JP5489068B2 - 位置計測システム、露光装置、位置計測方法、露光方法及びデバイス製造方法、並びに工具及び計測方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1の実施形態を図1〜図14(C)に基づいて説明する。
ここで、Y1、Y2は、光強度信号S1と所定のスライスレベルSLとの交点のY座標である(図7(B)参照)。なお、補助スケールとして前述の格子がない部分を用いる(設ける)場合には、「格子がない部分」の中心を求める方式でも良い。
ここで、Lは、Yヘッド64y1、64y2間の設計上の距離である。なお、本実施形態では、距離Lは、前述したFDバー46上の一対の基準格子の間隔に一致しているものとする。また、距離Lは設計値でなく実測値でもよい。
なお、光強度信号Sの光強度のレベルが十分大きい場合には、図7(C)に示されるように、制御装置20は、予め実験又はシミュレーション等で求めたスライスレベルSLと、信号Sとの1つの交点のY座標Y0’、すなわち補助スケール39Y4,39Y3の一端(例えば+Y端)の点のY座標を、補助スケール39Y4,39Y3それぞれの基準点におけるY位置情報として求めても良い。なお、FDバー46の一対の基準格子52を、ヘッド64y1,64y2を用いて、前述と同様の手順で計測して、その一対の基準格子52のY軸方向の中央の点のY位置情報を求めておくことで、計測ステージMST(計測ステージ干渉計システム118B)についても、ウエハステージWST(干渉計システム118A)と同様にθz回転の復帰(リセット)が可能である。
次に、本発明の第2の実施形態について、図15〜図23に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (28)
- 所定の平面内で移動する移動体の位置情報を計測する位置計測システムであって、
前記移動体と該移動体の外部との一方の前記平面に平行な所定面上に配置され、所定方向に延設される格子を含む第1グレーティングと;
前記所定面上の前記第1グレーティングとは異なる位置に設けられたキャリブレーションエリアと;
前記移動体と該移動体の外部との他方に設けられた少なくとも1つのヘッドを有し、前記第1グレーティングに対向するヘッドの出力に基づいて、前記移動体の位置情報を計測するエンコーダと;を備え、
前記キャリブレーションエリアは、前記ヘッドが対向して配置されて前記エンコーダのキャリブレーションが行われる領域であり、該領域には、所定のパターンが形成され、あるいはパターンが一切設けられていない位置計測システム。 - 請求項1に記載の位置計測システムにおいて、
前記キャリブレーションエリアは、前記所定方向に関して前記第1グレーティングと並置される位置計測システム。 - 請求項2に記載の位置計測システムにおいて、
前記第1グレーティングは、前記移動体に設けられ、前記第1グレーティングの前記所定方向の少なくとも一側に所定間隔隔てて前記キャリブレーションエリアが配置されている位置計測システム。 - 請求項3に記載の位置計測システムにおいて、
前記第1グレーティングの格子は、少なくとも前記所定方向に周期性を有し、
前記キャリブレーションエリアには、前記所定のパターンとして前記所定方向に周期性を有する格子を含み、前記第1グレーティングに比べて前記周期方向のサイズが小さい第2グレーティングが配置されている位置計測システム。 - 請求項4に記載の位置計測システムにおいて、
前記ヘッドは、前記第1グレーティング及び前記第2グレーティングのうち、対向するグレーティングに前記所定方向に光ビームを照射する照射系と、前記グレーティングからの回折光を受光する受光系とを含む位置計測システム。 - 請求項5に記載の位置計測システムにおいて、
前記光ビームの所定方向のサイズは、前記第2グレーティングの所定方向のサイズより小さく、かつ前記所定の間隔より小さい位置計測システム。 - 請求項5又は6に記載の位置計測システムにおいて、
前記移動体を前記平面に平行な面内の所定方向に駆動しつつ、前記第2グレーティングに対向するヘッドの前記受光系の光電変換信号を取り込み、該光電変換信号と所定の閾値とに基づいて、前記移動体上の基準点の前記所定方向の位置情報を算出する制御装置をさらに備える位置計測システム。 - 請求項7に記載の位置計測システムにおいて、
前記制御装置は、前記第2グレーティングの前記所定方向の一端から他端を前記ヘッドからの光ビームが横切る範囲で前記移動体を前記平面に平行な面内の所定方向に駆動しつつ、その駆動中、前記格子部からの回折光を受光する受光系の光電変換信号を取り込み、該光電変換信号と前記閾値とに基づいて、前記第2グレーティングの前記所定方向の中点の位置情報を、前記基準点の前記所定方向の位置情報として算出する位置計測システム。 - 請求項7又は8に記載の位置計測システムにおいて、
前記エンコーダは、前記平面と平行な面上の異なる位置に配置された複数のヘッドを有し、
前記制御装置は、複数のヘッドのそれぞれが、前記第2グレーティングに対向する経路にそれぞれ沿って前記移動体を前記所定方向に駆動し、前記第2グレーティングに対向する各ヘッドの前記受光系の光電変換信号を取り込み、該光電変換信号と所定の閾値とに基づいて、前記移動体上の基準点の前記所定方向の位置情報を、複数のヘッドのそれぞれを用いて計測する位置計測システム。 - 物体を露光して所定のパターンを形成する露光装置であって、
前記物体を保持して所定の平面内で移動する移動体と;
前記移動体の位置情報を計測する請求項1〜9のいずれか一項に記載の位置計測システムと;を備える露光装置。 - 物体を露光して所定のパターンを形成する露光装置であって、
前記物体を保持して所定の平面内で移動する移動体と;
前記移動体と該移動体の外部との一方の前記平面に平行な所定面上に配置され、所定方向に延設される格子を含む第1グレーティングと;
前記移動体と該移動体の外部との他方に設けられた少なくとも1つのヘッドを有し、前記第1グレーティングに対向するヘッドの出力に基づいて、前記移動体の位置情報を計測するエンコーダと;
前記物体上にパターンを形成するパターン生成装置と;
前記物体上のマークを検出するマーク検出装置と;
前記パターン生成装置による前記物体に対するパターンの形成と、前記マーク検出装置による前記物体上のマークの検出とのいずれも行われていない所定のときに、前記ヘッドが対向する前記所定面上の位置に設けられたキャリブレーションエリアと;
を備え、
前記キャリブレーションエリアは、前記移動体を移動させて行われる、前記ヘッドのキャリブレーションに用いる領域であり、該領域には、所定のパターンが形成され、あるいはパターンが一切設けられていない露光装置。 - 請求項11に記載の露光装置において、
前記キャリブレーションエリアには、前記所定のパターンとして前記所定方向を格子の周期方向とし前記第1グレーティングに比べて前記周期方向のサイズが小さい第2グレーティングが配置されている露光装置。 - 請求項12に記載の露光装置において、
前記ヘッドは、前記第1グレーティング及び前記第2グレーティングのうち、対向するグレーティングに前記所定方向に光ビームを照射する照射系と、前記グレーティングからの回折光を受光する受光系とを含む露光装置。 - 請求項11〜13のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1グレーティングは、前記移動体の外部の前記平面に平行な所定面上に配置されるとともに、前記所定面に対向する前記移動体の面上には、異なる位置に複数のヘッドが設けられ、
前記複数のヘッドの内の所定の1つが、露光位置の近傍に位置するときに、残りのヘッドが対向する前記所定面上の位置に、前記キャリブレーションエリアが配置されている露光装置。 - 所定の平面内で移動する移動体の位置情報を計測する位置計測方法であって、
前記移動体を前記平面に平行な面内の所定方向に駆動しつつ、前記移動体と該移動体の外部との一方の前記平面に平行な所定面上に配置され所定方向を周期方向とする格子部に、前記移動体と該移動体の外部との他方に設けられたエンコーダのヘッドから光ビームを照射し、その格子部からの回折光を受光する受光系の光電変換信号を取り込む第1工程と;
前記光電変換信号と所定の閾値とに基づいて、前記格子部の基準点の前記所定方向の位置情報を算出する第2工程と;を含む、位置計測方法。 - 請求項15に記載の位置計測方法において、
前記第1工程では、前記格子部の前記所定方向の一端から他端を前記ヘッドからの光ビームが横切る範囲で前記移動体を前記平面に平行な面内の所定方向に駆動しつつ、その駆動中、前記格子部からの回折光を受光する受光系の光電変換信号を取り込み、
前記第2工程では、前記光電変換信号と前記閾値とに基づいて、前記格子部の前記所定方向の中点の位置情報を、前記基準点の前記所定方向の位置情報として算出する位置計測方法。 - 請求項15又は16に記載の位置計測方法において、
前記エンコーダは、前記移動体と該移動体の外部との他方の異なる位置に配置された複数のヘッドを有し、
第1工程の処理と第2工程の処理とが、前記複数のヘッドのそれぞれについて行われる位置計測方法。 - 請求項15〜17のいずれか一項に記載の位置計測方法において、
前記格子部は、前記移動体上に設けられ、前記ヘッドは、前記移動体外部に設けられている位置計測方法。 - 請求項18に記載の位置計測方法において、
前記移動体上には、前記格子部が前記所定方向に直交する方向に離れて一対配置され、
前記第1工程では、前記移動体を前記平面に平行な面内の所定方向に駆動しつつ、前記一対の格子部に、一対のエンコーダのヘッドから光ビームをそれぞれ照射し、前記一対の格子部からの回折光を個別に受光する一対の受光系の光電変換信号をそれぞれ取り込み、
前記第2工程では、前記一対の受光系の光電変換信号と前記閾値とに基づいて、前記移動体上の一対の基準点の前記所定方向の位置情報を算出し、
前記一対の基準点の前記所定方向の位置情報に基づいて、前記移動体の前記平面に平行な面内での回転を算出する第3工程をさらに含む位置計測方法。 - 請求項15〜19のいずれか一項に記載の位置計測方法において、
前記第1工程では、前記光ビームとして所定方向に細長い光ビームが用いられる位置計測方法。 - 請求項20に記載の位置計測方法において、
前記光ビームの所定方向のサイズは、前記格子部の所定方向のサイズより小さい位置計測方法。 - 物体を露光して所定のパターンを形成する露光方法であって、
前記物体を保持して所定の平面内で移動する移動体の位置情報を請求項15〜21のいずれか一項に記載の位置計測方法を用いて計測する工程と;
前記物体に対するパターンの形成のため、前記計測結果を考慮して、前記移動体の位置を制御する工程と;を含む露光方法。 - 請求項22に記載の露光方法を用いて、物体を露光し該物体上にパターンを形成する工程と;
前記パターンが形成された物体を現像する工程と;を含むデバイス製造方法。 - エンコーダのヘッドとマーク検出系とに同一方向から対向可能な移動体上に搭載される工具であって、
光透過性の素材から成るプレートを備え、
前記プレートの一方の面に前記マーク検出系により検出可能なマークが形成され、
前記プレートの他方の面の前記マークに対向する領域外の位置に前記ヘッドが対向可能な格子が形成された工具。 - 請求項24に記載の工具において、
前記プレートは、ガラスウエハである工具。 - 請求項24又は25に記載の工具において、
前記プレートの他方の面の前記マークに対向する領域に遮光膜が形成されている工具。 - エンコーダのヘッドとマーク検出系とに同一方向から対向可能な移動体上に、請求項24〜26のいずれか一項に記載の工具を搭載する第1工程と;
前記移動体を駆動して前記マーク検出系により前記マークの位置情報を検出する第2工程と;
前記移動体を駆動して前記格子に前記エンコーダの前記ヘッドを対向させ、該ヘッドの出力に基づいて前記格子の位置情報を検出する第3工程と;
前記マークと前記格子との位置関係と、前記マークの位置情報と、前記格子の位置情報とに基づいて、前記マーク検出系の検出中心と前記ヘッドとの位置関係を算出する第4工程と;を含む計測方法。 - 請求項27に記載の計測方法において、
前記エンコーダは複数のヘッドを有し、
前記第3工程で、前記複数のヘッドを順次前記格子に対向させ、格子に対向するヘッドの出力に基づいて、前記格子の複数の位置情報を順次検出し、
前記第4工程では、前記マークと前記格子との位置関係と、前記マークの位置情報と、前記格子の複数の位置情報とに基づいて、前記マーク検出系の検出中心と前記複数のヘッドそれぞれとの位置関係を算出する計測方法。
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