JPWO2006135021A1 - 荷電粒子線装置および荷電粒子線像生成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
予備室3は、マスクマガジン1を装着し、清掃な状態で当該マスクマガジン1内のマスク2を取り込んで一時的に保管したり、処理済のマスク2を清掃な状態で当該マスクマガジン1内に搬送するための部屋である。予備室3は、通常は大気圧であるが、必要に応じてマスク2を取り込んでマスクマガジン1との境の図示外のゲートを閉めて低真空(大気圧から0.1Torr程度の低真空)に真空排気するようにしてもよい。尚、特許請求の範囲の軟X線をマスク2に照射する「部屋」は、図1のメインチャンバー6(特許請求の範囲では「試料室」という)以外のサブチャンバー5、予備室3などのX線発生器4を装着する部屋である。
図2は、本発明の動作説明フローチャートを示す。
・画像の色調(白黒の色調)が所定以上変化
・画像の位置が所定以上移動
などした場合に、帯電したと判断し、X線の照射が要(帯電した電荷の除電(中和)の要)か判別する。YESの場合には、S3に戻り、X線照射してマスク2の電荷の除電などを行い、S4、S5で再度、作業を再開する(一時的に中止した場所から再開、あるいは所定前あるいは最初から作業を開始する)。一方、S6のNOの場合には、X線の照射不要と判別されたので、S7で外部に取り出す(図1のメインチャンバー6内のマスク2をサブチャンバ−5、予備室3を経由してマスクマガジン1に搬送して収納する)。尚、S6のNOのマスク2の作業の終了した後、マスク2が予備室3に搬送されたときに、S3と同様にしてX線をマスク2に照射し、当該マスク2に電子線ビームを照射して作業したときの電荷を完全に除電(中和)した後、マスクマガジン1に収納するようにしてもよい。即ち、
・マスク2をメインチャンバー6に搬送する前に軟X線を照射して電荷を除電(中和)
・マスク2をメインチャンバー6のステージ9に載置して作業中に、一時的に作業を停止し、予備室3に戻して(あるいはメインチャンバー6内で)所定雰囲気中にして軟X線を照射し電荷を除電した後、再度、作業を再開する。
2:マスク
3:予備室
4:X線発生器
5:サブチャンバー
6:メインチャンバー
7:2次電子検出器
8:荷電粒子光学系
9:ステージ
10:画像
11:パソコン(制御部)
12:X線照射手段
Claims (9)
- 荷電粒子線を試料に照射するレンズ系と、荷電粒子線で前記試料を照射し放出あるいは透過した電子線などを検出して画像を生成する画像生成手段とを備えた荷電粒子線装置において、
前記試料を収納する試料室あるいは所定の部屋に配置し、当該試料あるいは当該試料の近傍を、軟X線で照射する軟X線発生器と、
前記試料室あるいは前記部屋を所定雰囲気にした状態で、前記軟X線発生器を制御して発生させた軟X線を前記試料あるいは前記試料の近傍に照射して正イオンおよび負イオンを生成し、当該試料の表面の電荷の除電を制御する手段と
を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記試料の画像を生成する前あるいは画像の生成を終了した後あるいは両者で、前記軟X線を当該試料あるいは当該試料の近傍に照射して除電することを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記試料の画像を生成中に、当該画像の生成を一時的に停止し、前記軟X線を当該試料あるいは当該試料の近傍に照射して除電した後、画像の生成を再開することを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の荷電粒子線装置。
- 前記軟X線発生器と前記試料との距離を任意に調整する機構を設けたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の荷電粒子線装置。
- 前記軟X線発生装置と前記試料との距離を30cmから150cmの範囲内としたことを特徴とする請求項4記載の荷電粒子線装置。
- 前記所定雰囲気として、空気、酸素、窒素、不活性のガスあるいはこれら2つ以上の混合ガスとしたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の荷電粒子線装置。
- 前記雰囲気の圧力として、大気圧から0.1Torrの範囲内としたことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線を試料に照射するレンズ系と、荷電粒子線で前記試料を照射し放出あるいは透過した電子などを検出して画像を生成する画像生成手段とを備えた荷電粒子線装置において、
前記試料を収納する試料室あるいは所定の部屋に配置し、当該試料あるいは当該試料の近傍を、軟X線で照射する軟X線発生器を設け、
前記試料室あるいは前記部屋を所定雰囲気にした状態で、前記軟X線発生器を制御して発生させた軟X線を前記試料あるいは前記試料の近傍に照射して正イオンおよび負イオンを生成し、当該試料の表面の電荷の除電を制御するステップを有する荷電粒子線像生成方法。 - 前記試料の画像を生成する前あるいは画像の生成を終了した後あるいは画像生成中に当該画像の生成を一時的に停止してあるいは前記2つ以上で、前記軟X線を当該試料あるいは当該試料の近傍に照射して除電することを特徴とする請求項8記載の荷電粒子線像生成方法。
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