JPWO2006090448A1 - Method for producing transparent conductive laminate and touch panel - Google Patents

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博 明間
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弘信 篠原
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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    • C23C14/08Oxides
    • C23C14/086Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth

Abstract

フィルム基材を用いた透明性および導電性薄膜の耐擦傷性に優れるとともに、タッチパネル用としての打点特性にも優れた透明導電性積層体および、この透明導電性積層体を少なくとも一方の電極に用いたタッチパネルを提供する。特定の透明フィルム上に少なくとも160℃以上の温度条件で透明導電膜を形成することにより耐擦傷性および打点特性に優れ、しかも生産性にも優れている透明導電性積層体を提供する。A transparent conductive laminate excellent in transparency using a film substrate and scratch resistance of a conductive thin film, and also excellent in dot characteristics as a touch panel, and this transparent conductive laminate is used for at least one electrode Provided touch panel. By forming a transparent conductive film on a specific transparent film under a temperature condition of at least 160 ° C., a transparent conductive laminate having excellent scratch resistance and hitting characteristics and excellent productivity is provided.

Description

本発明は、フィルム基材上に透明な導電性薄膜を設けてなる透明導電性積層体の製造方法に関する。さらに詳しくは、透明フィルム上に特定の条件で透明導電膜を形成する透明導電積層体の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a transparent conductive laminate in which a transparent conductive thin film is provided on a film substrate. More specifically, the present invention relates to a method for producing a transparent conductive laminate in which a transparent conductive film is formed on a transparent film under specific conditions.

可視光領域で透明であり、かつ導電性を有する薄膜は、液晶ディスプレー、エレクトロルミネッセンスディスプレー、プラズマディスプレーなどのディスプレーやタッチパネルなどにおける透明電極のほか、透明デバイスの帯電防止や電磁波遮断などの目的で使用されている。従来、このような透明導電性薄膜として、ガラス上に酸化インジウム系の薄膜を形成したものが知られているが、基材がガラスであるために、可撓性、加工性に劣り、重いこと、割れ易いこと等で好ましくなかった。このため近年、可撓性、加工性に加え、耐衝撃性に優れ軽量である利点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、ノルボルネン系樹脂等の各種のプラスチックフィルムを基材とした透明導電性薄膜が用いられるようになった。   A transparent thin film that is transparent in the visible light region and is used for purposes such as preventing static charges and blocking electromagnetic waves in transparent devices in addition to transparent electrodes in liquid crystal displays, electroluminescence displays, plasma displays, and touch panels. Has been. Conventionally, such a transparent conductive thin film is known in which an indium oxide thin film is formed on glass. However, since the base material is glass, it is inferior in flexibility and workability and heavy. It was not preferable because it was easy to break. For this reason, in recent years, in addition to flexibility and workability, it has excellent impact resistance and light weight, so transparent conductive materials based on various plastic films such as polyethylene terephthalate, polyethersulfone, polycarbonate, norbornene resin, etc. Thin films have been used.

このようなフィルム基材を用いて製造された従来の透明導電性薄膜は、耐摩擦性に劣り、使用中に傷がついて、電気抵抗が増大したり、断線を生じる問題があった。特に、タッチパネル用の導電性薄膜では、スペーサーを介して対向させた一対の薄膜同士がその一方の基材側からの押圧打点で強く接触するものであるために、これに抗しうる良好な耐久特性つまり打点特性を有していることが望まれるが、従来の透明導電性薄膜ではこのような特性に劣り、タッチパネルとしての寿命が短くなるという問題があった。   The conventional transparent conductive thin film manufactured using such a film base material has inferior friction resistance, and has a problem in that it is damaged during use, resulting in increased electrical resistance or disconnection. In particular, in conductive thin films for touch panels, a pair of thin films facing each other via a spacer come into strong contact with each other at the pressing point from the side of one of the substrates, so that good durability can be resisted. Although it is desired to have a characteristic, that is, a hitting point characteristic, the conventional transparent conductive thin film is inferior to such a characteristic and has a problem that the life of the touch panel is shortened.

この問題の解決のために、特許公報第2667680号には、特定厚みの透明フィルム基材の、一方の面上にあらかじめ導電性薄膜をスパッタリング等により形成させた後に、他方の面に特定の特性を有する透明粘着剤を介して透明基材を貼りあわせた透明導電性積層体が提案されている。この方法では、粘着剤がクッションの役目を果たし、透明導電性薄膜の耐磨耗性は大幅に改善できるものの、本質的にフィルムと透明導電膜間の接着が不十分なことに起因する耐久性の不足は解決されておらず、さらにフィルムと貼り合わせによる透明度の低下、作業工程の増加などの問題があった。   In order to solve this problem, Japanese Patent No. 2667680 discloses that a transparent thin film base material having a specific thickness is formed with a conductive thin film on one side in advance by sputtering or the like, and then has a specific characteristic on the other side. There has been proposed a transparent conductive laminate in which a transparent substrate is bonded through a transparent pressure-sensitive adhesive. In this method, the pressure-sensitive adhesive acts as a cushion, and the abrasion resistance of the transparent conductive thin film can be greatly improved, but the durability inherently due to insufficient adhesion between the film and the transparent conductive film. Insufficient deficiency has not been solved, and there have been problems such as a decrease in transparency due to bonding with the film and an increase in work processes.

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、フィルム基材に形成される透明導電性薄膜の耐擦傷性および打点特性を改良し、しかも生産性も優れている透明導電性積層体の製造方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and is a transparent conductive laminate that improves the scratch resistance and the hit point characteristics of a transparent conductive thin film formed on a film substrate and is excellent in productivity. The object is to provide a manufacturing method.

本発明の透明導電性積層体の製造方法は、透明フィルム上に、該フィルムの温度を160℃以上に保って透明導電膜を形成することを特徴とする。この方法によれば、耐擦傷性および打点特性に優れた透明導電性積層体を生産性よく製造することができる。   The method for producing a transparent conductive laminate of the present invention is characterized in that a transparent conductive film is formed on a transparent film while maintaining the temperature of the film at 160 ° C. or higher. According to this method, a transparent conductive laminate excellent in scratch resistance and hitting point characteristics can be produced with high productivity.

本発明によれば、透明フィルム上に少なくとも160℃以上の温度条件で透明導電膜を形成することにより、耐擦傷性および打点特性に優れた透明導電性積層体を生産性よく製造することができる。   According to the present invention, by forming a transparent conductive film on a transparent film under a temperature condition of at least 160 ° C., a transparent conductive laminate excellent in scratch resistance and spot characteristics can be produced with high productivity. .

本発明において使用されるフィルム基材としては、透明性を有し、かつ160℃以上の温度での透明導電膜製膜プロセスにおいて、基材の変形、変色等の品質変化がない各種のプラスチックフィルムを使用できる。具体的には、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリアクリル、アセチルセルロース、ポリアリレート、ポリスルフォン、ノルボルネン系樹脂等が挙げられる。   As the film substrate used in the present invention, various plastic films having transparency and having no quality change such as deformation and discoloration of the substrate in a transparent conductive film forming process at a temperature of 160 ° C. or higher. Can be used. Specific examples include polyimide, polyethersulfone, polyetheretherketone, polycarbonate, polyamide, polyacryl, acetylcellulose, polyarylate, polysulfone, and norbornene resin.

液晶ディスプレーやタッチパネル等のディスプレーの透明電極に用いる場合、透明性や非旋光性等の光学特性、低吸水性、耐熱性、機械的強度等の物理特性、価格等の様々な観点からフィルム基材が選ばれるため、それぞれのフィルム基材に一長一短があるが、総合的な観点から見ると、ポリカーボネート、ポリエーテルサルフォン、ノルボルネン系樹脂が好ましい。さらに近年画質の品質や高温高湿時の寸法安定性が重要視されてきており、この観点から見ると、透明性、光の分散性(屈折率や複屈折の波長依存性)や非旋光性等の光学特性、耐熱性、低吸水性が他のポリマーに比べてはるかに優れているノルボルネン系樹脂が特に好ましい。   When used for transparent electrodes of displays such as liquid crystal displays and touch panels, film bases from various viewpoints such as optical properties such as transparency and non-rotatory properties, physical properties such as low water absorption, heat resistance, mechanical strength, and price However, from the comprehensive viewpoint, polycarbonate, polyether sulfone, and norbornene resin are preferable. In recent years, quality of image quality and dimensional stability at high temperature and high humidity have become important. From this viewpoint, transparency, light dispersibility (refractive index and wavelength dependence of birefringence), and non-optical rotation Particularly preferred are norbornene-based resins having optical properties such as heat resistance and low water absorption that are far superior to other polymers.

ノルボルネン系樹脂は、ノルボルネン構造を有するモノマーと必要に応じて加えられた他の重合性モノマーとを、開環重合したり付加重合したりして得られるポリマーが含まれるものであるが、とりわけ、下記式(1)で表される環状オレフィンに由来する繰り返し単位を少なくとも1種含む環状オレフィン付加共重合体が好ましい。   The norbornene-based resin includes a polymer obtained by ring-opening polymerization or addition polymerization of a monomer having a norbornene structure and another polymerizable monomer added as necessary. A cyclic olefin addition copolymer containing at least one repeating unit derived from a cyclic olefin represented by the following formula (1) is preferred.

Figure 2006090448
Figure 2006090448

〔式(1)中、A1〜A4はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、ハロゲン化炭化水素基、エステル基、アルコキシ基、トリアルキルシリル基、加水分解性シリル基、オキセタニル基を含む置換基から選ばれた置換基であり、これらの置換基はさらに炭素数1〜10のアルキレン基あるいは酸素原子を含む炭素数1〜10の連結基を介して連結されていてもよい。また、A1とA2またはA1とA4は互いに結合してアルキレン基、アリーレン基、酸無水物、ラクトンを形成していてもよい。mは0または1である。〕
環状オレフィン系付加重合体がアルキル基を有する置換環状オレフィンの繰り返し単位を任意に含むことにより、得られる環状オレフィン系重合体のガラス転移温度を制御するなど成形加工性を改良でき、かつ得られるフィルム基材に柔軟性を付与できる。
Wherein (1), A 1 ~A 4 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, a halogenated hydrocarbon group, an ester group, It is a substituent selected from an alkoxy group, a trialkylsilyl group, a hydrolyzable silyl group, and a substituent containing an oxetanyl group, and these substituents further have an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms or a carbon number containing an oxygen atom. It may be linked via 1-10 linking groups. A 1 and A 2 or A 1 and A 4 may be bonded to each other to form an alkylene group, an arylene group, an acid anhydride, or a lactone. m is 0 or 1. ]
The cyclic olefin addition polymer optionally contains a repeating unit of a substituted cyclic olefin having an alkyl group, thereby improving the molding processability such as controlling the glass transition temperature of the obtained cyclic olefin polymer, and the resulting film Flexibility can be imparted to the substrate.

また、環状オレフィン系付加重合体が加水分解性シリル基あるいはオキセタニル基を含む置換基を有する繰り返し単位を含む場合ならば、加熱あるいは光照射によって酸を発生する化合物(以下、それぞれ「熱酸発生剤」、「光酸発生剤」ともいう。)の作用により架橋構造を形成し、得られたフィルム基材の耐薬品性あるいは機械的強度を向上させることができる。ここで、加水分解性シリル基とは、酸触媒および適宜供給される水あるいは水蒸気による加水分解/縮合反応を経てシロキサン結合を形成し、その結果シリル基間の架橋を可能とするものであり、下記式(2)あるいは下記式(3)で表されるものである。   In addition, when the cyclic olefin-based addition polymer includes a repeating unit having a hydrolyzable silyl group or oxetanyl group-containing substituent, a compound that generates an acid by heating or light irradiation (hereinafter referred to as “thermal acid generator”, respectively). ”And“ photo acid generator ”) to form a cross-linked structure and improve the chemical resistance or mechanical strength of the obtained film substrate. Here, the hydrolyzable silyl group forms a siloxane bond through a hydrolysis / condensation reaction with an acid catalyst and water or water vapor supplied as appropriate, thereby enabling cross-linking between the silyl groups. It is represented by the following formula (2) or the following formula (3).

Figure 2006090448
Figure 2006090448

[式(2)中、R1,R2,R3の少なくとも1つはアルコキシ基、アリロキシ基およびハロゲン原子から選ばれた置換基を示し、それ以外は炭素数が1〜3のアルキル基である。][In the formula (2), at least one of R 1 , R 2 and R 3 represents a substituent selected from an alkoxy group, an allyloxy group and a halogen atom, and the others are alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms. is there. ]

Figure 2006090448
Figure 2006090448

[式(3)中、R4は水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を示し、Yは炭素数2〜20の脂肪族ジオール、脂環族ジオールあるいは芳香族ジオールの炭化水素残基を示す。]
かかる架橋可能な繰り返し単位の全繰り返し単位中の割合としては、通常、30モル%以下、好ましくは20モル%、さらに好ましくは15モル%以下である。30モル%を超えると、フィルム基材の吸水性が増大したり、架橋時の収縮が大きいため目的とする用途に不適切なものとなることがある。
[In the formula (3), R 4 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and Y represents a hydrocarbon residue of an aliphatic diol, alicyclic diol or aromatic diol having 2 to 20 carbon atoms. Show. ]
The ratio of such crosslinkable repeating units in all repeating units is usually 30 mol% or less, preferably 20 mol%, more preferably 15 mol% or less. If it exceeds 30 mol%, the water absorption of the film substrate may increase, or the shrinkage during crosslinking may be large, which may be inappropriate for the intended use.

前記熱酸発生剤としては、50℃以上で酸が発生する化合物が好ましく用いられ、また、前記光酸発生剤としては、g線、h線、i線、紫外線、遠紫外線、X線、電子線等の光線照射によりブレンステッド酸またはルイス酸を生成する化合物が用いられる。これらは公知の物質を適宜選択してよく、1種単独で用いても2種以上組み合わせて用いてもよい。熱酸発生剤および光酸発生剤は、環状オレフィン系付加重合体100重量部当たり、0.001〜10重量部、好ましくは0.01〜5.0重量部の範囲で用いることができる。0.001重量部より少ない場合には架橋の効果が充分に得られず、10重量部を超えると、フィルム基材の機械的強度、電気特性、透明性が損なわれることがある。   As the thermal acid generator, a compound capable of generating an acid at 50 ° C. or higher is preferably used, and as the photoacid generator, g-line, h-line, i-line, ultraviolet ray, far-ultraviolet ray, X-ray, electron A compound that generates a Bronsted acid or a Lewis acid by irradiation with light such as a line is used. These may be appropriately selected from known substances and may be used alone or in combination of two or more. The thermal acid generator and the photoacid generator can be used in the range of 0.001 to 10 parts by weight, preferably 0.01 to 5.0 parts by weight, per 100 parts by weight of the cyclic olefin addition polymer. When the amount is less than 0.001 part by weight, the effect of crosslinking is not sufficiently obtained, and when the amount exceeds 10 parts by weight, the mechanical strength, electrical properties, and transparency of the film substrate may be impaired.

これら環状オレフィン系付加重合体を得るために用いる単量体として、重合に関与しない不飽和結合を有するもの、例えばトリシクロ[5.2.1.02,6]デカ−3,8−ジエン(ジシクロペンタジエン)やエチリデンノルボルネンなどを用いた場合、フィルム基材が高温下での劣化を受けやすくなる。このような問題は、これら環状オレフィンを付加重合した後に不飽和結合の90モル%以上、好ましくは95モル%以上、さらに好ましくは99モル%以上を水素化することで回避できる。水素化反応は、公知の不均一系触媒あるいは均一系触媒を適宜用い、通常、水素圧1.0〜15MPaの範囲、温度50〜250℃の範囲で行うことができる。Monomers used for obtaining these cyclic olefin addition polymers are those having an unsaturated bond not involved in polymerization, such as tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] deca-3,8-diene ( When dicyclopentadiene) or ethylidene norbornene is used, the film base material is susceptible to deterioration at high temperatures. Such a problem can be avoided by hydrogenating 90 mol% or more, preferably 95 mol% or more, more preferably 99 mol% or more of the unsaturated bonds after addition polymerization of these cyclic olefins. The hydrogenation reaction can be carried out using a known heterogeneous catalyst or a homogeneous catalyst as appropriate, usually in a hydrogen pressure range of 1.0 to 15 MPa and a temperature range of 50 to 250 ° C.

これらフィルム基材を構成する樹脂のガラス転移温度は、少なくとも180℃以上、好ましくは200℃以上、さらに好ましくは230℃以上、特に好ましくは250〜400℃である。ガラス転移温度が180℃以下では透明導電膜製膜の際に、フィルム基材が変形、収縮等により実用に耐えないものとなってしまうことがある。
さらに本発明のフィルム基材は、フィルム厚み100μmでのリターデーションが15nm以下、全光線透過率が90%以上であることが好ましい。リターデーションが15nm以上になると円偏光フィルムを用いたインナー型タッチパネルの上部基材などへの使用が困難となる。また全光線透過率が90%未満になるとパネル画面が暗くなるなどの不都合が生じる。
The glass transition temperature of the resin constituting these film base materials is at least 180 ° C or higher, preferably 200 ° C or higher, more preferably 230 ° C or higher, and particularly preferably 250 to 400 ° C. When the glass transition temperature is 180 ° C. or lower, the film base material may be unpractical due to deformation, shrinkage, etc., when forming a transparent conductive film.
Further, the film substrate of the present invention preferably has a retardation of 15 nm or less and a total light transmittance of 90% or more at a film thickness of 100 μm. When the retardation is 15 nm or more, it becomes difficult to use the inner-type touch panel using a circularly polarizing film as an upper substrate. In addition, when the total light transmittance is less than 90%, the panel screen becomes dark.

また、フィルム中には、必要に応じて酸化防止剤、離型剤、紫外線吸収剤、滑剤、着色剤など通常フィルムの中に混入して用いられる添加剤、さらに架橋反応のための助剤等を、種々の目的で添加することも可能である。フィルム基材を製造する方法は、特に限定されることはなく、公知の溶融押出し法、溶液キャスティング法、塗工法等の方法を用いることができるが、フィルムの表面平滑性から見ると溶液キャスティング法や塗工法で製造したフィルム基材が好ましい。また必要に応じてフィルム製造工程の中で、熱、光、水蒸気等により架橋反応を行わせることもできる。   Also, in the film, if necessary, additives such as antioxidants, mold release agents, ultraviolet absorbers, lubricants, colorants, etc. that are usually mixed in the film, further aids for crosslinking reaction, etc. Can also be added for various purposes. The method for producing the film substrate is not particularly limited, and known melt extrusion methods, solution casting methods, coating methods, and the like can be used. From the viewpoint of the surface smoothness of the film, the solution casting method A film substrate manufactured by a coating method is preferred. Moreover, a crosslinking reaction can also be performed by heat, light, water vapor or the like in the film production process as necessary.

本発明ではフィルム基材の厚みは、2〜400μm程度が好ましい。2μmより薄いと
基材そのものの機械的強度が不足し、この基材をロール状にして粘着剤層を塗布したり、後述するハードコーティング処理等の連続作業に困難が伴う。このような観点で、10μm以上の厚みであることが好ましく、20μm以上であることが特に好ましい。400μm以上になると、ロール状にすると巻癖がつき、連続作業が困難であるばかりか、巻癖が残存するため使用できないことになる。このような観点で、好ましい厚みは、300μm以下であり、特に好ましくは250μm以下である。
In the present invention, the thickness of the film substrate is preferably about 2 to 400 μm. If the thickness is less than 2 μm, the mechanical strength of the substrate itself is insufficient, and it is difficult to perform continuous operations such as applying a pressure-sensitive adhesive layer in the form of a roll or performing a hard coating process described later. From such a viewpoint, the thickness is preferably 10 μm or more, and particularly preferably 20 μm or more. When it is 400 μm or more, when it is formed into a roll, it will be curled and not only continuous work will be difficult, but it will be unusable because it remains. From such a viewpoint, the preferable thickness is 300 μm or less, and particularly preferably 250 μm or less.

このフィルム基材は、その表面に予めスパッタリング、コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化成、酸化などのエッチング処理や下塗り処理を施して、この上に設けられる導電性薄膜や粘着剤、あるいは必要に応じて機能化するためにフィルム表面に形成される各種コート剤や薄膜の密着性を高めることもできる。また、導電性薄膜等を設ける前に、必要に応じて溶剤や水、酸、アルカリ等による洗浄や超音波洗浄などにより除塵、洗浄化しておくこともできる。   This film base material is subjected to etching treatment and undercoating treatment such as sputtering, corona discharge, flame, ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, chemical conversion, oxidation on the surface in advance, and a conductive thin film or adhesive provided on the surface, Or in order to make it functional as needed, the adhesiveness of the various coating agents and thin films which are formed in the film surface can also be improved. In addition, before providing the conductive thin film or the like, dust can be removed and cleaned by cleaning with a solvent, water, acid, alkali, or the like, or ultrasonic cleaning, if necessary.

本発明で使用するフィルム基材は、同フィルム基材同士、あるいは異種のフィルム基材と粘着剤、接着剤を介して貼り合わせて使用することもできる。この貼り合わせは、透明フィルム基材の一方に粘着剤層、あるいは接着剤層を設けておき、これに他方のフィルム基材を貼り合わせることで実施できる。この貼り合わせは、公知の方法を適宜選んで実施できるが、フィルムをロール状にして、連続的に行うのが生産性の面で有利である。粘着剤層、接着剤層としては、透明性を有するものであれば、特に制限されることはない。   The film base material used in the present invention can be used by bonding the film base materials to each other or different film base materials with a pressure-sensitive adhesive and an adhesive. This bonding can be carried out by providing a pressure-sensitive adhesive layer or an adhesive layer on one side of the transparent film substrate and bonding the other film substrate to this. This bonding can be carried out by appropriately selecting a known method, but it is advantageous in terms of productivity to perform the film continuously in a roll shape. The pressure-sensitive adhesive layer and the adhesive layer are not particularly limited as long as they have transparency.

本発明の透明導電性積層体を形成するため、フィルム基材の片方の外表面に透明な導電性薄膜を形成する。導電性薄膜の形成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの従来公知の技術をいずれも使用できるが、膜の均一性や透明基材への薄膜の密着性の観点から、スパッタリング法での薄膜形成が好ましい。また、用いる薄膜材料も特に制限されるものではなく、例えば、酸化錫を含有する酸化インジウム、アンチモンを含有する酸化錫などの金属酸化物のほか、金、銀、白金、パラジウム、銅、アルミニウム、ニッケル、クロム、チタン、コバルト、錫またはこれらの合金などが好ましく用いられる。この導電性薄膜の厚さは、30Å以上とすることが必要で、これより薄いと表面抵抗が、1000Ω/□以下となる良好な導電性を有する連続被膜となり難い。一方、厚くしすぎると透明性の低下などをきたすために、好適な厚さとしては、50〜2000Å程度である。   In order to form the transparent conductive laminate of the present invention, a transparent conductive thin film is formed on one outer surface of the film substrate. As a method for forming a conductive thin film, any of the conventionally known techniques such as vacuum deposition, sputtering, and ion plating can be used. From the viewpoint of film uniformity and thin film adhesion to a transparent substrate. The thin film formation by sputtering is preferred. Further, the thin film material to be used is not particularly limited. For example, in addition to metal oxides such as indium oxide containing tin oxide and tin oxide containing antimony, gold, silver, platinum, palladium, copper, aluminum, Nickel, chromium, titanium, cobalt, tin, or alloys thereof are preferably used. The thickness of the conductive thin film needs to be 30 mm or more, and if it is thinner than this, it is difficult to form a continuous film having good conductivity with a surface resistance of 1000 Ω / □ or less. On the other hand, if it is too thick, it causes a decrease in transparency and the like, and a suitable thickness is about 50 to 2000 mm.

本発明においては、透明導電膜を製膜する際の温度をコントロールすることが重要である。従来フィルムへのスパッタリングでは100℃以下の温度で実施されていた。フィルム基材と透明導電膜の接着力にはスパッタリング温度が大きく影響する。160℃以上の温度で製膜した場合に、耐久性に優れた透明導電性積層体を得ることができる。またより抵抗値を下げるためには180℃以上での製膜がさらに好ましく、200℃以上での製膜が特に好ましい。   In the present invention, it is important to control the temperature at which the transparent conductive film is formed. Conventionally, sputtering on a film has been performed at a temperature of 100 ° C. or lower. Sputtering temperature greatly affects the adhesion between the film substrate and the transparent conductive film. When a film is formed at a temperature of 160 ° C. or higher, a transparent conductive laminate excellent in durability can be obtained. In order to further reduce the resistance value, film formation at 180 ° C. or higher is further preferable, and film formation at 200 ° C. or higher is particularly preferable.

このようにして製膜された導電性薄膜の上に透明な誘電体薄膜を形成すると、さらに透明性と耐擦傷性、打点特性が改善され、より好ましい透明導電性積層体が得られる。この誘電体薄膜は、導電性薄膜の屈折率より小さいもの、通常1.3〜2.0、好ましくは1.3〜1.6の屈折率を有するものがよく、例えばCaF2、MgF2、NaAlF6、Al23、SiOx(x=1〜2)、ThF4などが好ましく、この中でもSiOxがもっとも好ましい。これらの材料は、目的に従って、2種以上を併用することもできる。誘電体の膜厚は、100Å以上とすることが好ましく、通常100〜3000Å、好適には200〜1500Åが好ましい。薄いと連続被膜が得られ難く透明性や耐擦傷性改善効果が小さく、厚いと導電性や透明性が悪化しクラックが生じ易くなる。誘電体の形成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、塗工法など公知の方法で実施することができる。When a transparent dielectric thin film is formed on the conductive thin film thus formed, the transparency, scratch resistance, and dot characteristics are further improved, and a more preferable transparent conductive laminate is obtained. The dielectric thin film should have a refractive index smaller than that of the conductive thin film, usually 1.3 to 2.0, preferably 1.3 to 1.6. For example, CaF 2 , MgF 2 , NaAlF 6 , Al 2 O 3 , SiOx (x = 1 to 2), ThF 4 and the like are preferable, and among these, SiOx is most preferable. These materials may be used in combination of two or more according to the purpose. The film thickness of the dielectric is preferably 100 mm or more, usually 100 to 3000 mm, preferably 200 to 1500 mm. If it is thin, it is difficult to obtain a continuous film, and the effect of improving transparency and scratch resistance is small. If it is thick, conductivity and transparency are deteriorated and cracks are likely to occur. The dielectric can be formed by a known method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or a coating method.

次に、透明導電性積層体に、目的に応じて各種機能を付与する場合があり、むしろこれらが、より好適な実施態様になる場合が多い。これについて以下説明を加える。
フィルム基材は透明導電性薄膜の形成やその後の加工あるいは装置組み立て時に、傷が生じ易く、また積層体において、導電性薄膜を形成した面の反対側の面は裸の状態にあるために、使用中に表面傷が生じ易く、これが原因で透明導電膜積層体としての視認性が低下する問題があり、これを避けるためにフィルム基材にハードコート処理を施したものを用いるのが好ましい。
Next, there are cases where various functions are imparted to the transparent conductive laminate depending on the purpose, but these are often more preferred embodiments. This will be described below.
The film base is easily damaged during the formation of the transparent conductive thin film and the subsequent processing or device assembly, and in the laminate, the surface opposite to the surface on which the conductive thin film is formed is bare, Surface scratches are likely to occur during use, and this causes a problem that the visibility as a transparent conductive film laminate is lowered. In order to avoid this, it is preferable to use a film substrate subjected to a hard coat treatment.

ハードコート処理は、透明導電膜製膜前、あるいは後にフィルムの両面或いは片面に実施することができる。ハードコート処理を、積層体における導電薄膜の反対側の外表面に実施することが特に好ましい。ハードコート処理層は、メラニン系樹脂、ウレタン系樹脂、アルキド系樹脂、アクリル系樹脂、シリコン系樹脂等の硬化型樹脂からなる硬化被膜であることが好ましい。ハードコート処理層のうちアクリル系樹脂は、導電薄膜の密着性を高めることもあり、導電膜形成前の下地剤としての効果も有するのでもっとも好適に用いられる。   The hard coat treatment can be performed on both sides or one side of the film before or after the transparent conductive film is formed. It is particularly preferable that the hard coat treatment is performed on the outer surface on the opposite side of the conductive thin film in the laminate. The hard coat treatment layer is preferably a cured film made of a curable resin such as melanin resin, urethane resin, alkyd resin, acrylic resin, or silicon resin. Among the hard coat treatment layers, the acrylic resin is most preferably used because it may improve the adhesion of the conductive thin film and has an effect as a base agent before forming the conductive film.

このような硬化被膜の形成に際しては、上述の硬化型樹脂に必要に応じて帯電防止剤、重合開始剤などの各種の添加物を加えてなる組成物を、通常溶剤で希釈して固形分が20〜80重量%となるように調製し、これを透明フィルム基材の一面に、一般的な溶液塗工手段であるグラビアコータ、リバースコータ、スプレーコータ、スロットオリフィスコータまたはスクリーン印刷などの手段により、乾燥硬化後の厚みが1〜15μm程度となるように塗布した後、加熱乾燥後紫外線照射や電子線照射あるいは加熱により硬化させることができる。このハードコート処理層の形成に先立ち、被着面にコロナ放電、紫外線照射、プラズマ処理、スパッタエッチング処理、プライマ処理などの易接着処理をすることで、透明フィルムとハードコート処理層との密着性を高めることができる。   In forming such a cured film, a composition obtained by adding various additives such as an antistatic agent and a polymerization initiator to the above-mentioned curable resin as necessary is usually diluted with a solvent to obtain a solid content. It is prepared to 20 to 80% by weight, and this is applied to one side of a transparent film substrate by means of a general solution coating means such as a gravure coater, reverse coater, spray coater, slot orifice coater or screen printing. Then, after coating so that the thickness after drying and curing is about 1 to 15 μm, it can be cured by ultraviolet irradiation, electron beam irradiation or heating after heating and drying. Prior to the formation of the hard coat treatment layer, the adhesion surface between the transparent film and the hard coat treatment layer is subjected to easy adhesion treatment such as corona discharge, ultraviolet irradiation, plasma treatment, sputter etching treatment, primer treatment, etc. Can be increased.

また、透明導電性積層体における、透明導電膜を形成した面と反対側の面が裸であるために、眩しさを感じたり、表面に傷が生じるとこれらのことが原因で、透明導電性薄膜を使用した製品において視認性に劣る問題があった。この問題を解決するために、防眩処理剤をフィルム外表面に塗工したものが好ましく使用される。
防眩処理剤は、上述のハードコート剤にシリカ粒子を分散結着させてなる硬化膜が好ましい。ここで用いるシリカ粒子は、非晶質で多孔性のものであり、代表例としてシリカゲルを挙げることができる。平均粒子径としては、通常30μm以下、好ましくは2〜15μm程度であり、配合割合は、樹脂100重量部に対してシリカ粒子が、0.1〜10重量部となるようにするのが好ましい。シリカ粒子の量が少ないと、防眩効果が劣り、多いと光透過率や被膜強度が低下する。防眩処理剤は、上述のハードコート処理とまったく同様にフィルムに塗布し、硬化させることができる。防眩処理剤は、ハードコート処理も兼ねており防眩効果のみでなく、傷防止効果も与える。
In addition, since the surface opposite to the surface on which the transparent conductive film is formed in the transparent conductive laminate is bare, if the surface feels dazzling or has scratches on the surface, the transparent conductive There was a problem that visibility was poor in a product using a thin film. In order to solve this problem, an antiglare treatment agent coated on the outer surface of the film is preferably used.
The antiglare treatment agent is preferably a cured film obtained by dispersing and binding silica particles to the hard coat agent described above. The silica particles used here are amorphous and porous, and a typical example is silica gel. The average particle diameter is usually 30 μm or less, preferably about 2 to 15 μm, and the blending ratio is preferably such that the silica particles are 0.1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the resin. When the amount of the silica particles is small, the antiglare effect is inferior, and when the amount is large, the light transmittance and the coating strength are lowered. The antiglare treatment agent can be applied to a film and cured in exactly the same manner as the hard coat treatment described above. The antiglare treatment agent also serves as a hard coat treatment and provides not only an antiglare effect but also a scratch prevention effect.

次に、反射防止層を設けた透明導電性積層体について説明する。透明導電性薄膜は、ディスプレー装置に用いられ、表面で光が反射すると画像が不鮮明になり、場合によっては画像が見え難くなることがあった。高い光線透過能を有し、基材表面の耐擦傷性に優れ、その上基材表面での光の反射を防止しうる反射防止機能も備えたものは、実用上更に好ましい透明導電性積層体である。   Next, the transparent conductive laminate provided with the antireflection layer will be described. The transparent conductive thin film is used in a display device, and when light is reflected on the surface, the image becomes unclear, and in some cases, the image is difficult to see. A transparent conductive laminate having a high light transmittance, excellent scratch resistance on the surface of the base material, and having an antireflection function capable of preventing light reflection on the surface of the base material. It is.

反射防止層は、導電性薄膜形成後に、この導電性薄膜の形成されていない外表面に形成される。この反射防止層は、フィルム基材とは異なる屈折率を有する単層構造または2層以上の多層構造が含まれる。単層構造では、フィルム基材に比べ小さな屈折率を有する材料が選択される。反射防止効果をより優れたものとするために、多層構造とする場合、フィルム基材に比べ大きな屈折率を有する材料層を設け、その上にこれより小さな屈折率を有する材料層を設けることが好ましく、隣接層相互間で屈折率の異なる材料構成が用いられるが、より好ましくは3層以上の多層構造として最外層の屈折率がこれに隣接する下層の屈折率よりも小さくなるような材料構成とするのがよい。このような反射防止層を構成させるための材料としては、例えばCaF2、MgF2、NaAlF4、Al23、SiOx(x=1〜2)、ThF4、ZrO2、Sb23、Nd23、SnO2、TiO2、In23などの誘導体が挙げられる。その屈折率が前記関係を満たすように適宜選択される。この反射防止層は、導電層と同じような薄膜形成技術により形成することができる。その厚みは、反射防止層としての全体厚が、一般に500〜5000Å程度となる範囲内で選択される。この層は、表面の硬度も高めるため、耐擦傷性も向上する。The antireflection layer is formed on the outer surface where the conductive thin film is not formed after the conductive thin film is formed. This antireflection layer includes a single layer structure having a refractive index different from that of the film substrate or a multilayer structure of two or more layers. In the single layer structure, a material having a smaller refractive index than that of the film substrate is selected. In order to improve the antireflection effect, when a multilayer structure is used, a material layer having a larger refractive index than that of the film substrate may be provided, and a material layer having a smaller refractive index may be provided thereon. Preferably, a material structure having a different refractive index between adjacent layers is used, but more preferably a material structure in which the refractive index of the outermost layer is smaller than the refractive index of the lower layer adjacent thereto as a multilayer structure of three or more layers. It is good to do. As a material for constitution of the antireflection layer, for example CaF 2, MgF 2, NaAlF 4 , Al 2 O 3, SiOx (x = 1~2), ThF 4, ZrO 2, Sb 2 O 3, Derivatives such as Nd 2 O 3 , SnO 2 , TiO 2 , and In 2 O 3 are listed. The refractive index is appropriately selected so as to satisfy the above relationship. This antireflection layer can be formed by a thin film forming technique similar to that of the conductive layer. The thickness is selected within a range in which the total thickness of the antireflection layer is generally about 500 to 5000 mm. Since this layer also increases the hardness of the surface, the scratch resistance is also improved.

また、この透明導電性積層体は、ディスプレー装置に用いられるために、加工時や使用時にその表面に指紋や汚れが生じ、まぶしさを感じるなど薄膜製品全体としての視認性に問題が生じる場合があった。この問題を解決するために、積層体の外表面に撥水および汚れ防止処理層を有する透明導電性積層体は用途によっては好ましい。撥水および汚れ防止処理層は、ハードコート形成とまったく同じようにして、フィルム外表面に形成できる。このような撥水および汚れ防止処理層を形成するための材料としては、例えば水酸基またはビニル基を含有するジメチルポリシロキサンとメチルハイドロジエンポリシロキサンとの組み合わせからなるシリコン含有化合物、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレンなどの弗素系樹脂のほか、硫化モリブデンなどが単独または化合物として用いられる。上記処理層の密着性や硬度向上のため、既述したハードコート剤等の硬化型樹脂に分散結着させ、基材表面に硬化膜層として設けてもよい。また、防眩効果や耐擦傷性を高める目的で、上記シリカ粒子を分散させることもできる。この撥水および汚れ防止層の形成は、特に限定されず、用いる材料に応じて、塗工法、スプレー法、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、焼き付け法などを用いることができる。処理層の厚みは特に限定されないが、通常100Å〜50μm程度が良い。薄いと連続膜が得られ難く撥水効果が乏しく、厚いとクラックが生じ易くなることがある。   In addition, since this transparent conductive laminate is used in a display device, fingerprints and dirt are generated on the surface during processing and use, and there may be a problem in visibility as a whole thin film product such as feeling glare. there were. In order to solve this problem, a transparent conductive laminate having a water-repellent and antifouling treatment layer on the outer surface of the laminate is preferred depending on the application. The water repellent and antifouling treatment layer can be formed on the outer surface of the film in exactly the same manner as the hard coat formation. As a material for forming such a water-repellent and antifouling treatment layer, for example, a silicon-containing compound comprising a combination of a dimethylpolysiloxane containing a hydroxyl group or a vinyl group and a methylhydropolysiloxane, polytetrafluoroethylene, In addition to fluorine-based resins such as polychlorotrifluoroethylene, molybdenum sulfide is used alone or as a compound. In order to improve the adhesion and hardness of the treatment layer, it may be dispersed and bonded to a curable resin such as the hard coat agent described above and provided as a cured film layer on the substrate surface. Moreover, the said silica particle can also be disperse | distributed for the purpose of improving an anti-glare effect and abrasion resistance. The formation of the water-repellent and antifouling layer is not particularly limited, and a coating method, a spray method, a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a baking method, or the like can be used depending on the material used. Although the thickness of a process layer is not specifically limited, About 100 to 50 micrometers is good normally. If it is thin, it is difficult to obtain a continuous film and the water-repellent effect is poor. If it is thick, cracks are likely to occur.

上述の機能化処理は、2種以上を組み合わせて実施することも可能であり、特にハードコート剤と防眩処理と撥水や汚れ防止処理剤とは組み合わせて使用すると効率的である。
[実施例]
以下に、この発明を実施例でより具体的に説明する。
The above-mentioned functionalization treatment can also be carried out in combination of two or more, and it is particularly efficient when used in combination with a hard coat agent, an antiglare treatment, and a water repellent or antifouling treatment agent.
[Example]
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples.

<ノルボルネン系樹脂の合成、フィルム基材の作製>
単量体としてビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2−エンを700ミリモル、endo−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−エン(endo/exo=96/4)を570ミリモル、5−トリエトキシシリルビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2−エンを30ミリモル、1−ヘキセンを5ミリモル、溶媒としてシクロヘキサン400g、塩化メチレン100gを2Lのステンレス製反応器に窒素下で仕込んだ。
<Synthesis of norbornene resin, production of film base>
Bicyclo as monomers [2.2.1] hept-2-ene 700 mmol, endo- tricyclo [5,2,1,0 2,6] dec-8-ene (endo / exo = 96/4 ) 570 mmol, 5-triethoxysilylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene 30 mmol, 1-hexene 5 mmol, cyclohexane 400 g as solvent, 100 g methylene chloride in a 2 L stainless steel reactor with nitrogen Prepared below.

オクタン酸ニッケルのヘキサン溶液とヘキサフロロアンチモン酸を−10℃、モル比1:1で反応させ、副生するビス(ヘキサフロロアンチモン酸)ニッケル、[Ni(SbF62]の沈殿をろ過で除去し、トルエンで希釈した。得られたオクタン酸ニッケルのヘキサフロロアンチモン酸変性体をニッケル原子として0.40ミリモル、三フッ化ホウ素エチルエーテラート1.2ミリモル、メチルアルモキサン8.0ミリモル、1,5−シクロオクタジエン0.4ミリモル、メチルトリエトキシシラン8.0ミリモルを、メチルトリエトキシシラン、1,5−シクロオクタジエン、メチルアルモキサン、三フッ化ホウ素エチルエーテラート、オクタン酸ニッケルのヘキサフロロアンチモン酸変性体の順に仕込み、重合を開始した。30℃で3時間重合を行い、メタノールを添加して重合を停止した。単量体の共重合体への転化率は92%であった。A hexane solution of nickel octoate and hexafluoroantimonic acid are reacted at −10 ° C. and a molar ratio of 1: 1, and by-product precipitation of bis (hexafluoroantimonic acid) nickel and [Ni (SbF 6 ) 2 ] is filtered. Removed and diluted with toluene. The resulting hexafluoroantimonic acid modified form of nickel octoate is 0.40 mmol as a nickel atom, boron trifluoride ethyl etherate 1.2 mmol, methylalumoxane 8.0 mmol, 1,5-cyclooctadiene 0 0.4 mmol, methyltriethoxysilane 8.0 mmol, methyltriethoxysilane, 1,5-cyclooctadiene, methylalumoxane, boron trifluoride ethyl etherate, hexafluoroantimonic acid modified nickel octanoate In order, the polymerization was started. Polymerization was performed at 30 ° C. for 3 hours, and methanol was added to terminate the polymerization. The conversion ratio of the monomer to the copolymer was 92%.

共重合体溶液にシクロヘキサン480gを加えて希釈し、そこに水660ml、乳酸48ミリモルを加え、充分に攪拌混合した後、共重合体溶液と水相を静置分離した。触媒成分の反応物を含む水相を除去し、共重合体溶液を4Lのイソプロピルアルコールに入れて共重合体を凝固し、未反応単量体および触媒残さを除去した。凝固した共重合体を乾燥し、環状オレフィン系付加重合体A(以下、「共重合体A」ともいう。)を75g得た。   The copolymer solution was diluted by adding 480 g of cyclohexane, 660 ml of water and 48 mmol of lactic acid were added thereto, and the mixture was sufficiently stirred and mixed. Then, the copolymer solution and the aqueous phase were allowed to stand and be separated. The aqueous phase containing the reaction product of the catalyst component was removed, and the copolymer solution was put into 4 L of isopropyl alcohol to solidify the copolymer, thereby removing unreacted monomers and catalyst residues. The coagulated copolymer was dried to obtain 75 g of a cyclic olefin addition polymer A (hereinafter also referred to as “copolymer A”).

共重合体A中の5−トリエトキシシリルビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2−エンに由来する繰り返し単位の割合は2.1モル%、endo−トリシクロ[5,2,1,02,6]デカ−8−エンに由来する繰り返し単位の割合は35モル%であった。また、共重合体のポリスチレン換算の数平均分子量は89,000、重量平均分子量は187,000、で、Mw/Mnは2.1であった。The ratio of the repeating unit derived from 5-triethoxysilylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene in the copolymer A is 2.1 mol%, and endo-tricyclo [5,2,1,0 2]. , 6 ] The proportion of repeating units derived from deca-8-ene was 35 mol%. Further, the polystyrene-equivalent number average molecular weight of the copolymer was 89,000, the weight average molecular weight was 187,000, and Mw / Mn was 2.1.

次に、共重合体A10gをシクロヘキサン35.5gに溶解して、酸化防止剤としてペンタエリスリチルテトラキス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]を共重合体100部に対して1.0部、および架橋触媒として亜リン酸トリブチルを共重合体100部に対して0.5部それぞれ添加した。この共重合体溶液をキャストして、生成したフィルムを150℃で2時間乾燥、さらに真空下200℃で1時間乾燥した。さらにこのフィルムを150℃の水蒸気下で4時間熱処理した。その後、真空下200℃で1時間乾燥して、厚さ100μmの架橋フィルムAを作製した。   Next, 10 g of copolymer A is dissolved in 35.5 g of cyclohexane, and pentaerythrityl tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate] is used as an antioxidant as a copolymer. 1.0 part per 100 parts and 0.5 part tributyl phosphite as a crosslinking catalyst were added to 100 parts copolymer. The copolymer solution was cast, and the resulting film was dried at 150 ° C. for 2 hours and further dried at 200 ° C. for 1 hour under vacuum. Further, this film was heat-treated under steam at 150 ° C. for 4 hours. Then, it dried at 200 degreeC under vacuum for 1 hour, and produced the crosslinked film A with a thickness of 100 micrometers.

得られたフィルムAの特性は全光線透過率:91%、ガラス転移温度:375℃、リターデーション:5nmであった。
<透明導電積層体の作成>
上述と同様の操作により得られた縦200mm、横200mm、厚さ100μmのシート上にスパッター機を用いて以下の条件でインジウム−スズ酸化物(ITO)膜を形成した。
The properties of the obtained film A were total light transmittance: 91%, glass transition temperature: 375 ° C., and retardation: 5 nm.
<Creation of transparent conductive laminate>
An indium-tin oxide (ITO) film was formed on a sheet having a length of 200 mm, a width of 200 mm and a thickness of 100 μm obtained by the same operation as described above using a sputtering machine under the following conditions.

基材温度:200℃
ターゲット:In2O3/SnO2=90/10(重量比)の合金
雰囲気:アルゴンガス流入下
スパッター速度:80Å/min
スパッター圧力:10-3 torr
この導電性薄膜の平均抵抗値、透過率、耐擦傷性、打点特性とを測定し表−1に示す。
Substrate temperature: 200 ° C
Target: Alloy of In 2 O 3 / SnO 2 = 90/10 (weight ratio) Atmosphere: Under argon gas flow Sputter speed: 80mm / min
Sputtering pressure: 10 -3 torr
The average resistance value, transmittance, scratch resistance, and spot characteristics of this conductive thin film were measured and shown in Table-1.

フィルム基材として、実施例1と同じフィルムAを用いて、基板温度を250℃に変更した以外は実施例1と同様の方法でITO製膜を実施した。
この導電性薄膜の平均抵抗値、透過率、耐擦傷性、打点特性とを測定し表−1に示す。
Using the same film A as in Example 1 as the film base, ITO film formation was carried out in the same manner as in Example 1 except that the substrate temperature was changed to 250 ° C.
The average resistance value, transmittance, scratch resistance, and spot characteristics of this conductive thin film were measured and shown in Table-1.

フィルム基材として、厚さ100μmの帝人ピュアエース(R)WR(芳香族系ポリカーボネート)フィルムを用いた。 このフィルムの特性は全光線透過率:90%、ガラス転移温度:210℃、リターデーション:20nmであった。本フィルムを用い、基板温度を180℃に変更した以外は実施例1と同様の方法でITO製膜を実施した。
この導電性薄膜の平均抵抗値、透過率、耐擦傷性、打点特性とを測定し表−1に示す。
A Teijin Pure Ace (R) WR (aromatic polycarbonate) film having a thickness of 100 μm was used as the film substrate. The characteristics of this film were total light transmittance: 90%, glass transition temperature: 210 ° C., and retardation: 20 nm. Using this film, ITO film formation was carried out in the same manner as in Example 1 except that the substrate temperature was changed to 180 ° C.
The average resistance value, transmittance, scratch resistance, and spot characteristics of this conductive thin film were measured and shown in Table-1.

充分に窒素で置換した2Lのステンレス製反応器へ、脱水したトルエン750gおよびシクロヘキサン200gを仕込み、5−ブチルビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2−エンを150g、75重量%としたビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2−エンのトルエン溶液を170g加えた。エチレンを20℃における分圧で0.015MPaとなるまで導入した後、反応器のバルブを閉じ75℃に昇温した。続いて0.005mol/lの酢酸パラジウムのトルエン溶液を1.1ml、0.002mol/lのトリシクロヘキシルホスフィンのトルエン溶液を2.75ml、0.001mol/lのトリフェニルカルベニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートのトルエン溶液を5.5ml加え重合を開始した。重合開始後60分および90分経過した際に、上記ビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2−エンのトルエン溶液をそれぞれ15g添加し、重合を合計4時間継続させた。全単量体の重合体への転化率は99%であった。得られた共重合体溶液をイソプロピルアルコール約10Lへ注いで凝固し、真空下80℃で17時間乾燥して環状オレフィン系共重合体B(以下、「共重合体B」ともいう。)を得た。共重合体Bにおける5−ブチルビシクロ[2.2.1]ヘプタ−2−エンに由来する繰り返し単位の割合は39mol%、数平均分子量は42,000、重量平均分子量は175,000であった。   A 2 L stainless steel reactor sufficiently purged with nitrogen was charged with 750 g of dehydrated toluene and 200 g of cyclohexane, and 150 g, 75 wt% of 5-butylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene was added. 2.2.1] 170 g of a toluene solution of hepta-2-ene was added. Ethylene was introduced until the partial pressure at 20 ° C. reached 0.015 MPa, and then the reactor valve was closed and the temperature was raised to 75 ° C. Subsequently, 1.1 ml of a 0.005 mol / l palladium acetate toluene solution, 2.75 ml of a 0.002 mol / l tricyclohexylphosphine toluene solution, and 0.001 mol / l triphenylcarbenium tetrakis (pentafluorophenyl). ) 5.5 ml of a borate solution in toluene was added to initiate polymerization. When 60 minutes and 90 minutes had elapsed after the start of polymerization, 15 g of each of the above toluene solutions of bicyclo [2.2.1] hept-2-ene was added, and the polymerization was continued for a total of 4 hours. The conversion ratio of all monomers to the polymer was 99%. The obtained copolymer solution is poured into about 10 L of isopropyl alcohol to solidify, and dried under vacuum at 80 ° C. for 17 hours to obtain a cyclic olefin copolymer B (hereinafter also referred to as “copolymer B”). It was. In copolymer B, the proportion of repeating units derived from 5-butylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene was 39 mol%, the number average molecular weight was 42,000, and the weight average molecular weight was 175,000. .

共重合体B100重量部をトルエン280重量部とシクロヘキサン70重量部からなる混合溶液に溶解して、酸化防止剤としてペンタエリスリチルテトラキス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]およびトリス(2,4−ジ−t−ブチルフェニル)ホスファイトをそれぞれ0.6重量部添加した。得られた共重合体溶液を孔径10μmのメンブランフィルターで濾過した後、25℃でキャストし、生成したフィルムを160℃で2時間乾燥し、厚さ100μmのフィルムBを作成した。得られたフィルムBの特性は、全光線透過率が93%、ガラス転移温度が345℃、リターデーションが5nmであった。   100 parts by weight of copolymer B was dissolved in a mixed solution consisting of 280 parts by weight of toluene and 70 parts by weight of cyclohexane, and pentaerythrityltetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxy) was used as an antioxidant. Phenyl) propionate] and tris (2,4-di-t-butylphenyl) phosphite were each added in an amount of 0.6 parts by weight. The obtained copolymer solution was filtered through a membrane filter having a pore size of 10 μm, cast at 25 ° C., and the resulting film was dried at 160 ° C. for 2 hours to prepare a film B having a thickness of 100 μm. As for the characteristics of the obtained film B, the total light transmittance was 93%, the glass transition temperature was 345 ° C., and the retardation was 5 nm.

得られたフィルムBを用い、実施例2と同様の方法にてITO製膜を実施した。この導電性薄膜の平均抵抗値、透過率、耐擦傷性、打点特性を測定し表−1に示す。   Using the obtained film B, ITO film formation was carried out in the same manner as in Example 2. The average resistance value, transmittance, scratch resistance, and spot characteristics of this conductive thin film were measured and shown in Table-1.

比較例1Comparative Example 1

フィルム基材として、厚さ100μmのJSRアートン(R)(ノルボルネン系)フィルムを用いた。 このフィルムの特性は全光線透過率:90%、ガラス転移温度:170℃、リターデーション:3nmであった。本フィルムを用い、基板温度を130℃に変更した以外は実施例1と同様の方法でITO製膜を実施した。
この導電性薄膜の平均抵抗値、透過率、耐擦傷性、打点特性とを測定し表−1に示す。
As the film substrate, a JSR ARTON (R) (norbornene-based) film having a thickness of 100 μm was used. The characteristics of this film were total light transmittance: 90%, glass transition temperature: 170 ° C., and retardation: 3 nm. Using this film, ITO film formation was carried out in the same manner as in Example 1 except that the substrate temperature was changed to 130 ° C.
The average resistance value, transmittance, scratch resistance, and spot characteristics of this conductive thin film were measured and shown in Table-1.

比較例2Comparative Example 2

フィルム基材として厚さが25μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(以下PETフィルムという。)を用いて、基板温度を50℃に変更した以外は実施例1と同様の方法でITO製膜を実施した。ついで上記PETフィルムの他方の面に、弾性係数が1.2×10の6乗dyn/cm2に調整されたアクリル系の透明な粘着剤層(アクリル酸ブチルとアクリル酸と酢酸ビニルの重合比100:2:5の共重合体100重量部にイソシアネート系架橋剤を1重量部配合させたもの)を約20μmの厚さに形成し、この上に厚さが100μmのPETフィルムを貼りあわせた。この導電性薄膜の平均抵抗値、透過率、耐擦傷性、打点特性とを測定し表−1に示す。Using a polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as PET film) having a thickness of 25 μm as a film base material, ITO film formation was carried out in the same manner as in Example 1 except that the substrate temperature was changed to 50 ° C. Then, on the other surface of the PET film, an acrylic transparent pressure-sensitive adhesive layer (polymerization ratio of butyl acrylate, acrylic acid and vinyl acetate) having an elastic modulus of 1.2 × 10 6 dyn / cm 2 was adjusted. 100 parts by weight of a 100: 2: 5 copolymer was blended with 1 part by weight of an isocyanate-based crosslinking agent) to a thickness of about 20 μm, and a PET film with a thickness of 100 μm was laminated thereon. . The average resistance value, transmittance, scratch resistance, and spot characteristics of this conductive thin film were measured and shown in Table-1.

フィルム基材の特性は以下のように実施した。
全光線透過率・・ASTM−D1003に準拠し、厚さが100μmのフィルムで測定した。
ガラス転移温度・・動的粘弾性のtanδ(貯蔵弾性率E'と損失弾性率E''との比)ピーク温度でフィルム基材のガラス転移温度を測定した。動的粘弾性の測定はレオバイブロンDDV−01FP(オリエンテック製)を用い、測定周波数が10Hz、昇温速度が4℃/分、加振モードが単一波形、加振振幅が2.5μmのものを用いて得られるtanδの温度分散のピーク温度で求めた。
The characteristics of the film substrate were carried out as follows.
Total light transmittance: Measured with a film having a thickness of 100 μm based on ASTM-D1003.
Glass transition temperature: The glass transition temperature of the film substrate was measured at the peak temperature of tan δ (ratio of storage elastic modulus E ′ and loss elastic modulus E ″) of dynamic viscoelasticity. For measurement of dynamic viscoelasticity, use Leo Vibron DDV-01FP (Orientec), measurement frequency is 10Hz, heating rate is 4 ° C / min, vibration mode is single waveform, vibration amplitude is 2.5μm The peak temperature of the temperature dispersion of tan δ obtained by use was obtained.

リターデーション・・回転アナライザー式自動エリプソメーター((株)溝尻光学工業所製)を用いて楕円偏向解析法により、楕円偏向の位相差Δを測定することで、以下の式(1)よりリターデーションReを計算した。なお、レーザー光の入射光角度を0°とし、リターデーションを評価した。
Δ=−k0(nx−ny)d=−k0Re (1)
ただし、k 0は波数( = 2π/λ)、nx,ny,nzはフィルムの3次元屈折率を直交する座標系x,y,zに取った際の各屈折率,dはフィルム光路長である。
Retardation: By measuring the phase difference Δ of the elliptical deflection by the elliptical deflection analysis method using a rotation analyzer type automatic ellipsometer (manufactured by Mizoji Optical Co., Ltd.), the retardation is obtained from the following formula (1). Re was calculated. In addition, the incident light angle of the laser beam was set to 0 °, and retardation was evaluated.
Δ = -k 0 (n x -n y) d = -k 0 Re (1)
However, k 0 is the wave number (= 2π / λ), n x, n y, n z is the coordinate system x, each refractive index at the time of taking y, and z orthogonal three-dimensional refractive index of the film, d is film The optical path length.

作製した透明導電性積層体の特性の測定法は以下の通りである。
・平均抵抗値・・四端子法を用い、等間隔で9点を測定し、平均値を計算して求めた。
・透過率・・分光透過率計を用い、550nmの波長の、光の透過率を求めた。
・耐擦傷性・・ヘイドン表面性測定機を用い、荷重90g/cm2のガーゼで、擦傷速度30cm/分、擦傷回数100回の条件で薄膜表面を擦った後に、抵抗値(Rs)を測定し、初期値(Ro)に対する変化率を求めた。
・打点特性・・2枚の透明導電性積層フィルムを厚さ100μmのスペーサーを介して導電性薄膜同士が向かい合うように対向配置し、硬度40度のウレタンゴムからなるロッド(鍵先7R)を用いて、荷重90gで100万回のセンター打点を行った後に、抵抗値(Rd)を測定し、初期抵抗値(Ro)に対する変化率を求めた。
The measuring method of the characteristic of the produced transparent conductive laminated body is as follows.
-Average resistance value: Using the four probe method, nine points were measured at equal intervals, and the average value was calculated.
-Transmittance-The transmittance of light at a wavelength of 550 nm was determined using a spectral transmittance meter.
・ Abrasion resistance ・ ・ A resistance value (Rs) was measured after rubbing the surface of a thin film with a gauze with a load of 90 g / cm 2 and a scratch rate of 30 cm / min and a scratch count of 100 using a Haydon surface property measuring instrument. The rate of change with respect to the initial value (Ro) was obtained.
-Dot characteristics-Two transparent conductive laminated films are placed facing each other so that the conductive thin films face each other with a spacer of 100 µm in thickness, and a rod (key tip 7R) made of urethane rubber with a hardness of 40 degrees is used. Then, after performing center hitting of 1 million times with a load of 90 g, the resistance value (Rd) was measured to determine the rate of change with respect to the initial resistance value (Ro).

Figure 2006090448
Figure 2006090448








上記結果から明らかなように、本発明では、透明導電性積層体を、フィルム基材を160℃以上の温度に保って導電性薄膜をスパッタリングにより形成しており、スパッタリングによる導電薄膜形成時にフィルムの強度が増しているために耐擦傷性、打点特性も優れた透明導電性積層体が得られる。
特にフィルム基材としてノルボルネン系樹脂を用いて、230℃以上好ましくは250℃以上で導電性薄膜をスパッタリングにより形成すると、耐擦傷性に優れた透明導電性積層体が得られる。

As is clear from the above results, in the present invention, the transparent conductive laminate is formed by sputtering the conductive thin film while keeping the film substrate at a temperature of 160 ° C. or higher. Since the strength is increased, a transparent conductive laminate having excellent scratch resistance and hit point characteristics can be obtained.
In particular, when a conductive thin film is formed by sputtering at 230 ° C. or higher, preferably 250 ° C. or higher, using a norbornene-based resin as a film substrate, a transparent conductive laminate having excellent scratch resistance can be obtained.

Claims (8)

透明フィルム上に、該フィルムの温度を160℃以上に保って透明導電膜を形成することを特徴とする透明導電性積層体の製造方法。   A method for producing a transparent conductive laminate, comprising forming a transparent conductive film on a transparent film while maintaining the temperature of the film at 160 ° C or higher. フィルムの温度を200℃以上に保って透明導電膜を形成する請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method of Claim 1 which forms the transparent conductive film, keeping the temperature of a film at 200 degreeC or more. 透明フィルムが、ガラス転移温度が180℃以上であり、かつ実質的に非晶質な重合体からなる請求項1に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 1, wherein the transparent film is made of a substantially amorphous polymer having a glass transition temperature of 180 ° C or higher. 透明フィルムが、ガラス転移温度が200℃以上であり、かつ実質的に非晶質な重合体からなる請求項1〜2のいずれかに記載の製造方法。   The production method according to claim 1, wherein the transparent film is made of a substantially amorphous polymer having a glass transition temperature of 200 ° C. or higher. 透明フィルムが、フィルム厚み100μmでのリターデーションが15nm以下であり、全光線透過率が90%以上である請求項1〜4のいずれかに記載の製造方法。   The production method according to claim 1, wherein the transparent film has a retardation of 15 nm or less at a film thickness of 100 μm and a total light transmittance of 90% or more. 透明フィルムが下記式(1)で表される繰り返し単位を少なくとも1種含む重合体を含有する組成物からなる請求項1〜5のいずれかに記載の製造方法;
Figure 2006090448

〔式(1)中、A1〜A4はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、ハロゲン化炭化水素基、エステル基、アルコキシ基、トリアルキルシリル基、加水分解性シリル基、オキセタニル基を含む置換基から選ばれた置換基であり、これらの置換基はさらに炭素数1〜10のアルキレン基あるいは酸素原子を含む炭素数1〜10の連結基を介して連結されていてもよい。また、A1とA2またはA1とA4は互いに結合してアルキレン基、アリーレン基、酸無水物、ラクトンを形成していてもよい。mは0または1である。〕。
The production method according to any one of claims 1 to 5, wherein the transparent film comprises a composition containing a polymer containing at least one repeating unit represented by the following formula (1);
Figure 2006090448

Wherein (1), A 1 ~A 4 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, a halogenated hydrocarbon group, an ester group, It is a substituent selected from an alkoxy group, a trialkylsilyl group, a hydrolyzable silyl group, and a substituent containing an oxetanyl group, and these substituents further have an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms or a carbon number containing an oxygen atom. It may be linked via 1-10 linking groups. A 1 and A 2 or A 1 and A 4 may be bonded to each other to form an alkylene group, an arylene group, an acid anhydride, or a lactone. m is 0 or 1. ].
請求項1〜6のいずれかに記載の方法で得られた透明導電性積層体。   The transparent conductive laminated body obtained by the method in any one of Claims 1-6. 請求項7に記載の透明導電性積層体を少なくとも一方の電極として有するタッチパネル。

A touch panel having the transparent conductive laminate according to claim 7 as at least one electrode.

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI453120B (en) * 2007-11-15 2014-09-21 Jsr Corp A raw film of a raw ice sheet having a hard coat layer and a method for producing a raw ethylidene resin film having a hard coat layer
JP2009187687A (en) * 2008-02-04 2009-08-20 Jsr Corp Method of manufacturing transparent conductive film, touch panel which has film obtained by the method, and display device which has the touch panel
KR20110104406A (en) * 2010-05-14 2011-09-22 삼성전기주식회사 Apparatus for the production of touch panel
WO2013063034A1 (en) * 2011-10-25 2013-05-02 Unipixel Displays, Inc. Method of manufacturing a resistive touch sensor circuit by flexographic printing
TW201332782A (en) * 2011-10-25 2013-08-16 Unipixel Displays Inc Method of manufacturing a capacative touch sensor circuit using flexographic printing
GB2510293A (en) * 2011-10-25 2014-07-30 Unipixel Displays Inc Polarizer capacitive touch screen
JPWO2014030382A1 (en) * 2012-08-24 2016-07-28 株式会社アルバック Deposition method

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01137520A (en) * 1987-11-24 1989-05-30 Daicel Chem Ind Ltd Manufacture of crystalline transparent conductive laminate
JPH04223359A (en) * 1990-12-26 1992-08-13 Hitachi Ltd Semiconductor device
JPH11129378A (en) * 1997-10-27 1999-05-18 Fujimori Kogyo Kk Manufacture of transparent conductive sheet
JP2002327024A (en) * 2000-12-22 2002-11-15 Jsr Corp Resin film and its application
JP2003016857A (en) * 2001-06-28 2003-01-17 Fuji Xerox Co Ltd Method for reducing resistance of transparent conductive film formed on base material
JP2003141936A (en) * 2001-11-02 2003-05-16 Mitsubishi Gas Chem Co Inc Transparent conductive film
JP2005085541A (en) * 2003-09-05 2005-03-31 Jsr Corp Manufacturing method of transparent conductive layered product and touch panel

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2823931B2 (en) * 1990-03-26 1998-11-11 日本電信電話株式会社 Conductive transparent film and method for producing the same
JP3105571B2 (en) * 1991-04-24 2000-11-06 日本電信電話株式会社 Conductive film and method for producing the same
JP2004103292A (en) * 2002-09-05 2004-04-02 Fuji Photo Film Co Ltd Multi-layer film

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01137520A (en) * 1987-11-24 1989-05-30 Daicel Chem Ind Ltd Manufacture of crystalline transparent conductive laminate
JPH04223359A (en) * 1990-12-26 1992-08-13 Hitachi Ltd Semiconductor device
JPH11129378A (en) * 1997-10-27 1999-05-18 Fujimori Kogyo Kk Manufacture of transparent conductive sheet
JP2002327024A (en) * 2000-12-22 2002-11-15 Jsr Corp Resin film and its application
JP2003016857A (en) * 2001-06-28 2003-01-17 Fuji Xerox Co Ltd Method for reducing resistance of transparent conductive film formed on base material
JP2003141936A (en) * 2001-11-02 2003-05-16 Mitsubishi Gas Chem Co Inc Transparent conductive film
JP2005085541A (en) * 2003-09-05 2005-03-31 Jsr Corp Manufacturing method of transparent conductive layered product and touch panel

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