JPWO2008023626A1 - Organic electroluminescence device and method for producing the same - Google Patents

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秀雄 ▲高▼
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弘志 北
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Abstract

本発明は、貼合法による有機EL素子の作製において、貼合された有機層間の密着性を改善し、剥離等がなく、接合界面間のキャリア移動が改善された、発光ムラのない有機EL素子を提供する。本発明の有機EL素子は、第一電極と第二電極の間に、少なくとも一層以上の有機層を有する有機EL素子であって、第一基板上に、第一電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機EL部材Aと、第二基板上に、第二電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機EL部材Bとが、それぞれ有機層が向かいあうように貼合されたものであり、かつ、前記有機EL部材A及び有機EL部材Bの有機層は、外気から遮断されるように基板の周囲が封止され、貼合されており、前記有機層が含まれる封止部分の内圧と、外圧との圧力差が−50〜−100kPaであることを特徴とする。The present invention relates to an organic EL device that improves adhesion between bonded organic layers in the production of an organic EL device by a bonding method, has no peeling, etc., and has improved carrier movement between bonding interfaces, and has no uneven light emission. I will provide a. The organic EL device of the present invention is an organic EL device having at least one or more organic layers between a first electrode and a second electrode, the first electrode and at least one or more organic layers on a first substrate. An organic EL member A having a second electrode, and an organic EL member B having at least one or more organic layers are bonded to each other such that the organic layers face each other, and The organic layers of the organic EL member A and the organic EL member B are sealed and bonded around the substrate so as to be shielded from the outside air, and the internal pressure and the external pressure of the sealed portion including the organic layer And the pressure difference is -50 to -100 kPa.

Description

本発明は、貼合方式により形成された有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子とその製造方法に関し、より詳しくは、それぞれ有機層を有する第一の基板及び第二の基板を、減圧環境下において貼り合わせることにより、密着性を向上させた有機EL素子及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescence (EL) element formed by a bonding method and a manufacturing method thereof, and more specifically, a first substrate and a second substrate each having an organic layer are bonded together under a reduced pressure environment. The present invention relates to an organic EL element having improved adhesion and a method for producing the same.

有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子は、電極と電極の間を厚さ僅か0.1μm程度の有機材料の膜で構成する全固体素子であり、なおかつ素子の発光が2〜20V程度の比較的低い電圧で達成できることから、次世代の平面ディスプレイや照明として期待されている技術である。   An organic electroluminescence (EL) element is an all-solid-state element composed of an organic material film having a thickness of only about 0.1 μm between electrodes, and the element emits light at a relatively low voltage of about 2 to 20 V. Therefore, this technology is expected as a next-generation flat display and illumination.

更に、最近発見されたリン光発光を利用する有機EL素子では、以前の蛍光発光を利用するものに比べ原理的に約4倍の発光効率が実現可能であることから、その材料開発をはじめ発光素子の層構成や電極の研究開発が世界中で行われている。   In addition, recently discovered organic EL devices that use phosphorescence can in principle achieve a light emission efficiency that is approximately four times that of those using previous fluorescence. Research and development of device layer configurations and electrodes are performed all over the world.

また、有機EL素子の構成は、透明電極と対向電極に有機層が挟まれただけの単純なものであり、平面ディスプレイの代表である液晶ディスプレイに比べ、部品点数が圧倒的に少ないため、製造コストも低く抑えられるはずであるが、現状では必ずしもそうではなく、性能的にもコスト的にも液晶ディスプレイに大きく水をあけられている。   In addition, the structure of the organic EL element is a simple one in which an organic layer is sandwiched between a transparent electrode and a counter electrode, and the number of parts is overwhelmingly smaller than that of a liquid crystal display that is a typical flat display. Although the cost should be kept low, this is not always the case at present, and a large amount of water is drained from the liquid crystal display in terms of performance and cost.

特にコストに対しては、生産性の悪さがその要因として考えられる。   In particular, in terms of cost, poor productivity is considered as a factor.

現在商品化されている有機EL素子の殆どが、低分子材料を蒸着して成膜する、所謂蒸着法で製造されている。この蒸着法は精製が容易な低分子化合物を有機EL材料として用いることが出来る(高純度材料が得やすい)こと、更に積層構造を作るのが容易なことから、効率、寿命という面で非常に優れているが、反面、10-4Pa以下という高真空条件下で蒸着を行うため、成膜する装置に制約が加わり、実際には小さい面積の基板にしか適用できず、更に複数層積層するとなると成膜に時間がかかりスループットが低いことが欠点である。特に照明用途や大面積の電子ディスプレイに適用する場合には問題となり、有機EL素子がそのような用途において実用されていない一つの原因となっている。Most of the organic EL devices that are currently commercialized are manufactured by a so-called vapor deposition method in which a low molecular material is deposited to form a film. In this vapor deposition method, a low-molecular compound that can be easily purified can be used as an organic EL material (high-purity material is easy to obtain), and it is easy to make a laminated structure. Although it is excellent, on the other hand, since deposition is performed under a high vacuum condition of 10 −4 Pa or less, restrictions are imposed on the film forming apparatus, and in practice it can only be applied to a substrate with a small area, and when multiple layers are laminated In this case, the film formation takes time and the throughput is low. In particular, it becomes a problem when applied to lighting applications and large-area electronic displays, and organic EL elements are one of the causes that are not practically used in such applications.

それに対し、高分子材料を用いると、有機EL素子における有機化合物層をスピンコート、インクジェット、印刷、スプレーといった塗布プロセスにより製造することが出来る。   On the other hand, when a polymer material is used, the organic compound layer in the organic EL element can be manufactured by a coating process such as spin coating, ink jet, printing, and spraying.

これは、大気圧下で製造することが出来るため、低コスト化が可能であると同時に、有機EL素子の有機層を成膜する際には、必要な材料(高分子材料及び/又は低分子材料)を溶液調製して薄膜塗布するので、複数の有機材料を精密に混合できる(例えば発光ホスト材料に対するドーパント等の調製がしやすい等)ことから、素子を大面積化しても発光ムラが出来にくいという特徴があり、製造コストの面でも非常に有利であるが、一般的な製造工程において有機層を成膜した後に形成される対向電極がやはり蒸着又はスパッタリングなどの真空プロセスでの生産となるため、結局その工程がボトルネックとなり、革新的な生産プロセスにはなり得ていない。   Since this can be manufactured under atmospheric pressure, it is possible to reduce the cost, and at the same time, when forming an organic layer of an organic EL element, a necessary material (polymer material and / or low molecule) is used. The material is prepared in a solution and applied in a thin film, so multiple organic materials can be mixed precisely (for example, it is easy to prepare dopants for the light-emitting host material, etc.). Although it is difficult, and it is very advantageous in terms of manufacturing cost, the counter electrode formed after forming an organic layer in a general manufacturing process is still produced in a vacuum process such as vapor deposition or sputtering. Therefore, the process eventually becomes a bottleneck and cannot be an innovative production process.

また、前記蒸着系とは対照的に、高分子材料の純度が上げられないこと、積層が難しいことなど、発光性能上は蒸着系に及ばないのが実情であり、殆ど実用には供されていない。   In contrast to the above-mentioned vapor deposition system, the fact that the purity of the polymer material cannot be increased and the lamination is difficult, such as the fact that it does not reach the vapor deposition system in terms of light emitting performance, is almost practically used. Absent.

上記は、主に材料に起因する製造方式の違いであるが、素子を形成する方法自体に着目してみると、
(1)電極基板上に薄膜を逐次形成してゆく方法(逐次成膜法)、
(2)電極基板、及び対向電極基板の二つに適宜薄膜を形成した後に貼合する方法(貼合法)、
とがある。
The above is the difference in the manufacturing method mainly due to the material, but when focusing on the method of forming the element itself,
(1) A method of sequentially forming a thin film on an electrode substrate (sequential film formation method),
(2) A method of bonding after forming a thin film appropriately on the electrode substrate and the counter electrode substrate (bonding method),
There is.

貼合法の利点は、
(1)逐次成膜法では最後に成膜することになる抵抗電極を予め準備しておけること、
(2)基板にフィルムを用いることでロールツーロール方式での連続生産が可能になること、
(3)接合面を有機層同士にすれば有機層の積層が容易にできること、
など挙げられる。
The advantage of the bonding method is
(1) In the sequential film formation method, a resistance electrode to be finally formed can be prepared in advance.
(2) The roll-to-roll system can be continuously produced by using a film for the substrate.
(3) The organic layer can be easily stacked if the bonding surfaces are organic layers,
Etc.

特に(1)や(2)は生産性を飛躍的に改善する原動力になり、もし技術が完成すれば有機EL最大の問題点であった製造コストを大幅に低減することも可能になると思われる。   In particular, (1) and (2) will be the driving force for dramatically improving productivity, and if the technology is completed, it will be possible to significantly reduce the manufacturing cost, which was the biggest problem of organic EL. .

一方、ロールツーロール方式は貼合方式以外でもその技術が開示されている。   On the other hand, the roll-to-roll method is disclosed in a technique other than the bonding method.

例えば特開2005−327667号公報では、正孔輸送材料をリボン状にリールに巻かれた電極基板上にインクジェット法により連続で成膜する方法が記載されているが、この場合も前記高分子塗布方式で記載したように対向電極の形成が結局真空プロセスになってしまうために、ロールツーロール方式のメリットが大幅に目減りしてしまい実質それ程生産性が向上するものではない。   For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-327667 describes a method in which a hole transport material is continuously formed by an inkjet method on an electrode substrate wound in a ribbon shape on a reel. As described in the method, since the formation of the counter electrode eventually becomes a vacuum process, the merit of the roll-to-roll method is greatly diminished, and the productivity is not substantially improved.

このように、貼合方式は生産性を革新的に改善する有効な技術手段ではあるが、現在のところ、この方式で作製された有機EL素子は、性能上の問題を抱え、又、的確なブレークスルーが見つかっておらず、発展途上にあるといった状態である。   As described above, the bonding method is an effective technical means for innovatively improving the productivity, but at present, the organic EL device manufactured by this method has a problem in performance and is accurate. The breakthrough has not been found and is in the process of development.

その理由は幾つかあるが、原理的に考えてみると貼合したときの接合面が必ずしも分子レベルで密着しておらず結果としてキャリア移動がスムーズに行えなくなる。更に接合面が剥離し、発光素子として機能しなくなるなどが大きな要因であると予想される。   There are several reasons for this, but considering the principle, the bonding surface when bonded is not necessarily in close contact at the molecular level, and as a result, the carrier cannot move smoothly. Further, it is expected that the bonding surface is peeled off and does not function as a light emitting element, which is a major factor.

特に、ロールツーロール方式では必ず巻き取り工程が存在するため、巻き取り時に接合面の剥離が起きやすく、剥離は製造上大きな問題となるし、基板をフィルムやプラスチック基材などの可撓性基材としたときには使用時に素子が破壊されてしまうという致命的な欠陥になってしまう恐れがある。   In particular, in the roll-to-roll method, there is always a winding process, so that the joint surface is easily peeled off during winding, and the peeling is a major problem in manufacturing, and the substrate is made of a flexible substrate such as a film or a plastic substrate. When used as a material, there is a risk of a fatal defect that the element is destroyed during use.

〈貼合方式の従来技術〉
このような観点から貼合時の接合不良を改善する、貼合法に係わる技術が幾つか開示されている。
<Conventional technology of bonding method>
From such a viewpoint, several techniques related to the bonding method for improving the bonding failure at the time of bonding are disclosed.

例えば、特開平9−7736号公報には、接合面に高分子バインダーを存在させ、かつ、素子周囲を接着または融着することで接合面の密着性を向上させる技術が、また、特開2004−79300号公報では同様の技術思想を、発光層を転写法により作る技術と組み合わせ、リン光発光にも適用できることが記載されている。   For example, Japanese Patent Laid-Open No. 9-7736 discloses a technique for improving the adhesion of a bonding surface by allowing a polymer binder to exist on the bonding surface and bonding or fusing the periphery of the element. No. -79300 discloses that the same technical idea can be applied to phosphorescence emission by combining with a technique for forming a light emitting layer by a transfer method.

また、特許文献1には、両方の接合層を同じ材料で構成されたものにすることで、層間の密着性を向上させる技術が、特許文献2では、二つの接合面を湿式法で作製した、完全に乾燥していない状態の膜において貼合する技術が紹介されているが、両方とも接合面での密着性は不充分であり根本的な解決とはなっていない。   Patent Document 1 discloses a technique for improving adhesion between layers by making both bonding layers made of the same material. In Patent Document 2, two bonding surfaces are prepared by a wet method. Although a technique for bonding in a film that has not been completely dried has been introduced, both of them have insufficient adhesion at the bonding surface and are not a fundamental solution.

その他、特許文献3には、樹脂層と弾性層を有する金属基板を用いて、加圧貼合して、接合面の密着を向上させる方法が記載されている。   In addition, Patent Document 3 describes a method of improving the adhesion of the bonding surface by pressure bonding using a metal substrate having a resin layer and an elastic layer.

周囲を接着することは、素子駆動中の水分や酸素の悪影響を低減し発光寿命を向上させることには寄与するが、前記接合面剥離を根本的に解決できる技術手段ではない。   Bonding the periphery contributes to reducing the adverse effects of moisture and oxygen during driving of the element and improving the light emission lifetime, but is not a technical means that can fundamentally solve the above-mentioned peeling of the joint surface.

薄膜界面の剥離は、貼合法だけの問題ではない。   The peeling of the thin film interface is not just a problem with the bonding method.

現在商品化されている有機ELは全てガラスが基板になっており可撓性のない発光素子であるが、前記の如く、全固体素子である有機EL素子はフィルムなどの可撓性のある基板への適用が可能(所謂フレキシブルディスプレイの実現)であることが、大きな特徴である。   The organic EL currently commercialized is a light-emitting element that is not flexible because glass is a substrate. As described above, an organic EL element that is an all-solid-state element is a flexible substrate such as a film. It is a great feature that it can be applied to (so-called flexible display).

現状では、可撓性基材のガスバリア性が不充分なことが、その実用化を遅らせているといわれているが、それ以外の課題として、有機層と対向電極層との剥離も大きな課題である。   At present, it is said that insufficient gas barrier properties of the flexible substrate are delaying its practical application, but as another issue, peeling between the organic layer and the counter electrode layer is also a major issue. is there.

この課題は、現状の可撓性のない素子においては、顕在化した課題として余り取り上げられていないが、原理上、有機物と対向電極を形成する金属との接着性は低く、根本的な問題である。   This problem has not been taken up as an obvious problem in the current non-flexible element, but in principle, the adhesion between the organic substance and the metal forming the counter electrode is low, which is a fundamental problem. is there.

また、通常適用されている逐次成膜法では発光層やキャリア輸送・注入層などの有機層を成膜した後に、対向電極(通常は陰極、具体的にはAlやCa、Baなどの仕事関数の小さい金属)を成膜することになるが、その時、既に成膜されている有機層にダメージを与えてしまうと有機EL素子の発光特性や発光寿命などが大きく劣化してしまうという問題点がある。つまり、対向電極と有機層界面の密着性を上げるために対向電極を強いエネルギー状態で成膜することは不可能であり、実質上、真空蒸着や、穏和な条件下でのスパッタリングで成膜するしかすべがない状況である。   Further, in a sequential film forming method that is usually applied, after forming an organic layer such as a light emitting layer or a carrier transport / injection layer, a counter electrode (usually a cathode, specifically a work function such as Al, Ca, Ba, etc.) However, if the organic layer already formed is damaged at this time, the light emission characteristics and the light emission lifetime of the organic EL element are greatly deteriorated. is there. In other words, it is impossible to form the counter electrode in a strong energy state in order to increase the adhesion between the counter electrode and the organic layer interface. In practice, the counter electrode is formed by vacuum deposition or sputtering under mild conditions. There is nothing but a situation.

この問題点を解決する手段として、最も対向電極に近い有機層の上に、半導体材料や金属からなる緩衝層を設ける技術も開示されている。確かにこのような緩衝層を間に入れることで、対向電極成膜時のダメージを低減することは可能ではあるが、製造プロセス的には負荷が増えることになり、生産性の面から決して好ましいものではない。   As means for solving this problem, a technique of providing a buffer layer made of a semiconductor material or metal on an organic layer closest to the counter electrode is also disclosed. Although it is possible to reduce the damage at the time of forming the counter electrode by putting such a buffer layer in between, it will definitely increase the load in the manufacturing process, which is preferable from the viewpoint of productivity. It is not a thing.

この観点から、貼合法の製造プロセスを考えてみる。   From this point of view, consider the manufacturing process of the bonding method.

貼合は必要な層を全部成膜した後に行われるため、透明電極や対向電極の成膜はいちばん最初に行われることになる。   Since the bonding is performed after forming all necessary layers, the transparent electrode and the counter electrode are formed first.

金属や金属酸化物を成膜する際は、性能のよい膜とするために、堆積させるとき、または成膜後に高いエネルギーを印加することが望まれるが、貼合法はそれを可能にする一つの手段であると考えることもできる。つまり、貼合する際の接合面を有機層同士にするとすれば、透明電極と対向電極はそれぞれ性能や生産性の面で最も相応しい方法で予め成膜しておくことができる。その上に適宜有機層を積層して貼合し、前記接合面での不具合さえ改善してやれば、性能的にも製造プロセス的にも良好な革新的な方法になりうるものである。   When a metal or metal oxide film is formed, it is desired to apply high energy when it is deposited or after film formation in order to obtain a film with good performance. It can also be considered a means. In other words, if the bonding surfaces for bonding are organic layers, the transparent electrode and the counter electrode can be formed in advance by a method most suitable in terms of performance and productivity. If an organic layer is appropriately laminated thereon and bonded, and even a defect on the joint surface is improved, it can be an innovative method that is good in terms of performance and manufacturing process.

貼合法の問題点として、先に接合面での不具合を挙げた。この問題に対し鋭意検討した結果、例えば、有機層同士を接合する際には、その接合界面でのキャリア移動が面全体に均一ではなく、局所的にキャリアが流れやすい部分と流れにくい部分が出来やすいことが判ってきた。特に、有機層界面で発光する蛍光方式はその挙動が顕著であり、発光ムラが起こりやすいことがわかった。一方、リン光方式は、蛍光方式と異なり、発光層内部に発光領域を持つためか、比較的このような現象がおきにくく、特に、発光層の有機層全体における相対的な膜厚比率を上げたときや、発光層の膜厚を厚くしたとき、また、発光層同士を接合し発光層を2層としたときなどは、顕微鏡観察でもわからないくらい発光ムラを押さえることが可能であることがわかった。これは貼合法の最大の難点である接合界面でのキャリア移動が遅くなるという現象を、逆に有効に活用した技術であり、今までに類をみないものであるといえる。
特開2002−203675号公報 特開平9−36667号公報 特開2004−296148号公報
As a problem of the bonding method, the problem on the joint surface was mentioned earlier. As a result of intensive studies on this problem, for example, when organic layers are bonded to each other, carrier movement at the bonding interface is not uniform over the entire surface, and there are portions where carriers can easily flow and where flow is difficult. It turns out that it is easy. In particular, it has been found that the fluorescence method of emitting light at the interface of the organic layer has a remarkable behavior, and uneven light emission is likely to occur. On the other hand, the phosphorescence method, unlike the fluorescence method, has a light-emitting region inside the light-emitting layer, so this phenomenon is relatively difficult to occur. In particular, the relative thickness ratio of the light-emitting layer to the entire organic layer is increased. When the thickness of the light-emitting layer is increased, or when the light-emitting layers are joined to each other to form two light-emitting layers, it is understood that unevenness in light emission can be suppressed to the extent that even a microscopic observation does not reveal. It was. This is a technology that effectively utilizes the phenomenon that carrier movement at the bonding interface, which is the biggest difficulty of the bonding method, is slow, and it can be said that it has never been seen before.
JP 2002-203675 A JP 9-36667 A JP 2004-296148 A

本発明の目的は、貼合法による有機EL素子の作製において、貼合された有機層間の密着性を改善し、剥離等がなく、接合界面間のキャリア移動が改善された、発光ムラのない有機EL素子を得ることにある。   The object of the present invention is to improve the adhesion between bonded organic layers in the production of an organic EL element by a bonding method, to eliminate peeling and the like, to improve carrier movement between bonded interfaces, and to produce an organic layer with no light emission unevenness. It is to obtain an EL element.

本発明の上記課題は以下の手段により達成されるものである。   The above object of the present invention is achieved by the following means.

1.第一電極と第二電極の間に、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記有機エレクトロルミネッセンス素子は、
第一基板上に、第一電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Aと、
第二基板上に、第二電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Bとが、
それぞれ有機層が向かいあうように貼合されたものであり、
かつ、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層は、外気から遮断されるように基板の周囲が封止されることで貼合されており、
前記有機層が含まれる封止された部分の内圧と、外圧(大気圧)との圧力差が−50〜−100kPaであることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
1. In the organic electroluminescence element having at least one organic layer between the first electrode and the second electrode, the organic electroluminescence element is:
On the first substrate, the first electrode, an organic electroluminescent member A having at least one organic layer,
On the second substrate, the second electrode, an organic electroluminescence member B having at least one organic layer,
Each of them is bonded so that the organic layers face each other,
And the organic layer of the organic electroluminescence member A and the organic layer of the organic electroluminescence member B are bonded together by sealing the periphery of the substrate so as to be shielded from the outside air,
An organic electroluminescence device, wherein a pressure difference between an internal pressure of a sealed portion including the organic layer and an external pressure (atmospheric pressure) is −50 to −100 kPa.

2.第一電極と第二電極の間に、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、第一基板上に、第一電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Aと、第二基板上に、第二電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Bとを、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、それぞれ有機層を向かいあうように密着し、基板周囲を接着、封止して、有機エレクトロルミネッセンス部材A及び有機エレクトロルミネッセンス部材Bを貼合することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
2. In the method for producing an organic electroluminescence device having at least one or more organic layers between the first electrode and the second electrode, the organic electroluminescence member having the first electrode and at least one or more organic layers on the first substrate. A and an organic electroluminescence member B having a second electrode and at least one organic layer on the second substrate,
The organic electroluminescent member A and the organic electroluminescent member B are bonded together by adhering the organic layers so as to face each other under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, and bonding and sealing the periphery of the substrate. A method for producing an organic electroluminescent element.

3.第一電極と第二電極の間に、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、第一基板上に、第一電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Aと、第二基板上に、第二電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Bとを、それぞれの有機層を向かいあうように密着させ、
さらに、第二基板上に封止部材を積層し、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、
第一の基板と封止部材の周囲を接着し、封止して、有機エレクトロルミネッセンス部材A及び有機エレクトロルミネッセンス部材Bを貼合することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
3. In the method for producing an organic electroluminescence device having at least one or more organic layers between the first electrode and the second electrode, the organic electroluminescence member having the first electrode and at least one or more organic layers on the first substrate. A and an organic electroluminescence member B having at least one organic layer on the second substrate, and A, are adhered to each other so as to face each other,
Furthermore, a sealing member is laminated on the second substrate,
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air,
The manufacturing method of the organic electroluminescent element characterized by adhere | attaching the 1st board | substrate and the circumference | surroundings of a sealing member, sealing, and bonding the organic electroluminescent member A and the organic electroluminescent member B.

4.前記封止が、光硬化性接着剤により行われることを特徴とする前記2または3に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   4). 4. The method for producing an organic electroluminescent element according to 2 or 3, wherein the sealing is performed with a photocurable adhesive.

5.予め前記第一基板または前記第二基板の少なくとも一方の有機層の周囲に光硬化性接着剤が設置されており、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層をそれぞれ向かいあうように密着させ、
第一の基板と第二の基板の少なくとも一方から光を照射することで、前記光硬化性接着剤を硬化させ接着、封止することを特徴とする前記2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
5). A photocurable adhesive is installed around at least one organic layer of the first substrate or the second substrate in advance.
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, the organic layer of the organic electroluminescent member A and the organic layer of the organic electroluminescent member B are brought into close contact with each other,
3. Production of the organic electroluminescent element according to 2 above, wherein the photocurable adhesive is cured, adhered and sealed by irradiating light from at least one of the first substrate and the second substrate. Method.

6.予め前記第一基板または前記封止部材の少なくとも一方の有機層の周囲に光硬化性接着剤が設置されており、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層をそれぞれ向かいあうように密着させ、
第一の基板と封止部材の少なくとも一方から光を照射することで、前記光硬化性接着剤を硬化させ接着、封止することを特徴とする前記3に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
6). A photocurable adhesive is installed around at least one organic layer of the first substrate or the sealing member in advance,
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, the organic layer of the organic electroluminescent member A and the organic layer of the organic electroluminescent member B are brought into close contact with each other,
4. The method for producing an organic electroluminescent element according to 3 above, wherein the photocurable adhesive is cured, adhered, and sealed by irradiating light from at least one of the first substrate and the sealing member. .

7.前記封止が、熱融着性接着剤により行われることを特徴とする前記2または3に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   7). 4. The method for producing an organic electroluminescent element according to 2 or 3, wherein the sealing is performed with a heat-fusible adhesive.

8.予め前記第一基板または前記第二基板の少なくとも一方の有機層の周囲に熱融着性接着剤が設置されており、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層をそれぞれ向かいあうように密着させ、
第一の基板と第二の基板の少なくとも周囲を加熱することで、前記熱融着性接着剤を熱溶融させ接着、封止することを特徴とする前記2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
8). A heat-fusible adhesive is installed around at least one organic layer of the first substrate or the second substrate in advance,
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, the organic layer of the organic electroluminescent member A and the organic layer of the organic electroluminescent member B are brought into close contact with each other,
3. The manufacturing of the organic electroluminescence device according to 2 above, wherein at least the periphery of the first substrate and the second substrate is heated to thermally melt and bond and seal the heat-fusible adhesive. Method.

9.予め前記第一基板または前記封止部材の少なくとも一方の有機層の周囲に熱融着性接着剤が設置されており、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層をそれぞれ向かいあうように密着させ、
第一の基板と封止部材の少なくとも周囲を加熱することで、前記熱融着性接着剤を熱溶融させ接着、封止することを特徴とする前記3に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
9. A heat-fusible adhesive is installed around at least one organic layer of the first substrate or the sealing member in advance,
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, the organic layer of the organic electroluminescent member A and the organic layer of the organic electroluminescent member B are brought into close contact with each other,
4. The method for producing an organic electroluminescent element according to 3 above, wherein at least the periphery of the first substrate and the sealing member is heated to thermally melt and bond and seal the heat-fusible adhesive. .

10.前記第一の基板及び第二の基板の少なくとも一方に防湿層を有することを特徴とする前記1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   10. 2. The organic electroluminescent element according to 1 above, wherein a moisture-proof layer is provided on at least one of the first substrate and the second substrate.

11.前記第一の基板及び第二の基板の少なくとも一方が防湿層を有することを特徴とする前記2〜9のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   11. 10. The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of 2 to 9, wherein at least one of the first substrate and the second substrate has a moisture-proof layer.

12.前記第一の基板及び第二の基板の少なくとも一方に吸湿部材を付与したことを特徴とする前記1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   12 2. The organic electroluminescent element according to 1 above, wherein a moisture absorbing member is provided on at least one of the first substrate and the second substrate.

13.前記第一の基板及び第二の基板の少なくとも一方に吸湿部材を付与することを特徴とする前記2〜9のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   13. 10. The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of 2 to 9, wherein a moisture absorbing member is provided on at least one of the first substrate and the second substrate.

本発明により、貼合法による有機EL素子の作製において、有機層間の密着性がよく、剥離等なく、接合界面間のキャリア移動が改善され発光ムラのない有機EL素子を得ることができる。   According to the present invention, in the production of an organic EL element by a bonding method, the adhesion between organic layers is good, there is no peeling, the carrier movement between the bonding interfaces is improved, and an organic EL element free from uneven light emission can be obtained.

真空貼合装置を用いた有機EL素子製造の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of organic EL element manufacture using a vacuum bonding apparatus. 真空貼合装置を用いたもう一つの有機EL素子製造の例を示す図である。It is a figure which shows the example of another organic EL element manufacture using a vacuum bonding apparatus. 吸湿部材を内部に配置した有機EL素子の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the organic EL element which has arrange | positioned the moisture absorption member inside. ロール貼合装置による有機EL素子の製造例を示す図である。It is a figure which shows the manufacture example of the organic EL element by a roll bonding apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 第一基板
2 第二基板
3 封止用部材
101 真空チャンバー
102 弾性部材
104 ヒータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st board | substrate 2 2nd board | substrate 3 Sealing member 101 Vacuum chamber 102 Elastic member 104 Heater

以下本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明するが本発明はこれのみに限定されるものではない。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail, but the present invention is not limited to this.

本発明は、貼合法による有機EL素子の作製に関するものであり、
第一電極と第二電極の間に、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、第一基板上に、第一電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Aと、第二基板上に、第二電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Bとを、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、それぞれの有機層が向かいあうように密着させ、基板周囲を接着、封止して、有機エレクトロルミネッセンス部材A及び有機エレクトロルミネッセンス部材Bとを貼合することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
The present invention relates to the production of an organic EL element by a bonding method,
In the method for producing an organic electroluminescence device having at least one or more organic layers between the first electrode and the second electrode, the organic electroluminescence member having the first electrode and at least one or more organic layers on the first substrate. A and an organic electroluminescence member B having a second electrode and at least one organic layer on the second substrate,
The organic electroluminescent member A and the organic electroluminescent member B are bonded together by adhering each organic layer so that each organic layer faces each other under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air. This is a method for producing an organic electroluminescence element.

より具体的には、第一基板は例えば、例えばガラス基板であり、ガラス基板上にITOからなる陽極(第一電極)、更に正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層等から選ばれる有機EL素子を構成すべき各有機層がこの層順で任意の層まで積層されたものであり、従ってこれが有機エレクトロルミネッセンス部材Aであり、有機EL部材Aはこの場合陽極側部材となる。有機エレクトロルミネッセンス部材Aが陽極側部材のとき、有機エレクトロルミネッセンス部材Bは陰極側部材となり、第二電極は陰極であり、陰極上には少なくとも残りの層が陰極側からこの順で形成される。   More specifically, the first substrate is, for example, a glass substrate, an anode (first electrode) made of ITO on the glass substrate, a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and the like. Each organic layer that should constitute an organic EL element selected from the above is laminated in this layer order up to an arbitrary layer. Therefore, this is an organic electroluminescent member A, and the organic EL member A is an anode side member in this case. Become. When the organic electroluminescent member A is an anode side member, the organic electroluminescent member B is a cathode side member, the second electrode is a cathode, and at least the remaining layers are formed on the cathode in this order from the cathode side.

例えば有機EL部材Aが陽極側部材であり、第一基板上に陽極から発光層まで形成される場合、有機EL部材Bとして、第二の基板上の第二電極(陰極)上には、例えば少なくとも電子注入層、電子輸送層までが形成される(陰極側部材)。   For example, when the organic EL member A is an anode side member and is formed from the anode to the light emitting layer on the first substrate, as the organic EL member B, on the second electrode (cathode) on the second substrate, for example, At least the electron injection layer and the electron transport layer are formed (cathode side member).

有機層の積層構成については、電子阻止層、また正孔阻止層等、必要に応じて、種々の有機層を適宜含んでいてもよく、各基板上に形成される有機層の数は限定されず、貼合されたときに、有機EL素子を構成する層順に従って構成されればよい。従って、前記有機EL素子各層のどの有機層を、それぞれの部材上に形成して、それぞれ有機EL部材A(又は陽極側部材)、有機EL部材B(又は陰極側部材)とするかは、有機層を構成する有機EL材料等の性質、例えばガラス転移温度、融点、また結晶構造等により、また、密着性等の観点で最も妥当なものを選択する。   As for the laminated structure of the organic layers, various organic layers such as an electron blocking layer and a hole blocking layer may be included as necessary, and the number of organic layers formed on each substrate is limited. Instead, it may be configured according to the order of layers constituting the organic EL element when bonded. Therefore, which organic layer of each layer of the organic EL element is formed on each member to be used as the organic EL member A (or anode side member) and the organic EL member B (or cathode side member) is organic. The most appropriate material is selected in view of the properties of the organic EL material constituting the layer, for example, glass transition temperature, melting point, crystal structure, etc., and from the viewpoint of adhesion.

また、各部材上に、同じ有機層を形成してもよく、例えば、前記の場合、両方の部材に発光層まで形成しても、発光層は貼合により一体化されるので構わない。   Further, the same organic layer may be formed on each member. For example, in the above case, even if the light emitting layer is formed on both members, the light emitting layer may be integrated by bonding.

従って、本発明の有機EL素子の作製方法によって形成される有機EL素子は、第一基板上に、第一電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機EL部材Aと、第二基板上に、第二電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機EL部材Bとを、外気から遮断した0〜50kPaの圧力下(減圧下)において、それぞれの有機層同士が向かいあうように密着させ、基板周囲を接着、封止して、有機エレクトロルミネッセンス部材A及び有機エレクトロルミネッセンス部材Bとを貼合し、封止後に、大気圧に戻すことで形成される。   Therefore, the organic EL element formed by the method for producing an organic EL element of the present invention has a first electrode, an organic EL member A having at least one organic layer on the first substrate, and a second substrate. The second electrode and the organic EL member B having at least one organic layer are brought into close contact with each other so that the organic layers face each other under a pressure of 0 to 50 kPa (under reduced pressure) blocked from the outside air. The organic electroluminescence member A and the organic electroluminescence member B are bonded and sealed, and are bonded to each other, and after sealing, the pressure is returned to atmospheric pressure.

減圧下(例えば10kPa)で封止(有機層部を密閉)することにより、これを大気中(大気圧中)に戻すと、第一、第二基板は、大気圧に押されて、第一基板、第二基板、そして封止部により形成される有機層を含む密閉空間の容積はやや収縮することで、封止空間内の気体(例えば空気)の残り方によっては、大気圧に戻したときの、内圧がやや変わる(大気圧に押されて、内容積が変わるので一般に気圧が少し上昇(〜50kPa)する)ものの、減圧での封止によって、充分減圧が保たれることで有機層同士が大気圧との差分の圧力を均一に受けることができこれにより有機層同士を均一に貼合することが出来る。   When this is returned to the atmosphere (at atmospheric pressure) by sealing (for example, 10 kPa) under reduced pressure (sealing the organic layer portion), the first and second substrates are pushed to atmospheric pressure, and the first The volume of the sealed space including the organic layer formed by the substrate, the second substrate, and the sealing portion is slightly shrunk, and depending on how the gas (for example, air) in the sealed space remains, the volume is returned to atmospheric pressure. When the internal pressure changes slightly (pushing to atmospheric pressure, the internal volume changes, so the atmospheric pressure generally rises a little (~ 50 kPa)), but the organic layer can be kept under sufficient pressure by sealing under reduced pressure They can be uniformly subjected to a differential pressure from the atmospheric pressure, whereby the organic layers can be bonded uniformly.

従って、本発明の方法により作製された、減圧条件下で有機EL部材Aと有機EL部材Bが貼合された有機EL素子は、前記有機層が含まれる封止空間部分の内圧と、外圧(大気圧)との圧力差が−50〜−100kPaの範囲にある(即ち内圧が低い)有機EL素子である。   Therefore, the organic EL element produced by the method of the present invention, in which the organic EL member A and the organic EL member B are bonded under reduced pressure, has an internal pressure and an external pressure (in the sealed space portion including the organic layer). The organic EL element has a pressure difference from the atmospheric pressure in the range of −50 to −100 kPa (that is, the internal pressure is low).

本発明の方法によれば、このような貼合時の真空度の調整により最終的な内圧の制御を行って貼合圧を制御できることと、真空で貼合封止すると常に(大気圧−内圧)の圧を面に均一に、非接触で加えることができるため、安定した貼合素子を得られる。機械的圧着では均一に圧を加えることが難しい。   According to the method of the present invention, the final pressure can be controlled by adjusting the degree of vacuum at the time of bonding, and the bonding pressure can be controlled. ) Can be uniformly applied to the surface in a non-contact manner, and a stable bonding element can be obtained. It is difficult to apply pressure uniformly by mechanical pressure bonding.

特に機械的(物理的)に圧を加えることが難しいフレキシブル素子においては有利である。   In particular, it is advantageous in a flexible element in which it is difficult to apply pressure mechanically (physically).

また、貼合と同時に封止することができるという利点を得ることができる。   Moreover, the advantage that it can seal simultaneously with bonding can be acquired.

以下に、本発明の貼合法による有機EL素子の製造方法について図を用いて詳細に説明する。   Below, the manufacturing method of the organic EL element by the bonding method of this invention is demonstrated in detail using figures.

図1は、真空貼合装置を用いた本発明の有機EL素子製造の一例を示す。   FIG. 1 shows an example of manufacturing an organic EL element of the present invention using a vacuum bonding apparatus.

図1(a)は、第1基板1上に第1電極11、及び有機層12が形成された有機EL部材A及び第二基板上に第2電極21、及び有機層22が形成された有機EL部材Bをそれぞれ示した。有機EL部材Aは例えば陽極基板、また、有機EL部材Bは陰極基板を表す。従って第一電極11はITO電極、有機層12は、例えば、正孔輸送層、発光層であり、第二電極は例えば、アルミニウムからなる陰極、また有機層22は、例えば電子輸送層である。これら二つの基板を貼合することで、最終的に、第一基板(第一電極)と第二基板(第二電極)の間に、少なくとも一層以上の有機層(この場合、陽極側から、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、陰極という構成をもつ)を有する有機エレクトロルミネッセンス素子が得られる。   FIG. 1A shows an organic EL member A in which a first electrode 11 and an organic layer 12 are formed on a first substrate 1 and an organic in which a second electrode 21 and an organic layer 22 are formed on a second substrate. Each EL member B is shown. The organic EL member A represents, for example, an anode substrate, and the organic EL member B represents a cathode substrate. Accordingly, the first electrode 11 is an ITO electrode, the organic layer 12 is, for example, a hole transport layer and a light emitting layer, the second electrode is, for example, a cathode made of aluminum, and the organic layer 22 is, for example, an electron transport layer. By laminating these two substrates, finally, at least one or more organic layers (in this case, from the anode side) between the first substrate (first electrode) and the second substrate (second electrode), An organic electroluminescent device having a structure of a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and a cathode is obtained.

貼合する有機層(接合層)としては、有機EL素子を構成する機能層のいずれでもよく、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層等のいずれでもよい。   As an organic layer (bonding layer) to be bonded, any of functional layers constituting an organic EL element may be used, for example, any of a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and the like. But you can.

図1(b)は封止(接着)の為に第一基板上の有機層周辺に封止材(接着剤)Sを設置したところである、接着剤としては、熱融着性または熱硬化性接着剤を塗設してもよいし、また熱硬化性接着シート等を用いてこれを周囲に配置してもよい。   FIG. 1B shows a sealing material (adhesive) S installed around the organic layer on the first substrate for sealing (adhesion). The adhesive may be heat-fusible or thermosetting. An adhesive may be applied, or a thermosetting adhesive sheet or the like may be used around the adhesive.

また、光硬化性接着剤を用いてもよい。光硬化性接着剤を用いるときは第一基板または第二基板側から光(紫外線)を照射できるように光源を真空貼合装置中に備えることが好ましい。   Moreover, you may use a photocurable adhesive agent. When using a photocurable adhesive, it is preferable to provide a light source in a vacuum bonding apparatus so that light (ultraviolet rays) can be irradiated from the first substrate side or the second substrate side.

図1(b)では、有機EL部材Aの第一基板上、有機層周囲に熱硬化性接着シートを配置したのち、これに有機EL部材Aを有機層同士対向するように密着積層して、仮貼合する。   In FIG. 1B, after arranging a thermosetting adhesive sheet around the organic layer on the first substrate of the organic EL member A, the organic EL member A is adhered and laminated so that the organic layers face each other. Temporary bonding.

ここでは第一基板周囲に熱硬化性シートを配置したが、第二基板上であってもよいし、また、両方の基板に配置してもよい。   Here, the thermosetting sheet is disposed around the first substrate, but may be disposed on the second substrate or may be disposed on both substrates.

次いで、熱硬化性シートを配置した第一電極11、有機層12を有する第一基板1、及び同じく第二電極21、有機層22を有する第二基板2を有機層12及び22同士が対向し積層された積層体は、図1(c)に示す真空貼合装置の真空チャンバー101中に載置される。図1(c)で示される本発明に係わる真空貼合装置は、貼合しようとする有機EL部材A及びBを載置する真空チャンバー(架台含む)101及び積層された有機EL部材A及びBに押圧を加え、これを固定密着させる弾性部材102、これを駆動するシリンダ103、また、熱硬化性接着剤シートと略同一の形状に、基板の周囲、有機層の周囲を取り囲むように配置されたヒータ104を備えている。ヒータ104もまた、これもシリンダ105を備え、シリンダの動作によりヒータを基板の背面から接着剤シートを加熱圧着できる機構を有している。また、真空チャンバーは図示されていない減圧装置によって、排気が可能であり、また密閉して真空チャンバーを外気から遮断出来る構造となっている。   Then, the organic layers 12 and 22 face each other the first electrode 11 on which the thermosetting sheet is disposed, the first substrate 1 having the organic layer 12, and the second substrate 21 having the second electrode 21 and the organic layer 22. The laminated body laminated | stacked is mounted in the vacuum chamber 101 of the vacuum bonding apparatus shown in FIG.1 (c). The vacuum bonding apparatus according to the present invention shown in FIG. 1 (c) includes a vacuum chamber (including a base) 101 on which organic EL members A and B to be bonded are placed, and stacked organic EL members A and B. The elastic member 102 that presses and firmly adheres to the cylinder, the cylinder 103 that drives the elastic member 102, and the thermosetting adhesive sheet are arranged in substantially the same shape so as to surround the periphery of the substrate and the organic layer. The heater 104 is provided. The heater 104 also includes a cylinder 105, and has a mechanism that allows the heater to be pressure-bonded to the adhesive sheet from the back surface of the substrate by the operation of the cylinder. Further, the vacuum chamber can be evacuated by a decompression device (not shown), and is sealed so that the vacuum chamber can be shielded from the outside air.

二つの部材に押圧を加えて密着させ、二つの部材間の気体を逃すための弾性部材102としては、シリコンゴム、シリコンスポンジ等の耐熱性の弾性体で表面層を形成したプレート等が用いられる。   As the elastic member 102 for pressing and adhering the two members to release gas between the two members, a plate having a surface layer formed of a heat-resistant elastic body such as silicon rubber or silicon sponge is used. .

また、ヒータ104としては、例えば、通電により加熱を行える、基板の周囲、有機層の周囲を取り囲むような所定の形状で配置されたヒートブロックであり、シリンダの駆動により、部材背面から所定の時間圧着することが可能となっている。   The heater 104 is, for example, a heat block that can be heated by energization and is arranged in a predetermined shape so as to surround the periphery of the substrate or the organic layer. It is possible to crimp.

有機EL部材Aと有機EL部材Bが積層され、真空チャンバー101中に載置されると、次に、シリンダ103の駆動により弾性部材102が所定の圧力で第二基板の背面に押し当てられ、第一基板上の有機層12と第二基板上の有機層22は密着、固定される(図1(d))。   When the organic EL member A and the organic EL member B are laminated and placed in the vacuum chamber 101, the elastic member 102 is then pressed against the back surface of the second substrate with a predetermined pressure by driving the cylinder 103, The organic layer 12 on the first substrate and the organic layer 22 on the second substrate are adhered and fixed (FIG. 1D).

次は、真空チャンバー101を閉じて、これを外気から遮断し、減圧に、即ち0〜50kPaの圧力まで排気する工程である(図1(e))。この段階で、有機層近傍、有機層界面内は真空チャンバー101内と同じ圧力になる。   The next step is to close the vacuum chamber 101, shut it off from the outside air, and evacuate to a reduced pressure, that is, to a pressure of 0 to 50 kPa (FIG. 1 (e)). At this stage, the pressure in the vicinity of the organic layer and in the organic layer interface is the same as that in the vacuum chamber 101.

図1(f)は、次の工程で、この外気から遮断した状態で、ヒータ104を、シリンダ105を駆動して降下させ、基板同士が、硬化接着するのに必要なエネルギーを付与するためにこれを背面に圧着して、加熱を行う、封止材Sとして熱硬化接着性シートを用いる場合、温度は50〜100℃の範囲、また圧力としては0.05〜0.20MPa程度で、1〜10秒間程度保持すればよい。   FIG. 1F shows the next step in which the heater 104 is lowered by driving the cylinder 105 in a state where it is cut off from the outside air, and the substrates are given energy necessary for curing and bonding. When a thermosetting adhesive sheet is used as the sealing material S, which is heated by pressure bonding to the back surface, the temperature is in the range of 50 to 100 ° C., and the pressure is about 0.05 to 0.20 MPa. What is necessary is just to hold | maintain for about 10 seconds.

これにより第一基板、及び第二基板は、熱硬化性シートにより接着し、有機EL素子は、封止、貼合される。   Thereby, a 1st board | substrate and a 2nd board | substrate adhere | attach by a thermosetting sheet, and an organic EL element is sealed and bonded.

勿論接着は、後述する熱硬化性接着剤、または光硬化性接着剤等を用いてもよい。   Of course, for the bonding, a thermosetting adhesive or a photocurable adhesive described later may be used.

所定の加熱により基板周囲を接着、封止したのち、次いでシリンダ105、及び103の駆動により、ヒータ104及び弾性部材102は引き上げられて元の位置に戻され、更に真空チャンバー101の減圧が解除されて(図1(g))、有機EL素子の封止、貼合が終了する。   After adhering and sealing the periphery of the substrate by predetermined heating, the heaters 104 and the elastic member 102 are then pulled back to their original positions by driving the cylinders 105 and 103, and the decompression of the vacuum chamber 101 is released. (FIG. 1 (g)), sealing and pasting of the organic EL element are completed.

図1(f)の状態では、二つの基板及び封止材によって遮断された封止空間Pは真空チャンバーと同じ真空度を有しているが、真空チャンバーの減圧が解除され周囲の圧が上昇すると、この封止空間Pの減圧度は、その封止空間の容積等の因子により稍異なりはするものの、少し上昇するが、基本的には、この上昇は僅かであり、外圧と封止空間との大きな圧力差が維持され、これによって第一基板上の有機層、第二基板上の有機層の密着が均一、かつ緊密に行われる。   In the state of FIG. 1 (f), the sealed space P blocked by the two substrates and the sealing material has the same degree of vacuum as the vacuum chamber, but the vacuum pressure is released and the surrounding pressure rises. Then, the degree of decompression of the sealed space P slightly increases depending on factors such as the volume of the sealed space, but basically increases slightly. The organic layer on the first substrate and the organic layer on the second substrate are in close contact with each other uniformly and tightly.

本発明においては、減圧下(例えば10kPa)で有機EL素子を封止(有機層部を密閉)するため、例えば、図1(f)の状態では、二つの基板及び封止材料によって遮断された封止空間Pは真空チャンバーと同じ真空度を有しているが、大気中に戻すことで、減圧下で封止する際に、有機層の密閉空間内の気体(例えば空気)の残り方によって、大気圧に戻したとき、大気圧に押されて内容積が変わるので、内圧が変わり一般に気圧が少し上昇するものの(例えば、〜50kPa)、前記有機層が含まれる封止空間部分の内圧と、外圧(大気圧)との圧力差は−50〜−100kPaの範囲にあり、基本的には、大気圧とのこの差圧により第一、第二基板が均一に押され密着されるので、有機層間のキャリア移動に好ましい密着状態を得ることが出来る。   In the present invention, in order to seal the organic EL element under reduced pressure (for example, 10 kPa) (the organic layer portion is sealed), for example, in the state of FIG. The sealed space P has the same degree of vacuum as the vacuum chamber. However, when sealed under reduced pressure by returning it to the atmosphere, depending on how the gas (for example, air) remains in the sealed space of the organic layer. When the pressure is returned to the atmospheric pressure, the internal volume is changed by being pushed by the atmospheric pressure, so the internal pressure changes and generally the atmospheric pressure is slightly increased (for example, ~ 50 kPa), but the internal pressure of the sealed space portion containing the organic layer is The pressure difference from the external pressure (atmospheric pressure) is in the range of −50 to −100 kPa. Basically, the first and second substrates are uniformly pressed and adhered by this differential pressure from the atmospheric pressure. Get good adhesion for carrier movement between organic layers It can be.

図1(h)は取り出した有機EL素子の断面図及びこれを上面から見た図を示す。有機層周囲に配置された封止材(接着剤或いは接着シート)により基板同士が接着され有機層同士が貼合されて有機EL素子が封止、形成されている。   FIG. 1 (h) shows a cross-sectional view of the extracted organic EL element and a view of the organic EL element viewed from above. The substrates are bonded to each other by a sealing material (adhesive or adhesive sheet) disposed around the organic layer, and the organic layers are bonded to each other to seal and form the organic EL element.

また、上記製造において、真空中における、熱硬化性接着シートによる接着、封止においては、一度に周囲を接着するよりも、基板上に配置された熱硬化性シートの予め対向する一対の辺を熱により圧着して接着した後、残り一対の辺を接合、閉塞して封止することが、均一な圧着を行う上で好ましい。   In addition, in the above production, in bonding and sealing with a thermosetting adhesive sheet in a vacuum, rather than bonding the periphery at once, a pair of opposite sides of the thermosetting sheet arranged on the substrate in advance. It is preferable that the remaining pair of sides are bonded, closed, and sealed after heat-bonding and bonding for uniform pressing.

この為には、ヒータは、少なくとも一対の辺毎に個別のシリンダで駆動できるようにすることが好ましい。   For this purpose, it is preferable that the heater can be driven by an individual cylinder at least for each pair of sides.

これらの貼合封止プロセスにおいて、第一基板及び、第二基板は共にガラス製基板でもよいが、少なくとも一方はフレキシブルな基板であることが好ましく、上記において、第一基板をガラス製基板とし第二基板をフレキシブルなフィルムとすることで、非接触で、より均一に貼合すべき有機層間に、圧を加えることができ、均一な密着、貼合、封止を行うことができる。   In these bonding and sealing processes, the first substrate and the second substrate may both be glass substrates, but at least one of them is preferably a flexible substrate. In the above, the first substrate is a glass substrate. By using two substrates as flexible films, pressure can be applied between the organic layers to be bonded more uniformly without contact, and uniform adhesion, bonding, and sealing can be performed.

また、前記の真空貼合装置は、第一基板、第二基板の少なくとも一方、例えば、図1の場合においては、第二基板をフレキシブル基板(例えばプラスチックフィルムからなる基材)とすれば、第二基板を、帯状に連続供給して(図1の平面に向かって例えば左から、右に)、個別に形成された第一基板上に電極、有機層を形成した有機EL部材Aと、順次貼合、封止を行って、有機EL素子を形成することが出来る。   Moreover, the said vacuum bonding apparatus is the 1st board | substrate, at least one of the 2nd board | substrate, for example, in the case of FIG. 1, if a 2nd board | substrate is made into a flexible board | substrate (for example, base material consisting of a plastic film) The two substrates are continuously supplied in a strip shape (for example, from the left to the right toward the plane of FIG. 1), and the organic EL member A in which an electrode and an organic layer are formed on the first substrate formed individually, and sequentially An organic EL element can be formed by pasting and sealing.

このように、第一基板、第二基板の少なくとも一方を帯状フレキシブル基板とすることで、これを連続供給して有機EL素子の生産性を向上させることが出来る。   Thus, by using at least one of the first substrate and the second substrate as a band-shaped flexible substrate, it can be continuously supplied to improve the productivity of the organic EL element.

本発明においては、第一基板又は第二基板の少なくとも一方に防湿層を有することが、封止の効果を持続させる上で好ましい。   In the present invention, it is preferable to have a moisture-proof layer on at least one of the first substrate and the second substrate in order to maintain the sealing effect.

防湿層としては、水蒸気、酸素等、ガスバリア性を有する材料で構成される層であれば、限定されないが、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等のセラミック蒸着層、また、これらのセラミック層と衝撃緩和ポリマー層を交互に積層した構成を有する防湿層、また、金属箔、例えば銅(Cu)箔、アルミニウム(Al)箔、等のラミネート層(6〜50μm厚)等があげられ、これらの防湿層を第一電極或いは第二電極層の有機層と反対側(外側)に有することが好ましい。   The moisture-proof layer is not limited as long as it is a layer made of a material having gas barrier properties such as water vapor, oxygen, etc. For example, a ceramic vapor-deposited layer such as silicon oxide and aluminum oxide, and these ceramic layers and impact relaxation Moisture-proof layers having a structure in which polymer layers are alternately laminated, and laminate layers (6 to 50 μm thick) such as metal foils such as copper (Cu) foil and aluminum (Al) foil, etc. Is preferably provided on the opposite side (outside) of the organic layer of the first electrode or the second electrode layer.

それには、これらの防湿層を有するフィルムを基板として用いればよく、これら防湿層を有するフィルムとして、代表的には、例えば、PETフィルム等の樹脂フィルム基材(10〜200μm)上に上記セラミック層を蒸着形成したもの、また、金属箔等に、例えばポリエチレン系樹脂フィルムをラミネートしたもの等があげられる。   For this purpose, a film having these moisture-proof layers may be used as a substrate. As a film having these moisture-proof layers, typically, for example, the ceramic layer is formed on a resin film substrate (10 to 200 μm) such as a PET film. Or a metal foil or the like laminated with, for example, a polyethylene resin film.

蒸着層を有するフィルムとしては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等を蒸着した樹脂フィルムが上市されており、例えば凸版印刷製GXフィルム等を入手することができる。また、金属箔の片面をポリマー膜でコーティングした金属ラミネートフィルムは、包装材用に市販されている。例えば、接着剤層/アルミフィルム9μm/ポリエチレンテレフタレート(PET)38μmの構成のドライラミネートフィルム(接着剤層としては2液反応型のウレタン系接着剤、厚みは1.5μm)がある。   As a film having a vapor deposition layer, a resin film on which silicon oxide, aluminum oxide, or the like is vapor-deposited is marketed. For example, a letterpress printing GX film can be obtained. Moreover, the metal laminated film which coated the single side | surface of metal foil with the polymer film is marketed for packaging materials. For example, there is a dry laminate film (adhesive layer / aluminum film 9 μm / polyethylene terephthalate (PET) 38 μm) (a two-component reaction type urethane adhesive having an adhesive layer thickness of 1.5 μm).

従って、これらを、基板、基材のいずれかとして用いることで、防湿層を組み込むことが出来、封止による防湿効果を向上させることが出来る。   Therefore, by using these as either a substrate or a substrate, a moisture-proof layer can be incorporated, and the moisture-proof effect by sealing can be improved.

本発明の貼合による有機EL素子のもう一つの製造例を図2に基づいて示す。   Another production example of the organic EL element by bonding according to the present invention is shown based on FIG.

図2(a)は、前記同様に第一電極11、有機層12を有する第一基板(有機EL部材A)及び第二電極21、有機層22を有する第二基板(有機EL部材B)をそれぞれ示している。図2(b)は、有機EL部材Aの有機層の周囲に、封止材Sとして熱硬化性接着シートを配置して、有機EL部材A及び有機EL部材Bを、互いにそれぞれの有機層同士を対向させ積層し、更に、有機EL部材Bの第二基板の、有機層の反対側(外側)から封止部材3を積層し、仮貼合したところを示す。   2A shows the first substrate 11 (organic EL member A) having the first electrode 11 and the organic layer 12 and the second substrate 21 (organic EL member B) having the second electrode 21 and the organic layer 22 as described above. Each is shown. FIG. 2B shows a case where a thermosetting adhesive sheet is disposed as the sealing material S around the organic layer of the organic EL member A, and the organic EL member A and the organic EL member B are connected to each other. The sealing member 3 is laminated | stacked from the opposite side (outside) of the organic layer of the 2nd board | substrate of the organic electroluminescent member B, and the place bonded temporarily is shown.

封止用部材3は、水蒸気また酸素等ガスバリア性の高いフレキシブルなプラスチックシート乃至フィルムである。前記の防湿層を有する樹脂フィルムが好ましい。例えば、凸版印刷製のGXフィルム等のPETを基材とした蒸着フィルム等が挙げられる。   The sealing member 3 is a flexible plastic sheet or film having a high gas barrier property such as water vapor or oxygen. A resin film having the moisture-proof layer is preferred. For example, the vapor deposition film etc. which used PET as a base material, such as letterpress printing GX film, are mentioned.

第一基板をガラス等のガスバリア性基材で構成すれば、このような封止用部材3を用いることで、有機EL素子を外気から効率よく封止して水蒸気や酸素等の劣化性ガスの影響を抑えることが出来る。   If the first substrate is composed of a gas-barrier base material such as glass, the sealing member 3 can be used to efficiently seal the organic EL element from the outside air and prevent deterioration gases such as water vapor and oxygen. The influence can be suppressed.

次いで、熱硬化性接着シートを配置した、第一電極11、有機層12を有する第一基板1、及び同じく第二電極21、有機層22を有する第二基板2、そして封止用部材3を積層、仮貼合したものを、図1(c)で示したものと同じ真空貼合装置の真空チャンバー101中に載置する(図2(c))。   Next, the first electrode 11, the first substrate 1 having the organic layer 12, the second electrode 21, the second substrate 2 having the organic layer 22, and the sealing member 3, each having a thermosetting adhesive sheet, are disposed. The laminated and temporarily bonded ones are placed in the vacuum chamber 101 of the same vacuum bonding apparatus as shown in FIG. 1 (c) (FIG. 2 (c)).

真空貼合装置は、貼合しようとする有機EL部材A及び有機EL部材Bの積層体を載置する真空チャンバー(架台含む)101及び押圧用の弾性部材102、これを駆動するシリンダ103を備えている。弾性部材はシリコンゴム、シリコンスポンジの様な弾性のある材料で表面が構成された押圧板であり、シリンダ103は、該シリンダにより弾性部材102を昇降させ、これにより積層体を裏面から圧着、積層体間の気体を押し逃がし、また、積層体を架台との間に密着固定することができる。   The vacuum bonding apparatus includes a vacuum chamber (including a gantry) 101 on which a laminate of the organic EL member A and the organic EL member B to be bonded is placed, an elastic member 102 for pressing, and a cylinder 103 that drives the vacuum chamber. ing. The elastic member is a pressing plate whose surface is made of an elastic material such as silicon rubber or silicon sponge, and the cylinder 103 raises and lowers the elastic member 102 by the cylinder, whereby the laminate is pressed and laminated from the back surface. The gas between the bodies can be pushed and escaped, and the laminate can be fixed tightly between the gantry.

また、封止材S(熱硬化性接着剤シート)と略同一の形状に、有機層の周囲を取り囲むように配置されたヒータ104が備えられている。ヒータ104もまた、シリンダ105を備え、該シリンダによりヒータを昇降させ、封止用部材裏面にヒータを圧着して、加熱できる機能を備えている。また、真空チャンバー101は、密閉した後、図示されていない減圧装置によって排気が可能であり、真空チャンバーを外気から遮断して減圧に出来る構造となっている。   Moreover, the heater 104 arrange | positioned so that the circumference | surroundings of an organic layer may be enclosed in the shape substantially the same as the sealing material S (thermosetting adhesive sheet) is provided. The heater 104 also includes a cylinder 105 and has a function of heating by raising and lowering the heater with the cylinder and pressing the heater against the back surface of the sealing member. In addition, the vacuum chamber 101 can be evacuated by a decompression device (not shown) after being sealed, and has a structure in which the vacuum chamber can be decompressed by blocking it from the outside air.

封止用部材3と積層されて有機EL部材A及び有機EL部材Bは、真空チャンバー101中に載置されると(図2(c))、次に、シリンダ103の駆動により弾性部材102が降下して、所定の圧力で第二基板の背面に積層された封止用部材3の背面に押し当てられ、第一基板上の有機層12と第二基板上の有機層22が密着されたまま固定される(図2(d))。   When the organic EL member A and the organic EL member B laminated with the sealing member 3 are placed in the vacuum chamber 101 (FIG. 2C), the elastic member 102 is then driven by driving the cylinder 103. Lowered and pressed against the back surface of the sealing member 3 laminated on the back surface of the second substrate with a predetermined pressure, and the organic layer 12 on the first substrate and the organic layer 22 on the second substrate were brought into close contact with each other. It is fixed as it is (FIG. 2 (d)).

次に、真空チャンバー101は閉じられて、外気から遮断され、0〜50kPaの圧力まで排気される(図2(e))。この段階で、有機層近傍、有機層界面内は真空チャンバー内と同じ圧力となっている。   Next, the vacuum chamber 101 is closed, cut off from the outside air, and evacuated to a pressure of 0 to 50 kPa (FIG. 2 (e)). At this stage, the pressure in the vicinity of the organic layer and the interface between the organic layers is the same as that in the vacuum chamber.

この外気から遮断され、真空度が0〜50kPaに維持された状態で、次に、シリンダ105を駆動して、ヒータ104を降下させて、封止用部材3の背面から封止材S(熱硬化性接着シート)を加熱、圧着して硬化接着に必要なエネルギーを付与する(図2(f))。熱硬化性接着シートを用いる場合、温度は50〜100℃の範囲、また圧力としては0.05〜0.20Pa、又時間は1〜10秒程度でよい。この工程により、有機EL部材A及び有機EL部材Bの有機層同士が密着した状態で、封止用部材3と第一基板が熱硬化性接着シートにより接着される。   Next, the cylinder 105 is driven and the heater 104 is lowered while the vacuum is maintained at 0 to 50 kPa from the outside air, and the sealing material S (heat The curable adhesive sheet) is heated and pressure-bonded to give energy necessary for the curing and bonding (FIG. 2 (f)). When using a thermosetting adhesive sheet, the temperature may be in the range of 50 to 100 ° C., the pressure may be 0.05 to 0.20 Pa, and the time may be about 1 to 10 seconds. By this step, the sealing member 3 and the first substrate are bonded by the thermosetting adhesive sheet in a state where the organic layers of the organic EL member A and the organic EL member B are in close contact with each other.

封止材による接合、接着は、基板周囲の予め対向する一対の辺を接合してから、減圧下で残り一対の辺を接合、閉塞することが有機層間の密着を向上させる観点で好ましく、ヒータブロックをこのように別に駆動できるようにしておき、2段階で接着することは好ましい。   For the bonding and adhesion by the sealing material, it is preferable from the viewpoint of improving the adhesion between the organic layers that the pair of opposite sides around the substrate is bonded in advance and the remaining pair of sides is bonded and closed under reduced pressure. It is preferable to allow the blocks to be driven separately in this way and to bond them in two stages.

いずれにしても、ヒータ104の圧着、加熱により封止用部材3と第一基板との接着で封止が行われ、同時に有機EL部材A及び有機EL部材Bの有機層同士が密着、貼合された有機EL素子が形成される。   In any case, sealing is performed by bonding the sealing member 3 and the first substrate by pressure bonding and heating of the heater 104, and the organic layers of the organic EL member A and the organic EL member B are adhered and bonded at the same time. The formed organic EL element is formed.

次いでシリンダ103、105を駆動して、弾性部材102、ヒータ104を上昇させ、それぞれ元の位置にまで戻したのち、更に減圧を解除して(図2(g))、有機EL素子の封止、貼合は完了する。   Next, the cylinders 103 and 105 are driven to raise the elastic member 102 and the heater 104 and return them to their original positions. Then, the decompression is released (FIG. 2G), and the organic EL element is sealed. Bonding is complete.

図2(h)は取り出した有機EL素子の断面図及びこれを上面から見た図を示す。有機層周囲に配置された接着剤により基板同士が接着され有機層同士が貼合されて有機EL素子が封止、形成されている。   FIG. 2 (h) shows a cross-sectional view of the extracted organic EL element and a view of the organic EL element viewed from above. The substrates are bonded to each other by an adhesive disposed around the organic layer, and the organic layers are bonded to each other, thereby sealing and forming the organic EL element.

封止用部材としては、例えば金属蒸着フィルムのようなフレキシブルなガスバリア性樹脂フィルムを用いることができ、第一基板が、例え、ガラス等の剛直な基板であっても均一な圧が有機層間に適用されるため、より有機層間の密着がよく、貼合した層間でのキャリア移動にムラが少なく、均一な素子が得られる。また、封止用部材は連続供給することが出来るために、素子の連続生産性にも優れる。   As the sealing member, for example, a flexible gas barrier resin film such as a metal vapor deposition film can be used. Even if the first substrate is a rigid substrate such as glass, a uniform pressure is applied between the organic layers. Since it is applied, the adhesion between the organic layers is better, the carrier movement between the bonded layers is less uneven, and a uniform element can be obtained. In addition, since the sealing member can be continuously supplied, the continuous productivity of the element is also excellent.

第一の基板上に形成した第1の有機層と第二の基板上に形成した第2の有機層とをより、均一に貼り合わせるために弾性部材により圧着した状態で加熱処理を行うことも好ましい。加熱方法としては、弾性部材に加温機能を付与、また、真空チャンバーに備えられた架台にヒータを付与(ホットプレート)してもよい。   In order to more uniformly bond the first organic layer formed on the first substrate and the second organic layer formed on the second substrate, heat treatment may be performed in a state where the first organic layer is bonded by an elastic member. preferable. As a heating method, a heating function may be imparted to the elastic member, or a heater may be imparted (hot plate) to a gantry provided in the vacuum chamber.

加熱温度は、用いるどの有機層の融点よりも低く、一般に80〜160℃程度である有機層を構成する有機材料の軟化温度ないしガラス転移温度のうち最も低い温度よりも低い温度であり、0℃以上80℃以下、更に言えば40℃以上80℃以下が好ましい。温度の制御性からは40℃以上であることが好ましい。   The heating temperature is lower than the lowest temperature among the softening temperature or glass transition temperature of the organic material constituting the organic layer which is lower than the melting point of any organic layer used and is generally about 80 to 160 ° C., and is 0 ° C. It is preferably 80 ° C. or lower, more preferably 40 ° C. or higher and 80 ° C. or lower. In view of temperature controllability, the temperature is preferably 40 ° C or higher.

また、第一基板、また第二基板上に有機層をそれぞれ形成したのち、各有機層の表面は、プリベーク処理をすると好ましい。プリベーク処理により有機層中に含まれる溶媒をある程度飛ばすことができる。貼合時の加熱よりも低い温度で短い時間加熱乾燥する。貼り合わせ前にプリベーク処理によって予めある程度の溶媒を飛ばしておくことは、特に広面積素子において効果的である。プリベーク処理の加熱温度は、貼合時の加熱処理と同様の理由により、用いるどの有機層の融点よりも低く、軟化温度ないしガラス転移温度のうち最も低い温度よりも低い温度であることが好ましい。プリベーク処理は、両方の有機層表面に対して行うが、場合によっては片面であってもよい。加熱方法としては、オーブン乾燥、ホットプレート乾燥、真空乾燥等が使用できる。   Moreover, after forming an organic layer on a 1st board | substrate and a 2nd board | substrate, respectively, it is preferable when the surface of each organic layer is prebaked. The solvent contained in the organic layer can be skipped to some extent by the pre-baking treatment. Heat drying for a short time at a temperature lower than the heating at the time of bonding. It is particularly effective for a large area element to remove a certain amount of solvent in advance by pre-baking before bonding. The heating temperature for the pre-bake treatment is preferably lower than the melting point of any organic layer to be used and lower than the lowest temperature among the softening temperature or glass transition temperature for the same reason as the heat treatment at the time of bonding. The pre-bake treatment is performed on the surfaces of both organic layers, but may be single-sided in some cases. As the heating method, oven drying, hot plate drying, vacuum drying, or the like can be used.

また、両基板の表示部周囲に適用して、基板同士を接着する封止材は、防湿性であることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the sealing material which adhere | attaches board | substrates by applying to the display part periphery of both board | substrates is moisture proof.

前記封止材としては、接着剤、例えば、ガラス、また、プラスチック基板等に対して一般に使用されている接着剤を制限なしに用いることができる。   As said sealing material, the adhesive agent, for example, the adhesive agent generally used with respect to glass, a plastic substrate, etc. can be used without a restriction | limiting.

特に好ましい接着剤としては、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤等を挙げることが出来る。中でも硬化時の収縮が小さいエポキシ系接着剤は好ましい。   Particularly preferred adhesives include acrylic adhesives and epoxy adhesives. Among them, an epoxy adhesive having a small shrinkage upon curing is preferable.

エポキシ系接着剤は、主剤としてのエポキシ樹脂と、硬化剤からなり、エポキシ基を含有する化合物(主剤)と、アミン類や酸無水物を含有する硬化剤とを混ぜ合わせ、硬化反応によって接着する接着剤をいう。   Epoxy adhesives consist of an epoxy resin as the main agent and a curing agent. A compound containing the epoxy group (main agent) and a curing agent containing amines or acid anhydrides are mixed together and bonded by a curing reaction. Refers to adhesive.

エポキシ基を含有する化合物には、上記のように、ビスフェノールA型などがあり、また、硬化剤としては、アミン類がよく用いられる。   The compound containing an epoxy group includes a bisphenol A type as described above, and amines are often used as a curing agent.

これらの接着剤は、ポッティング、塗布、噴射、印刷等、特に制限なく基板上に設けることができ、紫外線、電子線等のエネルギー線、また熱の照射により重合硬化させることができる。   These adhesives can be provided on the substrate without particular limitation such as potting, coating, spraying, printing, etc., and can be polymerized and cured by irradiation with energy rays such as ultraviolet rays and electron beams, and heat.

また、加熱を受けると三次元網状化するビスフェノール系グリシジル型エポキシ樹脂及び熱硬化型接着成分からなる熱活性型エポキシ樹脂硬化剤も好ましい。   Also preferred is a thermoactive epoxy resin curing agent comprising a bisphenol-based glycidyl type epoxy resin and a thermosetting adhesive component that are three-dimensionally reticulated when heated.

封止材として用いる接着剤は、紫外線硬化型の接着剤であってもよい。熱硬化型の接着剤において硬化温度が素子の特性に影響を与える場合、紫外線、電子線等のエネルギー線により重合硬化する活性光線硬化型の接着剤が好ましい。この場合、アクリル系接着剤等を用いることができ、具体例としては、株式会社スリーボンド社製、3003、3027B、3033B、3042B等、また、セメダイン株式会社製、セメダインY600、Y600H等が挙げられる。   The adhesive used as the sealing material may be an ultraviolet curable adhesive. When the curing temperature affects the characteristics of the element in the thermosetting adhesive, an actinic ray curable adhesive that is polymerized and cured by energy rays such as ultraviolet rays and electron beams is preferable. In this case, an acrylic adhesive or the like can be used, and specific examples include Three Bond Co., Ltd., 3003, 3027B, 3033B, 3042B, etc., and Cemedine Co., Ltd., Cemedine Y600, Y600H.

紫外線硬化型接着剤の場合、真空貼合装置に、第一基板或いは第二基板又は封止用部材等の背面から紫外線を照射できるような光源を具備させる。接着は、例えば、10〜100mW/cm2程度の光量で基板越しに1〜30秒間の範囲で照射しして硬化させればよい。In the case of an ultraviolet curable adhesive, the vacuum bonding apparatus is provided with a light source that can irradiate ultraviolet rays from the back surface of the first substrate, the second substrate, or the sealing member. For example, the adhesive may be cured by irradiating the substrate with a light amount of about 10 to 100 mW / cm 2 in a range of 1 to 30 seconds.

なお、本願明細書における「紫外領域(の光)」とは、250nm〜400nmの範囲に波長を有する光をいい、高圧水銀灯やハロゲンランプにより得られる。   In the present specification, “ultraviolet region (light)” refers to light having a wavelength in the range of 250 nm to 400 nm, and is obtained by a high-pressure mercury lamp or halogen lamp.

これらの接着剤は、塗布或いは印刷等のプロセスによって、基板上に適用されるが、また、封止材として、予め形成された熱硬化性接着シートやホットメルト型接着剤等を用いることができる。例えば、住友スリーエム製TBFシリーズ、そのうちでもTBF560等の低温接着タイプの熱硬化性接着シートが挙げられ、これらのシートを所望の形状に断裁して基板上に配置する方法で封止材を基板上に適用することが出来るので好ましい。   These adhesives are applied onto the substrate by a process such as coating or printing, and a pre-formed thermosetting adhesive sheet or hot melt adhesive can be used as the sealing material. . For example, TBF series made by Sumitomo 3M, among them, low-temperature adhesive type thermosetting adhesive sheets such as TBF560, etc. are mentioned, and these sheets are cut into a desired shape and placed on the substrate by sealing the sealing material on the substrate It is preferable because it can be applied.

また、本発明の貼合による有機EL素子の製造においては、吸湿部材を基板上に設け、これを封止領域内に存在させることで、素子空間内の水分を吸着させ素子劣化を抑制することができる。例えば、酸化カルシウムやゼオライト等の粉末状の吸湿部材を例えば表示部周辺の基材上に貼り付ける等の方法がとられている。吸湿部材は、どちらの基材上に設けてもよい。封止材の配置時に、吸湿部材も例えば、有機層周囲の領域に配置すればよい。図3に、吸湿部材Dを封止空間内部有機層周囲(有機層周囲)に配置した有機EL素子例を示す。   Moreover, in the manufacture of the organic EL element by the bonding of the present invention, a moisture absorbing member is provided on the substrate and is present in the sealing region, thereby adsorbing moisture in the element space and suppressing element deterioration. Can do. For example, a method of sticking a powdery moisture absorbing member such as calcium oxide or zeolite on, for example, a substrate around the display unit is employed. The hygroscopic member may be provided on any base material. When the sealing material is arranged, the hygroscopic member may be arranged, for example, in a region around the organic layer. FIG. 3 shows an example of an organic EL element in which the hygroscopic member D is arranged around the organic layer around the sealed space (around the organic layer).

有機EL素子は、電極間に単数又は複数の有機層を積層した構造であり、例えば、陽極/正孔注入・輸送層/発光層/電子注入・輸送層/陰極等、最も単純には、陽極/発光層/陰極からなる構造であり、これら有機EL素子における各有機層、各薄膜の膜厚は、1nm〜数μmの範囲に亘るが、これらの有機層が第一基板そして第二基板上にそれぞれ分けて形成され、これを貼合することで、本発明の有機EL素子は形成される。   An organic EL element has a structure in which one or more organic layers are laminated between electrodes. For example, anode / hole injection / transport layer / light emitting layer / electron injection / transport layer / cathode, etc. The thickness of each organic layer and each thin film in these organic EL elements ranges from 1 nm to several μm, and these organic layers are on the first substrate and the second substrate. And the organic EL element of the present invention is formed by pasting them.

次いで本発明において基板上に形成される有機EL素子を構成する各有機層について説明する。   Next, each organic layer constituting the organic EL element formed on the substrate in the present invention will be described.

有機EL素子は、電極間に単数又は複数の有機層を積層した構造であり、例えば、陽極/正孔注入・輸送層/発光層/電子注入・輸送層/陰極等、最も単純には、陽極/発光層/陰極からなる構造を有し、これ以外にも電子阻止層、また正孔阻止層、またバッファー層等適宜必要な層が所定の層順で積層され、両極から注入された正孔及び電子等のキャリア移動がスムーズに行われるよう構成されている。   An organic EL element has a structure in which one or more organic layers are laminated between electrodes. For example, anode / hole injection / transport layer / light emitting layer / electron injection / transport layer / cathode, etc. / Emitter layer / Cathode structure, other than this, electron blocking layer, hole blocking layer, buffer layer, etc. In addition, carriers such as electrons can be moved smoothly.

有機EL素子を構成するこれら各有機層において、発光層中に含有される有機発光材料としては、カルバゾール、カルボリン、ジアザカルバゾール等の芳香族複素環化合物、トリアリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、ポリアリーレン、芳香族縮合多環化合物、芳香族複素縮合環化合物、金属錯体化合物等及びこれらの単独オリゴ体あるいは複合オリゴ体等があげられるが、これに限られるものではない。   In each of these organic layers constituting the organic EL device, the organic light emitting material contained in the light emitting layer includes aromatic heterocyclic compounds such as carbazole, carboline, diazacarbazole, triarylamine derivatives, stilbene derivatives, polyarylenes. Examples thereof include, but are not limited to, aromatic condensed polycyclic compounds, aromatic heterocondensed ring compounds, metal complex compounds, etc., and single oligo compounds or composite oligo compounds thereof.

また層中(成膜材料)には、好ましくは0.1〜20質量%程度のドーパントが発光材料中に含まれる。ドーパントとしては、ペリレン誘導体、ピレン誘導体等公知の蛍光色素等、また、リン光発光タイプの発光層の場合、例えば、トリス(2−フェニルピリジン)イリジウム、ビス(2−フェニルピリジン)(アセチルアセトナート)イリジウム、ビス(2,4−ジフルオロフェニルピリジン)(ピコリナート)イリジウム、などに代表されるオルトメタル化イリジウム錯体等の錯体化合物が同様に0.1〜20質量%程度含まれる。   The layer (film forming material) preferably contains about 0.1 to 20% by mass of a dopant in the light emitting material. Examples of the dopant include known fluorescent dyes such as perylene derivatives and pyrene derivatives, and in the case of phosphorescent light emitting layers, for example, tris (2-phenylpyridine) iridium, bis (2-phenylpyridine) (acetylacetonate). A complex compound such as an orthometalated iridium complex represented by iridium, bis (2,4-difluorophenylpyridine) (picolinato) iridium, and the like is similarly contained in an amount of about 0.1 to 20% by mass.

リン光発光方式は、発光層内部に発光領域を持つためか、比較的発光ムラが起こりづらく、貼合法の最大の難点である接合界面でのムラや、キャリア移動が遅くなるという現象を起こしにくいため、本発明の貼合法との相性がよい。   The phosphorescence emission method has a light emitting region inside the light emitting layer, so it is relatively difficult to cause uneven light emission, and the phenomenon of unevenness at the bonding interface, which is the biggest difficulty of the bonding method, and the phenomenon of slow carrier movement are unlikely to occur. Therefore, compatibility with the bonding method of the present invention is good.

正孔注入・輸送層としては、フタロシアニン誘導体、ヘテロ環アゾール類、芳香族三級アミン類、ポリビニルカルバゾール、ポリエチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(PEDOT:PSS)などに代表される導電性高分子等の高分子材料、また、発光層に用いられる、例えば、4,4′−ジカルバゾリルビフェニル、1,3−ジカルバゾリルベンゼン等のカルバゾール系発光材料、(ジ)アザカルバゾール類、1,3,5−トリピレニルベンゼンなどのピレン系発光材料に代表される低分子発光材料、ポリフェニレンビニレン類、ポリフルオレン類、ポリビニルカルバゾール類などに代表される高分子発光材料などが挙げられる。   As the hole injection / transport layer, conductive polymers represented by phthalocyanine derivatives, heterocyclic azoles, aromatic tertiary amines, polyvinyl carbazole, polyethylenedioxythiophene / polystyrene sulfonic acid (PEDOT: PSS), etc. In addition, for example, carbazole-based light-emitting materials such as 4,4′-dicarbazolylbiphenyl and 1,3-dicarbazolylbenzene, (di) azacarbazoles, , 3,5-tripyrenylbenzene, and the like, and low molecular light emitting materials typified by pyrene-based luminescent materials, polyphenylene vinylenes, polyfluorenes, polyvinyl carbazoles, and the like.

電子注入・輸送層材料としては、8−ヒドロキシキノリナートリチウム、ビス(8−ヒドロキシキノリナート)亜鉛等の金属錯体化合物もしくは以下に挙げられる含窒素五員環誘導体がある。即ち、オキサゾール、チアゾール、オキサジアゾール、チアジアゾールもしくはトリアゾール誘導体が好ましい。具体的には、2,5−ビス(1−フェニル)−1,3,4−オキサゾール、2,5−ビス(1−フェニル)−1,3,4−チアゾール、2,5−ビス(1−フェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−(4′−tert−ブチルフェニル)−5−(4″−ビフェニル)1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、1,4−ビス[2−(5−フェニルオキサジアゾリル)]ベンゼン、1,4−ビス[2−(5−フェニルオキサジアゾリル)−4−tert−ブチルベンゼン]、2−(4′−tert−ブチルフェニル)−5−(4″−ビフェニル)−1,3,4−チアジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−チアジアゾール、1,4−ビス[2−(5−フェニルチアジアゾリル)]ベンゼン、2−(4′−tert−ブチルフェニル)−5−(4″−ビフェニル)−1,3,4−トリアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−トリアゾール、1,4−ビス[2−(5−フェニルトリアゾリル)]ベンゼン等が挙げられる。   Examples of the electron injection / transport layer material include metal complex compounds such as 8-hydroxyquinolinate lithium and bis (8-hydroxyquinolinate) zinc, and nitrogen-containing five-membered ring derivatives listed below. That is, oxazole, thiazole, oxadiazole, thiadiazole or triazole derivatives are preferred. Specifically, 2,5-bis (1-phenyl) -1,3,4-oxazole, 2,5-bis (1-phenyl) -1,3,4-thiazole, 2,5-bis (1 -Phenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2- (4′-tert-butylphenyl) -5- (4 ″ -biphenyl) 1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis ( 1-naphthyl) -1,3,4-oxadiazole, 1,4-bis [2- (5-phenyloxadiazolyl)] benzene, 1,4-bis [2- (5-phenyloxadiazolyl) -4-tert-butylbenzene], 2- (4'-tert-butylphenyl) -5- (4 "-biphenyl) -1,3,4-thiadiazole, 2,5-bis (1-naphthyl) -1 , 3,4-thiadiazole, 1,4-bis [2- (5-phenyl) Asiazolyl)] benzene, 2- (4′-tert-butylphenyl) -5- (4 ″ -biphenyl) -1,3,4-triazole, 2,5-bis (1-naphthyl) -1,3,4 -Triazole, 1,4-bis [2- (5-phenyltriazolyl)] benzene and the like.

有機EL素子、各有機層の膜厚は、0.05〜0.3μm程度必要であり、好ましくは0.1〜0.2μm程度である。   The film thickness of the organic EL element and each organic layer is required to be about 0.05 to 0.3 μm, and preferably about 0.1 to 0.2 μm.

本発明の有機層の形成方法としては塗布及び印刷等が好ましい。
塗布は、スピン塗布、転写塗布、イクストリュージョン塗布等が使用できる。材料使用効率を考慮すると、転写塗布、イクストリュージョン塗布のようなパターン塗布できる方法が好ましく、特に転写塗布が好ましい。
As the method for forming the organic layer of the present invention, coating and printing are preferred.
As the coating, spin coating, transfer coating, extrusion coating and the like can be used. In consideration of the material use efficiency, a method capable of applying a pattern such as transfer coating and extrusion coating is preferable, and transfer coating is particularly preferable.

また、印刷は、スクリーン印刷、オフセット印刷、インクジェット印刷等が使用できる。表示素子としては膜が薄く、素子サイズが微小で、RGBのパターンの重ね等を考慮すると、オフセット印刷、インクジェット印刷のような高精度高精細印刷が好ましい。   Moreover, screen printing, offset printing, inkjet printing, etc. can be used for printing. As the display element, a thin film, a small element size, and high-precision high-definition printing such as offset printing and inkjet printing are preferable in consideration of overlapping RGB patterns.

各有機材料には溶解特性(溶解パラメータやイオン化ポテンシャル、極性)がそれぞれにあり、溶解できる溶媒には限定がある。またその際には溶解度もそれぞれ違うため、一概に濃度も決めることができないが、本発明において用いられる溶媒の種類は、成膜しようとする有機EL材料に応じて、前記の条件に適ったものを、公知の溶媒から選択すればよく、例えば、ジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロホルム、四塩化炭素、テトラクロロエタン、トリクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、クロロトルエン等のハロゲン系炭化水素系溶媒や、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、アニソールなどのエーテル系溶媒、メタノールや、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、シクロヘキサノール、2−メトキシエタノール、エチレングリコール、グリセリン等のアルコール系溶媒、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶媒、ヘキサン、オクタン、デカン、テトラリン等のパラフィン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミルなどのエステル系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン系溶媒、ピリジン、キノリン、アニリン等のアミン系溶媒、アセトニトリル、バレロニトリル等のニトリル系溶媒、チオフェン、二硫化炭素などの硫黄系溶媒が挙げられる。   Each organic material has its own solubility characteristics (solubility parameters, ionization potential, polarity), and there are limitations on the solvents that can be dissolved. In this case, since the solubility is different from each other, the concentration cannot be generally determined. However, the type of the solvent used in the present invention is suitable for the above conditions depending on the organic EL material to be formed. May be selected from known solvents, for example, halogenated hydrocarbon solvents such as dichloromethane, dichloroethane, chloroform, carbon tetrachloride, tetrachloroethane, trichloroethane, chlorobenzene, dichlorobenzene, chlorotoluene, dibutyl ether, tetrahydrofuran, Ether solvents such as dioxane and anisole, alcohol solvents such as methanol, ethanol, isopropanol, butanol, cyclohexanol, 2-methoxyethanol, ethylene glycol, glycerin, benzene, toluene, xylene, ethylben Aromatic hydrocarbon solvents such as hexane, paraffin solvents such as hexane, octane, decane and tetralin, ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate and amyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide Amide solvents such as N-methylpyrrolidone, ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone and isophorone, amine solvents such as pyridine, quinoline and aniline, nitrile solvents such as acetonitrile and valeronitrile, thiophene, carbon disulfide And sulfur-based solvents such as

尚、使用可能な溶媒は、これらに限るものではなく、これらを二種以上混合して溶媒として用いてもよい。   In addition, the solvent which can be used is not restricted to these, You may mix and use 2 or more types of these as a solvent.

これらのうち好ましい例としては、有機EL材料において、各機能層材料によっても異なるものの、大凡について、良溶媒としては、例えば芳香族系溶媒、ハロゲン系溶媒、エーテル系溶媒などであり、好ましくは、芳香族系溶媒、エーテル系溶媒である。また、貧溶媒として葉、アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、パラフィン系溶媒などが挙げられ、なかでもアルコール系溶媒、パラフィン系溶媒である。   Among these, preferable examples of the organic EL material are different depending on each functional layer material. However, as a good solvent, for example, an aromatic solvent, a halogen solvent, an ether solvent, and the like are preferable. Aromatic solvents and ether solvents. Examples of the poor solvent include leaves, alcohol solvents, ketone solvents, paraffin solvents, and the like. Among them, alcohol solvents and paraffin solvents are used.

電極材料としては、本発明においては予め、第一基板上に第一電極、また第二基板上に第二電極を形成しておくことが出来、これらを蒸着等最適のプロセスにより形成できる。   As the electrode material, in the present invention, the first electrode can be formed on the first substrate and the second electrode can be formed on the second substrate in advance, and these can be formed by an optimum process such as vapor deposition.

二つの電極のうち、正孔の注入を行う陽極に使用される導電性材料としては、4eVより大きな仕事関数をもつものが適しており、銀、金、白金、パラジウム等及びそれらの合金、酸化スズ、酸化インジウム、ITO等の酸化金属、さらにはポリチオフェンやポリピロール等の有機導電性樹脂が用いられる。透光性であることが好ましく、透明電極としてはITOが好ましい。ITO透明電極の形成方法としては、マスク蒸着またはフォトリソパターニング等が使用できるが、これに限られるものではない。   Of the two electrodes, those having a work function larger than 4 eV are suitable as the conductive material used for the anode for injecting holes, such as silver, gold, platinum, palladium, etc. and their alloys, oxidation Metal oxides such as tin, indium oxide and ITO, and organic conductive resins such as polythiophene and polypyrrole are used. It is preferable that it is translucent, and ITO is preferable as a transparent electrode. As a method for forming the ITO transparent electrode, mask vapor deposition or photolithography patterning can be used, but is not limited thereto.

また、陰極として使用される導電性物質としては、4eVより小さな仕事関数をもつものが適しており、マグネシウム、アルミニウム等。合金としては、マグネシウム/銀、リチウム/アルミニウム等が代表例として挙げられる。また、その形成方法は、マスク蒸着、フォトリソパターニング、メッキ、印刷等が使用できるが、これに限られるものではない。   As the conductive material used as the cathode, those having a work function smaller than 4 eV are suitable, such as magnesium and aluminum. Typical examples of the alloy include magnesium / silver and lithium / aluminum. The formation method can be mask vapor deposition, photolithography patterning, plating, printing, or the like, but is not limited thereto.

また、本発明において、基板としては、ガラス基板及び透明性樹脂フィルムが用いられる。透明性樹脂フィルムとしては、ポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリメチルメタアクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ナイロン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリサルホン、ポリエーテルサルフォン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリビニルフルオライド、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリビニリデンフルオライド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリウレタン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリプロピレン等が挙げられる。   In the present invention, a glass substrate and a transparent resin film are used as the substrate. Transparent resin films include polyethylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-vinyl alcohol copolymer, polypropylene, polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, nylon, polyether ether ketone. , Polysulfone, polyethersulfone, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, polyvinyl fluoride, tetrafluoroethylene-ethylene copolymer, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, polychlorotrifluoroethylene, Polyvinylidene fluoride, polyester, polycarbonate, polyurethane, polyimide, polyetherimide, polyimide, polypropylene, etc. It is.

また本発明の有機EL素子は、有機層のうち発光層をRGBのそれぞれ3色ごとにパターニングして構成し、駆動回路を組み込むことでフルカラー表示体とすることも出来る。   Further, the organic EL device of the present invention can be formed by patterning the light emitting layer for each of three colors of RGB among the organic layers, and incorporating a driving circuit into a full color display body.

以下真空貼合装置を用いた有機EL素子の製造について、具体的に説明するが、本発明はこれにより限定されるものではない。   Hereinafter, although manufacture of the organic EL element using a vacuum bonding apparatus is demonstrated concretely, this invention is not limited by this.

《陽極側部材の作製》
100mm×100mm×1.1mmのガラス基板上に、陽極としてITO(インジウムチンオキシド)を100nmの膜厚で成膜した透明支持基板を準備した。これをイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し,UVオゾン洗浄を更に五分間行った。
<< Production of anode side member >>
A transparent support substrate was prepared by depositing ITO (indium tin oxide) with a film thickness of 100 nm as an anode on a glass substrate of 100 mm × 100 mm × 1.1 mm. This was ultrasonically cleaned with isopropyl alcohol, dried with dry nitrogen gas, and further subjected to UV ozone cleaning for 5 minutes.

この透明支持基板上に、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)−ポリスチレンスルホン酸(PEDOT/PSS Bayer社製、Baytron P Al 4083)を純水で70%に希釈した溶液を3000rpm、30秒でスピンコート法により成膜した後、200℃で1時間乾燥し、膜厚30nmの正孔注入層を設けた。   On this transparent support substrate, a solution obtained by diluting poly (3,4-ethylenedioxythiophene) -polystyrenesulfonic acid (PEDOT / PSS Bayer, Baytron P Al 4083) to 70% with pure water, 3000 rpm, 30 seconds. After forming a film by spin coating, the film was dried at 200 ° C. for 1 hour to provide a hole injection layer having a thickness of 30 nm.

次に、この正孔注入層上に、PVK(ポリビニルカルバゾール)60mgとIr(ppy)3の1.5mgをジクロルベンゼンに溶解した溶液を同様にスピンコートで塗布、成膜後、60℃で1時間真空乾燥し、乾燥膜厚30nmの発光層を形成した。Next, a solution obtained by dissolving 60 mg of PVK (polyvinylcarbazole) and 1.5 mg of Ir (ppy) 3 in dichlorobenzene was similarly applied by spin coating on this hole injection layer, and after film formation, the film was heated at 60 ° C. Vacuum-dried for 1 hour to form a light emitting layer having a dry film thickness of 30 nm.

陰極側部材の作製
次いで、80mm×80mm×0.3mm厚のポリエーテルスルホン(PES)フィルムに陰極としてアルミニウム120nmを蒸着、続いて陰極バッファー層としてフッ化リチウム1nmを蒸着形成した。これを真空槽から窒素雰囲気下に移送し、スピンコーターにてBCP(20mg)をトルエン10mlに溶解した溶液を用い、1000rpm、30secの条件下、スピンコート(膜厚約10nm)、60℃で1時間真空乾燥し、電子輸送層を成膜した。
Preparation of cathode side member Next, 120 nm of aluminum was vapor-deposited as a cathode on a polyethersulfone (PES) film having a thickness of 80 mm × 80 mm × 0.3 mm, and then 1 nm of lithium fluoride was vapor-deposited as a cathode buffer layer. This was transferred from a vacuum chamber to a nitrogen atmosphere, and a solution obtained by dissolving BCP (20 mg) in 10 ml of toluene using a spin coater was spin-coated (film thickness of about 10 nm) at 60 ° C. under conditions of 1000 rpm and 30 sec. Vacuum drying was performed for a time to form an electron transport layer.

次に、この電子輸送層上に、PVK(60mg)と1.5mgのIr(ppy)をジクロロベンゼン6mlに溶解した溶液を同様にスピンコートで塗布、成膜後、60℃で1時間真空乾燥し、乾燥膜厚30mの発光層を形成した。Next, a solution obtained by dissolving PVK (60 mg) and 1.5 mg of Ir (ppy) 3 in 6 ml of dichlorobenzene was similarly applied by spin coating on this electron transport layer, and after film formation, vacuum was applied at 60 ° C. for 1 hour. It dried and formed the light emitting layer with a dry film thickness of 30 m.

以上で形成した、
有機EL部材A(陽極部材);
ガラス基板//ITO(陽極:100nm)//PEDOT/PSS(正孔注入層:膜厚30nm)//PVK+Ir(ppy)3(発光層:膜厚30nm)、
有機EL部材B(陰極部材);
ポリエーテルスルホン(PES)フィルム//アルミニウム(120nm)陰極/フッ化リチウム(1nm)陰極バッファー層//BCP(膜厚約10nm)電子輸送層//PVK(60mg)と1.5mgのIr(ppy)3(膜厚30nm)発光層、
を真空貼合装置を用いて図2に示す様に貼合した。
Formed above,
Organic EL member A (anode member);
Glass substrate // ITO (anode: 100 nm) // PEDOT / PSS (hole injection layer: film thickness 30 nm) // PVK + Ir (ppy) 3 (light emitting layer: film thickness 30 nm),
Organic EL member B (cathode member);
Polyethersulfone (PES) film // aluminum (120 nm) cathode / lithium fluoride (1 nm) cathode buffer layer // BCP (film thickness about 10 nm) electron transport layer // PVK (60 mg) and 1.5 mg Ir (ppy) ) 3 (film thickness 30 nm) light emitting layer,
Was bonded as shown in FIG. 2 using a vacuum bonding apparatus.

先ず、上記で作製した有機EL部材Aのガラス基板上の有機層周囲に熱硬化接着シートを配置し、更に、有機EL部材Bを有機EL部材Aとそれぞれの発光層が対向するように重ねて、更に封止用部材として防湿フィルムを陰極部材裏面側に積層し仮貼合した。図2(b)がこれを示す。Sはガラス基板上の有機層周囲を囲むように接着シートを断裁して配置したところ示す。尚、熱硬化接着シートは住友スリーエム社製熱硬化接着シートTBF560(エチレン−酢酸ビニル共重合体)を用いた。また、封止用部材である防湿フィルムとしては、セラミック蒸着フィルムである凸版印刷製、GXフィルムを用いた。封止用部材は、有機エレクトロルミネッセンス部材A(陽極部材)のガラス基板と略同じサイズ(100mm×100mm)とした。図2(b)にこの状態を示す。   First, a thermosetting adhesive sheet is disposed around the organic layer on the glass substrate of the organic EL member A produced above, and the organic EL member B is overlapped with the organic EL member A so that the respective light emitting layers face each other. Further, a moisture-proof film as a sealing member was laminated on the back side of the cathode member and temporarily bonded. FIG. 2 (b) shows this. S shows the adhesive sheet cut and arranged so as to surround the periphery of the organic layer on the glass substrate. As the thermosetting adhesive sheet, a thermosetting adhesive sheet TBF560 (ethylene-vinyl acetate copolymer) manufactured by Sumitomo 3M Limited was used. Moreover, as the moisture-proof film as a sealing member, a GX film manufactured by Toppan Printing, which is a ceramic vapor-deposited film, was used. The sealing member was substantially the same size (100 mm × 100 mm) as the glass substrate of the organic electroluminescence member A (anode member). FIG. 2B shows this state.

次に、上記の積層体を真空貼合装置の真空チャンバー101内の架台上に有機エレクトロルミネッセンス部材A(陽極部材)のガラス基板側を下にして載置、シリンダを駆動して弾性部材102を降下させ封止用部材3の背面側から押し当て有機層同士を密着させ積層体を固定した(図2(d))。同時に、真空チャンバーを外気から遮断し真空ポンプ(図示せず)にて排気して約1kPaの圧力まで真空度を上げた(図2(e))。   Next, the above laminate is placed on a base in the vacuum chamber 101 of the vacuum bonding apparatus with the glass substrate side of the organic electroluminescent member A (anode member) facing down, and the cylinder is driven to move the elastic member 102. The laminated body was fixed by pressing down from the back side of the sealing member 3 to bring the organic layers into close contact with each other (FIG. 2D). At the same time, the vacuum chamber was shut off from the outside air and evacuated with a vacuum pump (not shown) to raise the vacuum to a pressure of about 1 kPa (FIG. 2 (e)).

真空度を上記の範囲に調整、維持し、今度はヒータの駆動用シリンダ105を駆動してヒータ104を降下させ、ガラス基板上の有機層周囲に配置された封止材S(熱硬化接着シート)に封止用部材を圧着、加熱した(温度80℃、圧力0.15MPa、5秒間)。これにより、封止用部材とガラス基板が接着された。これを図2(f)に示す。   The degree of vacuum is adjusted and maintained within the above range, and this time, the heater driving cylinder 105 is driven to lower the heater 104, and the sealing material S (thermosetting adhesive sheet) disposed around the organic layer on the glass substrate ) Was pressed and heated (temperature 80 ° C., pressure 0.15 MPa, 5 seconds). Thereby, the sealing member and the glass substrate were bonded. This is shown in FIG.

ヒータ104、及び弾性部材102を再びシリンダ駆動により上昇させると、封止用部材とガラス基板が、有機層周囲で接着し、封止構造をもつ有機EL素子の貼合体が得られた。   When the heater 104 and the elastic member 102 were raised again by cylinder driving, the sealing member and the glass substrate were bonded around the organic layer, and an organic EL element bonded body having a sealing structure was obtained.

接着部を冷却した後、貼合装置の真空チャンバーを開放し、大気圧に戻し、貼合された有機EL素子を取り出した。   After cooling the bonded portion, the vacuum chamber of the bonding apparatus was opened, the pressure was returned to atmospheric pressure, and the bonded organic EL element was taken out.

大気圧中に戻すことで、封止空間と大気圧の差分だけ両基板側から圧力を受けることになるので最終的に封止空間内部の圧力はやや戻り10kPa程度の圧となったが、大気圧(101.3kPa)との差圧により発光層同士が均一かつ緊密に密着、貼合された有機EL素子が得られた。   By returning the pressure to atmospheric pressure, pressure is received from both substrates by the difference between the sealing space and atmospheric pressure, so the pressure inside the sealing space finally returned to a pressure of about 10 kPa. An organic EL device in which the light emitting layers were uniformly and closely adhered and bonded together by a differential pressure with respect to the atmospheric pressure (101.3 kPa) was obtained.

比較例
実施例で用いた有機エレクトロルミネッセンス部材A(陽極部材)、有機エレクトロルミネッセンス部材B(陰極部材)、及び封止用部材(GXフィルム)の積層体を仮貼合したもの(図2(b))を用いて、ロール貼合装置により有機EL素子を作製した。
Comparative Example A temporary laminate of a laminate of an organic electroluminescent member A (anode member), an organic electroluminescent member B (cathode member), and a sealing member (GX film) used in the examples (FIG. 2 (b) )) Was used to produce an organic EL element with a roll laminating apparatus.

ロール貼合装置(図4)として、株式会社エム・シー・ケー MRK−650Yを用いて、ロール間ギャップを調整して、面圧0.5MPa、速度10mm/sec、温度80℃で加熱ゴムロールを通すことで熱硬化接着シート(封止材)を熱硬化させ封止用部材とガラス基板を接着、封止すると共に陽極部材、陰極部材を貼合して有機EL素子を作製した。   As a roll laminating device (FIG. 4), using MC MC MRK-650Y, adjusting the gap between the rolls, a heated rubber roll at a surface pressure of 0.5 MPa, a speed of 10 mm / sec, and a temperature of 80 ° C. The thermosetting adhesive sheet (sealing material) was thermoset by passing, and the sealing member and the glass substrate were bonded and sealed, and the anode member and the cathode member were bonded together to produce an organic EL element.

以上の素子に通電して(2.5mA/cm2)、連続発光させたところ、本発明の方法により貼合し得られた有機EL素子は、目視による発光ムラ、発光輝度の全てにおいて比較のロール貼合装置を用いて貼合、作製した有機EL素子に比べ優れた素子であった。When the above element was energized ( 2.5 mA / cm 2 ) and continuously emitted, the organic EL element obtained by the bonding according to the method of the present invention was a comparative example in terms of all of the light emission unevenness and light emission luminance. It was an element superior to the organic EL element bonded and produced using the roll bonding apparatus.

Claims (13)

第一電極と第二電極の間に、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記有機エレクトロルミネッセンス素子は、
第一基板上に、第一電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Aと、
第二基板上に、第二電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Bとが、
それぞれ有機層が向かいあうように貼合されたものであり、
かつ、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層は、外気から遮断されるように基板の周囲が封止されることで貼合されており、
前記有機層が含まれる封止された部分の内圧と、外圧(大気圧)との圧力差が−50〜−100kPaであることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
In the organic electroluminescence element having at least one organic layer between the first electrode and the second electrode, the organic electroluminescence element is:
On the first substrate, the first electrode, an organic electroluminescent member A having at least one organic layer,
On the second substrate, the second electrode, an organic electroluminescence member B having at least one organic layer,
Each of them is bonded so that the organic layers face each other,
And the organic layer of the organic electroluminescence member A and the organic layer of the organic electroluminescence member B are bonded together by sealing the periphery of the substrate so as to be shielded from the outside air,
An organic electroluminescence device, wherein a pressure difference between an internal pressure of a sealed portion including the organic layer and an external pressure (atmospheric pressure) is −50 to −100 kPa.
第一電極と第二電極の間に、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、第一基板上に、第一電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Aと、第二基板上に、第二電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Bとを、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、それぞれ有機層を向かいあうように密着し、基板周囲を接着、封止して、有機エレクトロルミネッセンス部材A及び有機エレクトロルミネッセンス部材Bを貼合することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
In the method for producing an organic electroluminescent element having at least one or more organic layers between the first electrode and the second electrode, the organic electroluminescent member having the first electrode and at least one or more organic layers on the first substrate. A and an organic electroluminescence member B having a second electrode and at least one organic layer on the second substrate,
The organic electroluminescent member A and the organic electroluminescent member B are bonded together by adhering the organic layers so as to face each other under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, and bonding and sealing the periphery of the substrate. A method for producing an organic electroluminescent element.
第一電極と第二電極の間に、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、第一基板上に、第一電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Aと、第二基板上に、第二電極、少なくとも一層以上の有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス部材Bとを、それぞれの有機層を向かいあうように密着させ、
さらに、第二基板上に封止部材を積層し、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、
第一の基板と封止部材の周囲を接着し、封止して、有機エレクトロルミネッセンス部材A及び有機エレクトロルミネッセンス部材Bを貼合することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
In the method for producing an organic electroluminescence device having at least one or more organic layers between the first electrode and the second electrode, the organic electroluminescence member having the first electrode and at least one or more organic layers on the first substrate. A and an organic electroluminescence member B having at least one organic layer on the second substrate, and A, are adhered to each other so as to face each other,
Furthermore, a sealing member is laminated on the second substrate,
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air,
The manufacturing method of the organic electroluminescent element characterized by adhere | attaching the 1st board | substrate and the circumference | surroundings of a sealing member, sealing, and bonding the organic electroluminescent member A and the organic electroluminescent member B.
前記封止が、光硬化性接着剤により行われることを特徴とする請求の範囲第2項または第3項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 The method for producing an organic electroluminescent element according to claim 2 or 3, wherein the sealing is performed with a photocurable adhesive. 予め前記第一基板または前記第二基板の少なくとも一方の有機層の周囲に光硬化性接着剤が設置されており、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層をそれぞれ向かいあうように密着させ、
第一の基板と第二の基板の少なくとも一方から光を照射することで、前記光硬化性接着剤を硬化させ接着、封止することを特徴とする請求の範囲第2項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
A photocurable adhesive is installed around at least one organic layer of the first substrate or the second substrate in advance.
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, the organic layer of the organic electroluminescent member A and the organic layer of the organic electroluminescent member B are brought into close contact with each other,
3. The organic electro according to claim 2, wherein the photocurable adhesive is cured, adhered and sealed by irradiating light from at least one of the first substrate and the second substrate. Manufacturing method of luminescence element.
予め前記第一基板または前記封止部材の少なくとも一方の有機層の周囲に光硬化性接着剤が設置されており、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層をそれぞれ向かいあうように密着させ、
第一の基板と封止部材の少なくとも一方から光を照射することで、前記光硬化性接着剤を硬化させ接着、封止することを特徴とする請求の範囲第3項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
A photocurable adhesive is installed around at least one organic layer of the first substrate or the sealing member in advance,
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, the organic layer of the organic electroluminescent member A and the organic layer of the organic electroluminescent member B are brought into close contact with each other,
4. The organic electroluminescence according to claim 3, wherein the photocurable adhesive is cured, adhered and sealed by irradiating light from at least one of the first substrate and the sealing member. Device manufacturing method.
前記封止が、熱融着性接着剤により行われることを特徴とする請求の範囲第2項または第3項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 The method for manufacturing an organic electroluminescent element according to claim 2 or 3, wherein the sealing is performed with a heat-fusible adhesive. 予め前記第一基板または前記第二基板の少なくとも一方の有機層の周囲に熱融着性接着剤が設置されており、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層をそれぞれ向かいあうように密着させ、
第一の基板と第二の基板の少なくとも周囲を加熱することで、前記熱融着性接着剤を熱溶融させ接着、封止することを特徴とする請求の範囲第2項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
A heat-fusible adhesive is installed around at least one organic layer of the first substrate or the second substrate in advance,
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, the organic layer of the organic electroluminescent member A and the organic layer of the organic electroluminescent member B are brought into close contact with each other,
3. The organic electrolysis according to claim 2, wherein at least the periphery of the first substrate and the second substrate is heated to thermally melt and bond and seal the heat-fusible adhesive. Manufacturing method of luminescence element.
予め前記第一基板または前記封止部材の少なくとも一方の有機層の周囲に熱融着性接着剤が設置されており、
外気から遮断した0〜50kPaの圧力下で、前記有機エレクトロルミネッセンス部材Aの有機層と前記有機エレクトロルミネッセンス部材Bの有機層をそれぞれ向かいあうように密着させ、
第一の基板と封止部材の少なくとも周囲を加熱することで、前記熱融着性接着剤を熱溶融させ接着、封止することを特徴とする請求の範囲第3項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
A heat-fusible adhesive is installed around at least one organic layer of the first substrate or the sealing member in advance,
Under a pressure of 0 to 50 kPa cut off from the outside air, the organic layer of the organic electroluminescent member A and the organic layer of the organic electroluminescent member B are brought into close contact with each other,
The organic electroluminescence according to claim 3, wherein at least the periphery of the first substrate and the sealing member is heated to thermally melt and bond and seal the heat-fusible adhesive. Device manufacturing method.
前記第一の基板及び第二の基板の少なくとも一方に防湿層を有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 The organic electroluminescence device according to claim 1, further comprising a moisture-proof layer on at least one of the first substrate and the second substrate. 前記第一の基板及び第二の基板の少なくとも一方が防湿層を有することを特徴とする請求の範囲第2項〜第9項のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 The method for manufacturing an organic electroluminescent element according to any one of claims 2 to 9, wherein at least one of the first substrate and the second substrate has a moisture-proof layer. 前記第一の基板及び第二の基板の少なくとも一方に吸湿部材を付与したことを特徴とする請求の範囲第1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 The organic electroluminescence element according to claim 1, wherein a moisture absorbing member is provided on at least one of the first substrate and the second substrate. 前記第一の基板及び第二の基板の少なくとも一方に吸湿部材を付与することを特徴とする請求の範囲第2項〜第9項のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of claims 2 to 9, wherein a moisture absorbing member is provided on at least one of the first substrate and the second substrate.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010033794A (en) * 2008-07-28 2010-02-12 Tokai Rubber Ind Ltd Method of manufacturing organic electroluminescent element
JP5106467B2 (en) * 2009-04-10 2012-12-26 ローム株式会社 Organic EL device
KR101073558B1 (en) * 2009-10-08 2011-10-17 삼성모바일디스플레이주식회사 Apparatus and method for bonding substrate
WO2011096308A1 (en) * 2010-02-04 2011-08-11 コニカミノルタホールディングス株式会社 Method for producing organic electroluminescence panel
JP5949220B2 (en) * 2012-06-29 2016-07-06 株式会社村田製作所 Transmission line
WO2021024337A1 (en) * 2019-08-05 2021-02-11 シャープ株式会社 Display device and method for producing display device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004220870A (en) * 2003-01-10 2004-08-05 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Method of manufacturing light emitting device
JP2004247161A (en) * 2003-02-13 2004-09-02 Morio Taniguchi Manufacturing method of organic electroluminescent element
JP2004303631A (en) * 2003-03-31 2004-10-28 Optrex Corp Organic el display, and manufacturing method and equipment thereof
JP2004349169A (en) * 2003-05-23 2004-12-09 Fuji Photo Film Co Ltd Organic electroluminescent element and its manufacturing method
JP2005078941A (en) * 2003-08-29 2005-03-24 Fuji Photo Film Co Ltd Manufacturing method of organic electroluminescent element and organic electroluminescent element

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007018900A (en) * 2005-07-08 2007-01-25 Dainippon Kaken:Kk Sealing device and sealing method
JP2007220402A (en) * 2006-02-15 2007-08-30 Konica Minolta Holdings Inc Method of encapsulating organic electroluminescent element and organic electroluminescent element

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004220870A (en) * 2003-01-10 2004-08-05 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Method of manufacturing light emitting device
JP2004247161A (en) * 2003-02-13 2004-09-02 Morio Taniguchi Manufacturing method of organic electroluminescent element
JP2004303631A (en) * 2003-03-31 2004-10-28 Optrex Corp Organic el display, and manufacturing method and equipment thereof
JP2004349169A (en) * 2003-05-23 2004-12-09 Fuji Photo Film Co Ltd Organic electroluminescent element and its manufacturing method
JP2005078941A (en) * 2003-08-29 2005-03-24 Fuji Photo Film Co Ltd Manufacturing method of organic electroluminescent element and organic electroluminescent element

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