JPWO2008129784A1 - 積層板の製造方法および積層板 - Google Patents
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Abstract
Description
また、プリプレグを用いた多段のバッチプレスは、上記のように多くの工程を必要とするため工程が煩雑となり、生産性が低いという問題もあった
しかしながら、ロールラミネート装置を用いた方法は、複数のプリブレグを連続的に積層するので製造条件の設定が困難であり、絶縁樹脂層におけるボイドの発生が顕著になる問題があった。さらに、ロールラミネート装置を用いた場合においても、塗工方向にスジ状の凹凸が発生しやすく、厚み精度を確保することが困難であった。
減圧下において前記第1のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層と第2のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層とを、直接または他の部材を介して接合するとともに、加熱処理を行うことにより、前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する工程と、を有する積層板の製造方法が提供される。
これらの方法により得られる本発明の積層板は、高密度化、高多層化を要求される多層プリント配線板の製造に好適に用いられる。
本実施形態Aに係るキャリア付きプリプレグを用いた積層板の製造方法は以下の工程を含む。
(1)キャリアと、繊維布が埋設された絶縁樹脂層とを積層した第1および第2のキャリア付きプリプレグを準備する工程
(2)減圧下において前記第1のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層と第2のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層とを、直接または他の部材を介して接合するとともに、加熱処理を行うことにより、前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する工程
実施形態A1の積層板の製造方法においては、前記(1)工程は以下の(a)工程〜(d)工程を含み、前記(2)工程は以下の(e)工程〜(f)工程を含む。
(b)接合後に、絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂成分のガラス転移温度以上の温度で加熱処理し、両面キャリア付きプリプレグを作製する工程
(c)(a)工程および(b)工程を再度繰り返すことにより、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを作製する工程
(d)第1および第2の両面キャリア付きプリプレグの一方の面の前記キャリアを除去することにより絶縁樹脂層を露出させる工程
(e)第1および第2のキャリア付きプリプレグの露出された絶縁樹脂層を対向するように配置するとともに、減圧下にて絶縁樹脂層を接合する工程
(f)(e)工程後に加熱処理し、第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する工程
(a)工程においては、一方の面にキャリアが形成された第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層側の面を、繊維布の両面にそれぞれ重ね合わせ、減圧条件下でこれらを接合する。
これらの中でも、真空ラミネート装置を用いて、繊維布と絶縁樹脂層付きキャリアとを連続的に重ね合わせながら接合する方法が好ましい。これにより、連続的な処理ができ、簡易な装置で効率的にキャリア付きプリプレグを製造することができる。
図1(b)は、本実施形態で用いられる絶縁樹脂層付きキャリア3を例示したものである。
図1(a)は、本実施形態で用いられる絶縁樹脂層付きキャリア3に適用されるキャリア1を例示したものである。
これらの中でも、熱可塑性樹脂フィルムシートを形成する熱可塑性樹脂としては、耐熱性に優れ、安価であることから、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。
また、金属箔を形成する金属としては、導電性に優れ、エッチングによる回路形成が容易であり、また安価であることから銅または銅合金が好ましい。
金属箔の厚みが小さすぎると、絶縁樹脂層付きキャリアを製造する際に機械的強度が充分でないことがある。また、厚みが大きすぎると、絶縁樹脂層付きキャリアの製造に際しては問題ないが、生産性が低下することがある。
本実施形態で用いられる絶縁樹脂層付きキャリアは、キャリアの片面側に、絶縁樹脂材料から形成された絶縁樹脂層を有する。その調製方法としては特に限定されないが、コンマコーター、ナイフコーターなど各種コーター装置を用いて、液状の絶縁樹脂をキャリアに塗工する方法、噴霧ノズルなどの各種スプレー装置を用いて、液状の絶縁樹脂をキャリアに塗工する方法、などが挙げられる。
これにより、液状の絶縁樹脂を調製する際に有機溶媒や分散媒体などを用いた場合は、これらを実質的に除去して、絶縁樹脂層表面のタック性をなくし、取り扱い性に優れた絶縁樹脂層付きキャリアとすることができる。
上記のように加温下で乾燥させる方法としては特に限定されないが、例えば、熱風乾燥装置、赤外線加熱装置などを用いて連続的に処理する方法を好ましく適用することができる。
なお、この絶縁樹脂層は、同じ絶縁樹脂を用いて一回または複数回数の塗工で形成されてもよいし、異なる絶縁樹脂を用いて複数回数の塗工で形成されたものであってもよい。
繊維布4は、キャリア1の搬送方向と同じ方向に連続的に供給・搬送することができるものであり、幅方向寸法9を有している。ここで、幅方向寸法9とは、繊維布4の搬送方向と直交方向における繊維布4の寸法を指す。このような繊維布4としては、例えば、長尺状のシート形態のものを好適に用いることができる。
これらの中でも、ガラス繊維布であるガラス織布を用いると、多層プリント配線板の機械的強度、耐熱性を良好なものとすることができる。
そして、本実施形態の製造方法においては、特に、厚み15〜35μm、坪量17〜25g/m2であるような薄手のガラス織布を用いることができる。そして、このようなガラス織布を用いた場合でも、繊維布を構成する繊維束に曲がりを生じにくいので、機械的特性や含浸性に優れたキャリア付きプリプレグを用いた積層板とすることができる。
これは、特に上記のような薄手のガラス織布を用いた場合にはその影響が顕著であり、繊維束に曲がりを生じたり、縦糸と横糸との開き目の部分が拡大したりしやすい。このようなプリプレグを用いた積層板は、内部歪を有することで、多層プリント配線板の反り、寸法安定性などの機械的特性に影響を及ぼすという問題があった。
一方、内部歪みを抑える低圧成形では、プリプレグ内の残存ボイドを真空下での樹脂流動により除去するには不十分であり、ボイドが残存した積層板となりやすいため、このようなプリプレグを用いて低圧成形にて積層板を製造すると、絶縁信頼性が低下する問題があった。
この(b)工程は、(a)工程における接合後に、絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂成分のガラス転移温度以上の温度で加熱処理し、両面キャリア付きプリプレグを作製するものである。
これにより、(a)工程において、絶縁樹脂層付きキャリアと繊維布とが接合した時点で残存していた、減圧ボイドあるいは実質的な真空ボイドを消失させることができ、非充填部分が非常に少ない、あるいは、非充填部分が実質的に存在しない両面キャリア付きプリプレグを製造することができる。
熱風乾燥装置、赤外線加熱装置を用いた場合は、接合したものに実質的に圧力を作用させることなく実施することができる。
また、加熱ロール装置、平板状の熱盤プレス装置を用いた場合は、接合したものに所定の圧力を作用させることで実施することができる。
この方法によれば、(b)工程で樹脂成分を過剰に流動させることがないので、所望とする絶縁層厚みを有し、かつ、この絶縁層厚みにおいて高い均一性を有したキャリア付きプリプレグを効率良く製造することができる。
また、樹脂成分の流動に伴って繊維布基材に作用する応力を最小限とすることができるので、内部歪を非常に少ないものとすることができる。
さらには、樹脂成分が溶融した際に、実質的に圧力が作用していないので、この工程における打痕不良の発生を実質的になくすことができる。
また、加熱処理する時間は、用いる絶縁樹脂の種類などにより異なるため特に限定されないが、1〜10分間処理することにより実施することができる。
図2(a)〜(c)においては、第1の絶縁樹脂層付きキャリア3a'、および第2の絶縁樹脂層付きキャリア3aとして、繊維布4よりも幅方向寸法が大きいキャリアを有するとともに、繊維布4よりも幅方向寸法が大きい絶縁樹脂層を有するものを用いている。ここで、キャリア、絶縁樹脂層、繊維布の各々の幅方向寸法の関係を図2(a)に示す。
図3(a)〜(c)においては、例えば第1の絶縁樹脂層付きキャリア3a'として、繊維布4よりも幅方向寸法が大きい絶縁樹脂層を有するものを用い、第2の絶縁樹脂層付きキャリア3bとして、繊維布4と幅方向寸法が同じ絶縁樹脂層を有するものを用いている。ここで、キャリア、絶縁樹脂層、繊維布の各々の幅方向寸法の関係を図3(a)に示す。
なお、第1の絶縁樹脂層付きキャリア3a'のキャリアは、絶縁樹脂層と剥離可能に構成されている。このキャリアとしては、絶縁樹脂層が形成される面に剥離可能な処理が施されたフィルムシートや金属箔を用いることができる。一方、第2の絶縁樹脂層付きキャリア3bのキャリアは、絶縁樹脂層と密着している。このキャリアとしては、絶縁樹脂層との密着性を向上させる処理が施された金属箔を用いることができる。
図4(a)〜(c)においては、第1の絶縁樹脂層付きキャリア3b'、および第2の絶縁樹脂層付きキャリア3bとして、繊維布4と幅方向寸法が同じ絶縁樹脂層を有するものを用いている。ここで、キャリア、絶縁樹脂層、繊維布の各々の幅方向寸法の関係を図4(a)に示す。
この(c)工程は、前記(a)工程および前記(b)工程を再度繰り返すことにより、2つの両面キャリア付きプリプレグを作製するものである。なお、本実施形態においては(a)工程および(b)工程以外に他の工程を有していてもよい。
この(d)工程は、図5(a)(b)(または図6(a)(b))に示すように、前記工程で得られた第1および第2の両面キャリア付きプリプレグ30,30において、一方のキャリアを除去し、絶縁樹脂面が露出した第1および第2のキャリア付きプリプレグ30a,30bを得る工程である。
この(e)工程は、図5(b)(c)(または図6(b)(c))に示すように最外層がキャリアとなるように第1および第2のキャリア付きプリプレグ30a,30bの露出された前記絶縁樹脂層を対向するように配置するとともに、減圧下にて前記絶縁樹脂層を直接接合するものである。
この減圧条件としては、真空度20Torr以下、好ましくは10Torr以下である。これにより、上記効果を高く発現させることができる。なお、下限値は特に限定されず、1Torrであれば上記効果の観点から充分である。
上述のように製造されたキャリア付きプリプレグを用い、さらに上記したような減圧条件下で積層させるので、厚み精度に優れた積層板を得ることができる。
また、減圧条件下で接合する手法としては特に限定されないが、例えば、真空ラミネート装置、真空ボックス装置などを用いることができる。
これらの中でも、真空ラミネート装置を用いて、一方のキャリアが除去された第1および第2のキャリア付きプリプレグを連続的に重ね合わせながら接合する方法が好ましい。これにより、連続的な処理ができ、簡易な装置で効率的にキャリア付きプリプレグを用いた積層板を製造することができる。
ここで加温する方法としては特に限定されないが、例えば、接合する際に所定温度に加熱したラミネートロールを用いる方法などを好適に用いることができる。
この(f)工程は、図5(d)(または図6(d))に示すように、前記(e)工程において得られた積層体を加熱処理し、積層板を作製するものである。
これにより、樹脂の偏りが発生することがなく、積層板は厚み精度に優れる。
一方、従来のバッチプレスでは、両面金属張積層板の絶縁樹脂層の厚さは60μmが限度と言われており、近年における、より薄い両面金属張積層板の要求に答えることができない。バッチプレスにおいて、絶縁材層の厚さを60μmよりも薄くしようとすると、基材が直接両面の金属箔と接触し易くなり絶縁性の信頼度が低下するという問題があった。
これに対し本実施形態の方法によれば、このような絶縁樹脂層の厚さが60μmよりも薄い積層板を製造する場合であっても、積層板は厚み精度に優れるため絶縁性の信頼度がより向上し、製品の歩留まりが向上する。
熱風乾燥装置、赤外線加熱装置を用いた場合は、接合したものに実質的に圧力を作用させることなく実施することができる。
また、加熱ロール装置、平板状の熱盤プレス装置を用いた場合は、接合したものに所定の圧力を作用させることで実施することができる。
また、樹脂成分の流動に伴って繊維布基材に作用する応力を最小限とすることができるので、内部歪を非常に少ないものとすることができる。
さらには、樹脂成分を加温した際に、実質的に圧力が作用していないので、この工程における打痕不良の発生を実質的になくすことができる。
加熱処理する際の温度は、60℃以上200℃以下、好ましく150℃以上200℃以下とすることができる。これにより、絶縁樹脂の流動性が向上するとともに、絶縁樹脂の硬化反応が十分に進行するので、ボイドの発生をより効果的に抑えることができる。
また、加熱処理する時間は、用いる絶縁樹脂の種類などにより異なるため特に限定されないが、一例を挙げると、10〜20分間処理することにより実施することができる。
本実施形態の製造方法により得られる積層板は、高密度化、高多層化を要求される多層プリント配線板の製造に好適に用いられる。
図6においては、第1の両面キャリア付きプリプレグ30、および第2の両面キャリア付きプリプレグ30として、繊維布4と幅方向寸法が同じ絶縁樹脂層を有するものを用いている。ここで、キャリア、絶縁樹脂層、繊維布の各々の幅方向寸法の関係を図6(a)に示す。図6(b)に示すように、第1のキャリア付きプリプレグ30aおよび第2のキャリア付きプリプレグ30bの一方の面のキャリアは除去され、露出した絶縁樹脂層同士が対向するように配置されている。
実施形態A2の積層板の製造方法においては、前記(1)工程は以下の(a)工程〜(d)工程を含み、前記(2)工程は以下の(e)工程〜(f)工程を含む。
(b)接合後に、絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂成分のガラス転移温度以上の温度で加熱処理し、両面キャリア付きプリプレグを作製する工程
(c)(a)工程および(b)工程を再度繰り返すことにより、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを作製するとともに、第3の両面キャリア付きプリプレグを作製する工程
(d)第1および第2の両面キャリア付きプリプレグの一方の面のキャリアを除去することにより絶縁樹脂層を片面に露出させるとともに、第3の両面キャリア付きプリプレグの両面のキャリアを除去することにより絶縁樹脂層が両面に露出したフィルム状の絶縁樹脂部材を得る工程
(e)第1のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層とフィルム状の絶縁樹脂部材の片面と、さらに前記第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層とフィルム状の絶縁樹脂部材の他方の面とを対向するように配置するとともに、減圧下にて絶縁樹脂層を接合する工程
(f)(e)工程後に加熱処理し、第1のキャリア付きプリプレグ、フィルム状の絶縁樹脂部材および第2のキャリア付きプリプレグを順に積層する工程
(f)工程は、図7(c)(d)(図8(c)(d))に示すように、前記(e)工程により得られた接合体を加熱処理し、第1のキャリア付きプリプレグ31a、フィルム状の絶縁樹脂部材31bおよび第2のキャリア付きプリプレグ31cを、最外層がキャリアとなるように積層するものである。
これにより、樹脂の偏りが発生することがなく、積層板は厚み精度に優れる。
そのため絶縁性の信頼度がより向上し、製品の歩留まりが向上する。
加熱処理する際の温度は、60℃以上200℃以下、好ましく150℃以上200℃以下とすることができる。これにより、絶縁樹脂の流動性が向上するとともに、絶縁樹脂の硬化反応が十分に進行するので、ボイドの発生をより効果的に抑えることができる。
また、加熱処理する時間は、用いる絶縁樹脂の種類などにより異なるため特に限定されないが、一例を挙げると、10〜20分間処理することにより実施することができる。
図7(a)〜(d)においては、第1の両面キャリア付きプリプレグ31、第3の両面キャリア付きプリプレグ31'および第2のキャリア付きプリプレグ31として、繊維布の幅方向寸法が、絶縁樹脂層の幅方向寸法よりも小さいものを用いている。図7(b)に示すように、第1の両面キャリア付きプリプレグ31および第2両面キャリア付きプリプレグ31の一方の面のキャリアは除去され、絶縁樹脂層が露出した第1のキャリア付きプリプレグ31aおよび第2のキャリア付きプリプレグ31cが形成されている。第3の両面キャリア付きプリプレグ31'は、両面のキャリアが除去され絶縁樹脂層が露出し、フィルム状の絶縁樹脂部材31bが形成されている。これらの絶縁樹脂層同士が対向するように配置されている。ここで、第1、第2および第3の両面キャリア付きプリプレグの幅方向寸法の関係を図7(a)に示す。
図8(a)〜(d)においては、第1の両面キャリア付きプリプレグ31、第3の両面キャリア付きプリプレグ31'および第2のキャリア付きプリプレグ31として、繊維布の幅方向寸法が、絶縁樹脂層の幅方向寸法と等しいものを用いている。図8(b)に示すように、第1の両面キャリア付きプリプレグ31および第2両面キャリア付きプリプレグ31の一方の面のキャリアは除去され、絶縁樹脂層が露出した第1のキャリア付きプリプレグ31aおよび第2のキャリア付きプリプレグ31cが形成されている。第3の両面キャリア付きプリプレグ31'は、両面のキャリアが除去され絶縁樹脂層が露出し、フィルム状の絶縁樹脂部材31bが形成されている。これらの絶縁樹脂層同士が対向するように配置されている。ここで、第1、第2および第3の両面キャリア付きプリプレグの幅方向寸法の関係を図8(a)に示す。
そして、これらの接合を減圧下で実施するため、絶縁樹脂層の接合面に非充填部分が残存していても、これらを減圧ボイドあるいは実質的な真空ボイドとすることができるので、(f)工程において、所定の温度範囲で加熱処理した場合、これを容易に消失させることができる。そして、(f)工程において、幅方向の周辺部から空気が侵入して新たなボイドが形成されるのを防ぐことができる。この状態を図8(d)に示す。
実施形態A3の積層板の製造方法においては、前記(1)工程は以下の(a)工程〜(d)工程を含み、前記(2)工程は以下の(e)工程〜(f)工程を含む。
(b)接合後に、絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂成分のガラス転移温度以上の温度で加熱処理し、両面キャリア付きプリプレグを作製する工程
(c)(a)工程および(b)工程を再度繰り返すことにより、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを作製するとともに、第3の両面キャリア付きプリプレグを作製する工程
(d)第1および第2の両面キャリア付きプリプレグの一方の面の前記キャリアを除去することにより絶縁樹脂層を片面に露出させるとともに、第3の両面キャリア付きプリプレグの両面のキャリアを除去することにより絶縁樹脂層が両面に露出したフィルム状の絶縁樹脂部材を得る工程
(e)
(e1)減圧下において第1のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層と第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層とを、他の部材としてフィルム状の絶縁樹脂部材を介して接合し、両最外層にキャリアを備える接合体を得た後に、該接合体の少なくとも一方のキャリアを除去することにより絶縁樹脂層を露出させる工程
(e2)減圧下において接合体の露出された絶縁樹脂層と他のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層とを直接または他の部材を介して接合する工程
(f)(e)工程後に加熱処理し、第1のキャリア付きプリプレグ、フィルム状の絶縁樹脂部材および第2のキャリア付きプリプレグを順に積層する工程
本実施形態の(f)工程は、(e)工程で得られた積層体を、常圧下に搬出するとともに連続的に常圧下で加熱処理することが好ましい。これにより、ガラスクロス空隙中に溶融樹脂が充填され大気圧にて成形されることで、ボイドの発生をより効果的に抑え、絶縁信頼性にさらに優れた積層体を製造することができる。
加熱処理する際の温度は、60℃以上200℃以下、好ましく150℃以上200℃以下とすることができる。これにより、絶縁樹脂の流動性が向上するとともに、絶縁樹脂の硬化反応が十分に進行するので、ボイドの発生をより効果的に抑えることができる。
また、加熱処理する時間は、用いる絶縁樹脂の種類などにより異なるため特に限定されないが、一例を挙げると、10〜20分間処理することにより実施することができる。
これにより、キャリア付きプリプレグを巻物形態とすることができ、このキャリア付きプリプレグを用いて、(d)工程および(e)工程の作業性を向上させることができる。
これにより、キャリア付きプリプレグを用いた積層板を所定の形態にすることができ、効率的な生産を効果的に発現させることができる。
本実施形態の積層板の製造方法は、図10〜12に示した製造装置を用いて実施することができる。なお、図10〜12においては製造装置の側面を、断面図を用いて説明する。
加熱処理後のキャリア付きプリプレグ22cは、ピンチロール29、29で挟みながら、これを連続的に巻き取ることにより、巻物形態の両面キャリア付きプリプレグ30とすることができる。
加熱処理後の積層板35は、ピンチロール29、29で挟みながら、これを連続的に巻き取ることにより、巻物形態の積層板35とすることができる。
なお、実施形態A3の積層板の製造も、図11の製造装置を用いて行うことができる。
なお、本実施形態において、4つ以上のキャリア付きプリプレグを用いて積層板を製造する場合、両面キャリア付きプリプレグ31から両方のキャリアを除去するとともに、連続的に供給する装置をさらに設ければよい。
本実施形態のキャリア付きプリプレグを用いた積層板は、本実施形態のキャリア付きプリプレグを用いた積層板の製造方法により得られる。
次に、実施形態Bのキャリア付きプリプレグを用いた積層板の製造方法、ならびに、積層板について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
実施形態B1に係る積層板の製造方法は、長尺帯状の第1および第2のキャリア付きプリプレグを連続的に積層する方法であって、以下の全工程を連続的に繰り返して行う。
(a)キャリアと、繊維布が埋設された絶縁樹脂層と、他のキャリアとを積層した長尺帯状の第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを準備する工程
(b)第1および第2の両面キャリア付きプリプレグの片側のキャリアを剥離除去して片側に絶縁樹脂層が露出した長尺帯状の第1および第2のキャリア付きプリプレグを作製する工程
(c)減圧下において、長尺帯状の前記第1および第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層同士を直接当接させるとともに、一対のラミネートロールにより押圧して絶縁樹脂層同士を接合する工程
(d)前記工程により得られた積層体を加熱処理する工程
本実施形態において(a)工程は、以下の(a1)工程および(a2)工程を含む。
(a2)前記接合後に、絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂成分のガラス転移温度以上の温度で加熱処理し、長尺帯状の第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを作製する工程
本実施形態においては、積層板の厚みが30μm以上200μm以下となるように調製することが生産性の面から好ましい。このため、積層板の厚みが上記範囲となるように両面キャリア付きプリプレグを準備すればよく、例えば両面キャリア付きプリプレグを2個以上4個以下用いればよい。また、繊維布を適宜組み合わせることもできる。本実施形態においては両面キャリア付きプリプレグを2つ用いた例によって説明する。
(a1)工程においては、一方の面にキャリアが形成された長尺帯状の第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層側の面を、長尺帯状の繊維布の両面にそれぞれ重ね合わせ、減圧条件下でこれらを接合する。
これらの中でも、真空ラミネート装置を用いて、長尺帯状の繊維布と、長尺帯状の絶縁樹脂層付きキャリアとを連続的に重ね合わせながら接合する方法が好ましい。これにより、連続的な処理ができ、簡易な装置で効率的に長尺帯状のキャリア付きプリプレグを製造することができる。
図1(b)は、本実施形態で用いられる長尺帯状の絶縁樹脂層付きキャリア3を例示したものである。
図1(a)は、本実施形態で用いられる絶縁樹脂層付きキャリア3に適用されるキャリア1を例示したものである。
これらの中でも、熱可塑性樹脂フィルムシートを形成する熱可塑性樹脂としては、耐熱性に優れ、安価であることから、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。
また、金属箔を形成する金属としては、導電性に優れ、エッチングによる回路形成が容易であり、また安価であることから銅または銅合金が好ましい。
金属箔の厚みが小さすぎると、絶縁樹脂層付きキャリアを製造する際に機械的強度が充分でないことがある。また、厚みが大きすぎると、絶縁樹脂層付きキャリアの製造に際しては問題ないが、積層板の生産性が低下することがある。
上記溶融粘度は、60℃以上200℃以下での動的粘弾性測定における周波数1ラジアン/秒で測定した複素粘性率である。この溶融粘度は、複素粘性率動的粘弾性測定装置を用いて、直径25mm、厚さ0.8mmの円盤状サンプルを治具に挟み、加熱しながら、各温度雰囲気中、周波数1Hzのねじりを加え測定することができる。
ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、アリールアルキレン型フェノール樹脂等やこれらのプレポリマーなどのフェノール樹脂;
ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールA型シアネート樹脂、ビスフェノールE型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールF型シアネート樹脂等やこれらのプレポリマーなどのシアネート樹脂;
不飽和ポリエステル樹脂;ジシクロペンタジエン樹脂;ビスマレイミドトリアジン樹脂などの熱硬化性樹脂を好適に用いることができる。本実施形態においては、これらの熱硬化性樹脂を1種または2種以上組み合わせて用いることができる。
このほか、必要に応じて、硬化剤、硬化促進剤、熱可塑性樹脂、無機充填材、有機充填材、カップリング剤などの添加剤を適宜配合することができる。
本実施形態で用いられる絶縁樹脂層付きキャリアは、キャリアの片面側に、上記絶縁樹脂材料から形成された絶縁樹脂層を有するものである。その調製方法としては特に限定されないが、コンマコーター、ナイフコーターなど各種コーター装置を用いて、液状の絶縁樹脂をキャリアに塗工する方法、噴霧ノズルなどの各種スプレー装置を用いて、液状の絶縁樹脂をキャリアに塗工する方法、などが挙げられる。
これにより、液状の絶縁樹脂を調製する際に有機溶媒や分散媒体などを用いた場合は、これらを実質的に除去して、絶縁樹脂層表面のタック性をなくし、取り扱い性に優れた絶縁樹脂層付きキャリアとすることができる。
加温下で乾燥させる方法としては特に限定されないが、例えば、熱風乾燥装置、赤外線加熱装置などを用いて連続的に処理する方法を好ましく適用することができる。
なお、この絶縁樹脂層は、同じ絶縁樹脂を用いて一回または複数回数の塗工で形成されてもよいし、異なる絶縁樹脂を用いて複数回数の塗工で形成されたものであってもよい。
繊維布4は、キャリア1の搬送方向と同じ方向に連続的に供給・搬送することができるものであり、幅方向寸法9を有している。ここで、幅方向寸法9とは、繊維布4の搬送方向と直交方向における繊維布4の寸法を指す。このような繊維布4としては、例えば、長尺状のシート形態のものを好適に用いることができる。
これらの中でも、ガラス繊維布であるガラス織布を用いると、多層プリント配線板の機械的強度、耐熱性を良好なものとすることができる。
そして、本実施形態の製造方法においては、特に、厚み15〜35μm、坪量17〜25g/m2であるような薄手のガラス織布を用いることができる。そして、このようなガラス織布を用いた場合でも、繊維布を構成する繊維束に曲がりを生じにくいので、機械的特性や含浸性に優れたキャリア付きプリプレグを用いた積層板とすることができる。
これは、特に上記のような薄手のガラス織布を用いた場合にはその影響が顕著であり、繊維束に曲がりを生じたり、縦糸と横糸との開き目の部分が拡大したりしやすい。このようなプリプレグを用いた積層板は、内部歪を有することで、多層プリント配線板の反り、寸法安定性などの機械的特性に影響を及ぼすという問題があった。
一方、内部歪みを抑える低圧成形では、プリプレグ内の残存ボイドを真空下での樹脂流動により除去するには不十分であり、ボイドが残存した積層板となりやすいため、このようなプリプレグを用いて低圧成形にて積層板を製造すると、絶縁信頼性が低下する問題があった。
この(a2)工程は、(a1)工程における接合後に、絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂成分のガラス転移温度以上の温度で加熱処理し、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを作製するものである。
これにより、(a1)工程において、絶縁樹脂層付きキャリアと繊維布とが接合した時点で残存していた、減圧ボイドあるいは実質的な真空ボイドを消失させることができ、非充填部分が非常に少ない、あるいは、非充填部分が実質的に存在しない両面キャリア付きプリプレグを製造することができる。
熱風乾燥装置、赤外線加熱装置を用いた場合は、接合したものに実質的に圧力を作用させることなく実施することができる。
また、加熱ロール装置、平板状の熱盤プレス装置を用いた場合は、接合したものに所定の圧力を作用させることで実施することができる。
この方法によれば、(b)工程で樹脂成分を過剰に流動させることがないので、所望とする絶縁層厚みを有し、かつ、この絶縁層厚みにおいて高い均一性を有したキャリア付きプリプレグを効率良く製造することができる。
また、樹脂成分の流動に伴って繊維布基材に作用する応力を最小限とすることができるので、内部歪を非常に少ないものとすることができる。
さらには、樹脂成分が溶融した際に、実質的に圧力が作用していないので、この工程における打痕不良の発生を実質的になくすことができる。
また、加熱処理する時間は、用いる絶縁樹脂の種類などにより異なるため特に限定されないが、1〜10分間処理することにより実施することができる。
図2(a)〜(c)においては、第1の絶縁樹脂層付きキャリア3a'、および第2の絶縁樹脂層付きキャリア3aとして、繊維布4よりも幅方向寸法が大きいキャリアを有するとともに、繊維布4よりも幅方向寸法が大きい絶縁樹脂層を有するものを用いている。ここで、キャリア、絶縁樹脂層、繊維布の各々の幅方向寸法の関係を図2(a)に示す。
図3(a)〜(c)においては、例えば第1の絶縁樹脂層付きキャリア3a'として、繊維布4よりも幅方向寸法が大きい絶縁樹脂層を有するものを用い、第2の絶縁樹脂層付きキャリア3bとして、繊維布4と幅方向寸法が同じ絶縁樹脂層を有するものを用いている。ここで、キャリア、絶縁樹脂層、繊維布の各々の幅方向寸法の関係を図3(a)に示す。
なお、第1の絶縁樹脂層付きキャリア3a'のキャリアは、絶縁樹脂層と剥離可能に構成されている。このキャリアとしては、絶縁樹脂層が形成される面に剥離可能な処理が施されたフィルムシートや金属箔を用いることができる。一方、第2の絶縁樹脂層付きキャリア3bのキャリアは、絶縁樹脂層と密着している。このキャリアとしては、絶縁樹脂層との密着性を向上させる処理が施された金属箔を用いることができる。
図4(a)〜(c)においては、第1の絶縁樹脂層付きキャリア3b'、および第2の絶縁樹脂層付きキャリア3bとして、繊維布4と幅方向寸法が同じ絶縁樹脂層を有するものを用いている。ここで、キャリア、絶縁樹脂層、繊維布の各々の幅方向寸法の関係を図4(a)に示す。
この(b)工程は、図5(a)(b)(または図6(a)(b))に示すように、前記工程で得られた第1および第2の両面キャリア付きプリプレグ30,30の片側のキャリアを剥離除去して、片側に前記絶縁樹脂層が露出した長尺帯状の第1および第2のキャリア付きプリプレグ30a,30bを作製するものである。
この(c)工程は、図5(b)(c)(または図6(b)(c))に示すように減圧下において、長尺帯状の第1および第2のキャリア付きプリプレグ30a,30bの絶縁樹脂層同士を直接当接させるとともに、一対のラミネートロールにより押圧して前記絶縁樹脂層同士を接合するものである。
この減圧条件としては、真空度20Torr以下、好ましくは10Torr以下である。これにより、上記効果を高く発現させることができる。なお、下限値は特に限定されず、1Torrであれば上記効果の観点から充分である。
上述のように製造されたキャリア付きプリプレグを用い、さらに上記の減圧条件下で積層させるので、厚み精度に優れた積層板を得ることができる。
このような効果は、上記の減圧条件と組み合わせることにより、さらに効果的に発揮される。
また、減圧条件下で接合する手法としては特に限定されないが、例えば、真空ラミネート装置、真空ボックス装置などを用いることができる。
これらの中でも、真空ラミネート装置を用いて、一方のキャリアが除去された第1および第2のキャリア付きプリプレグを連続的に重ね合わせながら接合する方法が好ましい。これにより、連続的な処理ができ、簡易な装置で効率的にキャリア付きプリプレグを用いた積層板を製造することができる。
ここで加温する方法としては特に限定されないが、例えば、接合する際に所定温度に加熱したラミネートロールを用いる方法などを好適に用いることができる。
この(d)工程は、図5(d)(または図6(d))に示すように、前記(c)工程において得られた積層体を加熱処理し、積層板を作製するものである。
これにより、樹脂の偏りが発生することがなく、積層板は厚み精度に優れる。
一方、従来のバッチプレスでは、両面金属張積層板の絶縁樹脂層の厚さは60μmが限度と言われており、近年における、より薄い両面金属張積層板の要求に答えることができない。バッチプレスにおいて、絶縁材層の厚さを60μmよりも薄くしようとすると、基材が直接両面の金属箔と接触し易くなり絶縁性の信頼度が低下するという問題があった。
これに対し本実施形態の方法によれば、このような絶縁樹脂層の厚さが60μmよりも薄い積層板を製造する場合であっても、積層板は厚み精度に優れるため絶縁性の信頼度がより向上し、製品の歩留まりが向上する。
熱風乾燥装置、赤外線加熱装置を用いた場合は、接合したものに実質的に圧力を作用させることなく実施することができる。
また、加熱ロール装置、平板状の熱盤プレス装置を用いた場合は、接合したものに所定の圧力を作用させることで実施することができる。
また、樹脂成分の流動に伴って繊維布基材に作用する応力を最小限とすることができるので、内部歪を非常に少ないものとすることができる。
さらには、樹脂成分を加温した際に、実質的に圧力が作用していないので、この工程における打痕不良の発生を実質的になくすことができる。
加熱処理する際の温度は、60℃以上200℃以下、好ましくは150℃以上200℃以下とすることができる。これにより、絶縁樹脂の流動性が向上するとともに、絶縁樹脂の硬化反応が十分に進行するので、ボイドの発生をより効果的に抑えることができる。
また、加熱処理する時間は、用いる絶縁樹脂の種類などにより異なるため特に限定されないが、一例を挙げると、10〜20分間処理することにより実施することができる。
さらに、一対のラミネートロールを用いて、第1および第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層同士を接合しているため積層体を連続的に製造することができ、積層体の生産効率に優れる。
また、本実施形態においては、さらに含浸性と厚み精度に優れた両面キャリア付きプリプレグを用いているので、厚み精度に優れるとともに、絶縁信頼性に優れた積層板を容易に製造することができる。
本実施形態の製造方法により得られる積層板は、高密度化、高多層化を要求される多層プリント配線板の製造に好適に用いられる。
図6においては、第1の両面キャリア付きプリプレグ30、および第2の両面キャリア付きプリプレグ30として、繊維布4と幅方向寸法が同じ絶縁樹脂層を有するものを用いている。ここで、キャリア、絶縁樹脂層、繊維布の各々の幅方向寸法の関係を図6(a)に示す。図6(b)に示すように、第1のキャリア付きプリプレグ30aおよび第2キャリア付きプリプレグ30bの一方の面のキャリアは除去され、露出した絶縁樹脂層同士が対向するように配置されている。
実施形態B2に係る積層板の製造方法は、以下の全工程を連続的に繰り返して行う。
(a)キャリアと、繊維布が埋設された絶縁樹脂層と、他のキャリアとを積層した長尺帯状の第1、第2および第3の両面キャリア付きプリプレグを準備する工程
(b1)第1および第2の両面キャリア付きプリプレグの片側のキャリアを剥離除去して片側に絶縁樹脂層が露出した長尺帯状の第1および第2のキャリア付きプリプレグを作製する工程
(b2)第3の両面キャリア付きプリプレグの両側のキャリアを剥離除去して絶縁樹脂層が両面に露出した長尺帯状の絶縁樹脂部材とする工程
(c)減圧下において、第1のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層と絶縁樹脂部材の絶縁樹脂層、さらに第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層と絶縁樹脂部材の絶縁樹脂層とを当接させるとともに、一対のラミネートロールにより押圧して絶縁樹脂層同士を接合する工程
(d)前記工程により得られた積層体を加熱処理する工程
(a2)前記接合後に、絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂成分のガラス転移温度以上の温度で加熱処理し、長尺帯状の第1、第2および第3の両面キャリア付きプリプレグを作製する工程
本実施形態における(b1)工程および(b2)工程は同時に行われる。図7(a)(b)(図8(a)(b))に示すように、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグ31,31の一方の面のキャリアを除去することにより絶縁樹脂層を片面に露出した第1および第2のキャリア付きプリプレグ31a,31cを得る。さらに、第3の両面キャリア付きプリプレグ31'の両面のキャリアを除去することにより絶縁樹脂層が両面に露出したフィルム状の絶縁樹脂部材31bを得る。
(d)工程は、図7(c)(d)(図8(c)(d))に示すように、前記(c)工程により得られた接合体を加熱処理し、第1のキャリア付きプリプレグ31a、フィルム状の絶縁樹脂部材31bおよび第2のキャリア付きプリプレグ31cを順に積層するものである。
これにより、樹脂の偏りが発生することがなく、積層板は厚み精度に優れる。
そのため絶縁性の信頼度がより向上し、製品の歩留まりが向上する。
加熱処理する際の温度は、60℃以上200℃以下、好ましくは150℃以上200℃以下とすることができる。これにより、絶縁樹脂の流動性が向上するとともに、絶縁樹脂の硬化反応が十分に進行するので、ボイドの発生をより効果的に抑えることができる。
また、加熱処理する時間は、用いる絶縁樹脂の種類などにより異なるため特に限定されないが、一例を挙げると、10〜20分間処理することにより実施することができる。
図7(a)〜(d)においては、第1の両面キャリア付きプリプレグ31、第3の両面キャリア付きプリプレグ31'および第2のキャリア付きプリプレグ31として、繊維布の幅方向寸法が、絶縁樹脂層の幅方向寸法よりも小さいものを用いている。図7(b)に示すように、第1の両面キャリア付きプリプレグ31および第2の両面キャリア付きプリプレグ31の一方の面のキャリアは除去され、絶縁樹脂層が露出した第1のキャリア付きプリプレグ31aおよび第2のキャリア付きプリプレグ31cが形成されている。第3の両面キャリア付きプリプレグ31'は、両面のキャリアが除去され絶縁樹脂層が露出し、フィルム状の絶縁樹脂部材31bが形成されている。これらの絶縁樹脂層同士が対向するように配置されている。ここで、第1、第2および第3の両面キャリア付きプリプレグの幅方向寸法の関係を図7(a)に示す。
図8(a)〜(d)においては、第1の両面キャリア付きプリプレグ31、第3の両面キャリア付きプリプレグ31'および第2の両面キャリア付きプリプレグ31として、繊維布の幅方向寸法が、絶縁樹脂層の幅方向寸法と等しいものを用いている。図8(b)に示すように、第1の両面キャリア付きプリプレグ31および第2の両面キャリア付きプリプレグ31の一方の面のキャリアは除去され、絶縁樹脂層が露出した第1のキャリア付きプリプレグ31aおよび第2のキャリア付きプリプレグ31cが形成されている。第3の両面キャリア付きプリプレグ31'は、両面のキャリアが除去され絶縁樹脂層が露出し、フィルム状の絶縁樹脂部材31bが形成されている。これらの絶縁樹脂層同士が対向するように配置されている。ここで、第1、第2および第3の両面キャリア付きプリプレグの幅方向寸法の関係を図8(a)に示す。
そして、これらの接合を減圧下で実施するため、絶縁樹脂層の接合面に非充填部分が残存していても、これらを減圧ボイドあるいは実質的な真空ボイドとすることができるので、(d)工程において、所定の温度範囲で加熱処理した場合、これを容易に消失させることができる。そして、(d)工程において、幅方向の周辺部から空気が侵入して新たなボイドが形成されるのを防ぐことができる。この状態を図8(d)に示す。
実施形態B3に係る積層板の製造方法は、以下の全工程を連続的に繰り返して行う。
(a)キャリアと、繊維布が埋設された絶縁樹脂層と、他のキャリアとを積層した長尺帯状の第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを準備する工程
(b)第1および第2の両面キャリア付きプリプレグの片側のキャリアを剥離除去して片側に絶縁樹脂層が露出した長尺帯状の第1および第2のキャリア付きプリプレグを作製する工程
(c)減圧下において、長尺帯状の第1および第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層同士を繊維布を介して当接させるとともに、一対のラミネートロールにより押圧して絶縁樹脂層同士を接合する工程
(d)前記工程により得られた積層体を加熱処理する工程
(a2)前記接合後に、絶縁樹脂層を構成する絶縁樹脂成分のガラス転移温度以上の温度で加熱処理し、長尺帯状の第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを作製する工程
(d)工程は、図13(c)(d)(図14(c)(d))に示すように、前記(c)工程により得られた接合体を加熱処理し、繊維布21aに絶縁樹脂を含浸硬化させるとともにプリプレグを3層有する積層板を作製するものである。
これにより、樹脂の偏りが発生することがなく、積層板は厚み精度に優れる。
そのため絶縁性の信頼度がより向上し、製品の歩留まりが向上する。
加熱処理する際の温度は、60℃以上200℃以下、好ましくは150℃以上200℃以下とすることができる。これにより、絶縁樹脂の流動性が向上するとともに、絶縁樹脂の硬化反応が十分に進行するので、ボイドの発生をより効果的に抑えることができる。
また、加熱処理する時間は、用いる絶縁樹脂の種類などにより異なるため特に限定されないが、一例を挙げると、10〜20分間処理することにより実施することができる。
図13(a)〜(d)においては、第1の両面キャリア付きプリプレグ40、および第2キャリア付きプリプレグ40として、繊維布の幅方向寸法が、絶縁樹脂層の幅方向寸法よりも小さいものを用いている。図13(b)に示すように、第1の両面キャリア付きプリプレグ40および第2両面キャリア付きプリプレグ40の一方の面のキャリアは除去され、絶縁樹脂層が露出した第1のキャリア付きプリプレグ40aおよび第2のキャリア付きプリプレグ40bが形成されている。これらの絶縁樹脂層同士は繊維布21aを介して対向するように配置されている。ここで、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグの幅方向寸法の関係を図13(a)に示す。
図14(a)〜(d)においては、第1の両面キャリア付きプリプレグ40および第2キャリア付きプリプレグ40として、繊維布の幅方向寸法が、絶縁樹脂層の幅方向寸法と等しいものを用いている。図14(b)に示すように、第1の両面キャリア付きプリプレグ40および第2両面キャリア付きプリプレグ40の一方の面のキャリアは除去され、一方の絶縁樹脂層が露出した第1のキャリア付きプリプレグ40aおよび第2のキャリア付きプリプレグ40bが形成されている。これらの絶縁樹脂層同士が繊維布21aを介して対向するように配置されている。ここで、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグ40,40と繊維布21aとの幅方向寸法の関係を図14(a)に示す。
そして、これらの接合を減圧下で実施するため、絶縁樹脂層の接合面に非充填部分が残存していても、これらを減圧ボイドあるいは実質的な真空ボイドとすることができるので、(d)工程において、所定の温度範囲で加熱処理した場合、これを容易に消失させることができる。そして、(d)工程において、幅方向の周辺部から空気が侵入して新たなボイドが形成されるのを防ぐことができる。この状態を図14(d)に示す。
これにより、キャリア付きプリプレグを巻物形態とすることができ、このキャリア付きプリプレグを用いて、(b)工程〜(d)工程の作業性を向上させることができる。
これにより、キャリア付きプリプレグを用いた積層板を所定の形態にすることができ、効率的な生産を効果的に発現させることができる。
(実施形態B1の製造方法において用いられる装置)
本実施形態の積層板の製造方法は、図15〜16に示した製造装置を用いて実施することができる。なお、図15〜16においては製造装置の断面図を用いて説明する。
加熱処理後のキャリア付きプリプレグ22cは、ピンチロール29、29で挟みながら、これを連続的に巻き取ることにより、巻物形態のキャリア付きプリプレグ30とすることができる。
加熱処理後の積層板35は、ピンチロール29、29で挟みながら、これを連続的に巻き取ることにより、巻物形態の積層板35とすることができる。
なお、実施形態B3の積層板の製造方法においても、図15の製造装置を用いることができる。
実施形態B2においては、実施形態B1と同様に、図15(a)の製造装置を用いて絶縁樹脂層付きキャリアが製造される。さらに、実施形態B1と同様に、図15(b)の製造装置を用いて、本実施形態の製造方法の(a)工程を実施することができる。これにより、長尺帯状の第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを得ることができる。
なお、本実施形態において、4つ以上のキャリア付きプリプレグを用いて積層板を製造する場合、さらに、両面キャリア付きプリプレグから両方のキャリアを除去するとともに連続的に供給する装置を設ければよい。
実施形態B3においては、実施形態B1と同様に、図15(a)の製造装置を用いて絶縁樹脂層付きキャリアが製造される。さらに、実施形態B1と同様に、図15(b)の製造装置を用いて、本実施形態の製造方法の(a)工程を実施することができる。これにより、長尺帯状の第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを得ることができる。
加熱処理後の積層板42cは、ピンチロール29、29で挟みながら、これを連続的に巻き取ることにより、巻物形態の積層板44とすることができる。
なお、本実施形態において、4層以上のプリプレグを有する積層板を製造する場合、図17に示すような両面キャリア付きプリプレグから両方のキャリアを除去するとともに連続的に供給する装置をさらに設ければよい。
本実施形態のキャリア付きプリプレグを用いた積層板は、本実施形態のキャリア付きプリプレグを用いた積層板の製造方法により得られたものであることを特徴とする。
[実施例]
1. 絶縁樹脂層形成用の液状樹脂組成物の調製
樹脂成分として、エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン社製・「Ep5048」)100重量部、硬化剤(ジシアンジアミド)2重量部、および硬化促進剤(2−エチル−4−メチルイミダゾール)0.1重量部をメチルセルソルブ100重量部に溶解させて樹脂ワニスを調整した。
(1)絶縁樹脂層付きキャリアAの製造
キャリアとして厚み35μm、幅480mmのポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。
図10(a)に示した形態の装置を用いて、キャリアに、液状樹脂組成物をコンマコーター装置で塗工し、170℃の乾燥装置で3分間乾燥させ、厚さ30μm、幅410mmの絶縁樹脂層を、幅方向においてキャリアの中心に位置するように形成した。
この絶縁樹脂層側に、保護フィルム(ポリエチレン)をラミネートして、絶縁樹脂層付きキャリアを製造した。
キャリアとしては上記と同じものを用いた。
図10(a)に示した形態の装置を用いて、キャリアに、液状樹脂組成物をコンマコーター装置で塗工し、170℃の乾燥装置で3分間乾燥させ、厚さ30μm、幅360mmの絶縁樹脂層を、幅方向においてキャリアの中心に位置するように形成した。
この絶縁樹脂層側に、保護フィルム(ポリエチレン)をラミネートして、絶縁樹脂層付きキャリアを製造した。
キャリアとして厚み12μm、幅480mmの銅箔フィルムを用いた。
図10(a)に示した形態の装置を用いて、キャリアに、液状樹脂組成物をコンマコーター装置で塗工し、170℃の乾燥装置で3分間乾燥させ、厚さ30μm、幅410mmの絶縁樹脂層を、幅方向においてキャリアの中心に位置するように形成した。
この絶縁樹脂層側に、保護フィルム(ポリエチレン)をラミネートして、絶縁樹脂層付きキャリアを製造した。
キャリアとして厚み12μm、幅480mmの銅箔フィルムを用いた。
図10(a)に示した形態の装置を用いて、キャリアに、液状樹脂組成物をコンマコーター装置で塗工し、170℃の乾燥装置で3分間乾燥させ、厚さ30μm、幅360mmの絶縁樹脂層を、幅方向においてキャリアの中心に位置するように形成した。
この絶縁樹脂層側に、保護フィルム(ポリエチレン)をラミネートして、絶縁樹脂層付きキャリアを製造した。
(1)両面キャリア付きプリプレグE(1)の製造
繊維布としてガラス織布(ユニチカグラスファイバー社製・「E10T−SK」、幅360mm、坪量104g/m2)を用いた。
また、上記で得られた絶縁樹脂層付きキャリアAおよびCを、第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアとして用いた。
図10(b)に示した形態の装置を用いて、第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの保護フィルムをはがしながら、絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層側を繊維布の両面側に、繊維布が幅方向においてキャリアの中心に位置するようにそれぞれ重ね合わせ、真空度10Torrの条件下で、60℃のラミネートロール(24)を用いて接合した。
次いで、上記ようにして接合したものを、120℃に設定した横搬送型の熱風乾燥装置内を2分間通して加熱処理し、圧力を作用させることなく絶縁樹脂層を溶融させることにより、両面キャリア付きプリプレグE(1)を製造した。
繊維布としては上記と同じものを用いた。
また、上記で得られた絶縁樹脂層付きキャリアAを第1の絶縁樹脂層付きキャリア、絶縁樹脂層付きキャリアDを第2の絶縁樹脂層付きキャリアとして用いた。
次いで、上記のようにして接合したものを、120℃に設定した横搬送型の熱風乾燥装置内を2分間通して加熱処理し、圧力を作用させることなく絶縁樹脂層を溶融させることにより、両面キャリア付きプリプレグE(2)を製造した。
繊維布としては上記と同じものを用いた。
また、得られた絶縁樹脂層付きキャリアBを第1の絶縁樹脂層付きキャリア、絶縁樹脂層付きキャリアCを第2の絶縁樹脂層付きキャリアとして用いた。
図10(b)に示した形態の装置を用いて、第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの保護フィルムをはがしながら、絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層側を繊維布の両面側に、繊維布が幅方向においてキャリアの中心に位置するようにそれぞれ重ね合わせ、真空度10Torrの条件下で、80℃のラミネートロール(24)を用いて接合した。
(4)両面キャリア付きプリプレグFの製造
繊維布としては上記と同じものを用いた。
また、上記で得られた絶縁樹脂層付きキャリアBを第1の絶縁樹脂層付きキャリア、絶縁樹脂層付きキャリアDを第2の絶縁樹脂層付きキャリアとして用いた。
図10(b)に示した形態の装置を用いて、第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの保護フィルムをはがしながら、絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層側を繊維布の両面側に、繊維布が幅方向においてキャリアの中心に位置するようにそれぞれ重ね合わせ、真空度10Torrの条件下で、80℃のラミネートロール(24)を用いて接合した。
次いで、上記のようにして接合したものを、120℃に設定した横搬送型の熱風乾燥装置内を2分間通して加熱処理し、圧力を作用させることなく絶縁樹脂層を溶融させることにより、両面キャリア付きプリプレグFを製造した。
<実施例A1>
両面キャリア付きプリプレグとして、上記で得られた両面キャリア付きプリプレグE(1)を、予め巻物形態にて二巻き用意し、第1の両面キャリア付きプリプレグおよび第2の両面キャリア付きプリプレグとして用いた。
図11に示した形態の装置を用いて、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグのポリエチレンテレフタレートフィルムをはがしながら、第1および第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層の露出面側に、繊維布が幅方向においてキャリアの中心に位置するようにそれぞれ重ね合わせ、真空度10Torrの条件下で、60℃のラミネートロール(24)を用いて絶縁樹脂層同士を接合した。
ここで、キャリア付きプリプレグの幅方向における内側領域では、第1および第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層側をそれぞれ接合するとともに、キャリア付きプリプレグの幅方向における両外側領域においては、第1および第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層どうしを接合した。
次いで、上記のようにして接合したものを、200℃に設定した横搬送型の熱風乾燥装置内を10分間通して加熱処理し、圧力を作用させることなく絶縁樹脂層を溶融させることにより、キャリア付きプリプレグを用いた積層板を製造した。
両面キャリア付きプリプレグとして、上記で得られた両面キャリア付きプリプレグE(1)および両面キャリア付きプリプレグFを、第1の両面キャリア付きプリプレグおよび第2の両面キャリア付きプリプレグとして用いた。
図11に示した形態の装置を用いて、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグのポリエチレンテレフタレートフィルムをはがしながら、第1および第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層の露出面側に、繊維布が幅方向においてキャリアの中心に位置するようにそれぞれ重ね合わせ、真空度10Torrの条件下で、60℃のラミネートロール(24)を用いて絶縁樹脂層同士を接合した。
次いで、上記のようにして接合したものを、200℃に設定した横搬送型の熱風乾燥装置内を10分間通して加熱処理し、圧力を作用させることなく絶縁樹脂層を溶融させることにより、キャリア付きプリプレグを用いた積層板を製造した。
両面キャリア付きプリプレグとしては、上記で得られた両面キャリア付きプリプレグFを、第1の両面キャリア付きプリプレグおよび第2の両面キャリア付きプリプレグとして用いた。
図11に示した形態の装置を用いて、第1および第2の両面絶縁樹脂層付きキャリアのポリエチレンテレフタレートフィルムをはがしながら、第1および第2のキャリア付きプリプレグの絶縁樹脂層の露出面側に、繊維布が幅方向においてキャリアの中心に位置するようにそれぞれ重ね合わせ、真空度10Torrの条件下で、80℃のラミネートロール(24)を用いて絶縁樹脂層同士を接合した。
次いで、上記接合したものを、200℃に設定した横搬送型の熱風乾燥装置内を10分間通して加熱処理し、圧力を作用させることなく絶縁樹脂層を溶融させることにより、キャリア付きプリプレグを用いた積層板を製造した。
実施例に用いたものと同様な樹脂ワニスをガラス織布(厚さ94μm、日東紡績製、WEA−2116)に含浸し、150℃の加熱炉で2分間乾燥して、プリプレグ中のワニス固形分が約50重量%の長尺状のプリプレグを得た。この長尺状のプリプレグを、一片500mmの正方形のプリプレグとなるように切り出した。厚み12μm、幅480mmの銅箔フィルムを、一片500mmの正方形となるように切断しキャリアとして用いた。そして、2つのプリプレグを重ね合わせた後、両側からキャリアを積層し、一対の熱盤にて圧力4MPa、温度200℃で2時間加熱加圧成形することによって、厚さ0.2mmの両面銅張積層板を得た。
実施例および比較例で得られた両面キャリア付きプリプレグを用いた積層板について、特性評価を行った。結果を表1に示す。
なお、実施例A1〜A2において両面キャリア付きプリプレグE(1)に変えて両面キャリア付きプリプレグE(2)またはE(3)を用いた場合においても、同様の結果が得られた。
実施例で得られたキャリア付きプリプレグを積層板を蛍光浸透液に浸漬した後、蛍光浸透液の浸透の有無を顕微鏡で観察した。
また、キャリア付きプリプレグを用いた積層板をPCT処理(121℃/100%/120分)した後、260℃の半田槽に30秒間浸漬し、フクレの発生の有無を確認した。
実施例で得られたキャリア付きプリプレグを用いた積層板の断面を顕微鏡で観察し、幅方向において100mmピッチで3箇所について厚みを測定し、その平均値と標準偏差値を算出した。
1.絶縁樹脂層形成用の液状樹脂組成物の調製
(1)樹脂ワニスAの調製
樹脂成分として、エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン社製・「Ep5048」)100重量部、硬化剤(ジシアンジアミド)2重量部、および硬化促進剤(2−エチル−4−メチルイミダゾール)0.1重量部をメチルセルソルブ100重量部に溶解させて樹脂ワニスAを調製した。
固形ノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量190)30重量%、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量190)15重量%、固形ノボラック型フェノール樹脂(水酸基当量110)30重量%、硬化促進剤として2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール1%重量部、水酸化アルミニウム19%にて樹脂ワニスBを調製した。
ノボラック型シアネート樹脂(PT−30、ロンザ株式会社製、重量平均分子量1,300)30重量%、ビスフェノールA型、F型混合エポキシ樹脂(エピコート4275、JER製、重量平均分子量57,000)10重量%、ビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂(NC−3000P、日本化薬株式会社製、エポキシ当量275)19.5重量%、イミダゾール化合物(2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、四国化成工業株式会社製)0.5重量%をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。更に、無機充填剤として、球状溶融シリカ(SO−25H、アドマテックス株式会社製)40重量%を配合し、高速攪拌機を用いて10分間攪拌して樹脂濃度65重量%の樹脂ワニスCを得た。
球状溶融シリカ(SO−25H)は、予めエポキシシランカップリング剤(A−187、日本ユニカー株式会社製)を、球状溶融シリカ100重量部に対して0.5重量部添加して、表面処理したものを用いた。
テトラブロモビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量500、ダウケミカル社製、品番DER511)53.7重量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量200、東都化成社製、品番YDCN702P)23重量部、フェノールノボラック樹脂(OH当量105、荒川化学工業社製、タマノル752)23.3重量部、フェノキシ樹脂(重量平均分子量MW 42600、数平均分子量Mn11200、ユニオンカーバイド社製、PKHH)3重量部、および硬化促進剤トリフェニルホスフィン0.15重量部を、メチルエチルケトン65重量部に溶解させて樹脂ワニスDを調製した。
(1)長尺帯状の絶縁樹脂層付きキャリアAの製造
キャリアとして厚み35μm、幅480mmの長尺状のポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。
図15(a)に示した形態の装置を用いて、キャリアに、樹脂ワニスAをコンマコーター装置で塗工し、170℃の乾燥装置で3.5分間乾燥させ、厚さ60μm、幅410mmの絶縁樹脂層を、幅方向においてキャリアの中心に位置するように形成した。この絶縁樹脂層側に、保護フィルム(ポリエチレン)をラミネートして、長尺帯状の絶縁樹脂層付きキャリアAを製造した。
得られた絶縁樹脂層付きキャリアAの絶縁樹脂層について、動的粘弾性測定を行ったところ、絶縁樹脂層の溶融粘度(複素粘性率)は120℃で100Pa・sであった。
上記溶融粘度は、動的粘弾性測定装置(Paar Physica社製、UDS200)を用いて、直径25mm厚さ0.8mmの円盤状サンプルを治具に挟み、3℃/minにて加熱しながら、各温度雰囲気中にて、周波数1Hzのねじりを加え測定した。
なお、樹脂ワニスB〜Dを同様に塗工した場合の樹脂層の溶融粘度は、それぞれ以下のとおりであった。
樹脂ワニスB:25000Pa・s(80℃)
樹脂ワニスC:1,000Pa・s(80℃)
樹脂ワニスD:11,000Pa・s130℃
キャリアとして厚み12μm、幅480mmの長尺状の銅箔フィルムを用いた。
図15(a)に示した形態の装置を用いて、キャリアに、樹脂ワニスAをコンマコーター装置で塗工し、170℃の乾燥装置で3分間乾燥させ、厚さ30μm、幅410mmの絶縁樹脂層を、幅方向においてキャリアの中心に位置するように形成した。この絶縁樹脂層側に、保護フィルム(ポリエチレン)をラミネートして、長尺帯状の絶縁樹脂層付きキャリアBを製造した。
得られた絶縁樹脂層付きキャリアBの絶縁樹脂層を、上記と同様にして動的粘弾性測定行ったところ、絶縁樹脂層の溶融粘度(複素粘性率)は120℃で100Pa・sであった。
なお、樹脂ワニスB〜Dを同様に塗工した場合の樹脂層の溶融粘度は、それぞれ以下のとおりであった。
樹脂ワニスB:25000Pa・s(80℃)
樹脂ワニスC:1,000Pa・s(80℃)
樹脂ワニスD:11,000Pa・s(130℃)
(1)長尺帯状の両面キャリア付きプリプレグCの製造
繊維布として、長尺帯状のガラス織布(ユニチカグラスファイバー社製・「E10T−SK」、幅360mm、坪量104g/m2)を用いた。
また、上記で得られた絶縁樹脂層付きキャリアAを、第1の絶縁樹脂層付きキャリアとして用い、絶縁樹脂層付きキャリアBを、第2の絶縁樹脂層付きキャリアとして用いた。
図15(b)に示した形態の装置を用いて、第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの保護フィルムをはがしながら、絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層側を繊維布の両面側に、繊維布が幅方向においてキャリアの中心に位置するようにそれぞれ重ね合わせ、真空度10Torrの条件下で、60℃のラミネートロール(24)を用いて接合した。
次いで、接合したものを、120℃に設定した横搬送型の熱風乾燥装置内を2分間通して加熱処理し、圧力を作用させることなく絶縁樹脂層を溶融させることにより、長尺帯状の両面キャリア付きプリプレグCを製造した。
<実施例B1>
繊維布としてガラス織布(ユニチカグラスファイバー社製・「E10T−SK」、幅360mm、坪量104g/m2)を用いた。
両面キャリア付きプリプレグとして、上記で得られた両面キャリア付きプリプレグCを、予め巻物形態にて二巻き用意し、第1の両面キャリア付きプリプレグおよび第2の両面キャリア付きプリプレグとして用いた。
図15(b)に示した形態の装置を用いて、第1および第2の両面キャリア付きプリプレグ40,40のキャリアを剥がして第1および第2のキャリア付きプリプレグ40a,40bを得る。これらの絶縁樹脂層側の露出面側が、繊維布21aの両面側に対向し、さらに繊維布21aが幅方向においてキャリアの中心に位置するようにそれぞれ重ね合わせ、真空度10Torrの減圧条件下で、60℃の一対のラミネートロール24,24を用いて、圧力10N/cm2にて接合した。
ここで、キャリア付きプリプレグの幅方向における内側領域では、第1および第2のキャリア付きプリプレグ40a,40bの絶縁樹脂層側をそれぞれ繊維布21aの両面側に接合するとともに、キャリア付きプリプレグの幅方向における両外側領域においては、第1および第2のキャリア付きプリプレグ40a,40bの絶縁樹脂層どうしを接合した。
次いで、接合したものを、120℃に設定した横搬送型の熱風乾燥装置内を1分間通して加熱処理し、200℃に設定した横搬送型の熱風乾燥装置内を10分間通して加熱処理した。この加熱処理の際には、圧力を作用させることなく絶縁樹脂層を溶融させた。これにより、キャリア付きプリプレグを用いた積層板44を製造した。
実施例に用いたものと同様な樹脂ワニスをガラス織布(厚さ94μm、日東紡績製、WEA−2116)に含浸し、150℃の加熱炉で2分間乾燥して、プリプレグ中のワニス固形分が約50重量%の長尺状のプリプレグを得た。この長尺状のプリプレグを、一片500mmの正方形のプリプレグとなるように切り出した。厚み12μm、幅480mmの銅箔フィルムを、一片500mmの正方形となるように切断しキャリアとして用いた。そして、2つのプリプレグを重ね合わせた後、両側からキャリアを積層し、一対の熱盤にて圧力4MPa、温度200℃で2時間加熱加圧成形することによって、厚さ0.2mmの両面銅張積層板を得た。
実施例B1および比較例B1で得られた積層板について、以下の方法にしたがい、物性評価を行った。その結果、実施例B1の積層板は比較例B1と比較して厚み精度に優れていることが確認された。さらに、実施例B1は含浸性に優れており、接続信頼性にも優れていることが確認された。また、この結果から、両面キャリア付きプリプレグを2つ以上用いて積層板を作製した場合においても、厚み精度に優れるとともに接続信頼性にも優れる積層板が得られることが確認された。
なお、樹脂ワニスB〜Dを用いた場合においても、実施例B1の結果と同様の傾向であった。
実施例で得られたキャリア付きプリプレグを積層板を蛍光浸透液に浸漬した後、蛍光浸透液の浸透の有無を顕微鏡で観察した。
また、キャリア付きプリプレグを用いた積層板をPCT処理(121℃/100%/120分)した後、260℃の半田槽に30秒間浸漬し、フクレの発生の有無を確認した。
実施例で得られたキャリア付きプリプレグを用いた積層板の断面を顕微鏡で観察し、幅方向において100mmピッチで3箇所について厚みを測定し、その平均値と標準偏差値を算出した。
Claims (44)
- キャリアと、繊維布が埋設された絶縁樹脂層とを積層した第1および第2のキャリア付きプリプレグを準備する工程と、
減圧下において前記第1のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層と第2のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層とを、直接または他の部材を介して接合するとともに、加熱処理を行うことにより、前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する工程と、
を有することを特徴とする積層板の製造方法。 - 前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程において得られた積層体を、常圧下に搬出するとともに連続的に常圧下で加熱する工程を有する請求項1に記載の積層板の製造方法。
- 前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程における減圧条件は、真空度20Torr以下である請求項1または2に記載の積層板の製造方法。
- 前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程における加熱温度が、60℃以上200℃以下である請求項1乃至3のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記積層板の厚みが30μm以上200μm以下であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程において加熱処理する際には、接合された前記第1および第2のキャリア付きプリプレグに実質的に圧力を作用させないことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 減圧された真空ラミネート装置内において、前記第1のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層と前記第2のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層とを、直接または他の部材を介して接合することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程の前に、前記他の部材として繊維布が埋設されたフィルム状の絶縁樹脂部材を準備する工程を含み、
前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程は、
減圧下において、前記絶縁樹脂部材の一方の面に前記第1のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層を接合するとともに、前記絶縁樹脂部材の他方の面に前記第2のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層を接合する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程の前に、前記他の部材として繊維布が埋設されたフィルム状の2つの絶縁樹脂部材を準備する工程を含み、
前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程は、
減圧下において、前記第1のキャリア付きプリプレグ、2つの前記絶縁樹脂部材、および前記第2のキャリア付きプリプレグを最外層がキャリアとなるように積層する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 前記絶縁樹脂部材を準備する前記工程が、
キャリアと、繊維布が埋設された絶縁樹脂層と、他のキャリアとを順に積層した両面キャリア付きプリプレグを準備する工程と、
前記両面キャリア付きプリプレグの両方のキャリアを除去し、前記絶縁樹脂層を露出させる工程と、
を含むことを特徴とする請求項8または9に記載の積層板の製造方法。 - 前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを準備する前記工程は、
キャリアと、繊維布が埋設された絶縁樹脂層と、他のキャリアとを順に積層して第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを準備する工程と、
前記第1および第2の両面キャリア付きプリプレグにおいて一方のキャリアを除去して前記絶縁樹脂層を露出させる工程と、
を含むことを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 前記両面キャリア付きプリプレグを準備する前記工程が、
一方の面にキャリアが形成された、第1の絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層と第2の絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層とを、繊維布を介在させて減圧下で接合するとともに加熱処理し、両面キャリア付きプリプレグを作製する工程を含むことを特徴とする請求項10または11に記載の積層板の製造方法。 - 前記第1および/または第2の絶縁樹脂層付きキャリアのキャリアおよび絶縁樹脂層が、前記繊維布よりも幅方向において長いことを特徴とする請求項12に記載の積層板の製造方法。
- 両面キャリア付きプリプレグを作製する前記工程が、
前記絶縁樹脂層付きキャリアの幅方向における内部領域においては、前記第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層を前記繊維布の両面にそれぞれ接合するとともに、前記絶縁樹脂層付きキャリアの幅方向における両端部領域においては、前記繊維布を封止するように前記第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層同士を接合する工程を含むことを特徴とする請求項13に記載の積層板の製造方法。 - 減圧された真空ラミネート装置内において、前記第1の絶縁樹脂層付きキャリアの前記絶縁樹脂層と第2の絶縁樹脂層付きキャリアの前記絶縁樹脂層とを、前記繊維布を介して接合することを特徴とする請求項12乃至14のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 両面キャリア付きプリプレグを作製する前記工程が、
前記第1の絶縁樹脂層付きキャリアおよび前記第2の絶縁樹脂層付きキャリアを、一対のラミネートロールでキャリア側から押圧して接合させることを特徴とする請求項12乃至15のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 前記両面キャリア付きプリプレグを作製する前記工程において加熱処理する際には、接合された前記第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアに実質的に圧力を作用させないことを特徴とする請求項12乃至16のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程は、
減圧下において前記第1のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層と前記第2のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層とを、直接または他の部材を介して接合し、両最外層にキャリアを備える接合体を得た後に、該接合体の少なくとも一方のキャリアを除去することにより絶縁樹脂層を露出させる工程と、
減圧下において前記接合体の露出された前記絶縁樹脂層と他のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層とを直接または他の部材を介して接合するとともに、加熱処理を行う工程と、
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の積層板の製造方法。 - 前記第1および第2のキャリア付きプリプレグを積層する前記工程は、
減圧下において前記第1のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層と前記第2のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層とを、直接または他の部材を介して接合し、両最外層にキャリアを備える接合体を得た後に、該接合体の少なくとも一方のキャリアを除去することにより絶縁樹脂層を露出させる工程と、
減圧下において前記接合体の露出された前記絶縁樹脂層と他の接合体の絶縁樹脂層とを直接または他の部材を介して接合するとともに、加熱処理を行う工程と、
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の積層板の製造方法。 - 前記他の部材が、繊維布が埋設されたフィルム状の絶縁樹脂部材であることを特徴とする請求項18または19に記載の積層板の製造方法。
- 長尺帯状の第1および第2のキャリア付きプリプレグを連続的に積層する積層板の製造方法であって、
キャリアと、繊維布が埋設された絶縁樹脂層と、他のキャリアとを積層した長尺帯状の第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを準備する工程と、
前記第1および第2の両面キャリア付きプリプレグの片側の前記キャリアを剥離除去して片側に前記絶縁樹脂層が露出した長尺帯状の第1および第2のキャリア付きプリプレグを作製する工程と、
減圧下において、長尺帯状の前記第1および第2のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層同士を直接または他の部材を介して当接させるとともに、一対のラミネートロールにより押圧して前記絶縁樹脂層同士を接合する工程と、
前記工程により得られた積層体を加熱処理する工程と、
を含み、
全ての前記工程を連続的に繰り返して行うことを特徴とする積層板の製造方法。 - 前記積層体を加熱処理する前記工程は、前記積層体を常圧下に搬出するとともに常圧下において加熱処理を行う請求項21に記載の積層板の製造方法。
- 前記絶縁樹脂層同士を接合する前記工程における減圧条件は、20Torr以下である請求項21または22に記載の積層板の製造方法。
- 前記絶縁樹脂層同士を接合する前記工程における一対のラミネートロールにより押圧する際のラミネート圧力は、1N/cm2以上50N/cm2以下である請求項21乃至23のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記積層体を加熱処理する前記工程における加熱処理温度が、60℃以上200℃以下である請求項21乃至24のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 長尺帯状の前記積層板の厚みが30μm以上200μm以下であることを特徴とする、請求項21乃至25のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記絶縁樹脂層同士を接合する前記工程の前に、
キャリアと、繊維布が埋設された絶縁樹脂層と、他のキャリアとを順に積層した長尺帯状の第3の両面キャリア付きプリプレグを準備する工程と、
前記第3の両面キャリア付きプリプレグの両側のキャリアを剥離除去して絶縁樹脂層が両面に露出した長尺帯状の絶縁樹脂部材とする工程と、を有し、
前記絶縁樹脂層同士を接合する前記工程は、
前記他の部材として長尺帯状の前記絶縁樹脂部材を用い、
減圧下において、前記第1のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層と前記絶縁樹脂部材の前記絶縁樹脂層とを当接させるとともに、前記第2のキャリア付きプリプレグの前記絶縁樹脂層と前記絶縁樹脂部材の前記絶縁樹脂層とを当接させる工程を含むことを特徴とする請求項21乃至26のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 前記他の部材が、長尺帯状の繊維布であることを特徴とする請求項21乃至26のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記絶縁樹脂層同士を接合する前記工程の前に、
前記他の部材として繊維布が長手方向に埋設された長尺帯状の2つの絶縁樹脂部材を準備する工程を有し、
前記絶縁樹脂層同士を接合する前記工程は、
前記他の部材として長尺帯状の2つの前記絶縁樹脂部材を用い、
減圧下において、前記第1のキャリア付きプリプレグ、2つの前記絶縁樹脂部材、および前記第2のキャリア付きプリプレグを両最外層がキャリアとなるように絶縁樹脂同士を当接する工程を含むことを特徴とする請求項21乃至26のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 前記絶縁樹脂層同士を接合する前記工程の前に、
前記他の部材として、長尺帯状の繊維布、および繊維布が長手方向に埋設された長尺帯状の絶縁樹脂部材を準備する工程を有し、
前記絶縁樹脂層同士を接合する前記工程は、
前記他の部材として、長尺帯状の前記繊維布および前記絶縁樹脂部材を用い、
減圧下において、前記第1のキャリア付きプリプレグ、前記繊維布、前記絶縁樹脂部材および前記第2のキャリア付きプリプレグを両最外層がキャリアとなるように積層する工程を含むことを特徴とする請求項21乃至26のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 前記積層体を加熱処理する前記工程においては、前記積層体に実質的に圧力を作用させないことを特徴とする請求項21乃至30のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記絶縁樹脂層同士を接合する前記工程は、減圧された真空ラミネート装置内において行われることを特徴とする請求項21乃至31のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 長尺帯状の前記第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを準備する前記工程は、
一方の面にキャリアが形成された、長尺帯状の第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層同士を、繊維布を介在させて減圧下で接合するとともに加熱処理する工程を含むことを特徴とする請求項21乃至32のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 前記第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの前記絶縁樹脂層に含まれる絶縁樹脂の溶融粘度は、60℃以上200℃以下において0.1MPa・s以下であることを特徴とする請求項33に記載の積層板の製造方法。
- 長尺帯状の前記第1および/または第2の絶縁樹脂層付きキャリアのキャリアおよび絶縁樹脂層が、長手方向に直交する幅方向において前記繊維布よりも長いことを特徴とする請求項33または34に記載の積層板の製造方法。
- 長尺帯状の前記第1および第2の両面キャリア付きプリプレグを準備する前記工程は、
長尺帯状の前記絶縁樹脂層付きキャリアの幅方向における内部領域においては、前記第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層を前記繊維布の両面にそれぞれ接合するとともに、前記絶縁樹脂層付きキャリアの長手方向に直交する幅方向における両端部領域においては、前記繊維布を封止するように前記第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの絶縁樹脂層同士を接合する工程を含むことを特徴とする請求項35に記載の積層板の製造方法。 - 加熱処理する前記工程は、
減圧された真空ラミネート装置内において、前記第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの前記絶縁樹脂層同士を、前記繊維布を介して接合する工程を含むことを特徴とする請求項33乃至36のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 加熱処理する前記工程において、
減圧下において、長尺帯状の前記第1および第2の絶縁樹脂層付きキャリアの前記絶縁樹脂層同士を直接または他の部材を介して当接させるとともに、一対のラミネートロールにより押圧して前記絶縁樹脂層同士を接合する工程を含むことを特徴とする請求項33乃至37のいずれかに記載の積層板の製造方法。 - 両面キャリア付きプリプレグを準備する前記工程において加熱処理する際には、実質的に圧力を作用させないことを特徴とする請求項33乃至38のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記繊維布は、ガラス織布であることを特徴とする請求項1乃至39のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記キャリアは、前記絶縁樹脂層と接する面に剥離可能な処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至40のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記キャリアは、金属箔であることを特徴とする請求項1乃至41のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 前記キャリアは、前記絶縁樹脂層と接する面に剥離可能な処理が施されたフィルムシートであることを特徴とする請求項1乃至42のいずれかに記載の積層板の製造方法。
- 請求項1乃至43のいずれかに記載の製造方法により得られたものであることを特徴とする積層板。
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