JPWO2006088119A1 - Fan filter unit - Google Patents

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Abstract

ファンフィルタユニットは、複数のファンモータと、複数の検出部と、本体制御部と、フィルタとを有する。各ファンモータはファンとモータとを含む。本体制御部は検出部で検出された回転速度に基づき、その検出回転速度が設定回転速度に一致するように各ファンモータをフィードバック制御する。また、いずれかの検出部による回転速度検出値が他の検出部によるそれより小さい場合、回転速度の遅いファンモータの回転速度に他のファンモータの回転速度を合せるように回転速度同調制御を行う。The fan filter unit includes a plurality of fan motors, a plurality of detection units, a main body control unit, and a filter. Each fan motor includes a fan and a motor. The main body control unit feedback-controls each fan motor based on the rotation speed detected by the detection unit so that the detected rotation speed matches the set rotation speed. In addition, when the rotation speed detected value by any one of the detection units is smaller than that by the other detection units, the rotation speed synchronization control is performed so that the rotation speeds of the fan motors having a low rotation speed are matched with the rotation speeds of the other fan motors. .

Description

本発明は、半導体、液晶、プラズマディスプレイパネルなどを製造するための清浄空間を必要とするクリーンルームなどで使用されるファンフィルタユニットに関する。  The present invention relates to a fan filter unit used in a clean room that requires a clean space for manufacturing semiconductors, liquid crystals, plasma display panels, and the like.

ファンフィルタユニットには、薄型で、清浄空気の吹出口の面積が広く、しかも均一で十分な風量を供給する能力が求められている。そのため複数のファンモータが用いられている。しかしながら複数のファンモータを用いた場合、うなり音が発生する場合がある。  The fan filter unit is required to be thin, have a large area of clean air outlets, and be capable of supplying a uniform and sufficient air volume. Therefore, a plurality of fan motors are used. However, when a plurality of fan motors are used, a roaring sound may occur.

うなり音の発生を抑える方法として、複数のファンモータの単位時間当たりの回転速度（以下、回転速度と称す）を精度良く制御する技術が例えば特開２００４−２０５０９５号公報に開示されている。  As a method for suppressing the generation of a roaring sound, for example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-205095 discloses a technique for accurately controlling the rotational speeds per unit time (hereinafter referred to as rotational speeds) of a plurality of fan motors.

複数のファンモータを有するファンフィルタユニットにおいてうなり音を抑制する従来の制御では、第１のファンモータの回転速度に第２のファンモータの回転速度を合わせ、さらに第２のファンモータの回転速度に第３のファンモータの回転速度を合わせる。しかしながらモータの能力バラツキにより下位のモータ能力が上位のモータ能力より劣る場合には回転速度を合わすことができない。  In the conventional control for suppressing beat noise in a fan filter unit having a plurality of fan motors, the rotational speed of the second fan motor is matched with the rotational speed of the first fan motor, and the rotational speed of the second fan motor is further adjusted. Match the rotational speed of the third fan motor. However, when the lower motor capacity is inferior to the upper motor capacity due to motor capacity variation, the rotational speed cannot be adjusted.

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンフィルタユニットのモータ能力のバラツキにも対応して、うなり音を抑制することができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。本発明のファンフィルタユニットは、複数のファンモータと、複数の検出部と、本体制御部と、フィルタとを有する。各ファンモータはファンとモータとを含む。各検出部は各モータの回転速度を検出する。本体制御部は検出部で検出された回転速度に基づき、この検出回転速度が設定回転速度に一致するように各ファンモータをフィードバック制御する。また、いずれかの検出部による回転速度検出値が他の検出部によるそれより小さい場合、回転速度の遅いファンモータの回転速度に他のファンモータの回転速度を合せるように回転速度同調制御を行う。本発明によれば、複数のファンモータを有するファンフィルタユニットにおいて、モータ能力のバラツキを含めて各ファンモータの回転速度を一致させることができる。そして、主に設置場所の空気圧の変動によりファンモータの回転速度が変化するときにも回転速度を一致させ、うなり音を抑制することができる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。  The present invention solves such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a fan filter unit that can suppress a beat noise in response to variations in motor performance of the fan filter unit. . The fan filter unit of the present invention includes a plurality of fan motors, a plurality of detection units, a main body control unit, and a filter. Each fan motor includes a fan and a motor. Each detection unit detects the rotation speed of each motor. The main body control unit feedback-controls each fan motor based on the rotation speed detected by the detection unit so that the detected rotation speed matches the set rotation speed. In addition, when the rotation speed detected value by any one of the detection units is smaller than that by the other detection units, the rotation speed synchronization control is performed so that the rotation speeds of the fan motors having a low rotation speed are matched with the rotation speeds of the other fan motors. . According to the present invention, in a fan filter unit having a plurality of fan motors, the rotational speeds of the respective fan motors can be made to coincide with each other including variations in motor capacity. Further, it is possible to provide a fan filter unit having an effect of making it possible to match the rotation speed and suppress the beat sound even when the rotation speed of the fan motor changes mainly due to fluctuations in air pressure at the installation location.

図１は本発明の実施の形態１によるファンフィルタユニットの概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a fan filter unit according to Embodiment 1 of the present invention. 図２は図１に示すファンフィルタユニットのブロック回路図である。FIG. 2 is a block circuit diagram of the fan filter unit shown in FIG. 図３は本発明の実施の形態２によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。FIG. 3 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 2 of the present invention. 図４は本発明の実施の形態３によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。FIG. 4 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 3 of the present invention. 図５は本発明の実施の形態４によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。FIG. 5 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 4 of the present invention. 図６は本発明の実施の形態５によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。FIG. 6 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 5 of the present invention. 図７は本発明の実施の形態６によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。FIG. 7 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 6 of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

２Ａ 第１のファン
２Ｂ 第２のファン
３Ａ 第１のモータ
３Ｂ 第２のモータ
４Ａ 第１のモータドライバ
４Ｂ 第２のモータドライバ
５Ａ 第１のファンモータ
５Ｂ 第２のファンモータ
５Ｃ，５Ｄ ファンモータ
６ フイルタ
７，７３，７４，７５，７６，７７ 本体制御部
８ 回転速度設定部
９Ａ 第１の検出部
９Ｂ 第２の検出部
１０Ａ 第１の回転制御部
１０Ｂ 第２の回転制御部
１１ 回転速度同調制御部
１６ 安定化部
１８ 運転停止部
１９ リトライ部
２０ リトライカウント部
２１，２２，３１ 第３の比較器
３０Ａ 第１の比較器
３０Ｂ 第２の比較器2A 1st fan 2B 2nd fan 3A 1st motor 3B 2nd motor 4A 1st motor driver 4B 2nd motor driver 5A 1st fan motor 5B 2nd fan motor 5C, 5D fan motor 6 Filters 7, 73, 74, 75, 76, 77 Main body control unit 8 Rotation speed setting unit 9A First detection unit 9B Second detection unit 10A First rotation control unit 10B Second rotation control unit 11 Rotation speed tuning Control unit 16 Stabilization unit 18 Operation stop unit 19 Retry unit 20 Retry count unit 21, 22, 31 Third comparator 30A First comparator 30B Second comparator

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、各実施の形態において先行する実施の形態と同様の構成をなすものには同じ符号を付して説明し、詳細な説明を省略する場合がある。また本発明はこれらの実施の形態に限定されない。  Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, in each embodiment, what has the same configuration as the preceding embodiment is described with the same reference numeral, and detailed description may be omitted. The present invention is not limited to these embodiments.

（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１によるファンフィルタユニットの概略構成を示し、フィルタの一部を切り欠いた状態を示す正面図である。図２はそのブロック回路図である。このファンフィルタユニットは、第１のファンモータ５Ａ、第２のファンモータ５Ｂとフィルタ６とを有する。ファンモータ５Ａは第１のファン２Ａ、第１のモータ３Ａおよび第１のモータドライバ４Ａからなる。ファンモータ５Ｂは、第２のファン２Ｂ、第２のモータ３Ｂおよび第２のモータドライバ４Ｂからなる。フィルタ６はファン２Ａ、２Ｂによって送風される空気を清浄化する。フィルタ６は例えばガラス繊維で構成され、ミクロンオーダーの微粒子を高効率にて捕獲する。より具体的には、フィルタ６は０．３μｍの微粒子を９９．９７％以上の捕集効率にて捕集する。フィルタ６はファン２Ａ、２Ｂの吹出し側、あるいは吸込み側に配置される。(Embodiment 1)
FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a fan filter unit according to Embodiment 1 of the present invention and showing a state in which a part of the filter is cut away. FIG. 2 is a block circuit diagram thereof. The fan filter unit includes a first fan motor 5A, a second fan motor 5B, and a filter 6. The fan motor 5A includes a first fan 2A, a first motor 3A, and a first motor driver 4A. The fan motor 5B includes a second fan 2B, a second motor 3B, and a second motor driver 4B. The filter 6 cleans the air blown by the fans 2A and 2B. The filter 6 is made of glass fiber, for example, and captures micron-order fine particles with high efficiency. More specifically, the filter 6 collects 0.3 μm fine particles with a collection efficiency of 99.97% or more. The filter 6 is arranged on the blowing side or the suction side of the fans 2A and 2B.

また、このファンフィルタユニットはファンモータ５Ａ、５Ｂを制御する本体制御部（以下、制御部）７と、モータ３Ａの回転速度を検出する第１の検出部９Ａと、モータ３Ｂの回転速度を検出する第２の検出部９Ｂとを有する。制御部７はファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度を設定する回転速度設定部８と、検出部９Ａの検出回転速度を入力してファンモータ５Ａを回転制御する第１の回転制御部（以下、制御部）１０Ａと、検出部９Ｂの検出回転速度を入力してファンモータ５Ｂを回転制御する第２の回転制御部（以下、制御部）１０Ｂを有している。制御部７はさらに、第１の比較器３０Ａ、第２の比較器３０Ｂ、第３の比較器３１、回転速度同調制御部（以下、制御部）１１を有している。比較器３０Ａ、３０Ｂは回転速度設定部８で設定された回転速度と検出部９Ａ、９Ｂで検出された回転速度とを比較し、その結果をそれぞれ制御部１０Ａ、１０Ｂに伝える。比較器３１は検出部９Ａで検出された回転速度と検出部９Ｂで検出された回転速度とを比較し、遅い方の回転速度が速い方の回転速度に比べ、何ｒ／ｍｉｎ遅いかを算出して制御部１１に伝える。すなわち、検出部９Ａの検出した回転速度と検出部９Ｂの検出した回転速度との差を算出する。制御部１１は比較器３１による結果が所定値以上の場合に制御部１０Ａ、１０Ｂのうち一方を介してファンモータ５Ａ、５Ｂのうち速い方の回転速度を下げるよう同調制御する。  The fan filter unit also detects a rotation speed of the motor 3B, a main body control section (hereinafter referred to as a control section) 7 that controls the fan motors 5A and 5B, a first detection section 9A that detects the rotation speed of the motor 3A. And a second detection unit 9B. The control unit 7 receives a rotation speed setting unit 8 that sets the rotation speeds of the fan motors 5A and 5B, and a first rotation control unit that controls rotation of the fan motor 5A by inputting the detection rotation speed of the detection unit 9A (hereinafter referred to as control). Part) 10A and a second rotation control part (hereinafter referred to as a control part) 10B for controlling the rotation of the fan motor 5B by inputting the detected rotational speed of the detection part 9B. The control unit 7 further includes a first comparator 30 </ b> A, a second comparator 30 </ b> B, a third comparator 31, and a rotation speed tuning control unit (hereinafter, control unit) 11. The comparators 30A and 30B compare the rotation speed set by the rotation speed setting unit 8 with the rotation speed detected by the detection units 9A and 9B, and transmit the results to the control units 10A and 10B, respectively. The comparator 31 compares the rotation speed detected by the detection unit 9A with the rotation speed detected by the detection unit 9B, and calculates how many r / min is slower than the rotation speed of the slower one. To the control unit 11. That is, the difference between the rotation speed detected by the detection unit 9A and the rotation speed detected by the detection unit 9B is calculated. When the result of the comparator 31 is equal to or greater than a predetermined value, the control unit 11 performs tuning control so as to decrease the faster rotational speed of the fan motors 5A and 5B via one of the control units 10A and 10B.

モータ３Ａ、３Ｂはたとえば電子制御型ブラシレスモータで構成され、モータドライバ４Ａ、４Ｂはマイコンとソフトウェアまたは専用回路で構成されている。なお、モータ３Ａ、３Ｂはこれ以外の方式のモータで構成し、モータドライバ４Ａ、４Ｂがモータ３Ａ、３Ｂへの印加電力を制御する回路で構成されていてもよい。  The motors 3A and 3B are configured by, for example, electronically controlled brushless motors, and the motor drivers 4A and 4B are configured by a microcomputer and software or a dedicated circuit. The motors 3A and 3B may be configured by other types of motors, and the motor drivers 4A and 4B may be configured by a circuit that controls the power applied to the motors 3A and 3B.

制御部７を構成する各部はマイコンとソフトウェアまたは専用回路で構成されている。これらは一体に構成しても個別に設けてもよい。さらに検出部９Ａ、９Ｂが制御部７と一体に構成されていてもよい。なお、ファンモータ５Ａ、５Ｂがファンフィルタユニットの内部で大きく離れて設けられ、制御部７と距離があっても、回転速度信号はノイズによる影響をあまり受けない。一方、制御部１０Ａ、１０Ｂとモータドライバ４Ａ、４Ｂとのそれぞれの距離はノイズの影響があるため短くする必要がある。そのため少なくとも、ファンモータ５Ａと制御部１０Ａ、ファンモータ５Ｂと制御部１０Ｂはそれぞれ隣接して設けることが好ましい。  Each part constituting the control part 7 is constituted by a microcomputer and software or a dedicated circuit. These may be configured integrally or individually. Furthermore, the detection units 9 </ b> A and 9 </ b> B may be configured integrally with the control unit 7. Note that even if the fan motors 5A and 5B are provided far apart inside the fan filter unit, and there is a distance from the control unit 7, the rotational speed signal is not significantly affected by noise. On the other hand, the distances between the control units 10A and 10B and the motor drivers 4A and 4B are affected by noise and need to be shortened. Therefore, at least the fan motor 5A and the control unit 10A, and the fan motor 5B and the control unit 10B are preferably provided adjacent to each other.

検出部９Ａ、９Ｂはたとえばモータ３Ａ、３Ｂによって回転される磁石と、その磁気変化を検出する磁気検出素子、およびその磁気変化から回転速度を算出する回路から構成されている。これ以外に例えば、モータ３Ａ、３Ｂによって回転される反射部を有する円板と、その輝度を検出する光学素子、およびその輝度変化から回転速度を算出する回路から構成されていてもよい。すなわち、検出部９Ａ、９Ｂは磁気方式あるいは光学方式などで構成することができる。なお、検出部９Ａ、９Ｂでは、水晶振動子によってクロック振動を発生させ、この振動を基準に単位時間あたりのモータ３Ａ、３Ｂの回転数が算出される。このように構成すればモータ３Ａ、３Ｂの回転数が精度よく検出される。  The detectors 9A and 9B are composed of, for example, a magnet rotated by the motors 3A and 3B, a magnetic detection element for detecting the magnetic change, and a circuit for calculating the rotational speed from the magnetic change. In addition to this, for example, a disc having a reflecting portion rotated by the motors 3A and 3B, an optical element for detecting the luminance, and a circuit for calculating the rotation speed from the luminance change may be used. That is, the detection units 9A and 9B can be configured by a magnetic method or an optical method. In the detection units 9A and 9B, clock vibration is generated by a crystal resonator, and the rotation speed of the motors 3A and 3B per unit time is calculated based on the vibration. If comprised in this way, the rotation speed of motor 3A, 3B will be detected accurately.

上記構成において、回転速度設定部８で２０００ｒ／ｍｉｎと設定された回転速度がモータ３Ａ、３Ｂに与えられる。そしてそれぞれのモータ３Ａ、３Ｂの検出回転速度が設定回転速度になるようにフィードバック制御が行われる。すなわち、比較器３０Ａ、３０Ｂはそれぞれ検出部９Ａ、９Ｂの検出回転速度と回転速度設定部８で設定された回転速度とを比較する。そしてその結果を制御部１０Ａ、１０Ｂに送る。制御部１０Ａ、１０Ｂはそれぞれ、比較器３０Ａ、３０Ｂの結果に基づきモータ３Ａ、３Ｂの回転速度を設定回転速度に近づけるようモータドライバ４Ａ、４Ｂを制御する。  In the above configuration, the rotation speed set to 2000 r / min by the rotation speed setting unit 8 is given to the motors 3A and 3B. Then, feedback control is performed so that the detected rotational speeds of the motors 3A and 3B become the set rotational speed. That is, the comparators 30 </ b> A and 30 </ b> B compare the detected rotational speeds of the detection units 9 </ b> A and 9 </ b> B with the rotational speed set by the rotational speed setting unit 8, respectively. And the result is sent to control part 10A, 10B. The control units 10A and 10B control the motor drivers 4A and 4B so that the rotational speeds of the motors 3A and 3B approach the set rotational speed based on the results of the comparators 30A and 30B, respectively.

このようにフィードバック制御しても、ファンモータ５Ａ、５Ｂの能力バラツキや設置場所の空気圧の変動によりファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度差が生じる場合がある。そして例えば回転速度差が１０ｒ／ｍｉｎ以上ある場合にうなり音が発生する。  Even if feedback control is performed in this way, there may be a difference in rotational speed between the fan motors 5A and 5B due to variations in the performance of the fan motors 5A and 5B and fluctuations in air pressure at the installation location. Then, for example, when the rotational speed difference is 10 r / min or more, a beat sound is generated.

このとき、制御部１１は比較器３１の算出結果を受けて、検出回転速度の低いファンモータ５Ａに検出回転速度の高い方のファンモータ５Ｂの回転速度を合わせるように制御部１０Ｂを制御する。すなわち、制御部１０Ａ、１０Ｂは比較器３０Ａ、３０Ｂの結果よりも制御部１１からの制御を優先する。これにより、ファンモータ５Ａ、５Ｂの能力バラツキや設置場所の空気圧の変動に影響を受けることなく、うなり音の発生が抑制される。  At this time, the control unit 11 receives the calculation result of the comparator 31 and controls the control unit 10B so that the rotation speed of the fan motor 5B having the higher detection rotation speed matches the fan motor 5A having the lower detection rotation speed. That is, the control units 10A and 10B give priority to the control from the control unit 11 over the results of the comparators 30A and 30B. Thereby, generation | occurrence | production of a beep is suppressed without being influenced by the capability variation of fan motor 5A, 5B, or the fluctuation | variation of the air pressure of an installation place.

なお、うなり音が発生する条件は、ファンモータ５Ａ、５Ｂの運転回転数、大きさ、ファン２Ａ、２Ｂの形状などにより異なる。そのためそれぞれの場合に合せて、回転速度同調制御を開始する回転速度ずれの閾値を設定することが好ましい。  It should be noted that the conditions for generating a roaring sound vary depending on the operating speed and size of the fan motors 5A and 5B, the shapes of the fans 2A and 2B, and the like. Therefore, it is preferable to set a rotational speed deviation threshold value for starting the rotational speed tuning control in accordance with each case.

以上のように、制御部７は、検出部９Ａの検出した回転速度に基づき、ファンモータ５Ａの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する。同様に、検出部９Ｂの検出した回転速度に基づき、ファンモータ５Ｂの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する。さらに、検出部９Ａの検出した回転速度が検出部９Ｂの検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に、検出部９Ａの検出した回転速度にファンモータ５Ｂの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う。同様に、検出部９Ｂの検出した回転速度が検出部９Ａの検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に検出部９Ｂの検出した回転速度にファンモータ５Ａの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う。  As described above, the control unit 7 performs feedback control based on the rotation speed detected by the detection unit 9A so that the rotation speed of the fan motor 5A matches the set rotation speed. Similarly, feedback control is performed based on the rotation speed detected by the detection unit 9B so that the rotation speed of the fan motor 5B matches the set rotation speed. Further, when the rotation speed detected by the detection unit 9A is slower than the rotation speed detected by the detection unit 9B by a predetermined value or more, the rotation speed tuning control is performed to reduce the rotation speed of the fan motor 5B to the rotation speed detected by the detection unit 9A. Do. Similarly, when the rotation speed detected by the detection unit 9B is slower than the rotation speed detected by the detection unit 9A by a predetermined value or more, the rotation speed tuning control is performed to reduce the rotation speed of the fan motor 5A to the rotation speed detected by the detection unit 9B. Do.

なお、ファンモータが２台設けられた場合を説明したが、ファンモータが３台以上設けられた場合にも最も回転速度の遅いファンモータに他のファンモータの回転速度を合せるように制御することで同様の効果が得られる。  In addition, although the case where two fan motors are provided has been described, even when three or more fan motors are provided, control is performed so that the fan motor having the slowest rotation speed matches the rotation speed of the other fan motor. A similar effect can be obtained.

（実施の形態２）
図３は本発明の実施の形態２によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７３において比較器３１と回転数同調制御部（以下、制御部）１１との間に安定化部１６が設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。(Embodiment 2)
FIG. 3 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 2 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that a stabilization unit 16 is provided between the comparator 31 and the rotation speed tuning control unit (hereinafter, control unit) 11 in the main body control unit 73. It is a point. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

安定化部１６は所定時間の準備運転が経過するまでは制御部１１を機能しないようにしている。安定化部１６は、ファンモータ５Ａ、５Ｂの運転開始直後や、瞬間的に回転速度が変動した場合など、ファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が不安定な時間帯に制御部１１が機能するのを防止している。安定化部１６もまたマイコン等により構成されている。  The stabilization unit 16 prevents the control unit 11 from functioning until a preparatory operation for a predetermined time has elapsed. In the stabilizing unit 16, the control unit 11 functions in a time zone in which the detected rotational speed of the fan motors 5A and 5B is unstable, such as immediately after the start of operation of the fan motors 5A and 5B or when the rotational speed fluctuates instantaneously. Is preventing. The stabilizing unit 16 is also constituted by a microcomputer or the like.

すなわち、例えば設定回転速度が２０００ｒ／ｍｉｎの場合、安定化部１６はファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が互いに±１０ｒ／ｍｉｎ以上外れている場合に所定時間の間、制御部１１が機能するのを防止する。言い換えれば、安定化部１６は回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる。すなわち、ファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が１０ｒ／ｍｉｎ以上ずれていても所定時間の間、制御部１１は機能しない。  That is, for example, when the set rotational speed is 2000 r / min, the stabilizing unit 16 functions for a predetermined time when the detected rotational speeds of the fan motors 5A and 5B are out of ± 10 r / min or more. To prevent. In other words, the stabilization unit 16 delays the start of the rotation speed tuning control by a predetermined time. That is, even if the detected rotation speeds of the fan motors 5A and 5B are deviated by 10 r / min or more, the control unit 11 does not function for a predetermined time.

所定時間とは例えば、電源投入時の運転開始直後であれば３０秒間、設定回転速度が変更された場合もしくはファンモータ５Ａ、５Ｂの負荷急変により検出回転速度に変化がある場合であれば１０秒間に設定される。これらの設定時間は準備運転の時間に相当する。それにより、ファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度が不安定な状態での回転速度同調制御の過剰反応を抑えることができる。  The predetermined time is, for example, 30 seconds immediately after the start of operation when the power is turned on, or 10 seconds if the set rotational speed is changed or the detected rotational speed is changed due to a sudden change in the load of the fan motors 5A and 5B. Set to These set times correspond to preparation operation times. Thereby, it is possible to suppress an excessive reaction of the rotational speed tuning control in a state where the rotational speeds of the fan motors 5A and 5B are unstable.

以上のように、本体制御部７３は回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる。これによりファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が不安定な時間帯に制御部１１が機能することが防止される。  As described above, the main body control unit 73 delays the start of the rotation speed tuning control by a predetermined time. This prevents the control unit 11 from functioning during a time period when the detected rotation speeds of the fan motors 5A and 5B are unstable.

（実施の形態３）
図４は本発明の実施の形態３によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７４にリトライ部１９が設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。リトライ部１９もまたマイコン等により構成されている。(Embodiment 3)
FIG. 4 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 3 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that a retry unit 19 is provided in the main body control unit 74. Other configurations are the same as those in the first embodiment. The retry unit 19 is also constituted by a microcomputer or the like.

リトライ部１９は回転速度同調制御部（以下、制御部）１１が所定時間だけ回転速度同調制御を連続して行った場合に、回転速度設定部８での設定回転速度にファン２Ａ、２Ｂの回転数を合わせるように試みる制御を行うリトライ機能を有している。  The retry unit 19 rotates the fans 2A and 2B to the rotational speed set by the rotational speed setting unit 8 when the rotational speed tuning control unit (hereinafter, control unit) 11 continuously performs the rotational speed tuning control for a predetermined time. It has a retry function that performs control to try to match the numbers.

ファンフィルタユニットが用いられているクリーンルーム内で重要な工程を行っている場合、ファンモータ５Ａ、５Ｂを停止することが工程の生産性を著しく低下する恐れがある。したがって重要な工程を行っている間に、ファンモータ５Ａ、５Ｂが低速運転されることにより設定回転速度で得られる期待風量が得られない回転速度で運転し続けるのを避けることが望ましい。  When an important process is performed in a clean room in which the fan filter unit is used, stopping the fan motors 5A and 5B may significantly reduce the process productivity. Therefore, it is desirable to avoid continuing operation at a rotational speed at which the expected air volume obtained at the set rotational speed cannot be obtained by performing low speed operation of the fan motors 5A and 5B while performing an important process.

リトライ部１９は回転速度同調制御が行われている継続時間を計測している。そしてファンモータ５Ａ、５Ｂの能力バラツキなどにより回転速度同調制御が連続して例えば１０分間行われた場合、回転制御部（以下、制御部）１０Ａ、１０Ｂを介してファンモータ５Ａ、５Ｂを初期の設定回転速度で制御することを試みる。すなわち、リトライ部１９による指示は制御部１１による制御より優先して実施される。このように、本体制御部７４は回転速度同調制御が所定時間行われたとき、ファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度を設定回転速度に合わせるよう試みるリトライ制御を行う。これにより、回転速度同調制御によって、設定回転速度で得られる期待風量が得られずに低速運転し続けることが防止される。このためファンモータ５Ａ、５Ｂの本来の能力を十分に発揮できる。そして設定回転速度にできるだけ近い回転速度にてファンモータ５Ａ、５Ｂが再び運転される。  The retry unit 19 measures the duration time during which the rotational speed tuning control is performed. When the rotation speed tuning control is continuously performed for 10 minutes due to the variation in the performance of the fan motors 5A and 5B, for example, the fan motors 5A and 5B are initially set via the rotation control units (hereinafter referred to as control units) 10A and 10B. Attempt to control at the set rotation speed. That is, the instruction by the retry unit 19 is performed with priority over the control by the control unit 11. As described above, when the rotation speed tuning control is performed for a predetermined time, the main body control unit 74 performs retry control that attempts to match the rotation speed of the fan motors 5A and 5B with the set rotation speed. Accordingly, the rotation speed tuning control prevents the expected air volume obtained at the set rotation speed from being obtained and the low speed operation from being continued. For this reason, the original capability of fan motor 5A, 5B can fully be exhibited. Then, the fan motors 5A and 5B are operated again at a rotational speed as close as possible to the set rotational speed.

ここでリトライ部１９が計測する所定時間とは、ファンモータユニットが取り付けられるクリーンルーム等の内容積や必要とされる風量に依存する。  Here, the predetermined time measured by the retry unit 19 depends on the internal volume of a clean room or the like to which the fan motor unit is attached and the required air volume.

なお、リトライ制御を行ってもやはりファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度が所定回転速度以上ずれる場合、再度回転速度同調制御が行われることが好ましい。このため、リトライ制御は継続的に行われるのではなく一度リトライ部１９が制御部１０Ａ、１０Ｂにリトライ制御を指示すると、リトライ部１９が計測している回転速度同調制御の継続時間はリセットされる。そして実施の形態１と同様の、通常の制御状態に戻る。このように制御することが好ましい。  If the rotational speed of the fan motors 5A and 5B deviates more than a predetermined rotational speed even after performing the retry control, it is preferable to perform the rotational speed tuning control again. Therefore, the retry control is not performed continuously, but once the retry unit 19 instructs the control units 10A and 10B to perform the retry control, the duration of the rotational speed tuning control measured by the retry unit 19 is reset. . And it returns to the normal control state similar to the first embodiment. It is preferable to control in this way.

（実施の形態４）
図５は本発明の実施の形態４によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態３による構成と異なる点は、本体制御部７５にリトライカウント部２０と運転停止部１８とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態３と同様である。リトライカウント部２０と運転停止部１８もまたマイコン等により構成されている。なお、運転停止部１８は回転制御部１０Ａ、１０Ｂを介してファンモータ５Ａ、５Ｂを停止する以外に、モータ３Ａ、３Ｂへの電力供給を停止するようにしてもよい。すなわち、運転停止部１８はリレーで構成してもよい。(Embodiment 4)
FIG. 5 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 4 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the third embodiment in that the main body control unit 75 is provided with a retry count unit 20 and an operation stop unit 18. Other configurations are the same as those in the third embodiment. The retry count unit 20 and the operation stop unit 18 are also configured by a microcomputer or the like. The operation stopping unit 18 may stop the power supply to the motors 3A and 3B in addition to stopping the fan motors 5A and 5B via the rotation control units 10A and 10B. That is, the operation stop unit 18 may be configured by a relay.

リトライカウント部２０は、リトライ部１９によるリトライ機能があらかじめ定められた時間内に所定回数繰り返し行われたことを検知すると、回転速度同調制御を行わず運転停止部１８を介してファンモータ５Ａ、５Ｂを自動で停止する。すなわち、運転停止部１８による指示はリトライ部１９による指示よりさらに優先して実施される。このように、本体制御部７５は、リトライ制御を所定時間内に所定回数繰り返したとき、ファンモータ５Ａ、５Ｂを停止する。  When the retry count unit 20 detects that the retry function by the retry unit 19 has been repeatedly performed within a predetermined time, the retry count unit 20 does not perform the rotation speed tuning control and performs fan motors 5A and 5B via the operation stop unit 18. Is automatically stopped. That is, the instruction by the operation stop unit 18 is performed with higher priority than the instruction by the retry unit 19. As described above, the main body control unit 75 stops the fan motors 5A and 5B when the retry control is repeated a predetermined number of times within a predetermined time.

リトライカウント部２０は、例えば１時間にリトライ機能が行われた回数をカウントしている。そしてカウントした回数が例えば５回を超えると異常使用であると判断する。このような状態は例えば設置環境の圧力異常が起こったり、ファンモータ５Ａ、５Ｂへロープなどの異物が混入した場合などの異常使用されたりした場合、あるいはフィルタ６に異常がある場合に生じる。リトライカウント部２０は、所定時間内にカウントした回数が所定値以上になると運転停止部１８に信号を出力する。運転停止部１８はこの信号を受けてファンモータ５Ａ、５Ｂを自動的に停止する。このようにしてファンモータ５Ａ、５Ｂの異常使用が自動的に回避される。  For example, the retry count unit 20 counts the number of times the retry function has been performed in one hour. Then, when the counted number exceeds, for example, 5 times, it is determined that it is abnormal use. Such a state occurs, for example, when an abnormal pressure occurs in the installation environment, when the fan motor 5A, 5B is abnormally used such as when a foreign object such as a rope is mixed, or when the filter 6 is abnormal. The retry count unit 20 outputs a signal to the operation stop unit 18 when the number of times counted within a predetermined time becomes equal to or greater than a predetermined value. In response to this signal, the operation stop unit 18 automatically stops the fan motors 5A and 5B. In this way, abnormal use of the fan motors 5A and 5B is automatically avoided.

ここで、リトライカウント部２０が、リトライ部１９によるリトライ機能の指示回数を計測する所定時間は１〜２時間程度とするのが妥当である。この制御は上述のように異常の検知が目的であるため、短時間で判断することが好ましい。また異常のある場合は連続してリトライ機能が行われるので、運転停止部１８に信号出力するための閾値は３〜５回程度でよい。  Here, it is appropriate that the predetermined time for the retry count unit 20 to measure the number of times the retry unit 19 instructs the retry function is about 1 to 2 hours. Since the purpose of this control is to detect an abnormality as described above, it is preferable to make a determination in a short time. In addition, when there is an abnormality, the retry function is performed continuously, so the threshold for outputting a signal to the operation stop unit 18 may be about 3 to 5 times.

（実施の形態５）
図６は本発明の実施の形態５によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７６に比較器３１に代わって機能の異なる第３の比較器２１と、運転停止部１８とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。比較器２１もまたマイコン等により構成されている。(Embodiment 5)
FIG. 6 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 5 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that the main body control unit 76 is provided with a third comparator 21 having a different function instead of the comparator 31 and an operation stop unit 18. Is a point. Other configurations are the same as those in the first embodiment. The comparator 21 is also constituted by a microcomputer or the like.

比較器２１は比較器３１と同様の機能を有し、検出部９Ａで検出された回転速度と検出部９Ｂで検出された回転速度とを比較し、その結果を回転速度同調制御部（以下、制御部）１１に伝える。これ以外に、比較器２１は、回転速度設定部８による設定回転速度と検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度とを比較する。そして設定回転速度と検出部９Ａ、９Ｂのいずれかによる検出回転速度との差が、例えば設定回転速度の２５％に相当する回転差限界より大であるか否かを判断する。さらに差が回転差限界より大であることを検知した場合、運転停止部１８を介して回転速度同調制御を行わずにファンモータ５Ａ、５Ｃを自動的に停止する。このように運転停止部１８による指示は制御部１１による指示より優先して実施される。  The comparator 21 has the same function as that of the comparator 31, compares the rotation speed detected by the detection unit 9A with the rotation speed detected by the detection unit 9B, and compares the result with the rotation speed tuning control unit (hereinafter referred to as “rotation speed tuning control unit”). Control unit) 11. In addition to this, the comparator 21 compares the rotational speed set by the rotational speed setting unit 8 with the rotational speeds detected by the detection units 9A and 9B. Then, it is determined whether or not the difference between the set rotational speed and the rotational speed detected by any of the detection units 9A and 9B is larger than a rotational difference limit corresponding to 25% of the set rotational speed, for example. Further, when it is detected that the difference is larger than the rotation difference limit, the fan motors 5A and 5C are automatically stopped without performing the rotation speed tuning control via the operation stop unit 18. In this way, the instruction from the operation stop unit 18 is performed with priority over the instruction from the control unit 11.

このように比較器２１は、検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度と回転速度設定部８による設定回転速度とを比較して回転速度差を検知している。  In this way, the comparator 21 compares the rotation speed detected by the detectors 9A and 9B with the rotation speed set by the rotation speed setting unit 8 to detect a rotation speed difference.

図６に示すように設置段階でファンモータ５Ｂとは全く異なるファンモータ５Ｃが設置されている場合がある。このようにファンモータ５Ｃを誤使用している場合に、比較器２１はファンモータ５Ｃの回転速度が大幅に異なることを検出して、誤った設置状態であることを判断することができる。例えば、設定回転速度が２０００ｒ／ｍｉｎで、検出回転速度と設定回転速度との差が５００ｒ／ｍｉｎ以上であることを比較器２１が検出する。このような場合に比較器２１は運転停止部１８に信号を出力する。運転停止部１８はこの信号を受けてファンモータ５Ａ、５Ｃを自動的に停止する。このようにしてファンモータ５Ｃの異常使用が自動的に回避される。  As shown in FIG. 6, a fan motor 5C that is completely different from the fan motor 5B may be installed at the installation stage. In this way, when the fan motor 5C is misused, the comparator 21 can detect that the rotational speed of the fan motor 5C is significantly different and determine that the fan motor 5C is in the wrong installation state. For example, the comparator 21 detects that the set rotational speed is 2000 r / min and the difference between the detected rotational speed and the set rotational speed is 500 r / min or more. In such a case, the comparator 21 outputs a signal to the operation stop unit 18. In response to this signal, the operation stop unit 18 automatically stops the fan motors 5A and 5C. In this way, abnormal use of the fan motor 5C is automatically avoided.

あるいは、ファンモータ５Ａ、５Ｂが正しく設置され、フィルタ６が局部的に目詰まりしてファンモータ５Ａ、５Ｂの一方が正常に運転できない場合にもファンモータ５Ａ、５Ｂが停止される。  Alternatively, the fan motors 5A, 5B are also stopped when the fan motors 5A, 5B are correctly installed, the filter 6 is locally clogged, and one of the fan motors 5A, 5B cannot operate normally.

なおファンモータ５Ｃに代わってファンモータ５Ａと同機能のファンモータ５Ｂが設置されている場合には、運転停止部１８が作動しないよう、比較器２１における判定基準値を設定する。  When a fan motor 5B having the same function as the fan motor 5A is installed instead of the fan motor 5C, a determination reference value in the comparator 21 is set so that the operation stop unit 18 does not operate.

以上のように、本体制御部７６は、設定回転速度と検出部９Ａまたは検出部９Ｂによる検出回転速度との差が所定値より大きい場合、ファンモータを停止する。これにより一方のファンモータの誤使用や異常状態での運転が防止される。  As described above, the main body control unit 76 stops the fan motor when the difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the detection unit 9A or the detection unit 9B is larger than a predetermined value. As a result, one fan motor can be prevented from being misused or operated in an abnormal state.

（実施の形態６）
図７は本発明の実施の形態６によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７７に比較器３１に代わって機能の異なる第３の比較器２２と、運転停止部１８とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。比較器２２もまたマイコン等により構成されている。(Embodiment 6)
FIG. 7 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 6 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that the main body control unit 77 is provided with a third comparator 22 having a different function instead of the comparator 31 and an operation stop unit 18. Is a point. Other configurations are the same as those in the first embodiment. The comparator 22 is also constituted by a microcomputer or the like.

比較器２２は比較器３１と同様の機能を有し、検出部９Ａで検出された回転速度と検出部９Ｂで検出された回転速度とを比較し、その結果を回転速度同調制御部（以下、制御部）１１に伝える。これ以外に、比較器２２は検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度と回転速度設定部８で設定された回転速度とを比較する。そして検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度が設定回転速度と所定値以上異なる場合に運転停止部１８を介してファンモータ５Ｃ、５Ｄを停止する。  The comparator 22 has the same function as that of the comparator 31, compares the rotation speed detected by the detection unit 9A with the rotation speed detected by the detection unit 9B, and compares the result with the rotation speed tuning control unit (hereinafter referred to as “rotation speed tuning control unit”). Control unit) 11. In addition, the comparator 22 compares the rotation speed detected by the detection units 9A and 9B with the rotation speed set by the rotation speed setting unit 8. The fan motors 5 </ b> C and 5 </ b> D are stopped via the operation stop unit 18 when the detected rotational speeds by the detection units 9 </ b> A and 9 </ b> B differ from the set rotational speed by a predetermined value or more.

ここで、ファンモータ５Ｃ、５Ｄは必要な能力を有する取り付けるべきファンモータ５Ａ、５Ｂとは異なる。このような場合、ファンモータ５Ｃ、５Ｄは必要な回転速度で回転できない。すなわち、取り付けるべきファンモータの能力範囲内であらかじめ定めた回転速度以下に設定回転速度を設定したにもかかわらず、運転開始直後において検出回転速度が設定回転速度に一致しない。このような場合、比較器２２は検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度と回転速度設定部８で設定された回転速度とを比較することでファンモータ５Ｃ、５Ｄの誤使用を検知する。そして回転速度同調制御を行わず運転停止部１８によりファンモータ５Ｃ、５Ｄを自動で停止する。  Here, the fan motors 5C and 5D are different from the fan motors 5A and 5B to be attached having the necessary capacity. In such a case, the fan motors 5C and 5D cannot rotate at a necessary rotation speed. That is, the detected rotational speed does not coincide with the set rotational speed immediately after the start of operation even though the set rotational speed is set to be equal to or lower than the predetermined rotational speed within the capacity range of the fan motor to be attached. In such a case, the comparator 22 detects the misuse of the fan motors 5C and 5D by comparing the rotation speed detected by the detection units 9A and 9B with the rotation speed set by the rotation speed setting unit 8. Then, the rotation speed tuning control is not performed, and the fan motors 5C and 5D are automatically stopped by the operation stop unit 18.

回転速度設定部８にて、ファンモータ５Ａ、５Ｂの能力範囲である例えば１０００〜２０００ｒ／ｍｉｎ内である１８００ｒ／ｍｉｎ以下で設定回転速度を設定した場合を想定する。この場合、ファンモータ５Ａ、５Ｂには十分な能力があり、フィードバック制御可能である。しかしながら誤ってファンモータ５Ｃ、５Ｄが取り付けられていると、検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度が設定回転速度の例えば±１０ｒ／ｍｉｎ以内に入らない。このような場合比較部２２は、ファンモータ５Ａ、５Ｂと能力の全く異なるファンモータ５Ｃ、５Ｄが誤使用されているなどの異常使用であると判断する。そして、運転停止部１８に信号を出力する。運転停止部１８はこの信号を受けてファンモータ５Ｃ、５Ｄを自動的に停止する。このようにしてファンモータ５Ｃ、５Ｄの異常使用が自動的に回避される。  It is assumed that the rotational speed setting unit 8 sets the rotational speed at a setting speed of 1800 r / min or less, for example, within 1000 to 2000 r / min, which is the capability range of the fan motors 5A and 5B. In this case, the fan motors 5A and 5B have sufficient capability and can be feedback controlled. However, if the fan motors 5C and 5D are mistakenly attached, the rotation speed detected by the detection units 9A and 9B does not fall within, for example, ± 10 r / min of the set rotation speed. In such a case, the comparison unit 22 determines that the fan motors 5C and 5D, which have completely different capabilities from the fan motors 5A and 5B, are abnormally used, such as being misused. Then, a signal is output to the operation stop unit 18. In response to this signal, the operation stop unit 18 automatically stops the fan motors 5C and 5D. In this way, abnormal use of the fan motors 5C and 5D is automatically avoided.

なおファンモータ５Ｃ、５Ｄに代わってファンモータ５Ａ、５Ｂが設置されている場合には、運転停止部１８が作動しないよう、比較器２２における判定基準値を設定する。  When the fan motors 5A and 5B are installed instead of the fan motors 5C and 5D, the determination reference value in the comparator 22 is set so that the operation stop unit 18 does not operate.

また運転開始直後においては実施の形態２で述べたように、ファンモータの回転速度が安定しない場合がある。そのため、実施の形態２の安定化部１６の機能と同様に、運転停止部１８が作動するのを一定時間の間、抑制することが好ましい。  In addition, immediately after the start of operation, as described in the second embodiment, the rotational speed of the fan motor may not be stable. Therefore, it is preferable to suppress the operation stop unit 18 from operating for a certain period of time, similarly to the function of the stabilization unit 16 of the second embodiment.

以上のように、本体制御部７７は、設定回転速度と検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度との差が所定値より大きい場合、ファンモータ５Ａ、５Ｂを停止する。  As described above, the main body control unit 77 stops the fan motors 5A and 5B when the difference between the set rotation speed and the detection rotation speed detected by the detection units 9A and 9B is larger than a predetermined value.

なお、実施の形態２〜実施の形態６のそれぞれに固有の構成は、互いに相反することがない限り組み合わせてもよく、そのような構成は本発明の範疇である。例えば、実施の形態２の構成を実施の形態３〜６の構成に組み合わせてもよい。  The configurations unique to each of Embodiments 2 to 6 may be combined as long as they do not conflict with each other, and such configurations are within the scope of the present invention. For example, the configuration of the second embodiment may be combined with the configurations of the third to sixth embodiments.

本発明によれば、回転速度の近似したファンが複数台設置されたクリーンルームを含む室内において、回転速度同調制御を用いてファンによるうなり音を抑制することができる。そのため作業環境のみならず住環境を快適にする用途に利用可能である。  According to the present invention, in a room including a clean room in which a plurality of fans having approximate rotational speeds are installed, it is possible to suppress the roaring noise caused by the fans using the rotational speed tuning control. Therefore, it can be used for the purpose of making the living environment comfortable as well as the working environment.

本発明は、半導体、液晶、プラズマディスプレイパネルなどを製造するための清浄空間を必要とするクリーンルームなどで使用されるファンフィルタユニットに関する。   The present invention relates to a fan filter unit used in a clean room that requires a clean space for manufacturing semiconductors, liquid crystals, plasma display panels, and the like.

ファンフィルタユニットには、薄型で、清浄空気の吹出口の面積が広く、しかも均一で十分な風量を供給する能力が求められている。そのため複数のファンモータが用いられている。しかしながら複数のファンモータを用いた場合、うなり音が発生する場合がある。   The fan filter unit is required to be thin, have a large area of clean air outlets, and be capable of supplying a uniform and sufficient air volume. Therefore, a plurality of fan motors are used. However, when a plurality of fan motors are used, a roaring sound may occur.

うなり音の発生を抑える方法として、複数のファンモータの単位時間当たりの回転速度（以下、回転速度と称す）を精度良く制御する技術が例えば特開２００４−２０５０９５号公報に開示されている。   As a method for suppressing the generation of a roaring sound, for example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-205095 discloses a technique for accurately controlling the rotational speeds per unit time (hereinafter referred to as rotational speeds) of a plurality of fan motors.

複数のファンモータを有するファンフィルタユニットにおいてうなり音を抑制する従来の制御では、第１のファンモータの回転速度に第２のファンモータの回転速度を合わせ、さらに第２のファンモータの回転速度に第３のファンモータの回転速度を合わせる。しかしながらモータの能力バラツキにより下位のモータ能力が上位のモータ能力より劣る場合には回転速度を合わすことができない。   In the conventional control for suppressing beat noise in a fan filter unit having a plurality of fan motors, the rotational speed of the second fan motor is matched with the rotational speed of the first fan motor, and the rotational speed of the second fan motor is further adjusted. Match the rotational speed of the third fan motor. However, when the lower motor capacity is inferior to the upper motor capacity due to motor capacity variation, the rotational speed cannot be adjusted.

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンフィルタユニットのモータ能力のバラツキにも対応して、うなり音を抑制することができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。本発明のファンフィルタユニットは、複数のファンモータと、複数の検出部と、本体制御部と、フィルタとを有する。各ファンモータはファンとモータとを含む。各検出部は各モータの回転速度を検出する。本体制御部は検出部で検出された回転速度に基づき、この検出回転速度が設定回転速度に一致するように各ファンモータをフィードバック制御する。また、いずれかの検出部による回転速度検出値が他の検出部によるそれより小さい場合、回転速度の遅いファンモータの回転速度に他のファンモータの回転速度を合せるように回転速度同調制御を行う。本発明によれば、複数のファンモータを有するファンフィルタユニットにおいて、モータ能力のバラツキを含めて各ファンモータの回転速度を一致させることができる。そして、主に設置場所の空気圧の変動によりファンモータの回転速度が変化するときにも回転速度を一致させ、うなり音を抑制することができる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。   The present invention solves such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a fan filter unit that can suppress a beat noise in response to variations in motor performance of the fan filter unit. . The fan filter unit of the present invention includes a plurality of fan motors, a plurality of detection units, a main body control unit, and a filter. Each fan motor includes a fan and a motor. Each detection unit detects the rotation speed of each motor. The main body control unit feedback-controls each fan motor based on the rotation speed detected by the detection unit so that the detected rotation speed matches the set rotation speed. In addition, when the rotation speed detected value by any one of the detection units is smaller than that by the other detection units, the rotation speed synchronization control is performed so that the rotation speeds of the fan motors having a low rotation speed are matched with the rotation speeds of the other fan motors. . According to the present invention, in a fan filter unit having a plurality of fan motors, the rotational speeds of the respective fan motors can be made to coincide with each other including variations in motor capacity. Further, it is possible to provide a fan filter unit having an effect of making it possible to match the rotation speed and suppress the beat sound even when the rotation speed of the fan motor changes mainly due to fluctuations in air pressure at the installation location.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、各実施の形態において先行する実施の形態と同様の構成をなすものには同じ符号を付して説明し、詳細な説明を省略する場合がある。また本発明はこれらの実施の形態に限定されない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, in each embodiment, what has the same configuration as the preceding embodiment is described with the same reference numeral, and detailed description may be omitted. The present invention is not limited to these embodiments.

（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１によるファンフィルタユニットの概略構成を示し、フィルタの一部を切り欠いた状態を示す正面図である。図２はそのブロック回路図である。このファンフィルタユニットは、第１のファンモータ５Ａ、第２のファンモータ５Ｂとフィルタ６とを有する。ファンモータ５Ａは第１のファン２Ａ、第１のモータ３Ａおよび第１のモータドライバ４Ａからなる。ファンモータ５Ｂは、第２のファン２Ｂ、第２のモータ３Ｂおよび第２のモータドライバ４Ｂからなる。フィルタ６はファン２Ａ、２Ｂによって送風される空気を清浄化する。フィルタ６は例えばガラス繊維で構成され、ミクロンオーダーの微粒子を高効率にて捕獲する。より具体的には、フィルタ６は０．３μｍの微粒子を９９．９７％以上の捕集効率にて捕集する。フィルタ６はファン２Ａ、２Ｂの吹出し側、あるいは吸込み側に配置される。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a fan filter unit according to Embodiment 1 of the present invention and showing a state in which a part of the filter is cut away. FIG. 2 is a block circuit diagram thereof. The fan filter unit includes a first fan motor 5A, a second fan motor 5B, and a filter 6. The fan motor 5A includes a first fan 2A, a first motor 3A, and a first motor driver 4A. The fan motor 5B includes a second fan 2B, a second motor 3B, and a second motor driver 4B. The filter 6 cleans the air blown by the fans 2A and 2B. The filter 6 is made of glass fiber, for example, and captures micron-order fine particles with high efficiency. More specifically, the filter 6 collects 0.3 μm fine particles with a collection efficiency of 99.97% or more. The filter 6 is arranged on the blowing side or the suction side of the fans 2A and 2B.

また、このファンフィルタユニットはファンモータ５Ａ、５Ｂを制御する本体制御部（以下、制御部）７と、モータ３Ａの回転速度を検出する第１の検出部９Ａと、モータ３Ｂの回転速度を検出する第２の検出部９Ｂとを有する。制御部７はファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度を設定する回転速度設定部８と、検出部９Ａの検出回転速度を入力してファンモータ５Ａを回転制御する第１の回転制御部（以下、制御部）１０Ａと、検出部９Ｂの検出回転速度を入力してファンモータ５Ｂを回転制御する第２の回転制御部（以下、制御部）１０Ｂを有している。制御部７はさらに、第１の比較器３０Ａ、第２の比較器３０Ｂ、第３の比較器３１、回転速度同調制御部（以下、制御部）１１を有している。比較器３０Ａ、３０Ｂは回転速度設定部８で設定された回転速度と検出部９Ａ、９Ｂで検出された回転速度とを比較し、その結果をそれぞれ制御部１０Ａ、１０Ｂに伝える。比較器３１は検出部９Ａで検出された回転速度と検出部９Ｂで検出された回転速度とを比較し、遅い方の回転速度が速い方の回転速度に比べ、何ｒ／ｍｉｎ遅いかを算出して制御部１１に伝える。すなわち、検出部９Ａの検出した回転速度と検出部９Ｂの検出した回転速度との差を算出する。制御部１１は比較器３１による結果が所定値以上の場合に制御部１０Ａ、１０Ｂのうち一方を介してファンモータ５Ａ、５Ｂのうち速い方の回転速度を下げるよう同調制御する。   The fan filter unit also detects a rotation speed of the motor 3B, a main body control section (hereinafter referred to as a control section) 7 that controls the fan motors 5A and 5B, a first detection section 9A that detects the rotation speed of the motor 3A. And a second detection unit 9B. The control unit 7 receives a rotation speed setting unit 8 that sets the rotation speeds of the fan motors 5A and 5B, and a first rotation control unit that controls rotation of the fan motor 5A by inputting the detection rotation speed of the detection unit 9A (hereinafter referred to as control). Part) 10A and a second rotation control part (hereinafter referred to as a control part) 10B for controlling the rotation of the fan motor 5B by inputting the detected rotational speed of the detection part 9B. The control unit 7 further includes a first comparator 30 </ b> A, a second comparator 30 </ b> B, a third comparator 31, and a rotation speed tuning control unit (hereinafter, control unit) 11. The comparators 30A and 30B compare the rotation speed set by the rotation speed setting unit 8 with the rotation speed detected by the detection units 9A and 9B, and transmit the results to the control units 10A and 10B, respectively. The comparator 31 compares the rotation speed detected by the detection unit 9A with the rotation speed detected by the detection unit 9B, and calculates how many r / min is slower than the rotation speed of the slower one. To the control unit 11. That is, the difference between the rotation speed detected by the detection unit 9A and the rotation speed detected by the detection unit 9B is calculated. When the result of the comparator 31 is equal to or greater than a predetermined value, the control unit 11 performs tuning control so as to decrease the faster rotational speed of the fan motors 5A and 5B via one of the control units 10A and 10B.

モータ３Ａ、３Ｂはたとえば電子制御型ブラシレスモータで構成され、モータドライバ４Ａ、４Ｂはマイコンとソフトウェアまたは専用回路で構成されている。なお、モータ３Ａ、３Ｂはこれ以外の方式のモータで構成し、モータドライバ４Ａ、４Ｂがモータ３Ａ、３Ｂへの印加電力を制御する回路で構成されていてもよい。   The motors 3A and 3B are configured by, for example, electronically controlled brushless motors, and the motor drivers 4A and 4B are configured by a microcomputer and software or a dedicated circuit. The motors 3A and 3B may be configured by other types of motors, and the motor drivers 4A and 4B may be configured by a circuit that controls the power applied to the motors 3A and 3B.

制御部７を構成する各部はマイコンとソフトウェアまたは専用回路で構成されている。これらは一体に構成しても個別に設けてもよい。さらに検出部９Ａ、９Ｂが制御部７と一体に構成されていてもよい。なお、ファンモータ５Ａ、５Ｂがファンフィルタユニットの内部で大きく離れて設けられ、制御部７と距離があっても、回転速度信号はノイズによる影響をあまり受けない。一方、制御部１０Ａ、１０Ｂとモータドライバ４Ａ、４Ｂとのそれぞれの距離はノイズの影響があるため短くする必要がある。そのため少なくとも、ファンモータ５Ａと制御部１０Ａ、ファンモータ５Ｂと制御部１０Ｂはそれぞれ隣接して設けることが好ましい。   Each part constituting the control part 7 is constituted by a microcomputer and software or a dedicated circuit. These may be configured integrally or individually. Furthermore, the detection units 9 </ b> A and 9 </ b> B may be configured integrally with the control unit 7. Note that even if the fan motors 5A and 5B are provided far apart inside the fan filter unit, and there is a distance from the control unit 7, the rotational speed signal is not significantly affected by noise. On the other hand, the distances between the control units 10A and 10B and the motor drivers 4A and 4B are affected by noise and need to be shortened. Therefore, at least the fan motor 5A and the control unit 10A, and the fan motor 5B and the control unit 10B are preferably provided adjacent to each other.

検出部９Ａ、９Ｂはたとえばモータ３Ａ、３Ｂによって回転される磁石と、その磁気変化を検出する磁気検出素子、およびその磁気変化から回転速度を算出する回路から構成されている。これ以外に例えば、モータ３Ａ、３Ｂによって回転される反射部を有する円板と、その輝度を検出する光学素子、およびその輝度変化から回転速度を算出する回路から構成されていてもよい。すなわち、検出部９Ａ、９Ｂは磁気方式あるいは光学方式などで構成することができる。なお、検出部９Ａ、９Ｂでは、水晶振動子によってクロック振動を発生させ、この振動を基準に単位時間あたりのモータ３Ａ、３Ｂの回転数が算出される。このように構成すればモータ３Ａ、３Ｂの回転数が精度よく検出される。   The detectors 9A and 9B are composed of, for example, a magnet rotated by the motors 3A and 3B, a magnetic detection element for detecting the magnetic change, and a circuit for calculating the rotational speed from the magnetic change. In addition to this, for example, a disc having a reflecting portion rotated by the motors 3A and 3B, an optical element for detecting the luminance, and a circuit for calculating the rotation speed from the luminance change may be used. That is, the detection units 9A and 9B can be configured by a magnetic method or an optical method. In the detection units 9A and 9B, clock vibration is generated by a crystal resonator, and the rotation speed of the motors 3A and 3B per unit time is calculated based on the vibration. If comprised in this way, the rotation speed of motor 3A, 3B will be detected accurately.

上記構成において、回転速度設定部８で２０００ｒ／ｍｉｎと設定された回転速度がモータ３Ａ、３Ｂに与えられる。そしてそれぞれのモータ３Ａ、３Ｂの検出回転速度が設定回転速度になるようにフィードバック制御が行われる。すなわち、比較器３０Ａ、３０Ｂはそれぞれ検出部９Ａ、９Ｂの検出回転速度と回転速度設定部８で設定された回転速度とを比較する。そしてその結果を制御部１０Ａ、１０Ｂに送る。制御部１０Ａ、１０Ｂはそれぞれ、比較器３０Ａ、３０Ｂの結果に基づきモータ３Ａ、３Ｂの回転速度を設定回転速度に近づけるようモータドライバ４Ａ、４Ｂを制御する。   In the above configuration, the rotation speed set to 2000 r / min by the rotation speed setting unit 8 is given to the motors 3A and 3B. Then, feedback control is performed so that the detected rotational speeds of the motors 3A and 3B become the set rotational speed. That is, the comparators 30 </ b> A and 30 </ b> B compare the detected rotational speeds of the detection units 9 </ b> A and 9 </ b> B with the rotational speed set by the rotational speed setting unit 8, respectively. And the result is sent to control part 10A, 10B. The control units 10A and 10B control the motor drivers 4A and 4B so that the rotational speeds of the motors 3A and 3B approach the set rotational speed based on the results of the comparators 30A and 30B, respectively.

このようにフィードバック制御しても、ファンモータ５Ａ、５Ｂの能力バラツキや設置場所の空気圧の変動によりファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度差が生じる場合がある。そして例えば回転速度差が１０ｒ／ｍｉｎ以上ある場合にうなり音が発生する。   Even if feedback control is performed in this way, there may be a difference in rotational speed between the fan motors 5A and 5B due to variations in the performance of the fan motors 5A and 5B and fluctuations in air pressure at the installation location. Then, for example, when the rotational speed difference is 10 r / min or more, a beat sound is generated.

このとき、制御部１１は比較器３１の算出結果を受けて、検出回転速度の低いファンモータ５Ａに検出回転速度の高い方のファンモータ５Ｂの回転速度を合わせるように制御部１０Ｂを制御する。すなわち、制御部１０Ａ、１０Ｂは比較器３０Ａ、３０Ｂの結果よりも制御部１１からの制御を優先する。これにより、ファンモータ５Ａ、５Ｂの能力バラツキや設置場所の空気圧の変動に影響を受けることなく、うなり音の発生が抑制される。   At this time, the control unit 11 receives the calculation result of the comparator 31 and controls the control unit 10B so that the rotation speed of the fan motor 5B having the higher detection rotation speed matches the fan motor 5A having the lower detection rotation speed. That is, the control units 10A and 10B give priority to the control from the control unit 11 over the results of the comparators 30A and 30B. Thereby, generation | occurrence | production of a beep is suppressed without being influenced by the capability variation of fan motor 5A, 5B, or the fluctuation | variation of the air pressure of an installation place.

なお、うなり音が発生する条件は、ファンモータ５Ａ、５Ｂの運転回転数、大きさ、ファン２Ａ、２Ｂの形状などにより異なる。そのためそれぞれの場合に合せて、回転速度同調制御を開始する回転速度ずれの閾値を設定することが好ましい。   It should be noted that the conditions for generating a roaring sound vary depending on the operating speed and size of the fan motors 5A and 5B, the shapes of the fans 2A and 2B, and the like. Therefore, it is preferable to set a rotational speed deviation threshold value for starting the rotational speed tuning control in accordance with each case.

以上のように、制御部７は、検出部９Ａの検出した回転速度に基づき、ファンモータ５Ａの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する。同様に、検出部９Ｂの検出した回転速度に基づき、ファンモータ５Ｂの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する。さらに、検出部９Ａの検出した回転速度が検出部９Ｂの検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に、検出部９Ａの検出した回転速度にファンモータ５Ｂの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う。同様に、検出部９Ｂの検出した回転速度が検出部９Ａの検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に検出部９Ｂの検出した回転速度にファンモータ５Ａの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う。   As described above, the control unit 7 performs feedback control based on the rotation speed detected by the detection unit 9A so that the rotation speed of the fan motor 5A matches the set rotation speed. Similarly, feedback control is performed based on the rotation speed detected by the detection unit 9B so that the rotation speed of the fan motor 5B matches the set rotation speed. Further, when the rotation speed detected by the detection unit 9A is slower than the rotation speed detected by the detection unit 9B by a predetermined value or more, the rotation speed tuning control is performed to reduce the rotation speed of the fan motor 5B to the rotation speed detected by the detection unit 9A. Do. Similarly, when the rotation speed detected by the detection unit 9B is slower than the rotation speed detected by the detection unit 9A by a predetermined value or more, the rotation speed tuning control is performed to reduce the rotation speed of the fan motor 5A to the rotation speed detected by the detection unit 9B. Do.

なお、ファンモータが２台設けられた場合を説明したが、ファンモータが３台以上設けられた場合にも最も回転速度の遅いファンモータに他のファンモータの回転速度を合せるように制御することで同様の効果が得られる。   In addition, although the case where two fan motors are provided has been described, even when three or more fan motors are provided, control is performed so that the fan motor having the slowest rotation speed matches the rotation speed of the other fan motor. A similar effect can be obtained.

（実施の形態２）
図３は本発明の実施の形態２によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７３において比較器３１と回転数同調制御部（以下、制御部）１１との間に安定化部１６が設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。 (Embodiment 2)
FIG. 3 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 2 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that a stabilization unit 16 is provided between the comparator 31 and the rotation speed tuning control unit (hereinafter, control unit) 11 in the main body control unit 73. It is a point. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

安定化部１６は所定時間の準備運転が経過するまでは制御部１１を機能しないようにしている。安定化部１６は、ファンモータ５Ａ、５Ｂの運転開始直後や、瞬間的に回転速度が変動した場合など、ファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が不安定な時間帯に制御部１１が機能するのを防止している。安定化部１６もまたマイコン等により構成されている。   The stabilization unit 16 prevents the control unit 11 from functioning until a preparatory operation for a predetermined time has elapsed. In the stabilizing unit 16, the control unit 11 functions in a time zone in which the detected rotational speed of the fan motors 5A and 5B is unstable, such as immediately after the start of operation of the fan motors 5A and 5B or when the rotational speed fluctuates instantaneously. Is preventing. The stabilizing unit 16 is also constituted by a microcomputer or the like.

すなわち、例えば設定回転速度が２０００ｒ／ｍｉｎの場合、安定化部１６はファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が互いに±１０ｒ／ｍｉｎ以上外れている場合に所定時間の間、制御部１１が機能するのを防止する。言い換えれば、安定化部１６は回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる。すなわち、ファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が１０ｒ／ｍｉｎ以上ずれていても所定時間の間、制御部１１は機能しない。   That is, for example, when the set rotational speed is 2000 r / min, the stabilizing unit 16 functions for a predetermined time when the detected rotational speeds of the fan motors 5A and 5B are out of ± 10 r / min or more. To prevent. In other words, the stabilization unit 16 delays the start of the rotation speed tuning control by a predetermined time. That is, even if the detected rotation speeds of the fan motors 5A and 5B are deviated by 10 r / min or more, the control unit 11 does not function for a predetermined time.

所定時間とは例えば、電源投入時の運転開始直後であれば３０秒間、設定回転速度が変更された場合もしくはファンモータ５Ａ、５Ｂの負荷急変により検出回転速度に変化がある場合であれば１０秒間に設定される。これらの設定時間は準備運転の時間に相当する。それにより、ファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度が不安定な状態での回転速度同調制御の過剰反応を抑えることができる。   The predetermined time is, for example, 30 seconds immediately after the start of operation when the power is turned on, or 10 seconds if the set rotational speed is changed or the detected rotational speed is changed due to a sudden change in the load of the fan motors 5A and 5B. Set to These set times correspond to preparation operation times. Thereby, it is possible to suppress an excessive reaction of the rotational speed tuning control in a state where the rotational speeds of the fan motors 5A and 5B are unstable.

以上のように、本体制御部７３は回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる。これによりファンモータ５Ａ、５Ｂの検出回転速度が不安定な時間帯に制御部１１が機能することが防止される。   As described above, the main body control unit 73 delays the start of the rotation speed tuning control by a predetermined time. This prevents the control unit 11 from functioning during a time period when the detected rotation speeds of the fan motors 5A and 5B are unstable.

（実施の形態３）
図４は本発明の実施の形態３によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７４にリトライ部１９が設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。リトライ部１９もまたマイコン等により構成されている。 (Embodiment 3)
FIG. 4 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 3 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that a retry unit 19 is provided in the main body control unit 74. Other configurations are the same as those in the first embodiment. The retry unit 19 is also constituted by a microcomputer or the like.

リトライ部１９は回転速度同調制御部（以下、制御部）１１が所定時間だけ回転速度同調制御を連続して行った場合に、回転速度設定部８での設定回転速度にファン２Ａ、２Ｂの回転数を合わせるように試みる制御を行うリトライ機能を有している。   The retry unit 19 rotates the fans 2A and 2B to the rotational speed set by the rotational speed setting unit 8 when the rotational speed tuning control unit (hereinafter, control unit) 11 continuously performs the rotational speed tuning control for a predetermined time. It has a retry function that performs control to try to match the numbers.

ファンフィルタユニットが用いられているクリーンルーム内で重要な工程を行っている場合、ファンモータ５Ａ、５Ｂを停止することが工程の生産性を著しく低下する恐れがある。したがって重要な工程を行っている間に、ファンモータ５Ａ、５Ｂが低速運転されることにより設定回転速度で得られる期待風量が得られない回転速度で運転し続けるのを避けることが望ましい。   When an important process is performed in a clean room in which the fan filter unit is used, stopping the fan motors 5A and 5B may significantly reduce the process productivity. Therefore, it is desirable to avoid continuing operation at a rotational speed at which the expected air volume obtained at the set rotational speed cannot be obtained by performing low speed operation of the fan motors 5A and 5B while performing an important process.

リトライ部１９は回転速度同調制御が行われている継続時間を計測している。そしてファンモータ５Ａ、５Ｂの能力バラツキなどにより回転速度同調制御が連続して例えば１０分間行われた場合、回転制御部（以下、制御部）１０Ａ、１０Ｂを介してファンモータ５Ａ、５Ｂを初期の設定回転速度で制御することを試みる。すなわち、リトライ部１９による指示は制御部１１による制御より優先して実施される。このように、本体制御部７４は回転速度同調制御が所定時間行われたとき、ファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度を設定回転速度に合わせるよう試みるリトライ制御を行う。これにより、回転速度同調制御によって、設定回転速度で得られる期待風量が得られずに低速運転し続けることが防止される。このためファンモータ５Ａ、５Ｂの本来の能力を十分に発揮できる。そして設定回転速度にできるだけ近い回転速度にてファンモータ５Ａ、５Ｂが再び運転される。   The retry unit 19 measures the duration time during which the rotational speed tuning control is performed. When the rotation speed tuning control is continuously performed for 10 minutes due to the variation in the performance of the fan motors 5A and 5B, for example, the fan motors 5A and 5B are initially set via the rotation control units (hereinafter referred to as control units) 10A and 10B. Attempt to control at the set rotation speed. That is, the instruction by the retry unit 19 is performed with priority over the control by the control unit 11. As described above, when the rotation speed tuning control is performed for a predetermined time, the main body control unit 74 performs retry control that attempts to match the rotation speed of the fan motors 5A and 5B with the set rotation speed. Accordingly, the rotation speed tuning control prevents the expected air volume obtained at the set rotation speed from being obtained and the low speed operation from being continued. For this reason, the original capability of fan motor 5A, 5B can fully be exhibited. Then, the fan motors 5A and 5B are operated again at a rotational speed as close as possible to the set rotational speed.

ここでリトライ部１９が計測する所定時間とは、ファンモータユニットが取り付けられるクリーンルーム等の内容積や必要とされる風量に依存する。   Here, the predetermined time measured by the retry unit 19 depends on the internal volume of a clean room or the like to which the fan motor unit is attached and the required air volume.

なお、リトライ制御を行ってもやはりファンモータ５Ａ、５Ｂの回転速度が所定回転速度以上ずれる場合、再度回転速度同調制御が行われることが好ましい。このため、リトライ制御は継続的に行われるのではなく一度リトライ部１９が制御部１０Ａ、１０Ｂにリトライ制御を指示すると、リトライ部１９が計測している回転速度同調制御の継続時間はリセットされる。そして実施の形態１と同様の、通常の制御状態に戻る。このように制御することが好ましい。   If the rotational speed of the fan motors 5A and 5B deviates more than a predetermined rotational speed even after performing the retry control, it is preferable to perform the rotational speed tuning control again. Therefore, the retry control is not performed continuously, but once the retry unit 19 instructs the control units 10A and 10B to perform the retry control, the duration of the rotational speed tuning control measured by the retry unit 19 is reset. . And it returns to the normal control state similar to the first embodiment. It is preferable to control in this way.

（実施の形態４）
図５は本発明の実施の形態４によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態３による構成と異なる点は、本体制御部７５にリトライカウント部２０と運転停止部１８とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態３と同様である。リトライカウント部２０と運転停止部１８もまたマイコン等により構成されている。なお、運転停止部１８は回転制御部１０Ａ、１０Ｂを介してファンモータ５Ａ、５Ｂを停止する以外に、モータ３Ａ、３Ｂへの電力供給を停止するようにしてもよい。すなわち、運転停止部１８はリレーで構成してもよい。 (Embodiment 4)
FIG. 5 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 4 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the third embodiment in that the main body control unit 75 is provided with a retry count unit 20 and an operation stop unit 18. Other configurations are the same as those in the third embodiment. The retry count unit 20 and the operation stop unit 18 are also configured by a microcomputer or the like. The operation stopping unit 18 may stop the power supply to the motors 3A and 3B in addition to stopping the fan motors 5A and 5B via the rotation control units 10A and 10B. That is, the operation stop unit 18 may be configured by a relay.

リトライカウント部２０は、リトライ部１９によるリトライ機能があらかじめ定められた時間内に所定回数繰り返し行われたことを検知すると、回転速度同調制御を行わず運転停止部１８を介してファンモータ５Ａ、５Ｂを自動で停止する。すなわち、運転停止部１８による指示はリトライ部１９による指示よりさらに優先して実施される。このように、本体制御部７５は、リトライ制御を所定時間内に所定回数繰り返したとき、ファンモータ５Ａ、５Ｂを停止する。   When the retry count unit 20 detects that the retry function by the retry unit 19 has been repeatedly performed within a predetermined time, the retry count unit 20 does not perform the rotation speed tuning control and performs fan motors 5A and 5B via the operation stop unit 18. Is automatically stopped. That is, the instruction by the operation stop unit 18 is performed with higher priority than the instruction by the retry unit 19. As described above, the main body control unit 75 stops the fan motors 5A and 5B when the retry control is repeated a predetermined number of times within a predetermined time.

リトライカウント部２０は、例えば１時間にリトライ機能が行われた回数をカウントしている。そしてカウントした回数が例えば５回を超えると異常使用であると判断する。このような状態は例えば設置環境の圧力異常が起こったり、ファンモータ５Ａ、５Ｂへロープなどの異物が混入した場合などの異常使用されたりした場合、あるいはフィルタ６に異常がある場合に生じる。リトライカウント部２０は、所定時間内にカウントした回数が所定値以上になると運転停止部１８に信号を出力する。運転停止部１８はこの信号を受けてファンモータ５Ａ、５Ｂを自動的に停止する。このようにしてファンモータ５Ａ、５Ｂの異常使用が自動的に回避される。   For example, the retry count unit 20 counts the number of times the retry function has been performed in one hour. Then, when the counted number exceeds, for example, 5 times, it is determined that it is abnormal use. Such a state occurs, for example, when an abnormal pressure occurs in the installation environment, when the fan motor 5A, 5B is abnormally used such as when a foreign object such as a rope is mixed, or when the filter 6 is abnormal. The retry count unit 20 outputs a signal to the operation stop unit 18 when the number of times counted within a predetermined time becomes equal to or greater than a predetermined value. In response to this signal, the operation stop unit 18 automatically stops the fan motors 5A and 5B. In this way, abnormal use of the fan motors 5A and 5B is automatically avoided.

ここで、リトライカウント部２０が、リトライ部１９によるリトライ機能の指示回数を計測する所定時間は１〜２時間程度とするのが妥当である。この制御は上述のように異常の検知が目的であるため、短時間で判断することが好ましい。また異常のある場合は連続してリトライ機能が行われるので、運転停止部１８に信号出力するための閾値は３〜５回程度でよい。   Here, it is appropriate that the predetermined time for the retry count unit 20 to measure the number of times the retry unit 19 instructs the retry function is about 1 to 2 hours. Since the purpose of this control is to detect an abnormality as described above, it is preferable to make a determination in a short time. In addition, when there is an abnormality, the retry function is performed continuously, so the threshold for outputting a signal to the operation stop unit 18 may be about 3 to 5 times.

（実施の形態５）
図６は本発明の実施の形態５によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７６に比較器３１に代わって機能の異なる第３の比較器２１と、運転停止部１８とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。比較器２１もまたマイコン等により構成されている。 (Embodiment 5)
FIG. 6 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 5 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that the main body control unit 76 is provided with a third comparator 21 having a different function instead of the comparator 31 and an operation stop unit 18. Is a point. Other configurations are the same as those in the first embodiment. The comparator 21 is also constituted by a microcomputer or the like.

比較器２１は比較器３１と同様の機能を有し、検出部９Ａで検出された回転速度と検出部９Ｂで検出された回転速度とを比較し、その結果を回転速度同調制御部（以下、制御部）１１に伝える。これ以外に、比較器２１は、回転速度設定部８による設定回転速度と検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度とを比較する。そして設定回転速度と検出部９Ａ、９Ｂのいずれかによる検出回転速度との差が、例えば設定回転速度の２５％に相当する回転差限界より大であるか否かを判断する。さらに差が回転差限界より大であることを検知した場合、運転停止部１８を介して回転速度同調制御を行わずにファンモータ５Ａ、５Ｃを自動的に停止する。このように運転停止部１８による指示は制御部１１による指示より優先して実施される。   The comparator 21 has the same function as that of the comparator 31, compares the rotation speed detected by the detection unit 9A with the rotation speed detected by the detection unit 9B, and compares the result with the rotation speed tuning control unit (hereinafter referred to as “rotation speed tuning control unit”). Control unit) 11. In addition to this, the comparator 21 compares the rotational speed set by the rotational speed setting unit 8 with the rotational speeds detected by the detection units 9A and 9B. Then, it is determined whether or not the difference between the set rotational speed and the rotational speed detected by any of the detection units 9A and 9B is larger than a rotational difference limit corresponding to 25% of the set rotational speed, for example. Further, when it is detected that the difference is larger than the rotation difference limit, the fan motors 5A and 5C are automatically stopped without performing the rotation speed tuning control via the operation stop unit 18. In this way, the instruction from the operation stop unit 18 is performed with priority over the instruction from the control unit 11.

このように比較器２１は、検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度と回転速度設定部８による設定回転速度とを比較して回転速度差を検知している。   In this way, the comparator 21 compares the rotation speed detected by the detectors 9A and 9B with the rotation speed set by the rotation speed setting unit 8 to detect a rotation speed difference.

図６に示すように設置段階でファンモータ５Ｂとは全く異なるファンモータ５Ｃが設置されている場合がある。このようにファンモータ５Ｃを誤使用している場合に、比較器２１はファンモータ５Ｃの回転速度が大幅に異なることを検出して、誤った設置状態であることを判断することができる。例えば、設定回転速度が２０００ｒ／ｍｉｎで、検出回転速度と設定回転速度との差が５００ｒ／ｍｉｎ以上であることを比較器２１が検出する。このような場合に比較器２１は運転停止部１８に信号を出力する。運転停止部１８はこの信号を受けてファンモータ５Ａ、５Ｃを自動的に停止する。このようにしてファンモータ５Ｃの異常使用が自動的に回避される。   As shown in FIG. 6, a fan motor 5C that is completely different from the fan motor 5B may be installed at the installation stage. In this way, when the fan motor 5C is misused, the comparator 21 can detect that the rotational speed of the fan motor 5C is significantly different and determine that the fan motor 5C is in the wrong installation state. For example, the comparator 21 detects that the set rotational speed is 2000 r / min and the difference between the detected rotational speed and the set rotational speed is 500 r / min or more. In such a case, the comparator 21 outputs a signal to the operation stop unit 18. In response to this signal, the operation stop unit 18 automatically stops the fan motors 5A and 5C. In this way, abnormal use of the fan motor 5C is automatically avoided.

あるいは、ファンモータ５Ａ、５Ｂが正しく設置され、フィルタ６が局部的に目詰まりしてファンモータ５Ａ、５Ｂの一方が正常に運転できない場合にもファンモータ５Ａ、５Ｂが停止される。   Alternatively, the fan motors 5A, 5B are also stopped when the fan motors 5A, 5B are correctly installed, the filter 6 is locally clogged, and one of the fan motors 5A, 5B cannot operate normally.

なおファンモータ５Ｃに代わってファンモータ５Ａと同機能のファンモータ５Ｂが設置されている場合には、運転停止部１８が作動しないよう、比較器２１における判定基準値を設定する。   When a fan motor 5B having the same function as the fan motor 5A is installed instead of the fan motor 5C, a determination reference value in the comparator 21 is set so that the operation stop unit 18 does not operate.

以上のように、本体制御部７６は、設定回転速度と検出部９Ａまたは検出部９Ｂによる検出回転速度との差が所定値より大きい場合、ファンモータを停止する。これにより一方のファンモータの誤使用や異常状態での運転が防止される。   As described above, the main body control unit 76 stops the fan motor when the difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the detection unit 9A or the detection unit 9B is larger than a predetermined value. As a result, one fan motor can be prevented from being misused or operated in an abnormal state.

（実施の形態６）
図７は本発明の実施の形態６によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態１による構成と異なる点は、本体制御部７７に比較器３１に代わって機能の異なる第３の比較器２２と、運転停止部１８とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態１と同様である。比較器２２もまたマイコン等により構成されている。 (Embodiment 6)
FIG. 7 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 6 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that the main body control unit 77 is provided with a third comparator 22 having a different function instead of the comparator 31 and an operation stop unit 18. Is a point. Other configurations are the same as those in the first embodiment. The comparator 22 is also constituted by a microcomputer or the like.

比較器２２は比較器３１と同様の機能を有し、検出部９Ａで検出された回転速度と検出部９Ｂで検出された回転速度とを比較し、その結果を回転速度同調制御部（以下、制御部）１１に伝える。これ以外に、比較器２２は検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度と回転速度設定部８で設定された回転速度とを比較する。そして検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度が設定回転速度と所定値以上異なる場合に運転停止部１８を介してファンモータ５Ｃ、５Ｄを停止する。   The comparator 22 has the same function as that of the comparator 31, compares the rotation speed detected by the detection unit 9A with the rotation speed detected by the detection unit 9B, and compares the result with the rotation speed tuning control unit (hereinafter referred to as “rotation speed tuning control unit”). Control unit) 11. In addition, the comparator 22 compares the rotation speed detected by the detection units 9A and 9B with the rotation speed set by the rotation speed setting unit 8. The fan motors 5 </ b> C and 5 </ b> D are stopped via the operation stop unit 18 when the detected rotational speeds by the detection units 9 </ b> A and 9 </ b> B differ from the set rotational speed by a predetermined value or more.

ここで、ファンモータ５Ｃ、５Ｄは必要な能力を有する取り付けるべきファンモータ５Ａ、５Ｂとは異なる。このような場合、ファンモータ５Ｃ、５Ｄは必要な回転速度で回転できない。すなわち、取り付けるべきファンモータの能力範囲内であらかじめ定めた回転速度以下に設定回転速度を設定したにもかかわらず、運転開始直後において検出回転速度が設定回転速度に一致しない。このような場合、比較器２２は検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度と回転速度設定部８で設定された回転速度とを比較することでファンモータ５Ｃ、５Ｄの誤使用を検知する。そして回転速度同調制御を行わず運転停止部１８によりファンモータ５Ｃ、５Ｄを自動で停止する。   Here, the fan motors 5C and 5D are different from the fan motors 5A and 5B to be attached having the necessary capacity. In such a case, the fan motors 5C and 5D cannot rotate at a necessary rotation speed. That is, the detected rotational speed does not coincide with the set rotational speed immediately after the start of operation even though the set rotational speed is set to be equal to or lower than the predetermined rotational speed within the capacity range of the fan motor to be attached. In such a case, the comparator 22 detects the misuse of the fan motors 5C and 5D by comparing the rotation speed detected by the detection units 9A and 9B with the rotation speed set by the rotation speed setting unit 8. Then, the rotation speed tuning control is not performed, and the fan motors 5C and 5D are automatically stopped by the operation stop unit 18.

回転速度設定部８にて、ファンモータ５Ａ、５Ｂの能力範囲である例えば１０００〜２０００ｒ／ｍｉｎ内である１８００ｒ／ｍｉｎ以下で設定回転速度を設定した場合を想定する。この場合、ファンモータ５Ａ、５Ｂには十分な能力があり、フィードバック制御可能である。しかしながら誤ってファンモータ５Ｃ、５Ｄが取り付けられていると、検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度が設定回転速度の例えば±１０ｒ／ｍｉｎ以内に入らない。このような場合比較部２２は、ファンモータ５Ａ、５Ｂと能力の全く異なるファンモータ５Ｃ、５Ｄが誤使用されているなどの異常使用であると判断する。そして、運転停止部１８に信号を出力する。運転停止部１８はこの信号を受けてファンモータ５Ｃ、５Ｄを自動的に停止する。このようにしてファンモータ５Ｃ、５Ｄの異常使用が自動的に回避される。   It is assumed that the rotational speed setting unit 8 sets the rotational speed at a setting speed of 1800 r / min or less, for example, within 1000 to 2000 r / min, which is the capability range of the fan motors 5A and 5B. In this case, the fan motors 5A and 5B have sufficient capability and can be feedback controlled. However, if the fan motors 5C and 5D are mistakenly attached, the rotational speed detected by the detectors 9A and 9B does not fall within, for example, ± 10 r / min of the set rotational speed. In such a case, the comparison unit 22 determines that the fan motors 5C and 5D, which have completely different capabilities from the fan motors 5A and 5B, are abnormally used, such as being misused. Then, a signal is output to the operation stop unit 18. In response to this signal, the operation stop unit 18 automatically stops the fan motors 5C and 5D. In this way, abnormal use of the fan motors 5C and 5D is automatically avoided.

なおファンモータ５Ｃ、５Ｄに代わってファンモータ５Ａ、５Ｂが設置されている場合には、運転停止部１８が作動しないよう、比較器２２における判定基準値を設定する。   When the fan motors 5A and 5B are installed instead of the fan motors 5C and 5D, the determination reference value in the comparator 22 is set so that the operation stop unit 18 does not operate.

また運転開始直後においては実施の形態２で述べたように、ファンモータの回転速度が安定しない場合がある。そのため、実施の形態２の安定化部１６の機能と同様に、運転停止部１８が作動するのを一定時間の間、抑制することが好ましい。   In addition, immediately after the start of operation, as described in the second embodiment, the rotational speed of the fan motor may not be stable. Therefore, it is preferable to suppress the operation stop unit 18 from operating for a certain period of time, similarly to the function of the stabilization unit 16 of the second embodiment.

以上のように、本体制御部７７は、設定回転速度と検出部９Ａ、９Ｂによる検出回転速度との差が所定値より大きい場合、ファンモータ５Ａ、５Ｂを停止する。   As described above, the main body control unit 77 stops the fan motors 5A and 5B when the difference between the set rotation speed and the detection rotation speed detected by the detection units 9A and 9B is larger than a predetermined value.

なお、実施の形態２〜実施の形態６のそれぞれに固有の構成は、互いに相反することがない限り組み合わせてもよく、そのような構成は本発明の範疇である。例えば、実施の形態２の構成を実施の形態３〜６の構成に組み合わせてもよい。   The configurations unique to each of Embodiments 2 to 6 may be combined as long as they do not conflict with each other, and such configurations are within the scope of the present invention. For example, the configuration of the second embodiment may be combined with the configurations of the third to sixth embodiments.

本発明によれば、回転速度の近似したファンが複数台設置されたクリーンルームを含む室内において、回転速度同調制御を用いてファンによるうなり音を抑制することができる。そのため作業環境のみならず住環境を快適にする用途に利用可能である。   According to the present invention, in a room including a clean room in which a plurality of fans having approximate rotational speeds are installed, it is possible to suppress the roaring noise caused by the fans using the rotational speed tuning control. Therefore, it can be used for the purpose of making the living environment comfortable as well as the working environment.

本発明の実施の形態１によるファンフィルタユニットの概略構成図1 is a schematic configuration diagram of a fan filter unit according to Embodiment 1 of the present invention. 図１に示すファンフィルタユニットのブロック回路図Block circuit diagram of the fan filter unit shown in FIG. 本発明の実施の形態２によるファンフィルタユニットのブロック回路図Block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 2 of the present invention 本発明の実施の形態３によるファンフィルタユニットのブロック回路図Block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 3 of the present invention 本発明の実施の形態４によるファンフィルタユニットのブロック回路図Block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 4 of the present invention 本発明の実施の形態５によるファンフィルタユニットのブロック回路図Block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 5 of the present invention 本発明の実施の形態６によるファンフィルタユニットのブロック回路図Block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 6 of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

２Ａ 第１のファン
２Ｂ 第２のファン
３Ａ 第１のモータ
３Ｂ 第２のモータ
４Ａ 第１のモータドライバ
４Ｂ 第２のモータドライバ
５Ａ 第１のファンモータ
５Ｂ 第２のファンモータ
５Ｃ，５Ｄ ファンモータ
６ フィルタ
７，７３，７４，７５，７６，７７ 本体制御部
８ 回転速度設定部
９Ａ 第１の検出部
９Ｂ 第２の検出部
１０Ａ 第１の回転制御部
１０Ｂ 第２の回転制御部
１１ 回転速度同調制御部
１６ 安定化部
１８ 運転停止部
１９ リトライ部
２０ リトライカウント部
２１，２２，３１ 第３の比較器
３０Ａ 第１の比較器
３０Ｂ 第２の比較器 2A 1st fan 2B 2nd fan 3A 1st motor 3B 2nd motor 4A 1st motor driver 4B 2nd motor driver 5A 1st fan motor 5B 2nd fan motor 5C, 5D fan motor 6 Filter 7, 73, 74, 75, 76, 77 Main body control unit 8 Rotation speed setting unit 9A First detection unit 9B Second detection unit 10A First rotation control unit 10B Second rotation control unit 11 Rotation speed tuning Control unit 16 Stabilization unit 18 Operation stop unit 19 Retry unit 20 Retry count unit 21, 22, 31 Third comparator 30A First comparator 30B Second comparator

Claims (8)

第１のファンと第１のモータとを有する第１のファンモータと、
前記第１のモータの回転速度を検出する第１の検出部と、
第２のファンと第２のモータとを有する第２のファンモータと、
前記第２のモータの回転速度を検出する第２の検出部と、
前記第１のファンと前記第２のファンとによって送風される空気を清浄化するフィルタと、
前記第１の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第１のファンモータの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御するとともに、前記第２の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第２のファンモータの回転速度が前記設定回転速度に一致するようにフィードバック制御し、前記第１の検出部の検出した回転速度が前記第２の検出部の検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に前記第１の検出部の検出した回転速度に前記第２のファンモータの回転速度を下げる回転速度同調制御を行い、前記第２の検出部の検出した回転速度が前記第１の検出部の検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に前記第２の検出部の検出した回転速度に前記第１のファンモータの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う本体制御部と、を備えた、
ファンフィルタユニット。A first fan motor having a first fan and a first motor;
A first detector for detecting a rotation speed of the first motor;
A second fan motor having a second fan and a second motor;
A second detector for detecting the rotational speed of the second motor;
A filter for purifying air blown by the first fan and the second fan;
Based on the rotation speed detected by the first detection unit, feedback control is performed so that the rotation speed of the first fan motor matches a set rotation speed, and based on the rotation speed detected by the second detection unit. Feedback control is performed so that the rotation speed of the second fan motor matches the set rotation speed, and the rotation speed detected by the first detection unit is predetermined with respect to the rotation speed detected by the second detection unit. When the rotation speed is slower than the value, rotation speed tuning control is performed to lower the rotation speed of the second fan motor to the rotation speed detected by the first detection unit, and the rotation speed detected by the second detection unit is the first rotation speed. This system performs rotational speed tuning control for lowering the rotational speed of the first fan motor to the rotational speed detected by the second detection section when the rotational speed detected by the detection section is slower than a predetermined value. And the part, with,
Fan filter unit. 前記本体制御部は、
前記第１の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第１のファンモータの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する第１の回転制御部と、
前記第２の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第２のファンモータの回転速度が前記設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する第２の回転制御部と、
前記第１の検出部の検出した回転速度と前記設定回転速度とを比較し、前記第１の回転制御部に伝える第１の比較器と、
前記第２の検出部の検出した回転速度と前記設定回転速度とを比較し、前記第２の回転制御部に伝える第２の比較器と、
前記第１の検出部の検出した回転速度と前記第２の検出部の検出した回転速度との差を算出する第３の比較器と、
前記第３の比較器の算出結果を受けて、前記算出結果が前記所定値以上の場合に前記第１の回転制御部と前記第２の回転制御部のうち一方を介して前記第１、第２のファンモータのうち速い方の回転速度を下げるよう同調制御する回転速度同調制御部と、を有する、
請求項１記載のファンフィルタユニット。The main body control unit
A first rotation control unit that performs feedback control based on a rotation speed detected by the first detection unit so that a rotation speed of the first fan motor matches a set rotation speed;
A second rotation control unit that performs feedback control based on the rotation speed detected by the second detection unit so that the rotation speed of the second fan motor matches the set rotation speed;
A first comparator that compares the rotation speed detected by the first detection unit with the set rotation speed and transmits the comparison to the first rotation control unit;
A second comparator that compares the rotation speed detected by the second detection unit with the set rotation speed and transmits the comparison to the second rotation control unit;
A third comparator for calculating a difference between the rotation speed detected by the first detection unit and the rotation speed detected by the second detection unit;
In response to the calculation result of the third comparator, when the calculation result is equal to or greater than the predetermined value, the first and second rotation control units are connected via one of the first rotation control unit and the second rotation control unit. A rotational speed tuning control unit that performs tuning control so as to lower the rotational speed of the faster one of the two fan motors;
The fan filter unit according to claim 1. 前記本体制御部は、前記回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる、
請求項１記載のファンフィルタユニット。The body control unit delays the start of the rotation speed tuning control by a predetermined time;
The fan filter unit according to claim 1. 前記所定時間は、前記ファンフィルタユニットの運転開始直後と、前記ファンモータの設定回転数変更直後とのいずれかであって、前記第１、第２検出部による検出回転数が安定するまでの準備運転の時間に設定されている、
請求項３記載のファンフィルタユニット。The predetermined time is either immediately after the start of the operation of the fan filter unit or immediately after the set rotational speed of the fan motor is changed, and preparation until the rotational speed detected by the first and second detection units is stabilized. Set to the driving time,
The fan filter unit according to claim 3. 前記本体制御部は、前記回転速度同調制御が所定時間行われたとき、前記第１、第２のファンモータの回転速度を前記設定回転速度に合わせるよう試みるリトライ制御を行う、
請求項１記載のファンフィルタユニット。The main body control unit performs retry control to try to match the rotation speeds of the first and second fan motors with the set rotation speed when the rotation speed tuning control is performed for a predetermined time.
The fan filter unit according to claim 1. 前記本体制御部は、前記リトライ制御を所定時間内に所定回数繰り返したとき、ファンモータを停止する、
請求項５記載のファンフィルタユニット。The main body control unit stops the fan motor when the retry control is repeated a predetermined number of times within a predetermined time.
The fan filter unit according to claim 5. 前記本体制御部は、前記設定回転速度と前記第１の検出部による検出回転速度との差と、前記設定回転速度と前記第２の検出部による検出回転速度との差のいずれかが所定値より大きい場合、前記第１、第２ファンモータを停止する、
請求項１記載のファンフィルタユニット。In the main body control unit, any one of a difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the first detection unit and a difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the second detection unit is a predetermined value. If larger, stop the first and second fan motors;
The fan filter unit according to claim 1. 前記本体制御部は、前記設定回転速度と前記第１の検出部による検出回転速度との差と、前記設定回転速度と前記第２の検出部による検出回転速度との差とが所定値より大きい場合、前記第１、第２ファンモータを停止する、
請求項１記載のファンフィルタユニット。The main body control unit is configured such that a difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the first detection unit and a difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the second detection unit are larger than a predetermined value. The first and second fan motors are stopped,
The fan filter unit according to claim 1.
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