JPWO2007032252A1 - 軟磁性フィルムとそれを用いた電磁波対策部品および電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
fr=r/2π(Hkeff・Ndz・Ms/μ0)1/2
Hkeff=Hkmat+Hext.+(Ndy−Ndx)・Ms/μ0
(式中、rはジャイロ磁気定数(=μ・e/2・me)、Ndzは試料厚さ方向の反磁界係数、Ndxは試料長手方向の反磁界係数、Ndyは試料幅方向の反磁界係数、Hkmatは材料組成および残留応力に依存する異方性、Hext.は試料に印加される外部磁界、μ0=4π×10-7、me=9.1091×10-31[kg]、e=1.60210×10-19[C]である)
まず、厚さ25μmのポリイミド樹脂フィルムを用意し、これを型に挟み込んで加熱圧縮成形(例えばアイトリックス社製のナノインプリント装置を使用)することによって、図2に示したような折り曲げ形状を有する基材フィルムを作製した。基材フィルムの凹凸部の長手方向に平行な長さLは20mmとした。また、基材フィルムの凹凸部の形状は、凸部頂面の幅w1および凹部底面の幅w2がそれぞれ100μm、凹凸部の繰り返し周期pが200μm、段差dが4μmとした。凹凸部の折り曲げ角度θは90°とした。
上述した実施例1において、基材フィルムの凹凸部の形状や軟磁性薄膜の積層数等を変える以外は、それぞれ実施例1と同様にして軟磁性フィルムを作製した。各軟磁性フィルムの詳細条件は表1に示す通りである。表中の参考例は凹凸部の形状等を本発明の好ましい範囲外に設定したものである。これらの軟磁性フィルムについても、実施例1と同様にして磁気特性を測定した。それらの結果を表2に示す。
実施例1と同一素材および同一形状の基材フィルムを用意し、この基材フィルムの両面に積層型軟磁性薄膜を以下のようにして形成した。まず、基材フィルムをアセトン洗浄した後に、厚さ0.03μmのSiO2膜と厚さ0.01μmのTi膜をRFスパッタおよびDCスパッタで順に成膜した。この下地膜上に厚さ0.5μmのFeCoBSiO膜と厚さ0.05μmのSiO2膜とを交互に積層することによって、基材フィルムの両面に積層型軟磁性薄膜を形成した。これらの積層数は両面とも4回とした。
上述した実施例10において、樹脂フィルムを凹凸部の繰り返し方向に圧縮することによって、凹凸部の折り曲げ角θを70°とした基材フィルムを使用する以外は、実施例10と同様にして軟磁性フィルムを作製した。軟磁性フィルムの詳細条件は表3に示す通りである。この軟磁性フィルムについても、実施例10と同様にして磁気特性を測定した。それらの結果を表4に示す。
上述した実施例10において、樹脂フィルムを凹凸部の繰り返し方向に拡張することによって、凹凸部の折り曲げ角θを110°とした基材フィルムを使用する以外は、実施例10と同様にして軟磁性フィルムを作製した。軟磁性フィルムの詳細条件は表3に示す通りである。なお、表中の参考例4は凹凸部の折り曲げ角θを150°としたものである。これらの軟磁性フィルムについても、実施例10と同様にして磁気特性を測定した。それらの結果を表4に示す。
軟磁性薄膜の成膜に図5に示したようなコリメーションスパッタを適用する以外は、実施例1と同様にして軟磁性フィルムを作製した。コリメーションスパッタ時のスリットの形状(スリット長さDに対するスリット幅sの比(s/D比))は、実施例13では1、実施例14では0.2、実施例15では0.1とした。軟磁性フィルムの詳細条件は表5に示す通りである。これらの軟磁性フィルムについても、実施例1と同様にして磁気特性を測定した。それらの結果を表6に示す。なお、表5における側面膜厚は、凸部と凹部とを繋ぐ壁面上の軟磁性薄膜の1層あたりの膜厚である。
実施例1の軟磁性フィルムを用いた電磁波対策部品18を、20mm×5mmの形状と40mm×5mmの形状に切断した。これらを図8および図9に示したように携帯電話機10のアンテナ16近傍のアンテナ配線上に、軟磁性薄膜の磁化容易軸方向が基板配線パターンと平行となるように貼り付けた。このような携帯電話機10について、SAMファントムを用いた均一模擬組織モデル内部に励起される電界強度分布を、電界プローブを用いて測定した。
Claims (20)
- 複数の凹凸部を繰り返し設けた折り曲げ形状を有する基材フィルムと、
少なくとも前記基材フィルムの前記凸部の頂面および前記凹部の底面に形成された軟磁性薄膜であって、透磁率μ′と膜厚Tとの積が不連続な部分を有する軟磁性薄膜と
を具備することを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記基材フィルムは前記凹凸部の段差が1μm以上であることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記基材フィルムは前記凹凸部の段差が3μm以上100μm以下であることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記基材フィルムは前記凹凸部の繰り返し周期が1000μm以下であることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記基材フィルムは前記凸部頂面の幅および前記凹部底面の幅がそれぞれ500μm以下であることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記基材フィルムは平均厚さが200μm以下の樹脂フィルムを備えることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記軟磁性薄膜は膜厚Tが3μm以下であることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記軟磁性薄膜は非磁性絶縁層を介して複数の磁性層を積層した積層膜を有することを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項8記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記複数の磁性層の単層としての膜厚はそれぞれ1μm以下であることを特徴とする電子機器。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記軟磁性薄膜は前記基材フィルムの両面に形成されていることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記基材フィルムは前記凹凸部の折り曲げ角が10°以上135°以下の範囲である折り曲げ形状を有することを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記基材フィルムは前記凹凸部の折り曲げ角が85°以上95°以下の範囲である折り曲げ形状を有することを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記基材フィルムは前記凹凸部の折り曲げ角が鋭角となる折り曲げ形状を有することを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項13記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記凹凸部の折り曲げ角が10°以上90°未満の範囲であることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記凸部の頂面に形成された前記軟磁性薄膜の前記透磁率μ′と膜厚Tとの積(P1値)に対する前記凸部と前記凹部とを繋ぐ壁面上に形成された前記軟磁性薄膜の前記透磁率μ′と膜厚Tとの積(P2値)の比(P2/P1)が0.7以下であることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムにおいて、
前記軟磁性薄膜は前記凸部の頂面に形成された部分と前記凹部の底面に形成された部分とが分離されていることを特徴とする軟磁性フィルム。 - 請求項1記載の軟磁性フィルムを具備することを特徴とする電磁波対策部品。
- 電磁波送信部を有する電子機器本体と、
請求項1記載の軟磁性フィルムを備える電磁波対策部品であって、前記電磁波送信部から放射される電磁波の不要方向に対する電磁界強度を選択的に低減するように配置された電磁波対策部品と
を具備することを特徴とする電子機器。 - 請求項18記載の電子機器において、
前記軟磁性フィルムにおける軟磁性薄膜は前記電子機器本体の送信帯周波数の1.5倍以上の強磁性共鳴周波数を有することを特徴とする電子機器。 - 請求項18記載の電子機器において、
前記電子機器は携帯型通信機器であることを特徴とする電子機器。
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