JPWO2007055320A1 - 超音波探触子及び超音波診断装置 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、上記説明において振動要素を振動要素群又は振動子又は振動子群とおきかえても同様のことがいえる。
図1に示すように、超音波探触子は、印加するバイアス電圧に応じて超音波送受信感度が変化する振動要素1と、振動要素1を挟んで設けられた上部電極1-a及び下部電極1-bを有して形成されている。
ここで、本実施例の超音波探触子は、振動要素1の送受信感度のバラツキを補正する送受信感度制御回路7が振動要素1とバイアス手段2との間に配設されている。なお、振動要素1は一般的にセルと称されており、振動要素1の数は、1つに限らず必要に応じて増やすことができる。
このような状態において、送信手段4から送信される電気信号が上部電極1-aと下部電極1-b間に印加されると振動膜が振動し、その振動膜の振動に由来して超音波が被検体に送波される。また、被検体から発生した反射エコーがcMUTに入力すると、振動膜が振動して内部空間が変化するため、cMUTの容量変化を電気信号として取り出すことができる。
なお、cMUTを例に説明したが、本発明は、これらに限られるものではなく、バイアス電圧に応じて電気機械結合係数が変化する特性を有する電歪材などを用いて形成される素子にも適用できる。
Ccap=ε・S/d (1)
Q=Ccap・Vdc=ε・(S/d)・Vdc (2)
Q’=C’cap・Vdc (3)
Q=k・Q’ (4)
Q=Ccap・Vdc
=k・Q’=k・(C’cap・Vdc)=C’cap・(k・Vdc) (5)
式(5)より、基準振動要素と容量が異なった振動要素であっても、この振動要素に印加するバイアス電圧をk・Vdcなるように制御することで振動要素間の送受信感度バラツキを抑えることが可能となることが理解される。そして式(5)より、kは一般的に
k=Ccap/C’cap (6)
となり、基準振動要素の容量と他の振動要素の容量との比で定まることになる。
具体的には、図1に示すように、振動要素1とバイアス手段2との正電極間に直列に抵抗値がRsである抵抗9が配置される。この場合、バイアス電圧をVdc、振動要素1の電極間電圧をV、振動要素1の抵抗値をRcellとすると、Vは以下の式(7)で表わされる。
V=Rcell・Vdc/(Rs+Rcell) (7)
つまり、直列抵抗Rsと振動要素の抵抗Rcellとの分圧により、Vdcよりも低下した電圧Vが振動要素に印加される(つまり直列抵抗Rsの電圧降下によって振動要素に印加するバイアス電圧を制御する)。したがって、抵抗Rsの抵抗値を調整することによって、振動要素1に印加するバイアス電圧Vを制御することが可能となる。これにより、各振動要素に蓄積される電荷のバラツキが補正されて、基準振動要素に蓄積される電荷と同じになり、複数の振動要素の相互間の送受信感度のバラツキを抑えることができる。その結果、高画質の超音波画像を取得することが可能になる。抵抗Rsの抵抗値の調整については後述する。
k=Rcell/(Rs+Rcell) (8)
つまり、本実施例のように抵抗Rsを直列に挿入することによるバイアス電圧の補正の場合には、k≦1となるので、式(6)より、Ccap≦C’capとなる。そこで、本実施例では、容量Ccellが最小の振動要素を基準振動要素として選択する。即ち、容量が最小の振動要素に他の振動要素を適応させることになる。
また、2Dは、超音波振動子を2次元的な面(平面、曲面)上に配列した構造で、かつ、任意方向に超音波走査及びフォーカス制御を行うことをいう。つまり、振動子上の振動要素群3をすべて接続することで1Dアレイ振動子となり、振動要素群3を独立に扱うことで1.5Dアレイ振動子となり、より細かい振動要素群に分割することによって2Dアレイ探触子用振動子とすることも可能である。どのような振動子にするかは、振動子製作段階において、振動子を構成する振動要素群の接続パターンを変えることで決定される。なお、振動子を構成する振動要素群の接続にはアルミ配線などを用いる。
その一例を図7Cに示す。図7Cは、ウェハ内振動子毎の使用許容電圧値の分布を示すグラフである。この使用許容電圧値の分布特性を用いて、振動子間の感度ばらつきを制御する。具体的には、最も低い許容使用電圧値を有する振動子を選択し、この選択された振動子の許容使用電圧値に他の全ての振動子の許容使用電圧値が等しくなるように制御する。つまり、各振動子の送受信感度のバラツキを補正するために振動子毎に制御されるバイアス電圧の上限値を、最も低い許容使用電圧値を有する振動子の許容使用電圧値とする。図7Cに示す場合では、振動子Gの許容使用電圧値が最小なので、振動子Gを選択してこの許容使用電圧値をバイアス電圧の上限とする。これにより、安全に同一ウェハ間での振動子の送受信感度のバラツキを抑えることができる。この制御は、上記の送受信感度制御回路を使用許容電圧の調整を行いたい振動子に取り付け、振動子に印加されるバイアス電圧を制御すれば可能である。制御回路内の抵抗値の調整については後述する。
以下、振動要素、振動要素群、振動子、及び振動子群を、振動子と代表して表記するが、振動要素、振動要素群、および振動子群に置き換えても同様のことが言えることを明記しておく。
なお、本実施例でも、振動子8に印加するバイアス電圧Vは、バイアス手段2のバイアス電圧よりも低下するので、容量が最小の振動子を基準振動子として選択する。この容量が最小の振動子を基準振動子として選択することは、後述する他の実施例でも同様である。
本実施例4の変形として、図11に示すように、送受信感度制御回路7を抵抗18とツェナーダイオード17と定電流源19で構成してもよい。この場合には、ツェナーダイオード17に流れる電流は、バイアス手段2のバイアス電源から流れる電流と、電流量を調整可能な定電流源19から流れる電流との加算分になるので、定電流源19から流れる電流量を調整することで、ツェナー電圧Vzを制御することができる。この定電流源19の電流値の調整については後述する。
C=|1/ωX| ω:角周波数 (9)
式(9)より、振動子のリアクタンス成分の実測結果より、振動子の容量が得られる。式(6)により、得られた容量と、基準となる振動子の容量とを比較し、補正係数kが定まる。この補正係数kに基づき、振動子に印加するバイアス電圧と、そのバイアス電圧を得るための抵抗値を決定する。図13に示すように、予め振動子と同一ウェハ上に作られていた抵抗パターンを、特開2004-273679号公報などに示されているレーザ発生装置22などを用いたトリミング処理をすることで所望の抵抗値を得る。
最初に、振動子製造工程601〜605を説明する。振動子製造工程では、振動要素毎の送受信感度のバラツキ調整を補正する。
ステップ602で、振動要素毎の送受信感度のバラツキを補正するための基準振動要素を選択する。基準振動要素として、例えば、容量が最小の振動要素を選択する。
ステップ603で、振動要素毎の送受信感度のバラツキを補正するための補正係数kを求める。つまり、選択された基準振動要素の容量と他の振動要素の容量との比から振動要素毎の補正係数kを求める。
ステップ604で、振動要素毎に、補正係数kに基づいて、送受信感度のバラツキを補正するための抵抗素子の抵抗値(Rs)を求める。抵抗値(Rs)は補正係数kと振動要素の抵抗値(Rcell)とから、式(8)より、
Rs={(1−k)/k}Rcell (10)
と求めることができる。
ステップ605で、振動要素毎に、ステップ604で求めた抵抗値(Rs)を有する抵抗素子を同一ウェハ上に実装する。実装方法は、前述した通り、例えば特開2004-273679号公報などに示されているレーザ発生装置22などを用いたトリミング処理をすることで所望の抵抗値を得る。
ステップ606で、ウェハから探触子用振動子群を切削抽出する。
ステップ607で、ステップ606で切削抽出された探触子用振動子群を探触子に組み込む。
ステップ608で、振動子の所定周波数時でのリアクタンスを計測し、この計測結果より各振動子の容量を取得する。
ステップ609で、振動子毎の送受信感度のバラツキを補正するための基準振動子を選択する。基準振動子として、例えば、容量が最小の振動子を選択する。
ステップ610で、振動子毎の送受信感度のバラツキを補正するための補正係数kを求める。つまり、選択された基準振動子の容量と他の振動子の容量との比から振動要素毎の補正係数kを求める。
ここで、振動子8の両端に印加される電圧は、バイアス手段2が供給する電圧値に対して、可変抵抗27の抵抗値Rsと振動子8の抵抗値Rとによる分圧値となる。つまり、電界強度による電気機械結合係数を調節することによって超音波の送受信感度バラツキを補正して、各振動子が同じ送受信感度を有するように制御する。なお、送受信感度補正を行っているときは超音波診断装置の画面上に、感度補正中を示す表示を映しておいても良い。
最後に、運用工程613〜618を説明する。運用工程では、振動子の送受信感度の経時変化に基づく、振動子毎の送受信感度のバラツキ調整のずれを補正する。
ステップ614で、振動子毎の送受信感度のバラツキの補正が必要か否かを判断する。例えば、各振動子の送受信感度が閾値の範囲(例えば、ステップ613で求めた各振動子の送受信感度の平均値の±1dB)内であるか否かを判定し、範囲外であればバラツキ補正が必要と判断してステップ615に移行する。他方、閾値の範囲内であれば必要無しと判断して、ステップ618に移行する。
ステップ615で、振動子毎の送受信感度のバラツキ補正のずれを補正するための基準振動子を選択する。基準振動子として、例えば、送受信感度が最小の振動子を選択する。
ステップ616で、振動子毎の送受信感度のバラツキ補正のずれを補正するための補正係数kを求める。つまり、選択された基準振動子の送受信感度と他の振動子の送受信感度との比から振動要素毎の補正係数kを求める。
ステップ619で、振動子の送受信感度の経時変化に基づく、振動子毎の送受信感度のバラツキ調整のずれの補正を、一定期間毎に、又は不定期に繰り返すのであれば、ステップ613に戻って、ステップ613〜ステップ618を繰り返す。
以上迄が、第1の制御例の具体的動作フローの説明である。
以上、本第1の制御例によれば、振動子毎の送受信感度のバラツキの補正を連続的に且つ常に最良となるように行うことができる。また、サーミスタやペルチェ素子により制御デバイスが構成されるので、半導体プロセスのドープ物質(混ぜる不純物、例としてボロン(ドープ)、SiC(薄膜)、Ge(薄膜)、Ni(金属))の種類や量、または、薄膜により温度特性の調整をおこなうことが容易になる。
ステップ611で、制御手段25がメモリ23へ制御データを記憶する動作は、第1の制御例と同様であるが、メモリ23に記憶する制御データは、アナログスイッチ切替方式可変抵抗のスイッチ切替用制御データである。
ステップ612で、制御手段25は、超音波を送受信する際に、メモリ23に記憶しておいた制御データを読み出し、データラッチ回路28へ出力する。データラッチ回路28は、ラッチクロックのタイミング時に入力された複数の制御データの値を保持し、この複数の制御データの値に応じてアナログスイッチの開閉を変化させることにより、可変抵抗の抵抗値を制御する。
なお、第2の制御例においても第1の制御方法と同様に、組立て工程後に各振動子8の送受信信号強度を計測すれば、各素子の経時的変化に応じたバラツキ補正を行うことができる。
この第2の制御例により、周囲温度など外的要因を受けることなく振動子毎の送受信感度のバラツキを補正することが可能になる。
なお、上記第1及び第2の制御例は、いずれもオンライン・オフラインのいずれかで行うことが可能である。
最後に上記本発明の説明では、振動要素毎、振動要素群毎、又は振動子毎の送受信感度のバラツキ補正について示したが、振動要素毎、振動要素群毎、又は振動子毎の送受信感度が標準探触子の感度になるように補正することも可能である。
1−a 上部電極
1−b 下部電極
2 バイアス手段
4 送信手段
5 受信手段
6 送受分離手段
7 送受信感度制御回路
Claims (20)
- バイアス電圧が印加された状態で超音波と電気信号とを相互に変換することにより超音波の送受信を行う複数の振動要素を備えた振動子を複数配列して成る超音波探触子において、
前記複数の振動要素の内の少なくとも2つの振動要素に印加する前記バイアス電圧を独立に調整して、該少なくとも2つの振動要素の送受信感度のバラツキを補正する送受信感度補正手段を備えていることを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1記載の超音波探触子において、
前記送受信感度補正手段は、前記少なくとも2つの振動要素の各々の送受信感度に対応して、外部に配設されたバイアス手段から供給されるDC電圧を該DC電圧と異なる電圧のバイアス電圧に変換して、前記少なくとも2つの振動要素の各々に前記変換されたバイアス電圧を印加することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項2記載の超音波探触子において、
前記送受信感度補正手段は、前記少なくとも2つの振動要素の内から選択された基準振動要素の容量と他の振動要素の容量とに基づいて、前記DC電圧から該他の振動要素に印加するバイアス電圧に変換することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項2記載の超音波探触子において、
前記送受信感度補正手段は、少なくとも一つの抵抗素子を有して、該少なくとも一つの抵抗素子の内の少なくとも一つの抵抗素子の抵抗値を調整することにより、前記DC電圧から変換するバイアス電圧の電圧を調整することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項4記載の超音波探触子において、
前記送受信感度補正手段は、前記調整される少なくとも一つの抵抗素子を用いて、前記DC電圧を分圧して前記バイアス電圧に変換することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項4記載の超音波探触子において、
前記送受信感度補正手段は、前記調整される少なくとも一つの抵抗素子とトランジスタとを有して成るエミッタフォロア回路を用いて、前記DC電圧から前記バイアス電圧に変換することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項4記載の超音波探触子において、
前記送受信感度補正手段は、前記調整される少なくとも一つの抵抗素子とオペアンプとを有して成る定電圧回路を用いて、前記DC電圧から前記バイアス電圧に変換することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項4記載の超音波探触子において、
前記送受信感度補正手段は、前記調整される少なくとも一つの抵抗素子とツェナーダイオードとを有して成る電圧リミット回路を用いて、前記DC電圧から前記バイアス電圧に変換することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項4記載の超音波探触子において、
前記送受信感度補正手段は、前記調整される少なくとも一つの抵抗素子と定電流源とを用いて、前記DC電圧から前記バイアス電圧に変換することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項2記載の超音波探触子において、
前記送受信感度補正手段は、少なくとも一つの抵抗素子とツェナーダイオードと定電流源とを有して、前記定電流源を制御することにより、前記DC電圧から前記バイアス電圧に変換することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項4記載の超音波探触子において、
前記調整される少なくとも一つの抵抗素子は、可変抵抗素子を有して成り、
前記送受信感度補正手段は、前記可変抵抗素子の抵抗値を制御する抵抗値制御手段を有して、前記可変抵抗素子の抵抗値を制御することにより、前記DC電圧から変換するバイアス電圧の電圧を調整することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項11記載の超音波探触子において、
前記可変抵抗素子は、温度によって抵抗値が変化するサーミスタを有し、
前記抵抗値制御手段は、前記サーミスタの温度を制御する手段を有することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項4記載の超音波探触子において、
前記抵抗素子は、複数のアナログスイッチを有し、
前記抵抗値制御手段は、前記スイッチを切り替えることにより前記抵抗素子の抵抗値を制御することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項11記載の超音波探触子において、
前記抵抗素子は、前記振動要素と同じウェハ上に形成されて、事前に調整された抵抗値を有することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1記載の超音波探触子において、
前記複数の振動要素の各々は電極を有し、
前記複数の振動要素の内の少なくとも一つ振動要素の電極が共通に接続されて成る振動要素群が少なくとも一つ形成され、
前記送受信感度補正手段は、前記少なくとも一つの振動要素群に備えられて、該少なくとも一つの振動要素群の各々の共通電極に前記バイアス電圧をそれぞれ印加することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1記載の超音波探触子において、
前記複数の振動要素の各々は電極を有し、
前記振動子を構成する複数の振動要素は電極が共通に接続され、
前記送受信感度補正手段は、前記複数の振動子の内の少なくとも一つの振動子に備えられて、該少なくとも一つの振動子の各々の共通電極に前記バイアス電圧をそれぞれ印加することを特徴とする超音波探触子。 - バイアス電圧が印加された状態で超音波と電気信号とを相互に変換することにより超音波の送受信を行う振動要素を少なくとも一つ備えた振動子を複数配列して成る超音波探触子と、
前記バイアス電圧を供給するためのDC電圧を発生するバイアス手段と、
前記複数の振動要素との間で前記電気信号の送受を行う送受信制御手段と、
を有する超音波診断装置において、
前記バイアス手段と前記複数の振動要素の内の少なくとも2つの振動要素との間に、該少なくとも2つの振動要素に印加する前記バイアス電圧を独立に調整して、該少なくとも2つの振動要素の送受信感度のバラツキを補正する送受信感度補正手段を備えていることを特徴とする超音波診断装置。 - 請求項17記載の超音波診断装置において、
前記送受信感度補正手段は、前記少なくとも2つの振動要素の各々の送受信感度に対応して、前記バイアス手段から供給されるDC電圧を該DC電圧と異なる電圧のバイアス電圧に変換して、前記少なくとも2つの振動要素の各々に前記変換されたバイアス電圧を印加することを特徴とする超音波診断装置。 - 請求項17記載の超音波診断装置において、
前記送受信感度補正手段は、前記バイアス電圧を調整する可変手段と、前記振動要素の送受信感度特性が記憶されたメモリとを有し、前記メモリから読み出される情報により前記可変手段を調整して前記送受信感度のバラツキを補正することを特徴とする超音波診断装置。 - 請求項17記載の超音波診断装置において、
超音波診断装置とは別の場所に設けられた外部制御装置との間で通信を行う通信手段を備え、
前記送受信感度補正手段は、前記外部制御装置からの情報に基づいて、前記少なくとも2つの振動要素の各々の送受信感度のバラツキの補正を行うことを特徴とする超音波診断装置。
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