TW200917543A - Organic thin film transistor and organic thin film light-emitting transistor - Google Patents

Organic thin film transistor and organic thin film light-emitting transistor Download PDF

Info

Publication number
TW200917543A
TW200917543A TW097123235A TW97123235A TW200917543A TW 200917543 A TW200917543 A TW 200917543A TW 097123235 A TW097123235 A TW 097123235A TW 97123235 A TW97123235 A TW 97123235A TW 200917543 A TW200917543 A TW 200917543A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
group
organic
electrode
carbon number
thin film
Prior art date
Application number
TW097123235A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuki Nakano
Masatoshi Saito
Hiroaki Nakamura
Takayoshi Kambara
Original Assignee
Idemitsu Kosan Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Idemitsu Kosan Co filed Critical Idemitsu Kosan Co
Publication of TW200917543A publication Critical patent/TW200917543A/zh

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C13/00—Cyclic hydrocarbons containing rings other than, or in addition to, six-membered aromatic rings
    • C07C13/28—Polycyclic hydrocarbons or acyclic hydrocarbon derivatives thereof
    • C07C13/32—Polycyclic hydrocarbons or acyclic hydrocarbon derivatives thereof with condensed rings
    • C07C13/47—Polycyclic hydrocarbons or acyclic hydrocarbon derivatives thereof with condensed rings with a bicyclo ring system containing ten carbon atoms
    • C07C13/48—Completely or partially hydrogenated naphthalenes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C15/00—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts
    • C07C15/40—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals
    • C07C15/50—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals polycyclic non-condensed
    • C07C15/54—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals polycyclic non-condensed containing a group with formula
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C15/00—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts
    • C07C15/40—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals
    • C07C15/56—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals polycyclic condensed
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C15/00—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts
    • C07C15/40—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals
    • C07C15/56—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals polycyclic condensed
    • C07C15/58—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals polycyclic condensed containing two rings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C15/00—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts
    • C07C15/40—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals
    • C07C15/56—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals polycyclic condensed
    • C07C15/60—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals polycyclic condensed containing three rings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C15/00—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts
    • C07C15/40—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals
    • C07C15/56—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals polycyclic condensed
    • C07C15/62—Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts substituted by unsaturated carbon radicals polycyclic condensed containing four rings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C211/00—Compounds containing amino groups bound to a carbon skeleton
    • C07C211/43—Compounds containing amino groups bound to a carbon skeleton having amino groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of the carbon skeleton
    • C07C211/44—Compounds containing amino groups bound to a carbon skeleton having amino groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of the carbon skeleton having amino groups bound to only one six-membered aromatic ring
    • C07C211/49—Compounds containing amino groups bound to a carbon skeleton having amino groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of the carbon skeleton having amino groups bound to only one six-membered aromatic ring having at least two amino groups bound to the carbon skeleton
    • C07C211/50—Compounds containing amino groups bound to a carbon skeleton having amino groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of the carbon skeleton having amino groups bound to only one six-membered aromatic ring having at least two amino groups bound to the carbon skeleton with at least two amino groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of the carbon skeleton
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C22/00—Cyclic compounds containing halogen atoms bound to an acyclic carbon atom
    • C07C22/02—Cyclic compounds containing halogen atoms bound to an acyclic carbon atom having unsaturation in the rings
    • C07C22/04—Cyclic compounds containing halogen atoms bound to an acyclic carbon atom having unsaturation in the rings containing six-membered aromatic rings
    • C07C22/08—Cyclic compounds containing halogen atoms bound to an acyclic carbon atom having unsaturation in the rings containing six-membered aromatic rings containing fluorine
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C25/00—Compounds containing at least one halogen atom bound to a six-membered aromatic ring
    • C07C25/24—Halogenated aromatic hydrocarbons with unsaturated side chains
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C255/00—Carboxylic acid nitriles
    • C07C255/49—Carboxylic acid nitriles having cyano groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of a carbon skeleton
    • C07C255/50—Carboxylic acid nitriles having cyano groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of a carbon skeleton to carbon atoms of non-condensed six-membered aromatic rings
    • C07C255/51—Carboxylic acid nitriles having cyano groups bound to carbon atoms of six-membered aromatic rings of a carbon skeleton to carbon atoms of non-condensed six-membered aromatic rings containing at least two cyano groups bound to the carbon skeleton
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C43/00—Ethers; Compounds having groups, groups or groups
    • C07C43/02—Ethers
    • C07C43/20—Ethers having an ether-oxygen atom bound to a carbon atom of a six-membered aromatic ring
    • C07C43/215—Ethers having an ether-oxygen atom bound to a carbon atom of a six-membered aromatic ring having unsaturation outside the six-membered aromatic rings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D319/00—Heterocyclic compounds containing six-membered rings having two oxygen atoms as the only ring hetero atoms
    • C07D319/10—1,4-Dioxanes; Hydrogenated 1,4-dioxanes
    • C07D319/14—1,4-Dioxanes; Hydrogenated 1,4-dioxanes condensed with carbocyclic rings or ring systems
    • C07D319/16—1,4-Dioxanes; Hydrogenated 1,4-dioxanes condensed with carbocyclic rings or ring systems condensed with one six-membered ring
    • C07D319/18—Ethylenedioxybenzenes, not substituted on the hetero ring
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D409/00—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
    • C07D409/02—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms containing two hetero rings
    • C07D409/06—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms containing two hetero rings linked by a carbon chain containing only aliphatic carbon atoms
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D417/00—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having nitrogen and sulfur atoms as the only ring hetero atoms, not provided for by group C07D415/00
    • C07D417/02—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having nitrogen and sulfur atoms as the only ring hetero atoms, not provided for by group C07D415/00 containing two hetero rings
    • C07D417/04—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having nitrogen and sulfur atoms as the only ring hetero atoms, not provided for by group C07D415/00 containing two hetero rings directly linked by a ring-member-to-ring-member bond
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D487/00—Heterocyclic compounds containing nitrogen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system, not provided for by groups C07D451/00 - C07D477/00
    • C07D487/02—Heterocyclic compounds containing nitrogen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system, not provided for by groups C07D451/00 - C07D477/00 in which the condensed system contains two hetero rings
    • C07D487/04—Ortho-condensed systems
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D493/00—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system
    • C07D493/02—Heterocyclic compounds containing oxygen atoms as the only ring hetero atoms in the condensed system in which the condensed system contains two hetero rings
    • C07D493/04—Ortho-condensed systems
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D495/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
    • C07D495/02—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms in which the condensed system contains two hetero rings
    • C07D495/04—Ortho-condensed systems
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D495/00—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
    • C07D495/12—Heterocyclic compounds containing in the condensed system at least one hetero ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms in which the condensed system contains three hetero rings
    • C07D495/14—Ortho-condensed systems
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
    • H10K85/615—Polycyclic condensed aromatic hydrocarbons, e.g. anthracene
    • H10K85/626—Polycyclic condensed aromatic hydrocarbons, e.g. anthracene containing more than one polycyclic condensed aromatic rings, e.g. bis-anthracene
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
    • H10K85/649—Aromatic compounds comprising a hetero atom
    • H10K85/657—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
    • H10K85/649—Aromatic compounds comprising a hetero atom
    • H10K85/657—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons
    • H10K85/6572—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons comprising only nitrogen in the heteroaromatic polycondensed ring system, e.g. phenanthroline or carbazole
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
    • H10K85/649—Aromatic compounds comprising a hetero atom
    • H10K85/657—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons
    • H10K85/6574—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons comprising only oxygen in the heteroaromatic polycondensed ring system, e.g. cumarine dyes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
    • H10K85/649—Aromatic compounds comprising a hetero atom
    • H10K85/657—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons
    • H10K85/6576—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons comprising only sulfur in the heteroaromatic polycondensed ring system, e.g. benzothiophene
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/731—Liquid crystalline materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2602/00—Systems containing two condensed rings
    • C07C2602/02—Systems containing two condensed rings the rings having only two atoms in common
    • C07C2602/04—One of the condensed rings being a six-membered aromatic ring
    • C07C2602/10—One of the condensed rings being a six-membered aromatic ring the other ring being six-membered, e.g. tetraline
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2603/00—Systems containing at least three condensed rings
    • C07C2603/02—Ortho- or ortho- and peri-condensed systems
    • C07C2603/04—Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing three rings
    • C07C2603/22—Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing three rings containing only six-membered rings
    • C07C2603/24—Anthracenes; Hydrogenated anthracenes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2603/00—Systems containing at least three condensed rings
    • C07C2603/02—Ortho- or ortho- and peri-condensed systems
    • C07C2603/40—Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing four condensed rings
    • C07C2603/42—Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing four condensed rings containing only six-membered rings
    • C07C2603/44—Naphthacenes; Hydrogenated naphthacenes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2603/00—Systems containing at least three condensed rings
    • C07C2603/02—Ortho- or ortho- and peri-condensed systems
    • C07C2603/52—Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing five condensed rings
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
    • H10K10/40—Organic transistors
    • H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
    • H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
    • H10K10/464—Lateral top-gate IGFETs comprising only a single gate
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
    • H10K10/40—Organic transistors
    • H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
    • H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
    • H10K10/466—Lateral bottom-gate IGFETs comprising only a single gate
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/30—Organic light-emitting transistors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/60—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes
    • H10K71/611—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes using printing deposition, e.g. ink jet printing
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/10—Organic polymers or oligomers
    • H10K85/111—Organic polymers or oligomers comprising aromatic, heteroaromatic, or aryl chains, e.g. polyaniline, polyphenylene or polyphenylene vinylene
    • H10K85/114—Poly-phenylenevinylene; Derivatives thereof

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Description

200917543 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於—種具有有機半導體層之有機薄膜電晶體 及有機薄膜發光電晶體，特別是關於包含具有較高之電子 場效遷移率之化合物且可高迷動作之有機薄媒電晶體，使 用其作為發光元件之有機薄膜發光電晶體及適合其之化合 物。 【先前技術】 薄膜電晶體（TFT)廣泛使用為液晶顯示裝置等之顯示用 開關元件。代表性TFT之截面結構如圖3所示。如該圖所 不，TFT於基板上順次具有閘極電極及絕緣體層，於絕緣 體層上具有空出特;^間隔而形成之源極電極及沒極電極。 於包含兩電極之一部分表面’於電極間露出之絕緣體層上 形成有半導體層。於如此構成之TFT中，+導體層形成通 道區域，可利用於閘極電極上施加之電壓而控制於源極電 極與沒極電極之間流動的電流，藉此進行開/關動作。 先則’ TFT係使用非晶態或多晶石夕而製作，但存在使用 如此之石夕的TFT之製作中使用的CVD裝置非常昂貴，使用 TFT,顯示裝置等之大型化隨之產生製造成本大幅度增加 之門題點又’成臈非晶態或多晶矽之製程於非常高之溫 度下進行’因此存在可使用4基板之材料的種類會受到限 制，從而不能使用輕量之樹脂基板等問題。
，為解決該問題，提出有使用有機物代替非晶態或多晶矽 的丁FT(以下有時略記為有機TFT)。作為以有機物形成TFT 132167.doc 200917543 時使用之成獏方法，已知有真空蒸鑛法或塗佈法等，藉由 其等成膜方法，可抑制製造成本上升且實現元件之^型 化’可使成臈時必需之製程溫度為較低之溫度。因此，以 有機TFT’存在選擇基板中使用之材料時限制較少的優 點.期待其實用化，正不斷廣泛地提出研究報止。 作為有機TFT中使用之有機物半導體，於p型中，共軛 系聚合物或噻吩等之多聚體、金屬酞菁化合物、稠五=等& 縮合芳香族烴^單質或者與其他化合物之混合物的狀態 使用。又，作為n型FET(場效應電晶體）之材料例如已知 有1，4,5,8-萘四曱酸二酐（NTCDA)、^^，仏四氰基 萘_2,6-喹啉二曱烷⑴ quinodimethane、TCNNqD)、M，5,8_ 萘四曱酸二醯亞胺 (NTCDI)或氟化狄菁。
一另一方面，作為同樣地使用電導的元件存在有機電激發 光（EL)元件，但有機EL元件通常於100 nma下之超薄膜的 膜厚方向上施加1G5 v/em以上的強電場強制性使電荷流 動，相對於此，於有機TFT之情形時，必需以i〇5 v/cm以 下之電％使電荷高速流過數μιη以上之距離，有機物自身 而要進而向之導電性。然而，先前之有機TFT中之上述化 合物的電子場效遷移率小，回應速度慢，於作為電晶體之 冋速回應性方面存在問題。又，開/關比亦較小。 其中所明之開7關比，係施加閘極電壓時（開路）於源極_ 汲極間流動之電流，除以不施加閘極電壓時（斷路）於源極_ 汲極間流動之電流的值；所謂接通電流，通常係使閘極電 132167.doc 200917543 壓增加’於源極-没極間流動 動之電流飽和時之電流值（飽和 電流）。 又，於專利文獻i或非專利文獻卜2中，揭示有藉由稀 煙結構與芳香族烴基或者料族雜環基之組合顯示出較高 遷移率（high mobility)之有機化合物，但其等存在回應速 度慢之缺點。 又，於非專利文獻3中，㈣有组合乙炔結構與苯環之4 聚體結構顯示出有機電晶體特性，但存在遷移率低之缺 點。 專利文獻1 : PCT國際申請公表w〇2〇〇6/1132〇5號公報 非專利文獻 1 : Hong Meng 等，Journal 〇f Amedcan
Chemical Society，第 128卷，第 9304 頁，2006 年 非專利文獻2 : Lay-Lay Chua等，Nature，第 434卷，第 194 頁，2005年 非專利文獻 3 : T.Oyamada等，japanese Journai 〇f Applied
Physics，第 45卷，第 L1331 頁，2006年 【發明内容】 發明所欲解決之問題 本發明係為解決上述課題而成者’其目的在於提供一種 回應速度（驅動速度）高速，且開/關比大之有機薄膜電晶 體，利用其之有機薄膜發光電晶體及適合其之有機化合 物。 解決問題之技術手段 本^明者專人’為達成上述目的而反覆銳意研究，纟士果 132167.doc 200917543 發現藉由於有機薄膜雷曰 寻膜電曰曰體之有機半導體層使用具有下述 通式（1)所表示之結構的有 有機化5物，可使回應速度（驅動 速度）阿速化，從而完成本發明。 二P晋：發明提供一種有機薄膜電晶體，其係於基板上至 5極電極、源極電極及汲極電極3個端子、絕緣 體層以及有機半導體層，藉由於閉極電極上施加電麼而控 層極間電流的有機薄膜電⑽，上述有機半導體 具有下述通式⑴之結構的有機化合物： [化1]
、 B1及B2分別獨立係碳數為6〜60之2價芳香族烴基 二為1〜60之2價芳香族雜環基，分別獨立係氣 、/素原子、氰基、碳數為1〜30之烷基、碳數為丨〜^ ^基、碳數為1〜30之烧氧基、碳數為^之函烧氧 數為1〜胺基、碳數為2〜60之二烧基胺基（烧 二、it互鍵結而形成含氮原子之環結構)、碳數為1〜3〇 只酿基、碳數為卜⑽之齒炫基確酿基、碳數為^ :'基、碳數為1〜30之*烷硫基、碳數為3〜30之烷基矽 :t *數為6〜6G之芳香族煙基或者碳數為卜60之芳香族 雜力衣基·，，tl-隹u 匕等各基亦可具有取代基，又，R广I、R广 中相鄰接者$ / 間亦可形成飽和或不飽和之環狀結構]。 132167.doc 200917543 :’本發明係提供一種有機薄膜發光電晶體，其係於有 機薄膜電晶體中，利用於源極_汲極間流動之電流獲得發 光’且藉由於閘極電極上施加電壓而控制發光。 又， 合物： [化2] 本發明係提供一種如 下述通式（2)所表示之有機化
(2) [式中 又， 合物： [化3] u及R!2刀別獨立係碳數為1〜3 〇之烷基]。 本發明係提供一種如·+、 禋女下述通式（3)所表示之有機化
㈣立係2價之/獨立係叙數為1〜30之炫基，；83及34分 或2價之碳數：數為1〇〜6〇的2環以上之縮合芳香族經基 發明之效果6〇的2環以上之縮合芳香族雜環基卜 本發明之古 、薄膜電晶體’回應速度(驅動速度)高迷 132167.doc -10· 200917543 化，且開/關比大，作為電晶 可發光之有機薄臈發光電晶體 體之性能較高 且可利用為 【實施方式】 本發明係-種有機薄臈電晶體，立係、 有間極電極、源極電極及 …板上至〉、設置 及有機半導體層，藉由於 千、邑緣體層以 ㈤位電極上施加電壓而 極-汲極間電流的有機薄 二制源 含具有下述通式⑴之結構的有機化合物。導體層包 [化4]
於上 返通式⑴中’ &及32分別獨 芳香族煙基或碳數為價芳香族二數為6 6°之2價 亦可具有取代基。 之2仏方香族雜環基，此等各基 之=述通式⑴中’較好的是Ml分別獨立係包含苯環 於上述通式（1)中，較好 f的疋及B2分別獨立俜句冬 環之芳香族雜環之基。 包3 5員 作為上述& 2之方日私烴基的具 有取代基之苯、萘、貧、雜β 了列舉亦可具 三苯、corannulene、蔻、丄μ、， 陡葬伸 tdphenykne)、六苯并 尹一本（hexabenzo 本开寇（heXabenzoc〇r〇nene)、sum_ne 232167.doc 200917543 等之2價殘基。 又’作為上述Bl及B2之芳香族雜環基之具體例，可列舉 亦可具有取代基之。比咬、吼嗓、嗜琳、茶咬、唾料、吩 Ο y 嗪、一鼠雜蒽、°比°定幷㈣ ' 喷咬幷啥嗤琳…比嗪幷啥号 啉、啡琳、味嗤 '二苯并嗟吩、嘆嗯幷喧吩、二嗟嗯幷嚷 二苯并Μ、苯并二°夫喃 '二硫雜苯并二茚、二硫雜 ^節、二苯并石西吩、二石西雜苯并二節、二砸雜茚幷節雜 一苯并石夕羅等之2價殘基。 於上述通式⑴中，較好的是Ml相對於Ml 稱結構，更好的是—…輛結構 作為上述Β丨及心亦可且右 ，、有之取代基，可列舉與後述之 〜Rio相同者。 ;述通式（1)中，Rl〜RiQ分別獨立係氫原子、函素原 L氛基、碳數為1〜30之燒基、碳數為卜30之齒院基、碳 =1〜30之繼、碳數為㈣之㈣基、碳數為㈣ 、:胺基&數為2〜60之二烷基胺基(烷基亦可相互鍵结 碳=含氮原子之環結構)' 瑞數為之烧基績醯基： =為1〜％之^基伽基、碳數為1〜3〇之㈣基、碳數 = 硫基、碳數為㈣之㈣錢基、碳數為 方㈣《或者碳數為⑽之芳㈣雜環基， 2 有取代基，X’RlW中相鄰接者之 '、可形成飽和或不飽和之環狀結構。 又，較好的是於通式⑴中，R1〜R10分別獨立係氯原子、 132167.doc 200917543 函素原子、碳數為卜30之烧基或碳數為卜3〇之函燒基。 二=的是於通式⑴中’Rl、R2、R^〜R7、 〇、虱原子，且R3及Rs之至少一者係碳數為1〜30之 烷基、碳數 為… …基、函素原子或氰基，化合物成 為更緻牷之配向結構。 . 有機 X月之有機溥膜電晶體中使用之具有特定結構的 有機化合物，其士 L β β 導）之雔炻妯土一頌不卩型（電洞傳導）及η型（電子傳 (' 可藉由與後述之源極、汲極電極的組合而 為Ρ型元件驅動亦可作為η型元件驅動，於上述通式⑴ 用電子接叉性基作為於Β!〜I上取代之基或者 由此可降低最低非佔據分子軌道（LUMO)位準， 作為η型半導體發揮機能。作為電子接受性基，較好的是 虱原子、函素原子、氰基、碳數為卜30之函院基' 碳數為 1〜30之齒燒氧基、碳數為之㈣梅。又，使用 推電子性基作為Rl〜Rl〇及於1鳴取代之基，由此可提古 D ^佔據分子軌道⑽MQ)位準，作為p ^ 能。作為推電子性基，較好的是A原子、碟數為㈣2 基、碳數為1〜3〇之燒氧基、碳數為卜3〇之炫胺基、碳數為凡 160之"'院基胺基（燒基亦可相互鍵結而形成含氮原子之 壤結構）。 明下對通式⑴iRl〜Rl0所表示之各基的具體例加以說 作為上述函素原子，可列舉氟、氯、漠及峨原子。 作為上述貌基，可列舉？基、乙基、丙基、異丙基、正 132167.doc • 13. 200917543 丁基、第二丁基、異丁基、第三丁基、正戊基、正己基、 正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一院基、正十二 烷基、正十三烷基、正十四烷基、正十五烷基、正十六烷 基、正十七烧、正十八烷基、正十九烧基、正二十烷基、 正二十一烷基、正二十二烷基、正二十三烷基、正二十四 烷基、正二十五烷基、正二十六烷基、正二十七烷基、正 二十八烷基、正二十九烷基、正三十烷基等。 作為上述鹵烷基，例如可列舉氯曱基、丨_氣乙基、2-氯 乙基、2-氣異丁基、U·二氯乙基、丨，3_二氯異丙基、2,3_ 二氯-第三丁基、1，2,3-三氣異丙基、溴甲基、卜溴乙基、 2-溴乙基、2-溴異丁基、ι，2_二溴乙基、丨，3_二溴異丙基、 2,3- —溴-第二丁基、ι，2,3-三溴丙基、埃甲基、卜礙乙 基、2-碘乙基、2-碘異丁基、i，2-二碘乙基、L3-二碘異丙 基、2,3-二碘-第三丁基、^^三碘丙基、氟曱基、丨_氟 甲基、2-氟甲基、2-氟異丁基、二氟乙基、二氟甲 基、二氟甲基、五氟乙基、全氟丙基、全氟丁基、全氟環 己基等。 上述烷氧基係以-OX1所表示之基，作為X1之例，可列舉 與上述烷基中所說明者相同之例；上述鹵烷氧基係以_〇χ2 所表示之基，作為-X2之例，可列舉與上述鹵烷基中所說 明者相同之例。 上述烷硫基係以-SX1所表示之基，作為χ1之例，可列舉 與上述烷基中所說明者相同之例；上述鹵烷硫基係以_sx2 所表不之基’作為-X2之例’可列舉與上述鹵烷基中所說 132167.doc -14- 200917543 明者相同之例。 上述烧胺基係以-NHX1所表示之基，二烷基胺基係 以-ΝΧ1Χ3所表示之基，χΐ及X3分別可列舉與上述烷基中所 說明者相同之例。再者，二烷基胺基之烷基亦可相互鍵結 形成包含氮原子之環狀結構，作為環狀結構，例如可列舉 吡咯烧、痕啶等。 上述烷基磺醯基係以-SOaX1所表示之基，作為χ1之例，
可列舉與上述烷基中所說明者相同之例；上述函烷基磺醯 基係以-S〇2X2所表示之基，作為X2之例，可列舉與上述齒 烧基中所說明者相同之例。 恩暴 作為上述^香族經基，例如可列舉苯基、萘基 菲基、第基、茈基、稠四苯基、稠五苯基等。 作為上述芳香族雜環基，例如可列舉二噻嗯幷苯基、苯 并咬'基、苯并嗟吩基、啥琳基…基、二苯并咳喃 基、二苯并噻吩基、苯并噻二唑基等。 2作為3上述烷基矽烷基，係_8ίχ1χ2χ3所表示之基，χΐ、 及X刀別可列舉與上述院基中所說明者相同之例。 作為上述飽和環狀結構，可列舉環丁基、環戊基、環己 基、1，4-二呤烷基等。 作為上述不鮮環狀結構，可列舉與上述芳香族煙基、 上边芳香族雜環基中所說明者相同之例。 :::亦可進而取代上述通式⑴所示之各基的取代基， 基 方管族雜玉衣基、烷基、烷氧基、芳氧 爪土、院氧基幾基、胺基、_素原子、氰基、硝 132167.doc 200917543 基、羥基、羰基等。 又’本發明提供下述通式（2)所表示之有機化人物 [化5] R”
(2)
於上述通式（2)中，Rll及Rl2分別獨立係碳數為㈣之烧 基，作為其具體例，可列舉與上述通式（ 一 々# 4 丨〜Ri。所表示 之石厌數為1〜30之烷基的具體例相同之基。 又，本發明提供以下通式(3)所表示之有 [化 6] m
JL '()中，Rl3〜心分別獨立係碳數為"〇之广 基，作#1 ^彻 厌数马1〜30之烷 U例，可列舉與上述 之碳數為1〜30之;P莫M a R10所表不 之烷基的具體例相同之基。 於上述通式（3)中，b, ; R x 1 〇〜6 0的2環以上之縮合芳香族=立^2 =碳數為 環以上之縮合芳香族雜浐其 土以貝之奴數為4〜60的2 通式⑴及β2所身- 乍為其具體例，可列舉上述 2所表不之芳香族基令之2環以上之基，且 132167.doc -】6 · 200917543 碳數對應者。 以下，列舉本發明之有機薄膜電晶體的有機半導體層中 使用之通式（1)、（2)或（3)所表示之有機化合物的具體例， 但本發明並不限定於其等。 [化7]
132167.doc 17- 200917543 [化8]
200917543 [化9]
132167.doc • 19· 200917543 [化 10] 200917543 [化 ll]
132167.doc 200917543 [化 12]
132167.doc -22- 200917543 [化 13] (83) m)
-23 - 132167.doc 200917543 [化 14]
1 ； 132167.doc • 24- 200917543 200917543 [化16】
又’错由广如電晶體之電子元件中使用材料之純度較高 ，可獲得電子場效遷移率或開/關比較高之元件。因 此八有上述通式⑴之結構的有機化合物，較理想的是視 需要利用管柱層析法、再結晶、蒸餘、昇華等方法加以純 化。較好的是可藉由反覆利用其等純化方法或者組合複數 種方法而使純度提高。$而較理想的是至少重❸次以上 昇華純化作為純化之最終步驟。藉由使用其等方法，較好 的使用以HPLC測定之純度為90%以上之材料，進而較好的 是95%以上、特別好的是99%以上的材料藉此可提高有 132167.doc • 26 · 200917543 機薄膜電晶體之電子場效遷移率或開/關比，弓丨出材料本 身持有之性能。 以下，對本發明之有機薄膜電晶體的元件構成加以說 明。 作為本發明之有機薄膜電晶體的元件構成，若為於基板 上至夕叹置有閘極電極、源極電極及汲極電極3個端子、 絕緣體層以及有機半導體層，藉由於閘極電極上施加電壓 而控制源極-沒極間電流的有#薄膜電晶冑，則並無限 疋，亦可為除有機半導體層之成分以外具有公知之元件構 成者。 其等中，作為代表性之有機薄膜電晶體的元件構成，將 兀件A〜D不於圖中。如此，根據電極之位置、層之積 層順序等已知數種構成’本發明之有機薄膜電晶體具有場 效應電晶體（FET : Field Effect Transistor)結構。有機薄膜 ” /、有.有機半導體層（有機化合物層）、相互空出特 定間距對向而形成之源極電極及汲極電極、自源極電極與 汲極電極刀別空出特定之距離而形成之閘極電極，並且藉 由於閘極電極上施加電壓而控制於源極_汲極電極間流動 之電流。其中，源極電極與汲極電極之間隔係由使用本發 明之有機薄膜電晶體的用途所決定的，通常為〇1 咖’較好的是1叫〜1·，更好的是1 μηι〜100 μηι，進-步更好的是5 μηι〜1〇〇 。 一件A D中，以圖2之元件β為例加以更詳細之說明，元 件B之有機溥膜電晶體，於基板上順次具有閘極電極及絕 132167.doc -27- 200917543 緣體層，於絕緣體層上具有空出特定之間隔而形成之—斜 源極電極及汲極電極，於其上形成有機半導體層。有機半 導體層形成通道區域’藉由用施加於閘極電極上之電壓杵 制於源極電極與汲極電極之間流動的電流進行開/關= 本發明之有機薄膜電晶體，除上述元件A〜D以外之元件 構成之外，亦提出有各種構成作為有機薄膜電晶體，若為
藉由用施加於閘極電極上之電壓控制於源極電極與汲極電 極之間流動的電流進行開/關動作或者表現出增帽等效果 的組合，則並不限定於其等元件構成，例如亦可為具^如 由產業技術综合研究所之吉田等人於第49次應用物理學關° 係聯合講演會講演論文集27a_M_3(2〇〇2年3月）中提出之丁 部與底部接觸型有機薄膜電晶體（參照圖5)，或者 1 學之工藤等人於電氣學會論文諸^84(1998)第144〇頁中提 出之縱形有機薄臈電晶體（參照圖6)之元件構成者。 (基板） 本發明之有機薄膜電晶體中之基板擔負著支財機薄膜 電晶體之結構的作用’作為材料，除了玻璃之外，亦可使 用金屬氧化物或氮化物等無機化合物，塑膠膜㈣τ， PES ’ PC)或金屬基板或者其等之複合體或積層體等。又， 於可藉由基板料之構成要素充分支財機薄膜電晶體之 尨構之情形時’亦可不使用基板。又，作為基板之材料多 =石夕⑻晶圓。於此情形時’可將以自身用作間極電極 兼基板。又，亦可將Si之表面氧化形成叫活用為絕緣 132167.doc -28- 200917543 層。於此情形時，亦可於基板兼閑極電極
Au等之金屬層作為導線連接用電極。 土板上成膜 (電極） 作為本發明之有機薄膜 s ^ ^ r旳閘極電極、源極電極 及^及極電極之材料，若為導電性材料則光& 玎蚀田办△ 以往材科則並無特別之限定， 了使用叙、金、銀、鎳 ,π ^ Α 扪鐵、錫、銻鉛、鈕、 姻、纪、碎、鍊、銀、紹 膝^ 鳍鉬、鎢、氧化錫. ^乳化鋼.錫_)、摻氣氧化辞、鋅、碳、石墨、玻 璃石墨、«料及碳㈣u、n鉀
航、鈦、錳、錯、鉉、炉 ,. A 、 鎵銳、納、11、 鋁、鎂/銅混合物、鎂/銀混合物、 X 4， , , ^ 鎮/銘此合物、鎂/銦混 '、：化鋁混合物、鋰/鋁混合物等，其等可藉由濺 鍍法或真空蒸鍍法進行成膜。 =發明之有機薄膜電晶體中’作為源極電極、汲極電 ^利用使用含有上述導電性材料之溶液、浆料、油 性電極材料而形成者。又，作為溶劑或 =之V 是含有6〇質量%以上、較好的是9。質量 之水用以抑制有機丰莫押J。k 機丰導體知壞的溶劑或分散介質。 3有金屬微粒子之分散物，在丨上+ 朦等，較好的是含有=:亦可使用公知之導電 nm 1π Φ 1 丁 ^ 马 0.5 ηηι〜50 nm、1 :之金屬微粒子的分散物。作為該金屬 :v:可使懸、金、銀、錦、絡、銅、鐵、錫、錄 :、鋼mm、錯、，、鶴、辞 132167.doc -29- 200917543 人車父好的是使用分散物形成電極，該分散物係使用主要包 有機材料之/刀散穩定劑，將其等金屬微粒子分散於水或 任意有機溶劑的分散介質中的分散物。作為如此之金屬微 拉子之分散物的製造方法，可列舉氣相蒸發法、錢法、 纟屬4氣合成㈣物理性生成法或者膠體法、共沈殿法等 以液相還原金屬離子而生成金屬微粒子之化學性生成法， .1 交好的是藉由日本專利特開平u-moo號公報、日本專利 C 肖開平U_80647號公報、曰本專利特開平u-319538號公 報、日本專利特開2000_239853公報等中揭示之谬體法， 日本專利特開2__254185公報、日本專利特開2__5則 號公報、日本專利特開·_352555號公報、日本專利特 開2_·124157號公報、日纟專利特開2_-123634號公報 等中揭示之氣相蒸發法製造之金屬微粒子的分散物。 使用其等金屬微粒子分散物成形上述電極，使溶劑乾燥 之後’視需要於峨〜3，C、較好的是⑽〜贿之範 〇 111内加熱成形狀模樣，藉此使金屬微粒子熱融著，形成具 有目標形狀之電極圖案。 進而，作為閉極電極、源極電極及沒極電極之材料，較 好的是使用以摻雜等使導電率提高之公知的導電性聚合 物，例如可適宜使用導電性聚苯胺、導電性聚吡咯、導； 性聚嗔吩（聚乙稀二氧。塞吩與聚苯乙婦續酸之錯合物等）、 聚乙稀二氧嗟吩（PED0T)與聚苯乙烤績酸之錯合物等。藉 由其等材料可降低源極電極與沒極電極之有機半導體層的 132167.doc -30- 200917543 形成源極電極及汲極電極之 例中，於與有機半導體層之接觸面雷較好=即使於上述 電阻，即製作電流控制震置 。此時之 獲得較大之遷移率而必 阻：子…移率對應，為 極材料之功函數鱼有機半導:儘可能小。其通常係由電 U機體層之能級的大小關係所決 於本發明之有機薄 θ δ , t曰曰體中’較好的是源極電極及汲 f
=極的：少-者係包含功函數為4切以上之物質，且/ / 一者係包含功函數為“eV以下之物質。 將電極材料之功函數A a ^ - ()°又為a，將有機半導體層之游離 電位⑽設為b，將有機半導體層之電子親和力⑽設為 :’較好的是滿足以下關係式。其中，a、…均係將真空 位準作為基準之正值。 於p型有機薄膜電晶體之情形時，較好的是b_a<i5 (式（））更好的疋b-a< 1.0 eV。於與有機半導體層之關 係中，若T維持上述關係則可獲得高性能之Μ，特別是 選擇電極材料之功函數儘可能大者較好，較好的是功函數 為4.0 eV以上，更好的是功函數為4 2 eV以上。 金屬之功函數值，若自例如化學便覽基礎編^第々％頁 丁第3版日本化學會編丸善股份有限公司發行1983 年）中揭不之具有4.0 eV或其以上之功函數的有效金屬之上 述列表中選擇即可，高功函數金屬主要有Ag(4.26，4.52， 4.64 ’ 4.74 eV)，Al(4.06，4.24，4.41 eV)，八邮」， 5.37，5,47 eV)，Be(4.98 eV)，Bi(4.34 eV)，Cd(4.08 132167.doc -31 - 200917543 eV} > Co(5.0 eV)，Cu(4.65 eV) . Fe(4.5 > 4.67 > 4.81 eV)，Ga(4.3 eV) ’ Hg(4.4 eV)，ΐΓ(5·42，5 76 eV)，Mn(4」 eV) ’ Mo(4.53，4·55 ’ 4.95 eV)，Nb(4.02，4.36，4.87 eV) ’ Ni(5.04 ’ 5.22，5.35 eV) ’ 〇s(5.93 eV)，pb(4 25 eV) - Pt(5.64 eV) > Pd(5.55 eV) . Re(4.72 eV) , Ru(4.71 • eV) ^ Sb(4.55 ^ 4.7 eV) - Sn(4.42 eV)，Ta(4.0 , 4.15 - 4.8 eV) ’ Ti(4.33 eV) ’ V(4.3 eV) ’ W(4.47，4.63，5.25 eV)， ^, Zr(4.05 eV)。其等中，較好的是貴金屬（Ag，Au，cu ,
Pt) ’ Νι ’ Co ’ 〇s ’ Fe ’ Ga，lr，Μη，Mo，Pd，Re，RU， V，W。除金屬以外，較好的是如IT〇、聚苯胺或pED〇T : PSS之導電性聚合物及碳。作為電極材料，可含有一種或 者複數種其等高功函數之物質，若功函數滿足上述式⑴則 並不受到特別之限制。 於η型有機薄膜電晶體之情形時，較好的是< 1 $ eV(式（Π)) ’更好的是&<<1() eV。於與有機半導體層之 〇 關係中，若可維持上述關係則可獲得高性能之裝置，特別 是選擇電極材料之功函數儘可能小者較好，較好的是功函 數為4·3 eV以下，更好的是功函數為3.7 eV以下。 作為低功函數金屬之具體例，若自例如化學便覽基礎 編II-弟493頁（修訂第3版日本化學會編丸善股份有限公 司發行1983年）中揭示之具有4.3 ev或其以下之功函數的 有效金屬之上述列表中選擇即可，可列舉Ag(4.26 eV)，
Al(4.〇6 ’ 4.28 eV) ’ Ba(2.52 eV)，Ca(2.9 eV)，Ce(2.9 eV) ’ Cs(1.95 eV) ’ Er(2.97 eV)，Eu(2_5 eV) ’ Gd(3.1 132167.doc •32- 200917543 eV)，Hf(3.9 eV)，Ιη(4.09 eV)，Κ(2·28)，La(3.5 eV)，
Li(2.93 eV)，Mg(3.66 eV)，Na(2.36 eV)，Nd(3.2 ev)，
Rb(4.25 eV)，Sc(3.5 eV)，Sm(2.7 eV)，Ta(4.〇，4 15 eV)，Υ(3·1 eV)，Yb(2.6 eV)，Zn(3.63 eV)等。其等中， 較好的是 Ba，Ca，Cs，Er，Eu，Gd，Hf，κ，La , Li
Mg，Na，Nd，Rb，Y，Yb，Zn。作為電極材，可含有一 種或者複數種其等低功函數之物質，若功函數滿足上述式
(Π)則並不受到特別之限制。但是，低功函數金屬若與大 氣中之水分或氧接觸則容易產生劣化，較理想的是視需要 塗覆如Ag或Au之於空氣中穩定之金屬。塗覆必需之膜厚 須為〗0 nm以上，膜厚變得越厚則越可以自氧或水保護， 但自實用上、提高生產性等理由考慮較理想的是【_以 下。 邗马上迷電極之形成 — -—批秋、-电卞射末 洛鑛、誠、大氣壓電衆法、離子電鑛、化學氣相基鑛、 電鑛、無電電鍍、旋轉式塗佈、印刷或噴墨等方法形成。 :法需要進行圖案化之方法，# :使用公知之光微 衫法或者舉離法，將佶用 ^ # , 34方法而形成之導電性薄膜形 成電極之方法；藉由熱轉印、 2 '贺墨專，於鋁或銅等之金屬 V白上形成抗蝕劑層進行 、本验道兩 J之方法。X，可藉由直接喷墨 法將導電性聚合物之溶液或 分散液箄ϋΐϋμ 一刀散液、含有金屬微粒子之 塗佈膜。谁而介 心法或者雷射剝離法等形成 寬佈臈。進而亦可使用藉由凸版 等印刷法將含有導電性聚 +版、絲網印刷 x s物或金屬微粒子之導電性油 132I67.doc -33 - 200917543 墨導電性襞料等圖案化之方法。 由此而形成之電極的膜厚若可導通電流則並無特別之限 制，較好的是〇 2 n 圄—认_ 更好的疋4如1〜30〇 nm之範 成電^ 之範圍内，則不會產生由於膜厚較薄而造 成電壓降低之現象。又，因並不過厚 並不耗費時間，於積層保護層或有機半導體層等其他層； 潰形時T並不產生階差地使積層膜圓滑。 f / 本實鈿之有機薄膜電晶體中，例如為提高佈植效 率/亦可於有機半導體層與源極電極及汲極電極之間設置 緩衝層4乍為緩衝層，對於n型有機薄膜電晶體，於有機 ^之陰極中使用之W、U2〇、CsF、NaC〇3、κα、
MgF2 CaC03等具有鹼金屬、驗土金屬離子鍵之化合物較 理想。又，亦可插入Alq等在有機中用作電子佈植層、 電子傳輸層之化合物。 對於P型有機薄膜電晶體，FeCl3、TCNQ、F4_tcnq、 HAT 等之氰基化合物 ’ CFx 或 Ge02、Si02、Mo03、V205、 V02、V203、MnO、Mn304、Zr02、W03、Ti02、ln203、
ZnO、NiO、Hf〇2、Ta205、Re〇3、PbOJ 鹼金屬、鹼土金 屬以外之金屬氧化物，ZnS、ZnSe等無機化合物較理想。 其等氧化物於較多之情形時造成氧缺陷，其適於電洞佈 植。進而’ TPD或NPD等胺系化合物或者CuPc等有機EL元 件中用作電洞佈植層、電洞傳輸層之化合物亦可。又，較 理想的是包含兩種以上上述化合物者。 已知緩衝層具有藉由降低載子之佈植能障而降低臨界電 132167.doc •34· 200917543 Μ，以低電壓驅動電晶體之效I，但A我們發現對於本發 明之化合物而言，不僅有低電壓效果而且有使遷移率提高 之效果。其原因在於：於有機半導體與絕緣體層之界面: 在載子陷阱，若施加閘極電壓而引起載子佈植，則最初佈 植之載子被埋入陷阱中而被使用，藉由插入緩衝層，可以 低電壓埋入陷阱而提高遷移率。緩衝層若於電極與有機半 導體層之間較薄地存在即可，其厚度為〇1 nm〜3〇 _ ,較 好的是0.3 nm〜20 nm。 (絕緣體層） 作為本發明之有機薄膜電晶體中之絕緣體層的材料，若 為具有絕緣性且可形成為薄膜者，則並無特別之限定，可 ,用金屬氧化物(包括矽之氧化物)、金屬氮化物(包括矽之 氮化物）、高分子、有機低分子等於室溫下之電阻率㈣ ◦cm以上之材料，特別是相對介電常數較高之無機氧化物 被膜較好。 作為無機氧化物，可列舉氧切、氧化、氧化组、氧 化鈦、氧化錫、氧化鈒、鈇酸鋇銷、錯鈦酸鋇、錯欽酸 釔-鈦S夂鉛鑭、鈦酸鎇、鈦酸鋇、氟化鋇鎂、鑭氧化物、 敗氧化物、鎂氧化物、叙氧化物、鈦酸叙、銳氧化物、鈦 酸锶鉍、鈕酸鰓鉍、五氧化二鈕、鉅酸鈮酸鉍、三氧化二 釔以及將其等組合者，較好的是氧化矽、氧化鋁 '氧化 组、氧化鈦。 又，亦可適宜使用氮化矽（Si3N4、SixNy(x 化銘等無機氮化物。 132167.doc •35- 200917543 進而，絕緣體層亦可由包含金屬醇鹽之前驅物形成，將 該前㈣之溶液’塗t於例如基板上’對其進行包含熱處 理之化學溶液處理，藉此形成絕緣體層。 作為上述金屬醇鹽中之金屬，例如可自過渡金屬、鋼系 元素或主族元素中選擇，具體而言可列舉鋇㈣、錄 (Sr)、鈦（Ti)、錢（Bi)、组（Ta)、錯（Zr)、鐵㈣、錄⑽、
錳（Μη)、鉛（Pb)、鑭（La)、鋰（u)、納（Na)、鉀（κ)、麵 (Rb)、鉋（CS)、鲂㈣、鈹㈣、鎮（Mg)、約（Ca)、鈮 (Nb) h(Tl)、水（Hg)、銅（cu)、銘（c。）、姥⑽）、銳㈣ 及釔（Y)等。又，作為上述金屬醇鹽中之醇鹽，例如可列 舉自包含曱醇、乙醇、丙醇、異丙醇、丁醇、異丁醇等之 醇類，包含曱氧基乙醇、乙氧基乙醇、丙氧基乙醇、丁氧 基乙醇、戊氧基乙醇、庚氧基乙醇、曱氧基丙醇、乙氧基 丙醇、丙氧基丙醇、丁氧基丙醇、戊氧基丙醇、庚氧基丙 醇之烷氧基醇類等衍生者。 於本發明中，若以如上述之材料構成絕緣體層，則變得 谷易於絕緣體層中產生空乏層，可減低電晶體動作之臨界 電壓。又，於上述材料中，特別是若以Si3N4、、 SiONx(x、y>〇)等氮化矽形成絕緣體層，則變得更容易產 生空乏層’可進一步減低電晶體動作之臨界電壓。 作為使用有機化合物之絕緣體層，亦可使用聚醯亞胺、 聚醯胺、聚酯、聚丙烯酸酯、光自由基聚合系、光陽離子 聚合系光硬化性樹脂、含有丙烯腈成分之共聚物、聚乙烯 紛、聚乙烯醇、酚醛清漆樹脂及氰乙基普魯蘭等。 132167.doc •36· 200917543 其他，除蠟、聚乙烯、聚氯芘、聚對苯二甲酸乙二酯、 聚甲醛、聚氣乙烯、聚偏二氟乙烯、聚甲基丙烯酸曱酯、 聚颯、聚碳酸酯 '聚醯亞胺氰乙基普魯蘭、聚（乙烯 酚）(PVP)、聚（曱基丙烯酸曱酯）(PMMA)、聚碳酸酯（PC)、 聚苯乙烯（PS)、聚烯烴、聚丙烯醯胺、聚（丙烯酸）、酚醛 清漆樹脂、可溶酚醛樹脂、聚醯亞胺'聚二曱苯、環氧樹 月曰之外，亦可使用普魯蘭等具有較高介電常數之高分子材 料。
、’邑緣體層中使用之有機化合物材料，作為高分子材料， 特別好的是具有斥水性之材料。藉由具有斥水性，可抑制 、邑緣體層與有機半導體層之相互作用，利帛有機半導體本 5有之凝聚性提高有機半導體層之結晶性而使裝置性能 提高。作為如此之例，可列舉Yasuda等JPn LAppl . phys. .42 (2003) ρρ· 66U-6618中揭示之聚對二曱苯衍生物 或者 Janos Veres 等 Chem Μ_，ν〇ι Μ (2〇〇句 pp 45仏 4555中揭示者。 又’如圖1及圖4所示般使用頂問極結構時，若將如此之 有機化合物用作絕緣體層之材料，則可減少給有機半導體 層帶來之損壞而成膜，故而係有效之方法。 ^絕緣體層可為使用複數種如上述之無機或 混合層，亦可為其等之積層結構物。於此情形 料混合，之材料與具有斥水性之材 仃積層，藉此而控制裝置之性能。 又，上述絕緣體層亦可包含陽極氧化膜，或包含該陽極 132167.doc •37- 200917543 氧化膜料構成。較好極氧化料行 理、。陽極氧化膜，可藉由對可陽極氧化之金屬以公知之方 法進行陽極氧化而形成。作為可陽極氧化處理之 可 列舉铭或纽，對陽極氧化處理之方法並無特別之限制，可 使用公知之方法。藉由進行陽搞氧几由 進仃陽極聽處理，形成氧化被 膜。作為陽極氧化處理中使用之電解液，若為可形成多孔 狀氧化被膜者則可使用任意者，通常使用疏酸、碟酸、草 酸、鉻酸、賴、胺基續酸、苯續酸等或者組合有其等之 2種以上之混酸或其等之鹽。陽極氧化之處理條件由於使 用之電解液而產生各種變化，因此並非一概特定，通常較 合適的是電解液之濃度為U0質量％、電解液之溫度為 5〜70C、電流密度〇.5〜60 A/cm2、電壓為丨〜丨⑼伏特、電解 時間為！〇秒〜5分鐘之範圍。較好之陽極氧化處理係使用硫 酸、破酸或删酸之水溶液作為電解液，以直流電流進行處 理之方法，亦可使用交流電流。其等酸之濃度較好的是 5〜45質量％，較好的是於電解液之溫度為2〇〜5〇。〇、電流 密度為0.5〜20 A/cm2進行20〜250秒之電解處理。 、，作為絕緣體層之厚度’若層之厚度較薄，則施加於有機 半導體上之有效電壓變大，因此可降低裝置自身之驅動電 壓、臨界電壓，但是相反源極_閘極間之$漏電流變大， 因此必需選擇適宜之膜厚’ 4常為1〇随〜5 _、較好的是 50 nm〜2 μπι、更好的是1〇〇μπι 〇 又，於上述絕緣體層與有機半導體層之間，亦可實施任 思之配向處理。作為其較好之例，係於絕緣體層表面實施 132167.doc -38· 200917543 斥水化處理等，使絕緣體層與有機半導體層之相互作用減 低，從而使有機半導體層之結晶性提高的方法，具體而 言’將石夕炫偶合劑，例如十八炫基三氯石夕烧、三氯f基石夕 亂烧或者烧經鱗酸、烧煙磺酸、烷烴羧酸等自動組合配向 膜材料，於液相或氣相之狀態下，與絕緣膜表面接觸而形 成自動組合膜後，適度地實施乾燥處理之方法。又，為用 於液晶配向，較好的是於《g絲^时屯 平乂 丁町疋於絕緣臈表面設置由聚醯亞胺等構 成之膜，對其表面進行摩擦處理之方法。 作為上述絕緣體層之形成方法，可列舉真空蒸鑛法、分 子束蟲晶法、離子團束法、低能量離子束法、離子電鑛 法、CVD法、減鍍法、日本專利特開平u_6屬號公報、 日本專利特開平u.1332G5m公報、日本專利特開觸_ 121804號公報、日本專利特開2〇〇〇_1472〇9號公報、日本 專利特開200(M85362號公報中揭示之大氣壓電衆法等乾 式製程，$塗法、旋塗法、刮塗、浸潰塗層法、洗鑄法、 a °、 棒式塗佈法、模塗法等塗佈之方法、印刷或喷墨 等之圖案化的方法等濕式製程’可根據材料使用。濕式製 程可使用如下夕士 4 . w 添 法·將視需要使用界面活性劑等分散助 劑’於任意有機溶劑或水中分散有無機氧化物之微粒子而 =的，體，進行塗佈、乾燥的方法；或者將氧化物先驅 ，鹽體之溶液塗佈、乾燥，即所謂之溶膠凝膠法。 务月之有機薄膜電晶體中之有機半導體層之膜厚，並 '、·、特別之限制，通常為0.5— _，較好的是2nm〜25〇 nm 〇 132167.doc -39- 200917543 又’有機半導體層之形成方法，可並無特別限定地適用 A知之方法，例如可藉由分子束蒸鍍法法）、真处蒸 鍵法、化學蒸鍵、利用於溶劑中溶解有材料之溶液的:錄 法、旋轉式塗佈法、德谢、土 ^ 押次‘塑法、棒式塗佈法、輥塗法等印 刷、塗佈法以及烘乾、電聚合、分子束蒸鑛、於溶液中之 自我組裝、及其等之組合的方法，以如上述之有機半導體 層之材料形成。 一若使有機半導體層之結晶性提高，則電子場效遷移率提 高，因此於使用於氣相中成膜（蒸錢、濺鍍等）之情形時， 較理想的是以高溫保持成膜中之基板溫度。該溫度較好的 是50〜25(TC，更好的是7〇〜15〇t。又無論成膜方法若 於成膜後實施退火，則可獲得高性能裝置，故較好。退火 之，度較好的是50, ’更好的是70,，時間較好 的是10分鐘〜12小時，更好的是1小時〜1〇小時。 於本發明中，有機半導體層可使用—種選自通式⑴之 材料’亦可組合複數種，或者使用稍五苯或b塞吩寡醋等公 知之半導體’複數種混合薄膜或積層而使用。 作為本發明之有機薄膜電晶體的形成方法，並益特別之 :定’亦可使用公知之方法’若依照所期望之元件構成， 凡全不與大氣接觸地按照基板投入、閘極電極形成、絕緣 體層形成、有機半導體層形成、源極電極形成、淡極電極 形成之-系列元件製作步驟形成’則可防止與大氣接觸而 由於大氣中之水分或氧等產生之元件性能阻害，故較好。 不得已，-旦必需與大氣接觸時，較好的是將有機半導體 132167.doc • 40- 200917543 半導體;大氣接觸之步驟，於有機 二之二Γ前’對積層有機半導體層之面(例如於元 件B之十月形時，係於絕緣層部分積層有源極電極 極之表面UX紫外線照射、紫外線/臭氧照射、 電聚等進行清淨化•活化之後，積層有機半導體層:、風 進而，例如亦可考膚大痛φ人女 产 J哼應大虱中合有之氧、水等對 影響，於有機電晶體元件之外周面的整個面或者一 Μ形成阻氣層。作為形餘氣層之材料 域常用者，例如可列舉聚乙❹ 文用於该領 j Μ料乙料、乙稀·乙料共聚物、 :亂乙稀、聚偏二氯乙稀、聚氣三氟乙烯等。進而，亦可 使用於上述絕緣體層中例示之具有絕緣性之無機物。 亡發明又提供一種有機薄膜發光電晶體，其係於 機薄膜電晶體中’利用流過源極_沒極間之電流獲奸
先，且藉由於間極電極上施加電塵而控制發光。 X 本發明中之有機薄膜電晶體亦可使用自源極、沒極電極 佈植之電荷用作發光元件。藉由以閉極電極控制於源極· 沒極電極間流動之電流，可控制發光強度。即，將有機薄 膜電晶體用作發光元件（有機叫。可統合用以控制發光之 光元件，因此可提高顯示器之開孔率或使製作 “墙早化而降低成本，賦予於實用上之較大優點。於用 作有機發光電晶體時，以於上述詳細說明中敍述之内容已 =夠’但為使本發明之有機薄膜電晶體作為有機發光電晶 動作，必需自源極、沒極之—者佈植電洞，自另一者佈 植電子為使發光性能提高，較好的是滿足以下之條件。 I32I67.doc •41 · 200917543 (源極、沒極） 為提高電洞之佈植性，較好的是至少一 ^ 電極。所謂電洞佈植電極，係包含上二=洞佈植性 上之物質的電極。 數為4.2 eV以 又，為提高電子之佈植性，較好的是至少 植性電極。所謂電子佈植性電極，係 、固為電子佈 4.3 eV以下之物質的電極。更好的是具有二：函數為 性，且另-個為電子佈植性之電為::佈植 體》 力钱涛胰發光電晶 (元件構成） 為提南電洞之佈植性，較好的是於至少一個 :導體層之間插入電洞佈植層。電洞佈植層可 :件：”電洞佈植材料、電洞傳輸材料之胺系材料。 有機半導=電子之佈植性’較好的是於至少—個電極與 曰之間插入電子佈植性層。與電洞相同，電子 佈植層可使用於有機EL元件中使用之電子佈植材料。 更好的是於一個電極下具備電洞佈植層，且於另__ 極下具備電子佈植層的有機薄膜發光電晶體。 又，，於本實施之有機薄膜發光電晶體中，例如亦可 機半導體層與源極電極及汲極電極之間設置緩 佈植效率。 屬乂徒阿 實施例 繼而’使用實施例對本發明加以更詳細之說明。 合成例1(化合物（2)之合成） 132167.doc •42- 200917543 以如下方式合成上述化合物（2)。合成路徑如下所示。 [化 17]
於3 00毫升之三口燒瓶中放入4,4'-二溴芪3.00 g(8.87 mmol)、四（三苯基膦）ΙεΟ.513 g(0.443 mmol)、埃化銅（I) 0.169 g(0.886 mmol)，進行氬氣取代。於其中添加三乙胺 22毫升、4-乙炔基甲苯3.09 g(26.6 mmol)，於氬氣環境下 加熱回流9小時。過濾反應液，以二氣甲烷、甲醇清洗所 得之固體，獲得化合物（2)2.36 g(5.77 mmol，產率為 65%)。藉由90 MHz W-NMR及FD-MS(場解吸質譜）之測定 確認其係目標物。FD-MS之測定結果如下所示。 FD-MS，calcd for C48H3〇S2=408，found，m/z=408(M+， 100) 又，將本化合物於280°C下昇華純化。藉由昇華純化獲 得之化合物（2)的純度為99.5%。 再者，於合成例1中，FD-MS(場解吸質譜）之測定中使用 的裝置及測定條件如下所示。 <FD-MS 測定 > 裝置：HX110(日本電子公司製造） 條件：加速電壓8 kV 掃描範圍111/^=5 0〜15 00 132167.doc -43 - 200917543 合成例2(化合物（29)之合成） 以如下方式合成上述化合物（29)。合成路徑如下所示。 [化 18] ΕίΟ ^Ph^Cul·
(化合物（B)之合成） 於300毫升之三口燒瓶中添加化合物（A)10.9 g(36.2 mmol)、亞填酸三乙S旨12.0 g(72.3 mmol)。將反應器於150 °C下加熱回流3小時，其後於減壓下進行蒸餾，自反應物 中除去雜質。將於燒瓶中殘留之殘渣進而以管柱層析法加 以純化，獲得化合物（B)9.71 g(27.2 mmol，產率為75%)。 (化合物（C)之A成） 於300毫升之三口燒瓶中添加化合物（B)4.0 g(11.2 mmol)、四（三苯基膦）Ιε0.647 g(0.560 mmol)、块化銅（I) 0.213 g(l. 12 mmol)，進行氬氣取代。於其中添加三乙胺 16毫升、四氫呋喃56毫升、4-乙炔基甲苯2.60 g(22.4 132167.doc -44- 200917543 mmol)，於氬氣環境下加熱回流8小時。過遽反應液，以二 氣甲烷、甲醇清洗所得之固體，獲得化合物（C)3.41 g(8.69 mmol，產率為 78%)。 (化合物（E)之合成） 於300毫升之三口燒瓶中添加化合物（D)2.00 g(8.51 mmol)、四（三苯基膦）le 0.492 g(0.426 mmol)、蛾化銅（I) 0.162 g(0.852 mmol)，進行氬氣取代。於其中添加三乙胺 20毫升、四氫呋喃20毫升、4-乙炔基曱苯1.48 g( 12.8 mmol)，於氬氣環境下加熱回流9小時。過濾反應液，以二 氯曱烷、甲醇清洗所得之固體，獲得化合物（E)l.73 g(6.40 mmol，產率為 75%)。 (化合物（29)之合成） 於300毫升之三口燒瓶中添加化合物（C)1.35 g(3.44 mmol)，進而添加10毫升之THF。於其中每次少量添加第 三丁醇鉀0.463 g(4· 13 mmol)。將反應器於室溫下攪拌30分 鐘之後，進而添加化合物（E) 1.40 g(3.78 mmol)之THF溶液 10毫升，於室溫下攪拌2小時。過濾反應液，以二氯甲 烷、甲醇清洗所得之固體，獲得化合物（29)0.874 g( 1.72 mmol，產率為 50%)。藉由 90 MHz h-NMR及 FD-MS(場解 吸質譜）之測定確認其係目標物。FD-MS之測定結果如下 所示。再者，FD-MS之測定中使用的裝置以及測定條件與 合成例1相同。 FD-MS，calcd for C48H3〇S2=508，found，m/z=508(M+， 100) 132167.doc -45- 200917543 實施例1 (有機薄膜電晶體之製造） 以如下步驟製作有機薄膜電晶體。首先，將Si基板（兼 用作p型電阻係數1 Ω cm閘極電極）以熱氧化法使表面氧 化，於基板上製作300 nm之熱氧化膜作為絕緣體層。進 而，藉由乾式蝕刻將於基板之一面成膜之Si02膜完全除去 之後，藉由濺鍍法以20 nm之膜厚成膜鉻，進而於其上藉 錢鑛成膜100 mm之金（Au)，取出作為電極。將該基板以 巾性洗劑、純水、丙酮及乙醇各進行30分鐘超音波清洗， 進而進行臭氧清洗。 繼而，將上述基板設置於真空蒸鍍裝置（ULVAC公司製 造，EX-400)中，於絕緣體層上以〇 〇5 nm/s之蒸鍍速度成 膜上述化合物（2)作為膜厚5〇 nm之有機半導體層。繼而， 通過金屬遮罩以50 nm之膜厚成膜金，藉此形成互相並不 連接之源極電極及汲極電極以使間隔（通道長L)成為75 μηι。此時以使源極電極與汲極電極之寬度（通道寬w)成為 I 5 mm之方式成膜而製作有機薄膜電晶體（參照圖乃。 對所得之有機薄膜電晶體之閘極電極施加_4〇 V之閘極 電壓，於源極-汲極間施加電壓使電流流動。於此情形 時於有機半導體層之通道區域（源極_汲極間）引起電洞， 作為P型電晶體動作。其結果，於電流飽和區域之源極_汲 極電極間之電流的開/關比為3χ1〇5。又，藉由下述式（A)算 出電洞之電子場效遷移率μ，係6xl〇-2 cm2/Vs。
Id=(W/2L) * 〇μ - (Vg-Vt)2(A) 式中，Id係源極-汲極間電流、W係通道寬、^係通道長' 132167.doc •46· 200917543 ==之每單位♦電容、一極臨界電 實施例2(有機薄膜電晶體之製造） 使用化合物（75)代替化合物 # , ρΛ. ^ )作為有機半導體層之材 枓除此之外，以與實施例丨相同之 薄膜雷曰鲈啦 式進仃’製作有機 溥膜電S曰體。對所得之有機薄膜 闾夕古4、 日體以與實施例1相 门之方式，以_40 V之閘極電壓ν推 ^ 進Ρ型驅動。測定源
極-及極電極間之電流的 故φ 斤出電洞之電子場效遷 移率μ，將結果表示於表1。 實施例3(有機薄膜電晶體之製造） 、使用化σ物(21)代替化合物⑺作為有機半導體層之材 料’除此之外，以與實施例⑶同之方式成膜至有機半導 體層 '繼而’通過金屬遮罩以⑽_之蒸鑛速度真空装 链C峨替心作為源極汲極電極，其後以0.05 nm/s之蒸鑛 速^鑛50 nn^Ag，被覆Ca，製作有機薄膜電晶體。對 所知之有機薄臈電晶體，以與實施例1相同之方式，以 〇 V之閘極電壓VG進行n型驅動。測定源極-汲極電極間 之電流的開/關比算出電洞之電子場效遷移率μ，將結果表 示於表1。 實施例4(有機薄膜電晶體之製造） 作為源極-汲極電極，以〇 〇5 nm/s之蒸鍍速度真空蒸鍍 10 nm之緩衝層河〇〇3，插入至Au與化合物（2)之薄膜間代 替單獨使用Au，除此之外，以與實施例丨相同之方式進 行’製作有機薄膜電晶體。對所得之有機薄膜電晶體，以 132167.doc -47· 200917543 與Λ %例1相同之方式’以-40 V之閘極電壓Vg進行p型驅 動。測定源極-汲搞雷 ^ 電極間之電^的開/關比，算出電洞之 電子場效遷移率P，將結果表示於表1。 比較例1(有機薄膜電晶體之製造） 以與實施例1相同之方式實施基板之清洗、閘極電極成 膜、絕緣體I。繼而使聚對苯乙块（PPV)[分子量（Mn)為 86_，分子量分布（Mw/Mn=5⑶以3質量％溶解於甲笨
中^上述成膜至絕緣體層之基板上藉由旋塗法成膜，於 氮風％i兄下、12CTC下使其乾燥成膜為有機半導體層。繼 而’於真空蒸鑛裝置中通過金屬遮罩以5G nm之膜厚成膜 金（Au) ’藉此形成互相不接觸之源極及汲極電極，製作有 機薄膜電晶體。 對所得之有機薄膜電晶體，以與實施例丨相同之方式， 以40 V之閘極電壓％進行？型驅動。測定源極·沒極電極 間之電流的開/關比’算出電洞之電子場效遷移率p，將結 果表示於表1。 比較例2 使用聚對苯乙块（PPV)作為有機半導體層之材料，以與 比較例1完全相同地成膜至有機半導體層。其後，以與實 施例3相同地進行，通過金屬遮罩成膜以作為源極_沒極^ 極，於其上被覆Ag而製作有機薄膜電晶體。 對所得之有機薄膜電晶體，以與實施例3相同之方式， 以+40 V之閘極電壓％進行n型驅動。測定源極-沒極電極 間之電流㈣/關比’ 電洞之電子場效遷移率^，將結 132167.doc -48· 200917543 果表示於表1。 [表1] 有機半導體層之 化合物種類 電晶體 之種類 電子場效遷移率 (cm2/Vs) 開/關比 實施例1 (2) P型 6xl〇·2 3xl05 實施例2 (75) P型 2x1 Ο·2 2x106 實施例3 (21) η型 2x10'3 2x104 實施例4 (2) Ρ型 4χ10-2 8x105 比較例1 PPV Ρ型 lxlO'5 lxlO3 比較例2 PPV η型 lxlO'4 lxlO3 實施例5(有機薄膜發光電晶體之製造） 以如下步驟製作有機薄膜發光電晶體。首先，將Si基板 (兼用作P型電阻係數1 Ω cm閘極電極）以熱氧化法使表面氧 化，於基板上製作300 nm之熱氧化膜作為絕緣體層。進 而，藉由乾式蝕刻將於基板之一面成膜之Si02膜完全除去 I: 之後，藉由滅鐘法以20 nm之膜厚成膜鉻，進而於其上藉 由滅鐘成膜100 mm之金（Au)，取出作為電極。將該基板以 中性洗劑、純水、丙酮及乙醇各進行30分鐘超音波清洗。 繼而，將其設置於真空蒸鍍裝置（ULVAC公司製造，EX-900)中，於絕緣體層（Si02)上以0.05 nm/s之蒸鍍速度成膜 上述化合物（2)作為膜厚100 nm膜厚之有機半導體發光 層。繼而，以與上述相同之方式，設置通道長75 μηι、通 道寬5 mm之金屬遮罩，於將基板相對於蒸發源傾斜45度之 132167.doc -49- 200917543 狀態下，通過遮罩以50 nm之臈厚成臈金。繼而，於將基 板於逆方向上傾斜45度之狀態下，蒸鍍100 nmiMg，藉 此裝作互相不接觸之源極電極及汲極電極實質上具備電洞 佈植性電極（Au)與電子傳輸性電極（Mg)之有機薄膜發光電 晶體。（參照圖8) 右於源極-汲極間施加_1〇〇 v且於閘極電極上施加-⑽ V ’則獲得4〇 cd/m2之藍色發氺。於固。士士 邑發先於圖9中表示發射光譜。 產業上之可利用性 且=詳細說明，本發明之有機薄膜電晶體，由於使用 體層之材料„ . 特疋、、“冓之化合物作為有機半導 回應速度（驅動速度）高速，且開/關比大， 作為電晶體之性能較其 光電晶體。 °亦可用作可發光之有機薄膜發 【圖式簡單說明】 圖1係表示本發明之有 之圖 機薄膜電晶體的元件構成之一 例 圖2係表示本發明之 之圖。 有機涛膜電晶體的元件構成之一例 圖3係表示本發明之有 之圖。 有機薄膜電晶體的元件構成之一例 圖4係表示本發明之 例 之圖。 圖5係表示本發 之圖。 - 有機缚臈電晶體的元件構成之一 例 有機薄膜電晶體的元件構成之一 132167.doc * 5〇 - 200917543 圖6係表示本發明之有機薄膜電晶體的元件構成之一例 之圖。 圖7係表示本發明之實施例中之有機薄膜電晶體的元件 構成之一例之圖。 _圖8係表示本發明之實施例中之有機薄膜發光電晶體的 元件構成之一例之圖。
圖9係表示實施例5中所得之本發明之有 體的發射光譜之圖。 機薄膜發光電晶 132167.doc -51 -

Claims (1)

  1. 200917543 十、申請專利範圍： L種有機薄膜電晶體，其係於基板上至少設置有問極電 極 '源極電極及沒極電極3個端子、絕緣體層以及有機 半導體層’藉由於閘極電極上施加電壓而控制源極-汲極 間電他者，上述有機半導體層包含具有下述通式⑴之結 構的有機化合物： ~ [化1]
    [於式中βαβ2分別獨立係碳數為6〜6〇之2價芳香族炉 基或碳數為1〜60之2價芳香族雜環基，Rl〜R1〇分別獨立^ 虱原子素原子、氰基、碳數為卜川之烧基 1〜3〇之㈣基、碳數為㈣之燒氧基、碳數為㈣^ ==1〜30之燒胺基、碳數為2〜6。之二炫基胺 ί(烧基亦可相互鍵結而形成含氮原子之環結構)、碳數 為1〜30之烷基磺醯基、碳 數為1〜30之鹵烷基磺醯基、碳 為〜30之烷硫基、碳數為1〜之 * 3〜30之烷基矽烷基、碳 & “、石厌數為 .,— 數為6〜60之芳香族烴基或者碳數 為1〜60之芳香族雜環基， 此·#各基亦可具有取代基， 又，Ri〜R5、R6〜Rw中相鄰 和之環狀結構]。 #者之間亦可形成飽和或不飽 132167.doc 200917543 1 , B 2刀別獨立係包含苯環之2價芳香族烴 本％之2價芳香族雜環基。 土或者包含 月求項1之有機薄膜電晶體，其中 Βι及心分別獨立係 、34通式⑴中， 環基。 之Μ族雜環的芳香族雜 4·如°月求項1之有機薄臈電晶體，其中於上辻 6,及32係相對 、上述通式（1)中， 5·如請求項！之有機Γ2所夹之雙鍵為對稱結構。 基或碳數為心原子、碳數為〜 6 ·如請求項]夕 ^ H、、 ㈣電晶體，其中於上述通式⑴中， 之至少一以5山、HR9及^係氫原子，且WR8 “妷數為1〜30之烷基、碳數為1〜30之_烷 基、南素原子或氰基。 齒坑 7. -種有機薄膜發光電晶體’其係於 膜電晶體φ，月N噴1之有機溥 1用於源極-汲極間流動之電流獲得發光， 8. 曰由於閘極電極上施加電壓而控制發光。 極電極二7之有機缚膜發光電晶體’其中源極電極及汲 至少—者係包含功函數為4.2 eV以上之物質， 且/或至少-古> A A人 9·如請求…之有功函數為4.3^以下之物質。 、冑機薄膜電晶體’其中於源極電極及沒極 -、有機半導體層之間具有緩衝層。 1 0 ·如請求項7 $女j4lt ^ 、、 有機溥膜發光電晶體，其中於源極電極及 /及極電極與有機半導體層之間具有緩衝層。 132I67.doc 200917543 u· —種有機化合物，[化2] 其係以下 述通式（2)所表示：
    t2
    g词且係碳數為1〜30之烷基，b3&b 別獨立係2價之碳數為1〇〜6〇的2環以上之縮合J 起基或2價之碳數A 4 Α Λ 矢 基]。 60的2環以上之縮合芳香族雜環 132167.doc
TW097123235A 2007-06-21 2008-06-20 Organic thin film transistor and organic thin film light-emitting transistor TW200917543A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007163617 2007-06-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW200917543A true TW200917543A (en) 2009-04-16

Family

ID=40156280

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW097123235A TW200917543A (en) 2007-06-21 2008-06-20 Organic thin film transistor and organic thin film light-emitting transistor

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20100187514A1 (zh)
JP (1) JP5329404B2 (zh)
TW (1) TW200917543A (zh)
WO (1) WO2008156121A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI421645B (zh) * 2009-06-01 2014-01-01 Taiwan Tft Lcd Ass 圖案化的方法以及用於圖案化的堆疊結構
US8946688B2 (en) 2009-12-14 2015-02-03 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Polycyclic ring-fused compound and organic thin film transistor utilizing the same

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008057350A1 (de) * 2008-11-14 2010-05-20 Osram Opto Semiconductors Gmbh Strahlungsemittierendes Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
JPWO2011087130A1 (ja) * 2010-01-18 2013-05-20 株式会社クラレ アセチレン化合物およびそれを含有している有機半導体材料
TW201327817A (zh) * 2011-12-16 2013-07-01 Ind Tech Res Inst 雙載子電晶體元件結構及其製造方法
US10141528B1 (en) * 2017-05-23 2018-11-27 International Business Machines Corporation Enhancing drive current and increasing device yield in n-type carbon nanotube field effect transistors

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH559741A5 (zh) * 1971-11-22 1975-03-14 Ciba Geigy Ag
CA2353218C (en) * 2000-07-17 2009-07-14 National Research Council Of Canada Use of oligo (phenylenevinylene) s in organic light-emitting devices
JP2002179644A (ja) * 2000-12-14 2002-06-26 Fuji Photo Film Co Ltd 四環系芳香族化合物
JP2002332484A (ja) * 2001-05-09 2002-11-22 Fuji Photo Film Co Ltd 光応答性材料
JP2003187983A (ja) * 2001-12-17 2003-07-04 Ricoh Co Ltd 有機ｅｌトランジスタ
TW200602294A (en) * 2004-02-25 2006-01-16 Asahi Chemical Ind Polyacene compound and organic semiconductor thin film
CN100487930C (zh) * 2004-08-30 2009-05-13 国立大学法人京都大学 有机半导体发光装置及使用它的显示装置
US8513654B2 (en) * 2008-04-10 2013-08-20 Idemitsu Kosan Co. Ltd. Compound for organic thin-film transistor and organic thin-film transistor using the compound

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI421645B (zh) * 2009-06-01 2014-01-01 Taiwan Tft Lcd Ass 圖案化的方法以及用於圖案化的堆疊結構
US8946688B2 (en) 2009-12-14 2015-02-03 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Polycyclic ring-fused compound and organic thin film transistor utilizing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP5329404B2 (ja) 2013-10-30
US20100187514A1 (en) 2010-07-29
WO2008156121A1 (ja) 2008-12-24
JPWO2008156121A1 (ja) 2010-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5148211B2 (ja) 有機薄膜トランジスタ及び有機薄膜発光トランジスタ
JP5368797B2 (ja) 有機薄膜トランジスタ素子及び有機薄膜発光トランジスタ
JP5337490B2 (ja) 有機薄膜トランジスタ及び有機薄膜発光トランジスタ
JP5299807B2 (ja) ベンゾジチオフェン誘導体並びにそれを用いた有機薄膜トランジスタ及び有機薄膜発光トランジスタ
TW201014006A (en) Compound for organic thin film transistor and organic thin film transistor using the same
JPWO2008059817A1 (ja) 有機薄膜トランジスタ及び有機薄膜発光トランジスタ
WO2008069061A1 (ja) 有機薄膜トランジスタ及び有機薄膜発光トランジスタ
TW201016639A (en) Compound for organic thin film transistor and organic thin film transistor using the same
TW201016636A (en) Compound for organic thin-film transistor and organic thin-film transistor using same
US20100051919A1 (en) Organic thin film transistor and organic thin film light-emitting transistor
JP2015109455A (ja) 有機薄膜トランジスタ
TW200917543A (en) Organic thin film transistor and organic thin film light-emitting transistor
JP5308164B2 (ja) 有機薄膜トランジスタ及び有機薄膜発光トランジスタ
JP2010275239A (ja) 新規な縮合芳香環化合物及びそれを用いた有機薄膜トランジスタ
JP2009081265A (ja) 有機薄膜トランジスタ
JP5308162B2 (ja) 有機薄膜トランジスタ及び有機薄膜発光トランジスタ
WO2011065015A1 (ja) 有機半導体材料含有組成物及びそれを用いた有機薄膜トランジスタ