JPWO2008156121A1 - 有機薄膜トランジスタ及び有機薄膜発光トランジスタ - Google Patents

Abstract

少なくとも基板上にゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の３端子、絶縁体層並びに有機半導体層が設けられ、ソース−ドレイン間電流をゲート電極に電圧を印加することによって制御する有機薄膜トランジスタにおいて、前記有機半導体層が、中心に芳香族炭化水素基又は芳香族複素環基とアセチレン構造とを有する特定の有機化合物を含む有機薄膜トランジスタ、有機薄膜トランジスタにおいて、ソース−ドレイン間を流れる電流を利用して発光を得、ゲート電極に電圧を印加することによって発光を制御する有機薄膜発光トランジスタ、並びにそれに適した化合物によって、応答速度が高速で、しかもオン／オフ比が大きい有機薄膜トランジスタ、それを利用した有機薄膜発光トランジスタ及びそれに適した化合物を提供する。

Description

本発明は、有機半導体層を有する有機薄膜トランジスタ及び有機薄膜発光トランジスタに関し、特に、高い電界効果移動度を有する化合物を含み高速動作が可能な有機薄膜トランジスタ、それを発光素子として用いた有機薄膜発光トランジスタ及びそれに適した化合物に関するものである。

薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）は、液晶表示装置等の表示用のスイッチング素子として広く用いられている。代表的なＴＦＴの断面構造を図３に示す。同図に示すように、ＴＦＴは、基板上にゲート電極及び絶縁体層をこの順に有し、絶縁体層上に、所定の間隔をあけて形成されたソース電極及びドレイン電極を有している。双方の電極の一部表面を含み、電極間に露出する絶縁体層上には、半導体層が形成されている。このような構成のＴＦＴでは、半導体層がチャネル領域を成しており、ゲート電極に印加される電圧でソース電極とドレイン電極の間に流れる電流が制御されることによってオン／オフ動作する。
従来、ＴＦＴは、アモルファスや多結晶のシリコンを用いて作製されていたが、このようなシリコンを用いたＴＦＴの作製に用いられるＣＶＤ装置は、非常に高額であり、ＴＦＴを用いた表示装置等の大型化は、製造コストの大幅な増加を伴うという問題点があった。また、アモルファスや多結晶のシリコンを成膜するプロセスは非常に高い温度下で行われるので、基板として使用可能な材料の種類が限られてしまうため、軽量な樹脂基板等は使用できないという問題があった。

このような問題を解決するために、アモルファスや多結晶のシリコンに代えて有機物を用いたＴＦＴ（以下、有機ＴＦＴと略記する場合がある。）が提案されている。有機物でＴＦＴを形成する際に用いる成膜方法として真空蒸着法や塗布法等が知られているが、これらの成膜方法によれば、製造コストの上昇を抑えつつ素子の大型化が実現可能になり、成膜時に必要となるプロセス温度を比較的低温にすることができる。このため、有機ＴＦＴでは、基板に用いる材料の選択時の制限が少ないといった利点があり、その実用化が期待されており、盛んに研究報告がなされている。
有機ＴＦＴに用いる有機物半導体としては、ｐ型では共役系ポリマーやチオフェンなどの多量体、金属フタロシアニン化合物、ペンタセンなどの縮合芳香族炭化水素などが、単体又は他の化合物との混合物の状態で用いられている。また、ｎ型ＦＥＴ（電界効果トランジスタ）の材料としては、例えば、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボキシルジアンヒドライド（ＮＴＣＤＡ）、11,11,12,12-テトラシアノナフト-2,6- キノジメタン（ＴＣＮＮＱＤ）、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボキシルジイミド（ＮＴＣＤＩ）や、フッ素化フタロシアニンが知られている。

一方、同じように電気伝導を用いるデバイスとして有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子があるが、有機ＥＬ素子が、一般に１００ｎｍ以下の超薄膜の膜厚方向に１０⁵Ｖ／ｃｍ以上の強電界をかけ強制的に電荷を流しているのに対し、有機ＴＦＴの場合には数μｍ以上の距離を１０⁵Ｖ／ｃｍ以下の電界で高速に電荷を流す必要があり、有機物自体に、さらなる電導性が必要になる。しかしながら、従来の有機ＴＦＴにおける上記化合物は電界効果移動度が小さく、応答速度が遅く、トランジスタとしての高速応答性に問題があった。また、オン／オフ比も小さかった。
ここで言うオン／オフ比とは、ゲート電圧をかけたとき（オン）のソース−ドレイン間に流れる電流を、ゲート電圧をかけないとき（オフ）のソース−ドレイン間に流れる電流で割った値であり、オン電流とは通常ゲート電圧を増加させていき、ソース−ドレイン間に流れる電流が飽和したときの電流値（飽和電流）のことである。
また、特許文献１や非特許文献１、２には、オレフィン構造と芳香族炭化水素基または芳香族複素環基との組み合わせにより高い移動度（ｈｉｇｈ ｍｏｂｉｌｉｔｙ）を示す有機化合物が記載されているが、これらは応答速度が遅いという欠点がある。
また、非特許文献３には、アセチレン構造とベンゼン環を組み合わせた４量体構造が有機トランジスタ特性を示すことが記載されているが、移動度が低いという欠点がある。

ＰＣＴ国際出願公表ＷＯ２００６／１１３２０５号公報 Hong Mengら,Journal of American Chemical Society,128巻,9304頁,2006年 Lay-Lay Chuaら,Nature,434巻,194頁,2005年 T.Oyamadaら,Japanese Journal of Applied Physics,45巻,L1331頁,2006年

本発明は、前記の課題を解決するためになされたもので、応答速度（駆動速度）が高速で、しかもオン／オフ比が大きい有機薄膜トランジスタ、それを利用した有機薄膜発光トランジスタ及びそれに適した有機化合物を提供することを目的とする。

本発明者らは、前記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、有機薄膜トランジスタの有機半導体層に、下記一般式（１）で表される構造を有する有機化合物を用いることにより応答速度（駆動速度）を高速化することができることを見出し本発明を完成したものである。
すなわち、本発明は、少なくとも基板上にゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の３端子、絶縁体層並びに有機半導体層が設けられ、ソース−ドレイン間電流をゲート電極に電圧を印加する事によって制御する有機薄膜トランジスタにおいて、前記有機半導体層が、下記一般式（１）の構造を有する有機化合物を含む有機薄膜トランジスタを提供するものである。

［式中、Ｂ₁及びＢ₂は、それぞれ独立に、炭素数６〜６０の２価の芳香族炭化水素基又は炭素数１〜６０の２価の芳香族複素環基であり、Ｒ₁〜Ｒ₁₀は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１〜３０のアルキル基、炭素数１〜３０のハロアルキル基、炭素数１〜３０のアルコキシル基、炭素数１〜３０のハロアルコキシル基、炭素数１〜３０のアルキルアミノ基、炭素数２〜６０のジアルキルアミノ基（アルキル基は互いに結合して窒素原子を含む環構造を形成していても良い）、炭素数１〜３０のアルキルスルホニル基、炭素数１〜３０のハロアルキルスルホニル基、炭素数１〜３０のアルキルチオ基、炭素数１〜３０のハロアルキルチオ基、炭素数３〜３０のアルキルシリル基、炭素数６〜６０の芳香族炭化水素基、又は炭素数１〜６０の芳香族複素環基であり、これら各基は置換基を有していても良く、また、Ｒ₁〜Ｒ₅、Ｒ₆〜Ｒ₁₀で隣接するもの同士で飽和又は不飽和の環状構造を形成していても良い。］

また、本発明は、有機薄膜トランジスタにおいて、ソース−ドレイン間を流れる電流を利用して発光を得、ゲート電極に電圧を印加することによって発光を制御する有機薄膜発光トランジスタを提供するものである。

また、本発明は、下記一般式（２）で表される有機化合物を提供するものである。

［式中、Ｒ₁₁及びＲ₁₂は、それぞれ独立に、炭素数１〜３０のアルキル基である。］

また、本発明は、下記一般式（３）で表される有機化合物を提供するものである。

［式中、Ｒ₁₃〜Ｒ₂₂は、それぞれ独立に、炭素数１〜３０のアルキル基であり、Ｂ₃及びＢ₄は、それぞれ独立に、２価の炭素数１０〜６０の２環以上の縮合芳香族炭化水素基又は２価の炭素数４〜６０の２環以上の縮合芳香族複素環基である。］

本発明の有機薄膜トランジスタは、応答速度（駆動速度）が高速化されており、しかもオン／オフ比が大きく、トランジスタとしての性能が高いものであり、発光可能な有機薄膜発光トランジスタとしても利用できる。

本発明の有機薄膜トランジスタの素子構成の一例を示す図である。 本発明の有機薄膜トランジスタの素子構成の一例を示す図である。 本発明の有機薄膜トランジスタの素子構成の一例を示す図である。 本発明の有機薄膜トランジスタの素子構成の一例を示す図である。 本発明の有機薄膜トランジスタの素子構成の一例を示す図である。 本発明の有機薄膜トランジスタの素子構成の一例を示す図である。 本発明の実施例における有機薄膜トランジスタの素子構成の一例を示す図である。 本発明の実施例における有機薄膜発光トランジスタの素子構成の一例を示す図である。 実施例５において得られた本発明の有機薄膜発光トランジスタの発光スペクトルを示す図である。

本発明は、少なくとも基板上にゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の３端子、絶縁体層並びに有機半導体層が設けられ、ソース−ドレイン間電流をゲート電極に電圧を印加する事によって制御する有機薄膜トランジスタにおいて、前記有機半導体層が、下記一般式（１）の構造を有する有機化合物を含む有機薄膜トランジスタである。

前記一般式（１）において、Ｂ₁及びＢ₂は、それぞれ独立に、炭素数６〜６０の２価の芳香族炭化水素基又は炭素数１〜６０の２価の芳香族複素環基であり、これら各基は置換基を有しても良い。
前記一般式（１）において、Ｂ₁及びＢ₂が、それぞれ独立に、ベンゼン環を含む基であると好ましい。
前記一般式（１）において、Ｂ₁及びＢ₂が、それぞれ独立に、５員環の芳香族複素環を含む基であると好ましい。
前記Ｂ₁及びＢ₂の芳香族炭化水素基の具体例としては、置換基を有しても良いベンゼン、ナフタレン、アントラセン、テトラセン、ペンタセン、フェナントレン、クリセン、トリフェニレン、コラニュレン、コロネン、ヘキサベンゾトリフェニレン、ヘキサベンゾコロネン、スマネン等の２価の残基が挙げられる。
また、Ｂ₁及びＢ₂の芳香族複素環基の具体例としては、置換基を有しても良いピリジン、ピラジン、キノリン、ナフチリジン、キノキサリン、フェナジン、ジアザアントラセン、ピリドキノリン、ピリミドキナゾリン、ピラジノキノキサリン、フェナントロリン、カルバゾール、ジベンゾチオフェン、チエノチオフェン、ジチエノチオフェン、ジベンゾフラン、ベンゾジフラン、ジチアインダセン、ジチアインデノインデン、ジベンゾセレノフェン、ジセレナインダセン、ジセレナインデノインデン、ジベンゾシロール等の２価の残基が挙げられる。
前記一般式（１）において、Ｂ₁及びＢ₂が、Ｂ₁及びＢ₂によって挟まれる二重結合に対して対称構造であると好ましく、Ｂ₁−＝−Ｂ₂で表されるπ共役構造が平面をとるとより好ましい。
前記Ｂ₁及びＢ₂が有してもよい置換基としては、後述するＲ₁〜Ｒ₁₀と同様のものが挙げられる。

前記一般式（１）において、Ｒ₁〜Ｒ₁₀は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１〜３０のアルキル基、炭素数１〜３０のハロアルキル基、炭素数１〜３０のアルコキシル基、炭素数１〜３０のハロアルコキシル基、炭素数１〜３０のアルキルアミノ基、炭素数２〜６０のジアルキルアミノ基（アルキル基は互いに結合して窒素原子を含む環構造を形成していても良い）、炭素数１〜３０のアルキルスルホニル基、炭素数１〜３０のハロアルキルスルホニル基、炭素数１〜３０のアルキルチオ基、炭素数１〜３０のハロアルキルチオ基、炭素数３〜３０のアルキルシリル基、炭素数６〜６０の芳香族炭化水素基、又は炭素数１〜６０の芳香族複素環基であり、これら各基は置換基を有していても良く、また、Ｒ₁〜Ｒ₅、Ｒ₆〜Ｒ₁₀で隣接するもの同士で飽和又は不飽和の環状構造を形成していても良い。

また、一般式（１）において、Ｒ₁〜Ｒ₁₀は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜３０のアルキル基又は炭素数１〜３０のハロアルキル基であると好ましい。
また、一般式（１）において、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₄、Ｒ₅、Ｒ₆、Ｒ₇、Ｒ₉及びＲ₁₀が水素原子であり、かつＲ₃及びＲ₈の少なくとも一方が、炭素数１〜３０のアルキル基、炭素数１〜３０のハロアルキル基、ハロゲン原子又はシアノ基であると化合物がより緻密な配向構造をとることとなり好ましい。

また、本発明の有機薄膜トランジスタに用いる特定の構造を有する有機化合物は、基本的にはｐ型（正孔伝導）及びｎ型（電子伝導）を示す両極性であり、後述するソース、ドレイン電極との組み合わせでｐ型素子としてもｎ型素子としても駆動することが可能であるが、前記一般式（１）において、Ｂ₁〜Ｂ₂上に置換する基あるいはＲ₁〜Ｒ₁₀として電子受容性の基を用いることにより、最低非占有軌道（ＬＵＭＯ）レベルを下げ、ｎ型半導体として機能させることができる。電子受容性の基として好ましいものは、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１〜３０のハロアルキル基、炭素数１〜３０のハロアルコキシル基、炭素数１〜３０のハロアルキルスルホニル基である。また、Ｒ₁〜Ｒ₁₀及びＢ₁〜Ｂ₄上に置換する基として電子供与性の基を用いることにより、最高占有軌道（ＨＯＭＯ）レベルを上げｐ型半導体として機能させることができる。電子供与性の基として好ましいものは、水素原子、炭素数１〜３０のアルキル基、炭素数１〜３０のアルコキシル基、炭素数１〜３０のアルキルアミノ基、炭素数２〜６０のジアルキルアミノ基（アミノ基は互いに結合して窒素原子を含む環構造を形成していても良い）である。

以下、一般式（１）のＲ₁〜Ｒ₁₀が示す各基の具体例を説明する。
前記ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素原子が挙げられる。
前記アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基、ｎ−ウンデシル基、ｎ−ドデシル基、ｎ−トリデシル基、ｎ−テトラデシル基、ｎ−ペンタデシル基、ｎ−ヘキサデシル基、ｎ−ヘプタデシル基、ｎ−オクタデシル基、ｎ−ノナデシル基、ｎ−イコサン基、ｎ−ヘニコサン基、ｎ−ドコサン基、ｎ−トリコサン基、ｎ−テトラコサン基、ｎ−ペンタコサン基、ｎ−ヘキサコサン基、ｎ−ヘプタコサン基、ｎ−オクタコサン基、ｎ−ノナコサン基、ｎ−トリアコンタン基等が挙げられる。
前記ハロアルキル基としては、例えば、クロロメチル基、１−クロロエチル基、２−クロロエチル基、２−クロロイソブチル基、１，２−ジクロロエチル基、１，３−ジクロロイソプロピル基、２，３−ジクロロ−ｔ−ブチル基、１，２，３−トリクロロプロピル基、ブロモメチル基、１−ブロモエチル基、２−ブロモエチル基、２−ブロモイソブチル基、１，２−ジブロモエチル基、１，３−ジブロモイソプロピル基、２，３−ジブロモ−ｔ−ブチル基、１，２，３−トリブロモプロピル基、ヨードメチル基、１−ヨードエチル基、２−ヨードエチル基、２−ヨードイソブチル基、１，２−ジヨードエチル基、１，３−ジヨードイソプロピル基、２，３−ジヨード−ｔ−ブチル基、１，２，３−トリヨードプロピル基、フルオロメチル基、１−フルオロメチル基，２−フルオロメチル基、２−フルオロイソブチル基、１，２−ジフロロエチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、パーフルオロイソプロピル基、パーフルオロブチル基、パーフルオロシクロヘキシル基等が挙げられる。

前記アルコキシル基は、−ＯＸ¹で表される基であり、Ｘ¹の例としては、前記アルキル基で説明したものと同様の例が挙げられ、前記ハロアルコキシル基は、−ＯＸ²で表される基であり、Ｘ²の例としては、前記ハロアルキル基で説明したものと同様の例が挙げられる。
前記アルキルチオ基は、−ＳＸ¹で表される基であり、Ｘ¹の例としては、前記アルキル基で説明したものと同様の例が挙げられ、前記ハロアルキルチオ基は、−ＳＸ²で表される基であり、Ｘ²の例としては、前記ハロアルキル基で説明したものと同様の例が挙げられる。
前記アルキルアミノ基は、−ＮＨＸ¹で表される基であり、ジアルキルアミノ基は−ＮＸ¹Ｘ³で表される基であり、Ｘ¹及びＸ³は、それぞれ前記アルキル基で説明したものと同様の例が挙げられる。なお、ジアルキルアミノ基のアルキル基は互いに結合して窒素原子を含む環構造を形成しても良く、環構造としては、例えば、ピロリジン、ピペリジン等が挙げられる。
前記アルキルスルホニル基は、−ＳＯ₂Ｘ¹で表される基であり、Ｘ¹の例としては、前記アルキル基で説明したものと同様の例が挙げられ、前記ハロアルキルスルホニル基は、−ＳＯ₂Ｘ²で表される基であり、Ｘ²の例としては、前記ハロアルキル基で説明したものと同様の例が挙げられる。

前記芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、フルオレニル基、ペリレニル基、テトラセニル基、ペンタセニル基等が挙げられる。
前記芳香族複素環基としては、例えば、ジチエノフェニル基、ベンゾフラニル基、ベンゾチオフェニル基、キノリニル基、カルバゾリル基、ジベンゾフラニル基、ジベンゾチオフェニル基、ベンゾチアジアゾニル基等が挙げられる。
前記アルキルシリル基としては、−ＳｉＸ¹Ｘ²Ｘ³で表される基であり、Ｘ¹、Ｘ²及びＸ³は、それぞれ前記アルキル基で説明したものと同様の例が挙げられる。
前記飽和環状構造としては、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、１，４−ジオキサニル基などが挙げられる。
前記不飽和環状構造としては、前記芳香族炭化水素基，前記芳香族複素環基で説明したものと同様の例が挙げられる。
前記一般式（１）の示す各基をさらに置換していても良い置換基としては、芳香族炭化水素基、芳香族複素環基、アルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アリールチオ基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基等が挙げられる。

また本発明は、下記一般式（２）で表される有機化合物を提供する。

前記一般式（２）おいて、Ｒ₁₁及びＲ₁₂は、それぞれ独立に、炭素数１〜３０のアルキル基であり、その具体例としては、前記一般式（１）においてＲ₁〜Ｒ₁₀が示す炭素数１〜３０のアルキル基の具体例と同様の基が挙げられる。

また本発明は、以下の一般式（３）で表される有機化合物を提供する。

前記一般式（３）において、Ｒ₁₃〜Ｒ₂₂は、それぞれ独立に、炭素数１〜３０のアルキル基であり、その具体例としては、前記一般式（１）においてＲ₁〜Ｒ₁₀が示す炭素数１〜３０のアルキル基の具体例と同様の基が挙げられる。
前記一般式（３）において、Ｂ₃及びＢ₄は、それぞれ独立に、２価の炭素数１０〜６０の２環以上の縮合芳香族炭化水素基又は２価の炭素数４〜６０の２環以上の縮合芳香族複素環基であり、その具体例としては、前記一般式（１）においてＢ₁及びＢ₂が示す芳香族基のうち２環以上の基であって、炭素数が対応するものが挙げられる。

以下、本発明の有機薄膜トランジスタの有機半導体層に用いられる一般式（１）、（２）又は（３）で表される有機化合物の具体例を挙げるが、本発明はこれらに限定されるものではない。

また、トランジスタのような電子デバイスにおいては材料の純度の高いものを用いることにより電界効果移動度やオン／オフ比の高いデバイスを得ることができる。したがって、上記一般式（１）の構造を有する有機化合物は、必要に応じて、カラムクロマトグラフィー、再結晶、蒸留、昇華などの手法により精製を加えることが望ましい。好ましくはこれらの精製方法を繰り返し用いたり、複数の方法を組み合わせることにより純度を向上させることが可能である。さらに精製の最終工程として昇華精製を少なくとも２回以上繰り返すことが望ましい。これらの手法を用いることによりＨＰＬＣで測定した純度９０％以上の材料を用いることが好ましく、さらに好ましくは９５％以上、特に好ましくは９９％以上の材料を用いることにより、有機薄膜トランジスタの電界効果移動度やオン／オフ比を高め、本来材料の持っている性能を引き出すことができる。

以下、本発明の有機薄膜トランジスタの素子構成について説明する。
本発明の有機薄膜トランジスタの素子構成としては、少なくとも基板上にゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の３端子、絶縁体層並びに有機半導体層が設けられ、ソース−ドレイン間電流をゲート電極に電圧を印加することによって制御する薄膜トランジスタであれば、限定されず、有機半導体層の成分以外が公知の素子構成を有するものであっても良い。
これらのうち、代表的な有機薄膜トランジスタの素子構成として素子Ａ〜Ｄを図１〜４に示す。このように、電極の位置、層の積層順などによりいくつかの構成が知られており、本発明の有機薄膜トランジスタは、電界効果トランジスタ（ＦＥＴ： Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）構造を有している。有機薄膜トランジスタは、有機半導体層（有機化合物層）と、相互に所定の間隔をあけて対向するように形成されたソース電極及びドレイン電極と、ソース電極、ドレイン電極からそれぞれ所定の距離をあけて形成されたゲート電極とを有し、ゲート電極に電圧を印加することによってソース−ドレイン電極間に流れる電流を制御する。ここで、ソース電極とドレイン電極の間隔は本発明の有機薄膜トランジスタを用いる用途によって決定され、通常は０．１μｍ〜１ｍｍ、好ましくは１μｍ〜１ｍｍ、より好ましくは１μｍ〜１００μｍ、さらに好ましくは５μｍ〜１００μｍである。

素子Ａ〜Ｄのうち、図２の素子Ｂを例としてさらに詳しく説明すると、素子Ｂの有機薄膜トランジスタは、基板上に、ゲート電極及び絶縁体層をこの順に有し、絶縁体層上に、所定の間隔をあけて形成された一対のソース電極及びドレイン電極を有し、その上に有機半導体層が形成される。有機半導体層がチャネル領域を成しており、ゲート電極に印加される電圧でソース電極とドレイン電極の間に流れる電流が制御されることによってオン／オフ動作する。

本発明の有機薄膜トランジスタは、前記素子Ａ〜Ｄ以外の素子構成にも、有機薄膜トランジスタとして種々の構成が提案されており、ゲート電極に印加される電圧でソース電極とドレイン電極の間に流れる電流が制御されることによってオン／オフ動作や増幅などの効果が発現する仕組みであればこれらの素子構成に限定されるものではなく、例えば、産業技術総合研究所の吉田らにより第４９回応用物理学関係連合講演会講演予稿集２７ａ−Ｍ−３（２００２年３月）において提案されたトップアンドボトムコンタクト型有機薄膜トランジスタ（図５参照）や、千葉大学の工藤らにより電気学会論文誌１１８−Ａ（１９９８）１４４０頁において提案された縦形の有機薄膜トランジスタ（図６参照）のような素子構成を有するものであっても良い。

（基板）
本発明の有機薄膜トランジスタにおける基板は、有機薄膜トランジスタの構造を支持する役目を担うものであり、材料としてはガラスの他、金属酸化物や窒化物などの無機化合物、プラスチックフィルム（ＰＥＴ，ＰＥＳ，ＰＣ）や金属基板又はこれら複合体や積層体なども用いることが可能である。また、基板以外の構成要素により有機薄膜トランジスタの構造を十分に支持し得る場合には、基板を使用しないことも可能である。また、基板の材料としてはシリコン（Ｓｉ）ウエハが用いられることが多い。この場合、Ｓｉ自体をゲート電極兼基板として用いることができる。また、Ｓｉの表面を酸化し、ＳｉＯ₂を形成して絶縁層として活用することも可能である。この場合、基板兼ゲート電極のＳｉ基板にリード線接続用の電極として、Ａｕなどの金属層を成膜することもある。

（電極）
本発明の有機薄膜トランジスタにおける、ゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の材料としては、導電性材料であれば特に限定されず、白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン鉛、タンタル、インジウム、パラジウム、テルル、レニウム、イリジウム、アルミニウム、ルテニウム、ゲルマニウム、モリブデン、タングステン、酸化スズ・アンチモン、酸化インジウム・スズ（ＩＴＯ）、フッ素ドープ酸化亜鉛、亜鉛、炭素、グラファイト、グラッシーカーボン、銀ペースト及びカーボンペースト、リチウム、ベリリウム、ナトリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、スカンジウム、チタン、マンガン、ジルコニウム、ガリウム、ニオブ、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、アルミニウム、マグネシウム／銅混合物、マグネシウム／銀混合物、マグネシウム／アルミニウム混合物、マグネシウム／インジウム混合物、アルミニウム／酸化アルミニウム混合物、リチウム／アルミニウム混合物等が用いられ、これらはスパッタ法もしくは真空蒸着法により成膜を行う。

本発明の有機薄膜トランジスタにおいて、ソース電極、ドレイン電極としては、上記の導電性材料を含む、溶液、ペースト、インク、分散液などの流動性電極材料を用いて形成したものも利用可能である。また、溶媒や分散媒体としては、有機半導体へのダメージを抑制するため、水を６０質量％以上、好ましくは９０質量％以上含有する溶媒又は分散媒体であることが好ましい。金属微粒子を含有する分散物としては、例えば、公知の導電性ペーストなどを用いても良いが、通常粒子径が０．５ｎｍ〜５０ｎｍ、１ｎｍ〜１０ｎｍの金属微粒子を含有する分散物であると好ましい。この金属微粒子の材料としては、例えば、白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン鉛、タンタル、インジウム、パラジウム、テルル、レニウム、イリジウム、アルミニウム、ルテニウム、ゲルマニウム、モリブデン、タングステン、亜鉛等を用いることができる。
これらの金属微粒子を、主に有機材料からなる分散安定剤を用いて、水や任意の有機溶剤である分散媒中に分散した分散物を用いて電極を形成するのが好ましい。このような金属微粒子の分散物の製造方法としては、ガス中蒸発法、スパッタリング法、金属蒸気合成法などの物理的生成法や、コロイド法、共沈法などの、液相で金属イオンを還元して金属微粒子を生成する化学的生成法が挙げられ、好ましくは、特開平１１−７６８００号公報、同１１−８０６４７号公報、同１１−３１９５３８号公報、特開２０００−２３９８５３号公報等に示されたコロイド法、特開２００１−２５４１８５号公報、同２００１−５３０２８号公報、同２００１−３５２５５号公報、同２０００−１２４１５７号公報、同２０００−１２３６３４号公報などに記載されたガス中蒸発法により製造された金属微粒子の分散物である。
これらの金属微粒子分散物を用いて前記電極を成形し、溶媒を乾燥させた後、必要に応じて１００℃〜３００℃、好ましくは１５０℃〜２００℃の範囲で形状様に加熱することにより、金属微粒子を熱融着させ、目的の形状を有する電極パターンを形成する。

さらに、ゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の材料として、ドーピング等で導電率を向上させた公知の導電性ポリマーを用いることも好ましく、例えば、導電性ポリアニリン、導電性ポリピロール、導電性ポリチオフェン（ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸の錯体など）、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸の錯体なども好適に用いられる。これらの材料によりソース電極とドレイン電極の有機半導体層との接触抵抗を低減することができる。

ソース電極及びドレイン電極を形成する材料は、前述した例の中でも有機半導体層との接触面において電気抵抗が少ないものが好ましい。この際の電気抵抗は、すなわち電流制御デバイスを作製したとき電界効果移動度と対応しており、大きな移動度を得る為には出来るだけ抵抗が小さいことが必要である。これは一般に電極材料の仕事関数と有機半導体層のエネルギー準位との大小関係で決まる。
本発明の有機薄膜トランジスタにおいては、ソース電極及びドレイン電極の少なくとも一方が仕事関数４．２ｅＶ以上の物質からなり、かつ／又は少なくとも一方が仕事関数４．３ｅＶ以下の物質からなることが好ましい。
電極材料の仕事関数（Ｗ）をａ、有機半導体層のイオン化ポテンシャルを（Ｉｐ）をｂ、有機半導体層の電子親和力（Ａｆ）をｃとすると、以下の関係式を満たすことが好ましい。ここで、ａ，ｂ及びｃはいずれも真空準位を基準とする正の値である。

ｐ型有機薄膜トランジスタの場合には、ｂ−ａ＜１．５ｅＶ（式（Ｉ））であることが好ましく、さらに好ましくはｂ−ａ＜１．０ｅＶである。有機半導体層との関係において上記関係が維持できれば高性能なデバイスを得ることができるが、特に電極材料の仕事関数はできるだけ大きいことものを選ぶことが好ましく、仕事関数４．０ｅＶ以上であることが好ましく、さらに好ましくは仕事関数４．２ｅＶ以上である。
金属の仕事関数の値は、例えば化学便覧 基礎編ＩＩ−４９３頁（改訂３版 日本化学会編 丸善株式会社発行１９８３年）に記載されている４．０ｅＶ又はそれ以上の仕事関数をもつ有効金属の前記リストから選別すれば良く、高仕事関数金属は、主としてＡｇ（４．２６，４．５２，４．６４，４．７４ｅＶ），Ａｌ（４．０６，４．２４，４．４１ｅＶ），Ａｕ（５．１，５．３７，５．４７ｅＶ），Ｂｅ（４．９８ｅＶ），Ｂｉ（４．３４ｅＶ），Ｃｄ（４．０８ｅＶ），Ｃｏ（５．０ｅＶ），Ｃｕ（４．６５ｅＶ），Ｆｅ（４．５，４．６７，４．８１ｅＶ），Ｇａ（４．３ｅＶ），Ｈｇ（４．４ｅＶ），Ｉｒ（５．４２，５．７６ｅＶ），Ｍｎ（４．１ｅＶ），Ｍｏ（４．５３，４．５５，４．９５ｅＶ），Ｎｂ（４．０２，４．３６，４．８７ｅＶ），Ｎｉ（５．０４，５．２２，５．３５ｅＶ），Ｏｓ（５．９３ｅＶ），Ｐｂ（４．２５ｅＶ），Ｐｔ（５．６４ｅＶ），Ｐｄ（５．５５ｅＶ），Ｒｅ（４．７２ｅＶ），Ｒｕ（４．７１ｅＶ），Ｓｂ（４．５５，４．７ｅＶ），Ｓｎ（４．４２ｅＶ），Ｔａ（４．０，４．１５，４．８ｅＶ），Ｔｉ（４．３３ｅＶ），Ｖ（４．３ｅＶ），Ｗ（４．４７，４．６３，５．２５ｅＶ），Ｚｒ（４．０５ｅＶ）である。これらの中でも、貴金属（Ａｇ，Ａｕ，Ｃｕ，Ｐｔ），Ｎｉ，Ｃｏ，Ｏｓ，Ｆｅ，Ｇａ，Ｉｒ，Ｍｎ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｅ，Ｒｕ，Ｖ，Ｗが好ましい。金属以外では、ＩＴＯ、ポリアニリンやＰＥＤＯＴ：ＰＳＳのような導電性ポリマー及び炭素が好ましい。電極材料としてはこれらの高仕事関数の物質を１種又は複数含んでいても、仕事関数が前記式（Ｉ）を満たせば特に制限を受けるものではない。

ｎ型有機薄膜トランジスタの場合にはａ−ｃ＜１．５ｅＶ（式（ＩＩ））であることが好ましく，さらに好ましくはａ−ｃ＜１．０ｅＶである。有機半導体層との関係において上記関係が維持できれば高性能なデバイスを得ることができるが、特に電極材料の仕事関数はできるだけ小さいものを選ぶことが好ましく、仕事関数４．３ｅＶ以下であることが好ましく、さらに好ましくは仕事関数３．７ｅＶ以下である。
低仕事関数金属の具体例としては、例えば化学便覧 基礎編ＩＩ−４９３頁（改訂３版日本化学会編 丸善株式会社発行１９８３年）に記載されている４．３ｅＶ又はそれ以上の仕事関数をもつ有効金属の前記リストから選別すれば良く、Ａｇ（４．２６ｅＶ），Ａｌ（４．０６，４．２８ｅＶ），Ｂａ（２．５２ｅＶ），Ｃａ（２．９ｅＶ），Ｃｅ（２．９ｅＶ），Ｃｓ（１．９５ｅＶ），Ｅｒ（２．９７ｅＶ），Ｅｕ（２．５ｅＶ），Ｇｄ（３．１ｅＶ），Ｈｆ（３．９ｅＶ），Ｉｎ（４．０９ｅＶ），Ｋ（２．２８），Ｌａ（３．５ｅＶ），Ｌｉ（２．９３ｅＶ），Ｍｇ（３．６６ｅＶ），Ｎａ（２．３６ｅＶ），Ｎｄ（３．２ｅＶ），Ｒｂ（４．２５ｅＶ），Ｓｃ（３．５ｅＶ），Ｓｍ（２．７ｅＶ），Ｔａ（４．０，４．１５ｅＶ），Ｙ（３．１ｅＶ），Ｙｂ（２．６ｅＶ），Ｚｎ（３．６３ｅＶ）等が挙げられる。これらの中でも、Ｂａ，Ｃａ，Ｃｓ，Ｅｒ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｈｆ，Ｋ，Ｌａ，Ｌｉ，Ｍｇ，Ｎａ，Ｎｄ，Ｒｂ，Ｙ，Ｙｂ，Ｚｎが好ましい。電極材料としてはこれらの低仕事関数の物質を１種又は複数含んでいても、仕事関数が前記式（ＩＩ）を満たせば特に制限を受けるものではない。ただし、低仕事関数金属は、大気中の水分や酸素に触れると容易に劣化してしまうので、必要に応じてＡｇやＡｕのような空気中で安定な金属で被覆することが望ましい。被覆に必要な膜厚は１０ｎｍ以上必要であり、膜厚が熱くなるほど酸素や水から保護することができるが、実用上、生産性を上げる等の理由から１ｕｍ以下にすることが望ましい。

前記電極の形成方法としては、例えば、蒸着、電子ビーム蒸着、スパッタリング、大気圧プラズマ法、イオンプレーティング、化学気相蒸着、電着、無電解メッキ、スピンコーティング、印刷又はインクジェット等の手段により形成される。また、必要に応じてパターニングする方法としては、上記の方法を用いて形成した導電性薄膜を、公知のフォトリソグラフ法やリフトオフ法を用いて電極形成する方法、アルミニウムや銅などの金属箔上に熱転写、インクジェット等により、レジストを形成しエッチングする方法がある。また、導電性ポリマーの溶液あるいは分散液、金属微粒子を含有する分散液等を直接インクジェット法によりパターニングしても良く、塗工膜からリソグラフやレーザーアブレーションなどにより形成しても良い。さらに導電性ポリマーや金属微粒子を含有する導電性インク、導電性ペーストなどを凸版、凹版、平版、スクリーン印刷などの印刷法でパターニングする方法も用いることができる。
このようにして形成された電極の膜厚は電流の導通さえあれば特に制限はないが、好ましくは０．２ｎｍ〜１０μｍ、さらに好ましくは４ｎｍ〜３００ｎｍの範囲である。この好ましい範囲内であれば、膜厚が薄いことにより抵抗が高くなり電圧降下を生じることがない。また、厚すぎないため膜形成に時間がかからず、保護層や有機半導体層など他の層を積層する場合に、段差が生じることが無く積層膜が円滑にできる。

また、本実施の有機薄膜トランジスタでは、例えば、注入効率を向上させる目的で、有機半導体層とソース電極及びドレイン電極との間に、バッファ層を設けても良い。バッファ層としてはｎ型有機薄膜トランジスタに対しては有機ＥＬの陰極に用いられるＬｉＦ、Ｌｉ₂Ｏ、ＣｓＦ、ＮａＣＯ₃、ＫＣｌ、ＭｇＦ₂、ＣａＣＯ₃などのアルカリ金属、アルカリ土類金属イオン結合を持つ化合物が望ましい。また、Ａｌｑなど有機ＥＬで電子注入層、電子輸送層として用いられる化合物を挿入しても良い。
ｐ型有機薄膜トランジスタに対してはＦｅＣｌ₃、ＴＣＮＱ、Ｆ₄−ＴＣＮＱ、ＨＡＴなどのシアノ化合物、ＣＦｘやＧｅＯ₂、ＳｉＯ₂、ＭｏＯ₃、Ｖ₂Ｏ₅、ＶＯ₂、Ｖ₂Ｏ₃、ＭｎＯ、Ｍｎ₃Ｏ₄、ＺｒＯ₂、ＷＯ₃、ＴｉＯ₂、Ｉｎ₂Ｏ₃、ＺｎＯ、ＮｉＯ、ＨｆＯ₂、Ｔａ₂Ｏ₅、ＲｅＯ₃、ＰｂＯ₂などのアルカリ金属、アルカリ土類金属以外の金属酸化物、ＺｎＳ、ＺｎＳｅなどの無機化合物が望ましい。これらの酸化物は多くの場合、酸素欠損を起こし、これが正孔注入に好適である。更にはＴＰＤやＮＰＤなどのアミン系化合物やＣｕＰｃなど有機ＥＬ素子において正孔注入層、正孔輸送層として用いられる化合物でもよい。また、上記の化合物二種類以上からなるものが望ましい。
バッファ層はキャリアの注入障壁を下げることにより閾値電圧を下げ、トランジスタを低電圧駆動させる効果があることが知られているが、われわれは、本発明の化合物に対しては低電圧効果のみならず移動度を向上させる効果があることを見出した。これは、有機半導体と絶縁体層の界面にはキャリアトラップが存在しゲート電圧を印加してキャリア注入が起こると最初に注入したキャリアはトラップを埋めるのに使われるが、バッファ層を挿入することにより、低電圧でトラップが埋められ移動度が向上するためである。バッファ層は電極と有機半導体層との間に薄く存在すればよく、その厚みは０．１ｎｍ〜３０ｎｍ、好ましくは０．３ｎｍ〜２０ｎｍである。

（絶縁体層）
本発明の有機薄膜トランジスタにおける絶縁体層の材料としては、電気絶縁性を有し薄膜として形成できるものであるのなら特に限定されず、金属酸化物（珪素の酸化物を含む）、金属窒化物（珪素の窒化物を含む）、高分子、有機低分子など室温での電気抵抗率が１０Ωｃｍ以上の材料を用いることができ、特に、比誘電率の高い無機酸化物皮膜が好ましい。
無機酸化物としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタン、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウム酸チタン酸バリウム、ジルコニウム酸チタン酸鉛、チタン酸鉛ランタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、フッ化バリウムマグネシウム、ランタン酸化物、フッ素酸化物、マグネシウム酸化物、ビスマス酸化物、チタン酸ビスマス、ニオブ酸化物、チタン酸ストロンチウムビスマス、タンタル酸ストロンチウムビスマス、五酸化タンタル、タンタル酸ニオブ酸ビスマス、トリオキサイドイットリウム及びこれらを組合せたものが挙げられ、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化チタンが好ましい。
また、窒化ケイ素（Ｓｉ₃Ｎ₄、ＳｉｘＮｙ（ｘ、ｙ＞０））、窒化アルミニウム等の無機窒化物も好適に用いることができる。

さらに、絶縁体層は、アルコキシド金属を含む前駆物質で形成されていても良く、この前駆物質の溶液を、例えば基板に被覆し、これを熱処理を含む化学溶液処理をすることにより絶縁体層が形成される。
前記アルコキシド金属における金属としては、例えば、遷移金属、ランタノイド、又は主族元素から選択され、具体的には、バリウム（Ｂａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、チタン（Ｔｉ）、ビスマス（Ｂｉ）、タンタル（Ｔａ）、ジルコン（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、マンガン（Ｍｎ）、鉛（Ｐｂ）、ランタン（Ｌａ）、リチウム（Ｌｉ）、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、ルビジウム（Ｒｂ）、セシウム（Ｃｓ）、フランシウム（Ｆｒ）ベリリウム（Ｂｅ）マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）、ニオブ(Ｎｂ) 、タリウム（Ｔｌ）、水銀（Ｈｇ）、銅（Ｃｕ）、コバルト（Ｃｏ）、ロジウム（Ｒｈ）、スカンジウム（Ｓｃ）及びイットリウム（Ｙ）等が挙げられる。また、前記アルコキシド金属におけるアルコキシドとしては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、イソブタノール等を含むアルコール類、メトキシエタノール、エトキシエタノール、プロポキシエタノール、ブトキシエタノール、ペントキシエタノール、ヘプトキシエタノール、メトキシプロパノール、エトキシプロパノール、プロポキシプロパノール、ブトキシプロパノール、ペントキシプロパノール、ヘプトキシプロパノールを含むアルコキシアルコール類等から誘導されるものが挙げられる。

本発明において、絶縁体層を上記したような材料で構成すると、絶縁体層中に空乏層が発生しやすくなり、トランジスタ動作のしきい電圧を低減することができる。また、上記材料の中でも、特に、Ｓｉ₃Ｎ₄、ＳｉｘＮｙ、ＳｉＯＮｘ（ｘ、ｙ＞０）等の窒化ケイ素で絶縁体層を形成すると、空乏層がいっそう発生しやすくなり、トランジスタ動作のしきい電圧をさらに低減させることができる。
有機化合物を用いた絶縁体層としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリレート、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、アクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、及びシアノエチルプルラン等を用いることもできる。

その他、ワックス、ポリエチレン、ポリクロロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリオキシメチレン、ポリビニルクロライド、ポリフッ化ビニリデン、ポリメチルメタクリレート、ポリサルホン、ポリカーボネート、ポリイミドシアノエチルプルラン、ポリ（ビニルフェノール）（ＰＶＰ）、ポリ（メチルメタクレート）（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリオレフィン、ポリアクリルアミド、ポリ（アクリル酸）、ノボラック樹脂、レゾール樹脂、ポリイミド、ポリキシリレン、エポキシ樹脂に加え、プルランなどの高い誘電率を持つ高分子材料を使用することも可能である。
絶縁体層に用いる有機化合物材料、高分子材料として、特に好ましいのは撥水性を有する材料である。撥水性を有することにより絶縁体層と有機半導体層との相互作用を抑え、有機半導体が本来保有している凝集性を利用して有機半導体層の結晶性を高めデバイス性能を向上させることができる。このような例としては、Yasudaら Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 42 (2003) pp.6614-6618に記載のポリパラキシリレン誘導体やJanos Veres ら Chem. Mater., Vol. 16 (2004) pp. 4543-4555に記載のものが挙げられる。
また、図１及び図４に示すようなトップゲート構造を用いるときに、このような有機化合物を絶縁体層の材料として用いると、有機半導体層に与えるダメージを小さくして成膜することができるため有効な方法である。

前記絶縁体層は、前述したような無機又は有機化合物材料を複数用いた混合層であっても良く、これらの積層構造体であっても良い。この場合、必要に応じて誘電率の高い材料と撥水性を有する材料を混合したり、積層することによりデバイスの性能を制御することもできる。
また、前記絶縁体層は、陽極酸化膜、又は該陽極酸化膜を構成として含んでも良い。陽極酸化膜は封孔処理されることが好ましい。陽極酸化膜は、陽極酸化が可能な金属を公知の方法により陽極酸化することにより形成される。陽極酸化処理可能な金属としては、アルミニウム又はタンタルを挙げることができ、陽極酸化処理の方法には特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。陽極酸化処理を行なうことにより、酸化被膜が形成される。陽極酸化処理に用いられる電解液としては、多孔質酸化皮膜を形成することができるものならばいかなるものでも使用でき、一般には、硫酸、燐酸、蓚酸、クロム酸、ホウ酸、スルファミン酸、ベンゼンスルホン酸等あるいはこれらを２種類以上組み合わせた混酸又はそれらの塩が用いられる。陽極酸化の処理条件は使用する電解液により種々変化するので一概に特定し得ないが、一般的には、電解液の濃度が１〜８０質量％、電解液の温度５〜７０℃、電流密度０．５〜６０Ａ／ｃｍ²、電圧１〜１００ボルト、電解時間１０秒〜５分の範囲が適当である。好ましい陽極酸化処理は、電解液として硫酸、リン酸又はホウ酸の水溶液を用い、直流電流で処理する方法であるが、交流電流を用いることもできる。これらの酸の濃度は５〜４５質量％であることが好ましく、電解液の温度２０〜５０℃、電流密度０．５〜２０Ａ／ｃｍ²で２０〜２５０秒間電解処理するのが好ましい。
絶縁体層の厚さとしては、層の厚さが薄いと有機半導体に印加される実効電圧が大きくなるので、デバイス自体の駆動電圧、閾電圧を下げることができるが、逆にソース−ゲート間のリーク電流が大きくなるので、適切な膜厚を選ぶ必要があり、通常１０ｎｍ〜５μｍ、好ましくは５０ｎｍ〜２μｍ、さらに好ましくは１００ｎｍ〜１μｍである。

また、前記絶縁体層と有機半導体層の間に、任意の配向処理を施しても良い。その好ましい例としては、絶縁体層表面に撥水化処理等を施し絶縁体層と有機半導体層との相互作用を低減させ有機半導体層の結晶性を向上させる方法であり、具体的には、シランカップリング剤、例えば、オクタデシルトリクロロシラン、トリクロロメチルシラザンや、アルカン燐酸、アルカンスルホン酸、アルカンカルボン酸などの自己組織化配向膜材料を、液相又は気相状態で、絶縁膜表面に接触させ自己組織化膜を形成後、適度に乾燥処理を施す方法が挙げられる。また、液晶の配向に用いられるように、絶縁膜表面にポリイミド等で構成された膜を設置し、その表面をラビング処理する方法も好ましい。

前記絶縁体層の形成方法としては、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギーイオンビーム法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、特開平１１−６１４０６号公報、同１１−１３３２０５号公報、特開２０００−１２１８０４号公報、同２０００−１４７２０９号公報、同２０００−１８５３６２号公報に記載の大気圧プラズマ法などのドライプロセスや、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法などの塗布による方法、印刷やインクジェットなどのパターニングによる方法などのウェットプロセスが挙げられ、材料に応じて使用できる。ウェットプロセスは、無機酸化物の微粒子を、任意の有機溶剤又は水に必要に応じて界面活性剤などの分散補助剤を用いて分散した液を塗布、乾燥する方法や、酸化物前駆体、例えば、アルコキシド体の溶液を塗布、乾燥する、いわゆるゾルゲル法が用いられる。

本発明の有機薄膜トランジスタにおける有機半導体層の膜厚は、特に制限されることはないが、通常、０．５ｎｍ〜１μｍであり、２ｎｍ〜２５０ｎｍであると好ましい。
また、有機半導体層の形成方法は特に限定されることはなく公知の方法を適用でき、例えば、分子線蒸着法（ＭＢＥ法）、真空蒸着法、化学蒸着、材料を溶媒に溶かした溶液のディッピング法、スピンコーティング法、キャスティング法、バーコート法、ロールコート法等の印刷、塗布法及びベーキング、エレクトロポリマラインゼーション、分子ビーム蒸着、溶液からのセルフ・アセンブリ、及びこれらの組合せた手段により、前記したような有機半導体層の材料で形成される。
有機半導体層の結晶性を向上させると電界効果移動度が向上するため、気相からの成膜（蒸着，スパッタ等）を用いる場合は成膜中の基板温度を高温で保持することが望ましい。その温度は５０〜２５０℃が好ましく、７０〜１５０℃であるとさらに好ましい。また、成膜方法に関わらず成膜後にアニーリングを実施すると高性能デバイスが得るれるため好ましい。アニーリングの温度は５０〜２００℃が好ましく、７０〜２００℃であるとさらに好ましく、時間は１０分〜１２時間が好ましく、１〜１０時間であるとさらに好ましい。
本発明において、有機半導体層には、一般式（１）から選ばれる材料１種類を用いても良く、複数を組み合わせたり、ペンタセンやチオフェンオリゴマーなどの公知の半導体を用いて複数の混合薄膜又は積層して用いても良い。

本発明の有機薄膜トランジスタの形成方法としては、特に限定されず公知の方法によれば良いが、所望の素子構成に従い、基板投入、ゲート電極形成、絶縁体層形成、有機半導体層形成、ソース電極形成、ドレイン電極形成までの一連の素子作製工程を全く大気に触れることなく形成すると、大気との接触による大気中の水分や酸素などによる素子性能の阻害を防止できるため好ましい。やむをえず、一度大気に触れさせなければならないときは、有機半導体層成膜以後の工程は大気に全く触れさせない工程とし、有機半導体層成膜直前には、有機半導体層を積層する面（例えば素子Ｂの場合は絶縁層に一部ソース電極、ドレイン電極が積層された表面）を紫外線照射、紫外線／オゾン照射、酸素プラズマ、アルゴンプラズマ等で清浄化・活性化した後、有機半導体層を積層することが好ましい。
さらに、例えば、大気中に含まれる酸素、水などの有機半導体層に対する影響を考慮し、有機トランジスタ素子の外周面の全面又は一部に、ガスバリア層を形成しても良い。ガスバリア層を形成する材料としては、この分野で常用されるものを使用でき、例えば、ポリビニルアルコール、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリクロロトリフロロエチレンなどが挙げられる。さらに、前記絶縁体層で例示した、絶縁性を有する無機物も使用できる。

本発明はまた、前記有機薄膜トランジスタにおいて、ソース−ドレイン間を流れる電流を利用して発光を得、ゲート電極に電圧を印加することによって発光を制御する有機薄膜発光トランジスタを提供する。
本発明における、有機薄膜トランジスタはソース、ドレイン電極から注入した電荷を用いて発光素子として用いることもできる。ソース−ドレイン電極間に流れる電流をゲート電極で制御することにより発光強度を制御する。すなわち有機薄膜トランジスタを発光素子（有機ＥＬ）として用いる訳である。発光を制御するためのトランジスタと発光素子を統合できるため、ディスプレイの開口率向上や作製プロセスの簡易化によるコストダウンが可能となり実用上の大きなメリットを与える。有機発光トランジスタとして用いるときは、上記詳細な説明で述べた内容で十分であるが本発明の有機薄膜トランジスタを有機発光トランジスタとして動作させるためにはソース、ドレインの一方から正孔、もう一方から電子を注入する必要あり、発光性能を向上させるため以下の条件を満たすことが好ましい。

（ソース，ドレイン）
正孔の注入性を向上させるため、少なくとも一方は正孔注入性電極であることが好ましい。正孔注入電極とは上記仕事関数４．２ｅＶ以上の物質を含む電極である。
また、電子の注入性を向上させるため少なくとも一方は電子注入性電極であることが好ましい。電子注入性電極とは上記仕事関数４．３ｅＶ以下の物質を含む電極である。更に好ましくは一方が正孔注入性であり，且つ、もう一方が電子注入性である電極を備える有機薄膜発光トランジスタである。

（素子構成）
正孔の注入性を向上させるため，少なくとも一方の電極と有機半導体層の間に正孔注入層を挿入することが好ましい。正孔注入層には有機ＥＬ素子において、正孔注入材料、正孔輸送材料として用いられるアミン系材料が挙げられる。
また、電子の注入性を向上させるため少なくとも一方の電極と有機半導体層の間に電子注入性層を挿入することが好ましい。正孔と同じく電子注入層には有機ＥＬ素子に用いられる電子注入材料を用いることができる
更に好ましくは一方の電極下に正孔注入層を備え、且つ、もう一方の電極下に電子注入層を備える有機薄膜発光トランジスタである。
また、本実施の有機薄膜発光トランジスタでは、例えば、注入効率を向上させる目的で、有機半導体層とソース電極及びドレイン電極との間に、バッファ層を設けても良い。

次に、実施例を用いて本発明をさらに詳しく説明する。
合成例１（化合物（２）の合成）
上記化合物（２）を以下のようにして合成した。合成経路を以下に示す。

３００ミリリットルの３つ口フラスコに４，４’−ジブロモスチルベン ３．００ｇ（８．８７ｍｍｏｌ）、テトラキストリフェニルホスフィンパラジウム ０．５１３ｇ（０．４４３ｍｍｏｌ）、ヨウ化銅（Ｉ） ０．１６９ｇ（０．８８６ｍｍｏｌ）を入れ、アルゴン置換した。これにトリエチルアミン ２２ミリリットル、４−エチニルトルエン ３．０９ｇ（２６．６ｍｍｏｌ）を加え、アルゴン雰囲気下、９時間加熱還流した。反応液を濾過し、得られた固体をジクロロメタン、メタノールにより洗浄することで、化合物（２） ２．３６ｇ（５．７７ｍｍｏｌ，収率６５％）を得た。９０ＭＨｚ ¹Ｈ−ＮＭＲ及びＦＤ−ＭＳ（フィールドディソープションマス分析）の測定により目的物であることを確認した。ＦＤ−ＭＳの測定結果を以下に示す。
ＦＤ−ＭＳ，ｃａｌｃｄ ｆｏｒ Ｃ₄₈Ｈ₃₀Ｓ₂＝４０８，ｆｏｕｎｄ，ｍ／ｚ＝４０８ （Ｍ⁺ ， １００）
また本化合物を２８０℃で昇華精製をおこなった。昇華精製により得られた化合物（２）の純度は９９．５％であった。
なお合成例１においてＦＤ−ＭＳ（フィールドディソープションマス分析）の測定に用いた装置及び測定条件を以下に示す。
＜ＦＤ−ＭＳ測定＞
装置：ＨＸ１１０（日本電子社製）
条件：加速電圧 ８ｋＶ
スキャンレンジ ｍ／ｚ＝５０〜１５００

合成例２（化合物（２９）の合成）
上記化合物（２９）を以下のようにして合成した。合成経路を以下に示す。

（化合物（Ｂ）の合成）
３００ミリリットル三口フラスコに化合物（Ａ） １０．９ｇ（３６．２ｍｍｏｌ）、トリエチルホスファイト １２．０ｇ（７２．３ｍｍｏｌ）を加えた。反応器を１５０℃で３時間加熱還流し、その後減圧下蒸留を行い、反応物から不純物を取り除いた。フラスコに残った残渣をさらにカラムクロマトグラフィーにて精製し、化合物（Ｂ） ９．７１ｇ（２７．２ｍｍｏｌ，収率７５％）を得た。

（化合物（Ｃ）の合成）
３００ミリリットル３つ口フラスコに化合物（Ｂ） ４．００ｇ（１１．２ｍｍｏｌ）、テトラキストリフェニルホスフィンパラジウム ０．６４７ｇ（０．５６０ｍｍｏｌ）、ヨウ化銅（Ｉ） ０．２１３ｇ（１．１２ｍｍｏｌ）を入れ、アルゴン置換した。これにトリエチルアミン １６ミリリットル、テトラヒドロフラン ５６ミリリットル、４−エチニルトルエン ２．６０ｇ（２２．４ｍｍｏｌ）を加え、アルゴン雰囲気下、８時間加熱還流した。反応液を濾過し、得られた固体をジクロロメタン、メタノールにより洗浄することで、化合物（Ｃ） ３．４１ｇ（８．６９ｍｍｏｌ，収率７８％）を得た。

（化合物（Ｅ）の合成）
３００ミリリットルの３つ口フラスコに化合物（Ｄ） ２．００ｇ（８．５１ｍｍｏｌ）、テトラキストリフェニルホスフィンパラジウム ０．４９２ｇ（０．４２６ｍｍｏｌ）、ヨウ化銅（Ｉ） ０．１６２ｇ（０．８５２ｍｍｏｌ）を入れ、アルゴン置換した。これにトリエチルアミン ２０ミリリットル、テトラヒドロフラン ２０ミリリットル、４−エチニルトルエン １．４８ｇ（１２．８ｍｍｏｌ）を加え、アルゴン雰囲気下、９時間加熱還流した。反応液を濾過し、得られた固体をジクロロメタン、メタノールにより洗浄することで、化合物（Ｅ） １．７３ｇ（６．４０ｍｍｏｌ，収率７５％）を得た。

（化合物（２９）の合成）
３００ミリリットル三口フラスコに化合物（Ｃ） １．３５ｇ（３．４４ｍｍｏｌ）を加え、さらにＴＨＦ １０ミリリットルを加える。これに、カリウムターシャリーブトキサイド ０．４６３ｇ（４．１３ｍｍｏｌ）を少量ずつ加えていく。反応器を室温にて３０分攪拌した後、さらに化合物（Ｅ） １．４０ｇ（３．７８ｍｍｏｌ）のＴＨＦ溶液 １０ミリリットルを加え、２時間室温にて攪拌を行った。反応液を濾過し、得られた固体をジクロロメタン，メタノールにて洗浄することで、化合物（２９） ０．８７４ｇ（１．７２ｍｍｏｌ，収率５０％）を得た。９０ＭＨｚ ¹Ｈ−ＮＭＲ及びＦＤ−ＭＳ（フィールドディソープションマス分析）の測定により目的物であることを確認した。ＦＤ−ＭＳの測定結果を以下に示す。なお、ＦＤ−ＭＳの測定に用いた装置ならびに測定条件は合成例１と同様である。
ＦＤ−ＭＳ，ｃａｌｃｄ ｆｏｒ Ｃ₄₈Ｈ₃₀Ｓ₂＝５０８，ｆｏｕｎｄ，ｍ／ｚ＝５０８ （Ｍ⁺ ， １００）

実施例１（有機薄膜トランジスタの製造）
有機薄膜トランジスタを以下の手順で作製した。まず、Ｓｉ基板（Ｐ型比抵抗１Ωｃｍゲート電極兼用）を熱酸化法にて表面を酸化させ、基板上３００ｎｍの熱酸化膜を作製して絶縁体層とした。さらに基板の一方に成膜したＳｉＯ₂膜をドライエッチングにて完全に除去した後、スパッタ法にてクロムを２０ｎｍの膜厚で成膜し、さらにその上に金（Ａｕ）を１００ｎｍスパッタにて成膜し取り出し電極とした。この基板を、中性洗剤、純水、アセトン及びエタノールで各３０分超音波洗浄し、さらにオゾン洗浄を行った。
次に、上記基板を真空蒸着装置（ＵＬＶＡＣ社製，ＥＸ−４００）に設置し、絶縁体層上に前記化合物（２）を０．０５ｎｍ／ｓの蒸着速度で５０ｎｍ膜厚の有機半導体層として成膜した。次いで、金属マスクを通して金を５０ｎｍの膜厚で成膜することにより、互いに接しないソース電極及びドレイン電極を、間隔（チャンネル長Ｌ）が７５μｍになるように形成した。そのときソース電極とドレイン電極の幅（チャンネル幅Ｗ）は５ｍｍとなるように成膜して有機薄膜トランジスタを作製した（図７参照）。
得られた有機薄膜トランジスタのゲート電極に−４０Ｖのゲート電圧を印加し、ソース−ドレイン間に電圧を印加して電流を流した。この場合、正孔が有機半導体層のチャンネル領域（ソース−ドレイン間)に誘起され、ｐ型トランジスタとして動作する。その結果、電流飽和領域でのソース−ドレイン電極間の電流のオン／オフ比は３×１０⁵であった。また、正孔の電界効果移動度μを下記式（Ａ）より算出したところ６×１０^-2ｃｍ²／Ｖｓであった。
Ｉ_D＝（Ｗ／２Ｌ）・Ｃμ・（Ｖ_G−Ｖ_T)² （Ａ）
式中、Ｉ_Dはソース−ドレイン間電流、Ｗはチャンネル幅、Ｌはチャンネル長、Ｃはゲート絶縁体層の単位面積あたりの電気容量、Ｖ_Tはゲート閾値電圧、Ｖ_Gはゲート電圧である。

実施例２（有機薄膜トランジスタの製造）
有機半導体層の材料として、化合物（２）の代わりに化合物（７５）を用いた以外は、実施例１と同様にして有機薄膜トランジスタを作製した。得られた有機薄膜トランジスタについて、実施例１と同様にして、−４０Ｖのゲート電圧Ｖ_Gにてｐ型駆動させた。ソース−ドレイン電極間の電流のオン／オフ比を測定し、正孔の電界効果移動度μを算出した結果を第１表に示す。

実施例３（有機薄膜トランジスタの製造）
有機半導体層の材料として、化合物（２）の代わりに化合物（２１）を用いた以外は、実施例１と同様にして有機半導体層まで成膜した。次いで金属マスクを通してソース−ドレイン電極としてＡｕの代わりにＣａを０．０５ｎｍ／ｓの蒸着速度で２０ｎｍ真空蒸着し，そのあとＡｇを０．０５ｎｍ／ｓの蒸着速度で５０ｎｍ蒸着しＣａを被覆し有機薄膜トランジスタを作製した。得られた有機薄膜トランジスタについて、実施例１と同様にして、＋４０Ｖのゲート電圧Ｖ_Gにてｎ型駆動させた。ソース−ドレイン電極間の電流のオン／オフ比を測定し、電子の電界効果移動度μを算出した結果を第１表に示す

実施例４（有機薄膜トランジスタの製造）
ソース−ドレイン電極としてＡｕ単独の代わりにバッファ層ＭｏＯ₃を０．０５ｎｍ／ｓの蒸着速度で１０ｎｍ真空蒸着してＡｕと化合物（２）の薄膜の間に挿入した以外は、実施例１と同様にして有機薄膜トランジスタを作製した。得られた有機薄膜トランジスタについて、実施例１と同様にして、−４０Ｖのゲート電圧Ｖ_Gにてｐ型駆動させた。ソース−ドレイン電極間の電流のオン／オフ比を測定し、正孔の電界効果移動度μを算出した結果を第１表に示す。

比較例１（有機薄膜トランジスタの製造）
実施例１と同様に基板の洗浄，ゲート電極成膜，絶縁体層を実施した。次いでポリパラフェニレンビニレン（ＰＰＶ）［分子量（Ｍｎ）８６０００，分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ＝５．１）］をトルエンに３質量％溶解させ，前記絶縁体層まで成膜した基板の上にスピンコート法により成膜し，窒素雰囲気下１２０℃にて乾燥させ有機半導体層として成膜した。次いで，真空蒸着装置で金属マスクを通して金（Ａｕ）を５０ｎｍの膜厚で成膜することにより，互いに接しないソース及びドレイン電極を形成し有機薄膜トランジスタを作製した。
得られた有機薄膜トランジスタについて、実施例１と同様にして、−４０Ｖのゲート電圧Ｖ_Gにてｐ型駆動させた。ソース−ドレイン電極間の電流のオン／オフ比を測定し、正孔の電界効果移動度μを算出した結果を第１表に示す。

比較例２
有機半導体層の材料としてポリパラフェニレンビニレン（ＰＰＶ）を用い，有機半導体層までは比較例１とまったく同様に成膜した。その後実施例３と同様にして金属マスクを通してソース−ドレイン電極としてＣａを成膜し，その上にＡｇを被覆して有機薄膜トランジスタを作製した。
得られた有機薄膜トランジスタについて、実施例３と同様にして、＋４０Ｖのゲート電圧Ｖ_Gにてｎ型駆動させた。ソース−ドレイン電極間の電流のオン／オフ比を測定し、正孔の電界効果移動度μを算出した結果を第１表に示す。

実施例５（有機薄膜発光トランジスタの製造）
有機薄膜発光トランジスタを以下の手順で作製した。まず、Ｓｉ基板（Ｐ型比抵抗１Ωｃｍゲート電極兼用）を熱酸化法にて表面を酸化させ、基板上３００ｎｍの熱酸化膜を作製して絶縁体層とした。さらに基板の一方に成膜したＳｉＯ₂膜をドライエッチングにて完全に除去した後、スパッタ法にてクロムを２０ｎｍの膜厚で成膜し、さらにその上に金（Ａｕ）を１００ｎｍスパッタにて成膜し取り出し電極とした。この基板を、中性洗剤、純水、アセトン及びエタノールで各３０分超音波洗浄した。
次に、真空蒸着装置（ＵＬＶＡＣ社製，ＥＸ−９００）に設置し、絶縁体層（ＳｉＯ₂）上に前記化合物（２）を０．０５ｎｍ／ｓの蒸着速度で１００ｎｍ膜厚の有機半導体発光層として成膜した。次いで、上記と同じようにチャンネル長７５μｍ，チャネル幅５ｍｍの金属マスクを設置し，基板を蒸発源に対して４５度傾けた状態でマスクを通して金を５０ｎｍの膜厚で成膜した。次に基板を逆方向に４５度傾けた状態でＭｇを１００ｎｍ蒸着することにより、互いに接しないソース電極及びドレイン電極が実質的に正孔注入性電極（Ａｕ）と電子輸送性電極（Ｍｇ）を備えた有機薄膜発光トランジスタを作製した。（図８参照）
ソース−ドレイン間に−１００Ｖを印加しゲート電極に−１００Ｖ印加すると４０ｃｄ／ｍ²の青色発光が得られた。図９に発光スペクトルを示す。

以上詳細に説明したように、本発明の有機薄膜トランジスタは、有機半導体層の材料として高い電子移動度を有する特定構造の化合物を用いることにより、応答速度（駆動速度）が高速で、しかもオン／オフ比が大きく、トランジスタとしての性能が高いものであり、発光可能な有機薄膜発光トランジスタとしても利用できる。

Claims (12)

1. 少なくとも基板上にゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の３端子、絶縁体層並びに有機半導体層が設けられ、ソース−ドレイン間電流をゲート電極に電圧を印加する事によって制御する有機薄膜トランジスタにおいて、前記有機半導体層が、下記一般式（１）の構造を有する有機化合物を含む有機薄膜トランジスタ。
   

   

   ［式中、Ｂ₁及びＢ₂は、それぞれ独立に、炭素数６〜６０の２価の芳香族炭化水素基又は炭素数１〜６０の２価の芳香族複素環基であり、Ｒ₁〜Ｒ₁₀は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１〜３０のアルキル基、炭素数１〜３０のハロアルキル基、炭素数１〜３０のアルコキシル基、炭素数１〜３０のハロアルコキシル基、炭素数１〜３０のアルキルアミノ基、炭素数２〜６０のジアルキルアミノ基（アルキル基は互いに結合して窒素原子を含む環構造を形成していても良い）、炭素数１〜３０のアルキルスルホニル基、炭素数１〜３０のハロアルキルスルホニル基、炭素数１〜３０のアルキルチオ基、炭素数１〜３０のハロアルキルチオ基、炭素数３〜３０のアルキルシリル基、炭素数６〜６０の芳香族炭化水素基、又は炭素数１〜６０の芳香族複素環基であり、これら各基は置換基を有していても良く、また、Ｒ₁〜Ｒ₅、Ｒ₆〜Ｒ₁₀で隣接するもの同士で飽和又は不飽和の環状構造を形成していても良い。］
2. 前記一般式（１）において、Ｂ₁及びＢ₂が、それぞれ独立に、ベンゼン環を含む２価の芳香族炭化水素基又はベンゼン環を含む２価の芳香族複素環基である請求項１に記載の有機薄膜トランジスタ。
3. 前記一般式（１）において、Ｂ₁及びＢ₂が、それぞれ独立に、５員環の芳香族複素環を含む芳香族複素環基である請求項１に記載の有機薄膜トランジスタ。
4. 前記一般式（１）において、Ｂ₁及びＢ₂が、Ｂ₁及びＢ₂によって挟まれる二重結合に対して対称構造である請求項１に記載の有機薄膜トランジスタ。
5. 前記一般式（１）において、Ｒ₁〜Ｒ₁₀が、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜３０のアルキル基又は炭素数１〜３０のハロアルキル基である請求項１に記載の有機薄膜トランジスタ。
6. 前記一般式（１）において、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₄、Ｒ₅、Ｒ₆、Ｒ₇、Ｒ₉及びＲ₁₀が水素原子であり、かつＲ₃及びＲ₈の少なくとも一方が、炭素数１〜３０のアルキル基、炭素数１〜３０のハロアルキル基、ハロゲン原子又はシアノ基である請求項１に記載の有機薄膜トランジスタ。
7. 請求項１に記載の有機薄膜トランジスタにおいて、ソース−ドレイン間を流れる電流を利用して発光を得、ゲート電極に電圧を印加することによって発光を制御する有機薄膜発光トランジスタ。
8. ソース電極及びドレイン電極の少なくとも一方が仕事関数４．２ｅＶ以上の物質からなり、かつ／又は少なくとも一方が仕事関数４．３ｅＶ以下の物質からなる請求項７に記載の有機薄膜発光トランジスタ。
9. ソース電極及びドレイン電極と有機半導体層の間にバッファ層を有することを特徴とする請求項１に記載の有機薄膜トランジスタ。
10. ソース電極及びドレイン電極と有機半導体層の間にバッファ層を有することを特徴とする請求項７に記載の有機薄膜発光トランジスタ。
11. 下記一般式（２）で表される有機化合物。
    

    

    ［式中、Ｒ₁₁及びＲ₁₂は、それぞれ独立に、炭素数１〜３０のアルキル基である。］
12. 下記一般式（３）で表される有機化合物。
    

    

    ［式中、Ｒ₁₃〜Ｒ₂₂は、それぞれ独立に、炭素数１〜３０のアルキル基であり、Ｂ₃及びＢ₄は、それぞれ独立に、２価の炭素数１０〜６０の２環以上の縮合芳香族炭化水素基又は２価の炭素数４〜６０の２環以上の縮合芳香族複素環基である。］

Images