machine using proxy module
JP2006227886A (ja) サーボ制御装置及びサーボ系の調整方法
JP2011224727A (ja) ロボットシステム
JP5897671B1 (ja) モータ端及び機械端の軌跡を表示する軌跡表示装置
US10031507B2 (en) Servo control device
JP5657633B2 (ja) 移動体が反転するときの位置誤差を補正するサーボ制御装置
US8810181B2 (en) Control apparatus and measuring apparatus
JP2019086823A (ja) 加工システム
JP2010238174A (ja) 位置決め装置及び位置決め方法
JP2008152536A (ja) 非真円形状加工装置
JP5388823B2 (ja) 軌跡測定装置
JP5991249B2 (ja) 数値制御装置
JP2012032215A (ja) 産業機械
JP2010284737A (ja) 位置決め装置
JP4172614B2 (ja) ボールネジ送り駆動補正方法
JPS62248009A (ja) 数値制御装置
JP4618616B2 (ja) 数値制御装置
JPWO2015083275A1 (ja) 軌跡測定装置、数値制御装置および軌跡測定方法
CN111624940B (zh) 信息处理装置以及信息处理方法
JP2012018008A (ja) 産業機械および産業機械の制御方法
JP2013195241A (ja) 表面性状測定機および表面性状測定方法
JP2011070538A (ja) 加工制御装置およびレーザ加工装置
JP2018106279A (ja) 数値制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130604

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20131108

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131203

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140131

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140924

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141014

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20141111