JPWO2006067846A1

JPWO2006067846A1 - 顕微鏡用照明装置及び顕微鏡用照明システム

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Publication number: JPWO2006067846A1
Application number: JP2006521750A
Authority: JP
Inventors: 貴司吉峰; 野村　勝; 野村　　勝
Original assignee: 貴司吉峰
Priority date: 2004-12-22
Filing date: 2004-12-22
Publication date: 2008-06-12
Also published as: WO2006067846A1

Abstract

【課題】安価かつコンパクトで、同軸落射照明観察を行なうことができ、汎用性にも優れた顕微鏡用照明装置及び顕微鏡用照明システムを提供すること。【解決手段】ＬＥＤ光源装置４を一体的に有し、内部にポラライザーとしての偏光板２を有する顕微鏡用照明装置１００を、例えば顕微鏡２００の一方の接眼レンズ保持筒２１ａに挿入し、アナライザーとしての偏光板蓋８を他方の接眼レンズ保持筒２１ｂに装着する。これにより透過型の生物顕微鏡においても、半導体基板等の試料２３に垂直方向から照明光を当ててゴーストやフレアのない反射光を得ることができる。また当該顕微鏡用照明装置１００を、Ｃマウントアダプタ１３を介してＣマウント部２４に装着したりする等して、様々なパターンで同軸落射照明観察及び偏光観察を行なうことができる。【選択図】図１１

Description

本発明は、顕微鏡に用いられ、観察試料を照らすための顕微鏡用照明装置及び顕微鏡用照明システムに関する。

従来、顕微鏡で金属組織や半導体基板等を比較的高倍率で観察する場合や、凹凸があって光が深部まで届きづらいサンプルを観察する場合には、対物レンズの光軸に沿って照明を導入する、同軸落射照明装置が用いられていた。この場合、例えば対物レンズの上部に、４５度に設定されたハーフミラーを設けて、当該当該ハーフミラーに側面から水平方向に照明を当てることで、撮像側の光軸と照明側の光軸とを同軸化させ、試料に対して垂直方向から照明光を照射する。

しかし、当該同軸落射照明装置においては、側面から照明を照射するため、ハーフミラー等が収容されたユニットのほかランプハウスやファイバー照明、外部トランス、アタッチメント等の装置が必要となり、特に横方向のスペースを取られて扱いにくいという問題がある。また、それらの装置は高価であり、かつそれらの装置を取り付けるためには専用の顕微鏡が必要となる。

これらの問題のうち、価格面の問題については、同軸落射照明装置よりも安価な照明装置として、例えば、顕微鏡の２つの接眼レンズのうちいずれか一方を外して、当該接眼レンズの代わりに取り付けられる集光レンズと、ハロゲンランプが内蔵された光源装置と、この光源装置と集光レンズとの間に取り付けられ、光源装置のハロゲンランプの光を、集光レンズを通して試料に垂直に当てるためのファイバーケーブルとから構成される照明装置が開示されている。（特許文献１参照。）。
特開２０００−２９２７０６号公報（段落[０００５]、図１等）

しかしながら、上記特許文献１に開示された照明装置においても、ハロゲンランプを内蔵した光源装置と集光レンズとをファイバーケーブルで接続しており、スペースをとられて扱いにくいという問題は依然として解決されていない。また、当該照明装置は、いかなる顕微鏡にも取り付けられるようには構成されていない。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、安価かつコンパクトで、同軸落射照明観察を行なうことができ、汎用性にも優れた顕微鏡用照明装置及び顕微鏡用照明システムを提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明の顕微鏡用照明装置は、接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持し第１の径でなる双眼の第１の接眼レンズ保持筒とを少なくとも有する顕微鏡に用いられる照明装置であって、前記各第１の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源とを具備する。

ここで上記顕微鏡の光学系とは、例えば対物レンズやプリズム等を含む。光源は例えばＬＥＤ(light emitting diode)、ハロゲンランプ、タングステンランプ等を用いることができる。試料は例えば半導体基板等や金属組織、樹脂試料、生物試料等である。また筒体の形状は例えば円筒であるが、これに限られない。

本発明では、上記筒体の他端に光源が一体的に設けられており、その反対側の一端の装着部が接眼レンズ保持筒に装着可能となっているため、ケーブル等のフレキシブルな部材等を介さず、非常にコンパクトで取り扱いやすい構成となっている。また当該装着部を第１の接眼レンズ保持筒に装着するだけで、上記光学系を介して容易に同軸落射照明観察を行なうことができる。すなわち、照明が試料の下方から照射される設計の生物顕微鏡においても、本発明の顕微鏡用照明装置を用いることで同軸落射照明光を照射でき、半導体基板や金属組織等の凹凸や傷等を観察することができる。試料の拡大像を観察する際には、例えば一方の第１の接眼レンズ保持筒に当該顕微鏡用照明装置を装着して、他方の第１の接眼レンズ保持筒から観察を行なうことができる。

上記顕微鏡用照明装置は、前記筒体内に設けられ、前記光源からの光を集光する集光レンズを更に具備していてもよい。これにより、上記光源から上記光学系へ導かれる光が平行光束となり、より照射ムラのない観察を行なうことができる。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明装置において、前記顕微鏡は前記第１の径よりも大きい第２の径を有する双眼の第２の接眼レンズ保持筒を有し、該顕微鏡用照明装置は、前記各第２の接眼レンズ保持筒に装着可能であり、かつ、前記装着部に着脱可能な第１のアダプタを更に具備する。これにより、上記第１のアダプタを筒体の装着部に装着することで、異なる２つの径を持った接眼レンズ保持筒にそれぞれ対応して容易に同軸落射照明観察を行なうことができ、汎用性が向上する。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明装置において、前記顕微鏡はＣマウント部を有し、該顕微鏡用照明装置は、前記Ｃマウント部に装着可能であり、前記装着部に前記第１のアダプタが装着された状態で、前記第１のアダプタを介して前記筒体に着脱可能な第２のアダプタを更に具備する。これにより、上記第１のアダプタ及び第２のアダプタを介することで、通常は撮像装置を装着するためのＣマウント部に、当該顕微鏡用照明装置も装着することができる。よって、Ｃマウント部に顕微鏡用照明装置を装着して試料に同軸落射照明光を当てながら、双眼の接眼レンズ保持筒から試料の拡大像の観察を行なうこともでき、当該顕微鏡用照明装置により広い汎用性を持たせることができる。

本発明の他の観点に係る顕微鏡用照明装置は、接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持する双眼の接眼レンズ保持筒と、Ｃマウント部とを有する顕微鏡に用いられる照明装置であって、前記各接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記Ｃマウント部に装着可能であり、かつ、前記筒体に着脱可能なＣマウントアダプタとを具備する。これにより、例えば当該顕微鏡用照明装置を一方の接眼レンズ保持筒に装着して試料を照明し、他方の接眼レンズ保持筒から観察し、同時にＣマウント部に撮像装置を装着して撮影を行なったり、またＣマウントアダプタによりＣマウント部に顕微鏡用照明装置を装着して双眼の接眼レンズ保持筒から観察を行なったりする等、様々なパターンで試料を照明して試料の観察や撮影を行なうことが可能となる。

また、当該顕微鏡用照明装置は、前記筒体内に設けられ、前記光源からの光を集光する集光レンズを更に具備するようにしてもよい。

本発明の顕微鏡用照明システムは、接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持し第１の径でなる双眼の第１の接眼レンズ保持筒とを少なくとも有する顕微鏡に用いられる照明システムであって、前記各第１の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記筒体内に設けられ、前記光源から出射する光を偏光させる第１の偏光板とを有する顕微鏡用照明装置と、前記各第１の接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記筒体が前記一方の第１の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、前記他方の第１の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させる第２の偏光板とを具備する。

ここで第１の偏光板はポラライザーの役割を果たし、第２の偏光板はアナライザーの役割を果たす。このシステムでは、筒体の他端に光源が一体的に設けられ、その反対側の一端の装着部が接眼レンズ保持筒に装着可能となっているため、非常にコンパクトで取り扱いやすい構成となっている。また当該装着部を一方の第１の接眼レンズ保持筒に装着して、上記第２の偏光板を他方の第１の接眼レンズ保持筒に装着することで、いわゆるゴーストやフレアを排除しながら、上記光学系を介して容易に同軸落射照明観察を行なうことができるとともに、偏光観察を行なうこともできる。

また、当該顕微鏡照明システムは、前記筒体内に設けられ、前記光源からの光を集光する集光レンズを更に具備していてもよい。これにより、上記光源から上記光学系へ導かれる光が平行光束となるため、より照射ムラがなくなり、またフレアやゴーストをより排除しながら観察を行なうことができる。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムにおいて、前記顕微鏡は前記第１の径よりも大きい第２の径を有する第２の接眼レンズ保持筒を有し、該顕微鏡用照明システムは、前記各第２の接眼レンズ保持筒に装着可能であり、かつ、前記装着部に着脱可能な第１のアダプタと、前記各第２の接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記筒体に前記第１のアダプタが装着された状態で該筒体が前記一方の第２の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、前記他方の第２の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させる第３の偏光板とを更に具備する。これにより、異なる２つの径を持った接眼レンズ保持筒を有する顕微鏡での同軸落射照明観察及び偏光観察にそれぞれ容易に対応でき、汎用性が向上する。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムは、前記各第１の接眼レンズ保持筒に装着可能な撮像装置に着脱可能であり、前記筒体が前記一方の第１の接眼レンズ保持筒に装着され前記撮像装置が前記他方の第１の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、該他方の第１の接眼レンズ保持筒から出射する前記試料からの反射光を偏光させる第４の偏光板を更に具備する。これにより、上記第４の偏光板を用いることで、撮像装置で試料の撮影を行なう場合でも同軸落射照明観察及び偏光観察による撮影を容易に行なうことができる。

本発明の一の形態によれば、顕微鏡用照明システムは、前記各第２の接眼レンズ保持筒に装着可能な撮像装置に着脱可能であり、前記筒体が前記一方の第２の接眼レンズ保持筒に装着され前記撮像装置が前記他方の第２の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、該他方の第２の接眼レンズ保持筒から出射する前記試料からの反射光を偏光させる第４の偏光板を更に具備する。これにより、異なる２つの径を有する接眼レンズ保持筒に対応して、同軸落射照明観察及び偏光観察による試料の撮影を容易に行なうことができ、汎用性が向上する。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムにおいて、前記顕微鏡はＣマウント部を有し、該顕微鏡用照明システムは、前記Ｃマウント部に装着可能であり、前記少なくとも一方の第１の接眼レンズ保持筒に前記第２の偏光板が装着された場合、または、前記少なくとも一方の第２の接眼レンズ部に前記第３の偏光板が装着された場合に、前記装着部に前記第１のアダプタが装着された状態で、前記第１のアダプタを介して前記筒体に着脱可能な第２のアダプタを更に具備する。これにより、上記第１のアダプタ及び第２のアダプタを介することで、撮像装置のみならず、上記顕微鏡用照明装置をＣマウント部に装着して、異なる２つの径を有する接眼レンズ保持筒に対応した同軸落射照明観察及び偏光観察を容易に行なうことができ、汎用性が更に向上する。また、Ｃマウント部に撮像装置を装着して各第１の接眼レンズ保持筒にそれぞれ顕微鏡用照明装置と第２または第３の偏光板を装着したり、一方の第１または第２の接眼レンズ保持筒に撮像装置を装着して他方に第２または第３の偏光板を装着し、Ｃマウント部に顕微鏡用照明装置を装着する等、様々なパターンでの観察を行なうことができる。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムは、前記筒体内に設けられ、前記第１の偏光板を回転させることで該第１の偏光板の偏光角度を変更するための第１の回転機構を更に具備する。これにより、当該偏光角度を変更することで、観察像の色や明暗のコントラストを調整して、より詳細な観察を行なうことができる。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムは、前記第２の偏光板を回転させることで該第２の偏光板の偏光角度を変更するための第２の回転機構を更に具備する。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムは、前記第３の偏光板を回転させることで該第３の偏光板の偏光角度を変更するための第２の回転機構を更に具備する。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムは、前記第４の偏光板を回転させることで該第４の偏光板の偏光角度を変更するための第２の回転機構を更に具備する。

これらの第２の回転機構と上記第１の回転機構とを併用することで、偏光角度の調整をより容易に行なうことができる。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムは、前記筒体内であって前記第１の偏光板と前記装着部との間に着脱可能に設けられた鋭敏色板を更に具備する。これにより、観察像の色の変化を顕著にして、試料の微細な観察をより容易に行なうことができる。また、鋭敏色板を着脱可能としたことで、試料に応じて２枚の偏光板のみで観察したり、鋭敏色板を挟んで観察したりして、最も効果的な観察法を容易に選択することが可能となる。

本発明の他の観点に係る顕微鏡用照明システムは、接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持する双眼の接眼レンズ保持筒と、Ｃマウント部とを有する顕微鏡に用いられる照明システムであって、前記各接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記筒体内に設けられ、前記光源から出射する光を偏光させる第１の偏光板と、前記Ｃマウント部に装着可能であり、かつ、前記筒体に着脱可能なＣマウントアダプタとを有する顕微鏡用照明装置と、前記各接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記筒体が前記Ｃマウントアダプタを介して前記Ｃマウント部に装着された場合に、前記各接眼レンズ保持筒の各接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させ、または、前記筒体が前記一方の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、前記他方の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させる第２の偏光板とを具備する。

この構成によれば、上記Ｃマウントアダプタを用いることで、双眼の接眼レンズ保持筒とＣマウント部に、上記顕微鏡用照明装置、Ｃマウントアダプタ、第２の偏光板をそれぞれ適宜装着して、様々なパターンで同軸落射照明観察及び偏光観察を行なうことが可能となる。

また、当該顕微鏡用照明システムは、前記筒体内に設けられ、前記光源からの光を集光する集光レンズを更に具備していてもよい。

本発明の更に別の観点に係る顕微鏡用照明システムは、接眼レンズを有し蛍光試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持する双眼の接眼レンズ保持筒とを有する顕微鏡に用いられる照明システムであって、前記一方の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記筒体内に設けられ、前記光源から出射する光を選択的に透過させる励起フィルタとを有する顕微鏡用照明装置と、前記他方の接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記他方の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光のうち蛍光を選択的に透過させる吸収フィルタとを具備する。

この構成により、上記顕微鏡用照明装置を上記一方の接眼レンズ保持筒に装着して同軸落射照明観察を行ないながら、他方の接眼レンズ保持筒に吸収フィルタを装着することで、より安価でコンパクトなシステムにおいて簡易蛍光観察を行なうことが可能である。なおこの場合上記光源には例えば水銀ランプを用いる。

本発明によれば、安価かつコンパクトで、同軸落射照明観察を行なうことができ、汎用性にも優れた顕微鏡用照明装置及び顕微鏡用照明システムを提供することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。

（第１実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態としての顕微鏡用照明システムについて説明する。当該顕微鏡用照明システムは、顕微鏡用照明装置と、各種のアダプタ等の付属品で構成される。図１は本実施形態における顕微鏡用照明装置１００の外観を示す図であり、図２は顕微鏡用照明装置１００の断面図である。

両図に示すように、顕微鏡用照明装置１００の本体１は段付き円筒の形状を有しており、大径筒部１ａ及び小径筒部１ｂを有している。また本体１の上端部には、ＬＥＤ光源装置４が設けられ、下端部には、後述する顕微鏡の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部１ｃを有している。装着部１ｃの外径は例えばφ２３．２（２３．２ｍｍ、単位は以下同じ。）弱である。

本体１の内部には、上記ＬＥＤ光源装置４から出射する照明光を偏光させるための内蔵偏光板２が設けられ、当該内蔵偏光板２を回転させるための筒状の偏光板回転ハンドル３が内蔵偏光板２と一体的に設けられている。また本体１の内部には、当該照明光を通過させるための光路７が形成されている。本体１の下端部の装着部１ｃの内部には、上記ＬＥＤ光源装置４から出射され、光路７を通過しながら上記内蔵偏光板２により偏光された照明光を集光するための集光レンズ６が設けられている。

また本体１の表面であって上記内蔵偏光板２の下方にはスリット１ｄが設けられ、当該スリット１ｄに挿入されるように、鋭敏色板切替板５が設けられている。図３は当該鋭敏色板切替板５の断面図（同図（ａ））及び上面図（同図（ｂ））である。当該鋭敏色板切替板５には、鋭敏色を観察するための鋭敏色板５ａと空洞５ｂが設けられており、鋭敏色板切替板５を水平方向（図１の矢印Ａ方向）にスライドさせることで、上記ＬＥＤ光源装置４、内蔵偏光板２及び集光レンズ６からなる光学系の光軸に沿うように鋭敏色板５ａを配置したり、また鋭敏色板５ａを当該光軸から外して上記光軸に空洞５ｂが配置されるようにしたりして、鋭敏色板５ａの使用・不使用を切り替えることが可能となっている。なお当該鋭敏色板切替板５の長手方向の両端部にはスリット１ｄの縦方向の長さｅよりも径の大きい係止ネジ５ｃがそれぞれ螺着され、スライド動作のストロークエンドで鋭敏色板切替板５が本体１に係止されるようになっている。

図４は顕微鏡用照明装置１００と共に用いられる偏光板蓋８を示した図である。同図（ａ）が断面図、同図（ｂ）が上面図である。偏光板蓋８は、顕微鏡の接眼レンズ保持筒に、当該接眼レンズ保持筒を覆うように装着することが可能となっている。また偏光板蓋８の内部には偏光板８ａが設けられている。当該偏光板８ａは、顕微鏡用照明装置１００の内蔵偏光板２と対となり、内蔵偏光板２が、ＬＥＤ光源装置４の近傍にあってポラライザーの役割を果たすのに対して、アナライザーの役割を果たす。偏光板蓋８の内径ｆは例えば約φ２５である。また偏光板蓋８には内径調節ネジ８ｂが例えば３つ螺着され、接眼レンズ保持筒の外径に適合するように内径を微調節することができるようになっている。更に、偏光板蓋８は、偏光板８ａを有する上部８ｃと下部８ｄとが螺着された構造をとっており、上部８ｃを回転させることで偏光板８ａの偏光角度を変更することが可能となっている。

図５は、顕微鏡用照明装置１００及び偏光板蓋８を顕微鏡２００の接眼レンズ保持筒にそれぞれ装着した場合の様子を示した図である。同図に示すように、本体１のうち径が最小に形成された装着部１ｃが一方の接眼レンズ保持筒２１に挿入され、小径筒部１ｂの下端１ｂ−ｂで係止する。この顕微鏡２００の接眼レンズ保持筒２１の内径は例えばφ２３．２である。また偏光板蓋８は他方の接眼レンズ保持筒２１を覆うように装着される。このように装着することで、ＬＥＤ光源装置４からの照明光を接眼レンズ保持筒２１から対物レンズ２２等の光学系を通して試料２３に垂直方向から照射して、その反射光を、アナライザーとして機能する偏光板蓋８の偏光板８ａを通して観察することができる。すなわち、当該顕微鏡用照明システムにより、同軸落射照明観察及び偏光観察を行なうことができる。

ところで、顕微鏡の接眼レンズ保持筒２１の内径の規格には、φ２３．２とφ３０の２種類がある。上記顕微鏡用照明装置１００の装着部１ｃの外径は上述したようにφ２３．２弱であり、また偏光板蓋８の外形も当該φ２３．２の内径を有する接眼レンズ保持筒２１の外形（例えば約φ２５）に合わせて形成されているため、両者ともφ２３．２の内径を有する接眼レンズ保持筒には装着可能であるが、φ３０の内径を有する接眼レンズ保持筒にはそのままでは装着できない。そこで、本実施形態においては、顕微鏡用照明装置１００の小径筒部１ｂ及び装着部１ｃの外周に、外径がφ３０弱の補助アダプタ１０を装着することで、φ３０の内径を有する接眼レンズ保持筒にも顕微鏡用照明装置１００を装着可能としている。また、偏光板蓋についても、φ３０の内径を有する接眼レンズ保持筒の外径に装着可能なように上記偏光板蓋８よりも内径の大きい偏光板蓋９（図示せず）を用意する。これにより、接眼レンズ保持筒の両規格に対応可能となる。

図６は、当該補助アダプタ１０を示した図である。同図（ａ）が正面図、同図（ｂ）が断面図である。また図７は、当該補助アダプタ１０が顕微鏡用照明装置１００に装着された場合の断面図である。

両図に示すように、補助アダプタ１０には、大径部１０ｃが形成されている。この大径部１０ｃの光軸方向の長さｇは例えば９ｍｍ〜１０ｍｍとされており、上記小径筒部１ｂの光軸方向の長さｄ（図１参照）と同一とされている。これにより、補助アダプタ１０を用いる場合と用いない場合とで、ＬＥＤ光源装置４からの同一の光路長を形成させることができる。すなわち、小径筒部１ｂによっても、補助アダプタ１０の大径部１０ｃによっても、接眼レンズ保持筒に対して同じ位置で顕微鏡用照明装置１００を係止させることができる。これにより光学的条件を同一にすることができる。

また当該補助アダプタ１０の外周１０ａの例えば２カ所にはＯリング１１がはめ込まれている。補助アダプタ１０の内周１０ｂの例えば１カ所にもＯリング１２がはめ込まれている。これら外側及と内側のＯリング１１、１２は互いに異なる材質からなる。そうすることで顕微鏡用照明装置１００に補助アダプタ１０を装着するときに必要な力と、補助アダプタ１０が装着された顕微鏡用照明装置１００を接眼レンズ保持筒２１（図５参照）に挿入するときに必要な力とを異ならせることができる。

例えば補助アダプタ１０が装着された顕微鏡用照明装置１００を接眼レンズ保持筒２１に挿入するときに必要な力の方を、顕微鏡用照明装置１００に補助アダプタ１０を装着するときに必要な力より小さくなるように設定する。これは、例えば外側のＯリング１１を内側Ｏリング１２より柔らかい材質を用いることで実現できる。これにより、補助アダプタ１０が装着された顕微鏡用照明装置１００を接眼レンズ保持筒２１にスムーズに挿入できる。一方、顕微鏡用照明装置１００も補助アダプタ１０も人が片手で容易に持つことができる大きさであるため、補助アダプタ１０を顕微鏡用照明装置１００に装着するときの力を比較的大きくなるように設定しても容易に装着することができる。具体的には、外側のＯリング１１は例えばシリコンゴムとし、内側のＯリング１２は例えばニトリルゴムとすればよい。

また、顕微鏡には、上記図５で示したような、接眼レンズ保持筒２１が双眼のタイプと、当該双眼に加えて、デジタルカメラやＣＣＤカメラを装着するためのＣマウント部を有するタイプがある。当該Ｃマウント部の内径は上記接眼レンズ保持筒２１の２つの規格の内径とは異なるため、上記顕微鏡用照明装置１００は、そのままではＣマウント部に装着することはできない。そこで、本実施形態においては、Ｃマウント部に顕微鏡用照明装置１００を装着するためのＣマウントアダプタを用意する。

図８は、当該Ｃマウントアダプタ１３を示した図である。同図（ａ）が正面図、同図（ｂ）が（ａ）の断面図である。また図９は、当該Ｃマウントアダプタ１３が顕微鏡用照明装置１００に装着された場合の断面図である。

両図に示すように、Ｃマウントアダプタ１３は筒状の形状を有しており、その下端１４には、顕微鏡のＣマウント部等に係合、つまり螺着するためのネジ部１５が設けられている。また、上端１６には、顕微鏡用照明装置１００の装着部１ｃの下端１ｃ−ｂが挿入されて所定の位置で係止する挿入部１７が設けられている。この挿入部１７に上記補助アダプタ１０を介して顕微鏡用照明装置１００の装着部１ｃが挿入されて所定の位置で係止した状態で、顕微鏡用照明装置１００に装着されたデジタルカメラやＣＣＤカメラの特定の位置に顕微鏡のＣマウント部を介して像を結像させる光路長の光路１８がＣマウントアダプタ１３の内部に設けられている。なお、上端１６の挿入部１７の外周には、挿入部１７に挿入された顕微鏡用照明装置１００を固定するためのネジ２０が螺着されるネジ穴１９が設けられている。

なお、デジタルカメラ等を用いて撮影を行なう場合には、上記偏光板蓋８や９のようなアナライザーの役割を果たす偏光板が必要になる。そこで、本実施形態においては、デジタルカメラに図１０に示すような光学アダプタ４０を装着して、当該光学アダプタ４０の下端にデジタルカメラ偏光板３１を装着するようにする。当該光学アダプタ４０は顕微鏡用照明装置１００と同様の段付円筒形状であり、下端を内径φ２３．２の接眼レンズ保持筒に挿入したり、補助アダプタ１０を介して内径φ３０の接眼レンズ保持筒に挿入したり、あるいはＣマウントアダプタ１３を介してＣマウント部に装着することが可能な構造となっている。

以上のように、本実施形態においては、顕微鏡用照明装置１００が２つの規格の接眼レンズ保持筒及びＣマウント部に装着可能であり、偏光板蓋８及び９も各規格の接眼レンズ保持筒に装着可能であるため、試料２３を観察する際には様々な組み合わせが考えられる。以下、上記顕微鏡用照明装置１００、偏光板蓋８及びデジタルカメラ３０を接眼レンズ保持筒２１やＣマウント部に装着して観察する際の方法及びその際にＬＥＤ光源装置４から照射される照明光の光路について説明する。

図１１は、一方の接眼レンズ保持筒２１ａに顕微鏡用照明装置１００を挿入し、他方の接眼レンズ保持筒２１ｂに偏光板蓋８を装着し、Ｃマウント部２４にデジタルカメラ３０を装着した場合を示している。図１２は、この場合の光路を示した図である。両図に示すように、ＬＥＤ光源装置４から出射した照明光は顕微鏡用照明装置１００内の内蔵偏光板２により偏光され、鋭敏色板５ａ及び集光レンズ６を通って一方の接眼レンズ保持筒２１ａの接眼レンズ２６ａを通過し、顕微鏡２００内のプリズム２５を通って対物レンズ２２へ達し、試料２３に垂直方向から照射される。試料２３に反射した反射光は、上記対物レンズ２２及びプリズム２５を通り、２方向に分かれる。一方の反射光は、接眼レンズ保持筒２１ｂの接眼レンズ２６ｂから出射し、偏光板蓋８を通って観察される。他方の反射光は、Ｃマウント部２４に装着されたデジタルカメラ３０のデジタルカメラ偏光板３１へ導かれ、デジタルカメラ３０の図示しない表示部等で観察される。

図１３は、双方の接眼レンズ保持筒２１に偏光板蓋８を装着し、Ｃマウント部に顕微鏡用照明装置１００を装着した場合を示している。図１４は、この場合の光路を示した図である。両図に示すように、Ｃマウント部２４のＬＥＤ光源装置４から出射した照明光は顕微鏡用照明装置１００内の内蔵偏光板２、鋭敏色板５ａ及び集光レンズ６を通って顕微鏡２００内のプリズム２５を通り、対物レンズ２２を介して試料２３に垂直方向から照射される。試料２３の反射光は、上記対物レンズ２２及びプリズム２５を通って各接眼レンズ保持筒へ分かれて、各接眼レンズ２６ａ及び２６ｂを介して各偏光板８ａへ導かれて観察される。

なお、図示しないが、上記の場合以外にも、例えば一方の接眼レンズ保持筒２１ａにデジタルカメラ３０を装着し、他方の接眼レンズ保持筒２１ｂに偏光板蓋８を装着し、Ｃマウント部に顕微鏡用照明装置１００を装着する場合等、様々なパターンが考えられ、また、接眼レンズ保持筒のφ２３．２とφ３０の２つの規格に対応して、補助アダプタ１０や、内径φ３０の接眼レンズ保持筒に装着可能な偏光板蓋９を適宜装着して観察することも可能である。

次に、本実施形態における顕微鏡用照明システムを用いた場合の効果について説明する。図１５は、本顕微鏡用照明システムを用いて、生物顕微鏡において、試料２３として半導体基板を用いて観察を行なった場合の観察像を示した図である。同図に示すように、本システムを用いることで、従来の生物顕微鏡においては撮影ができなかった半導体基板の撮影に成功した。すなわち、本実施形態における顕微鏡用照明装置１００によって半導体基板の垂直方向から同軸落射照明を当て、かつ、ポラライザーとしての内蔵偏光板２及びアナライザーとしての偏光板蓋８を用いることで、フレアやゴーストの無い、鮮明な半導体基板の画像を得ることができた。

また、２枚の偏光板を用いて偏光観察を行ない、各偏光板を回転させて偏光角度を変更することで、同図（ａ）〜（ｃ）に示すような色のコントラストの変化をもたらし、例えば半導体基板の凹凸や傷等をより鮮明に観察することができるようになった。

図１６は、上記鋭敏色板切替板５により鋭敏色板を５ａ通して観察した場合（同図（ａ））と通さないで観察した場合（同図（ｂ））の観察像を示した図である。同図に示すように、本実施形態においては、鋭敏色板５ａを設けたことで、色の変化が顕著になり、より詳細な観察を行なうことができた。また鋭敏色板５ａを切り替え可能としたことで、試料によっては色の変化により逆に観察がしにくくなるような場合等にも対応可能とした。

以上説明したように、本実施形態によれば、同軸落射照明観察が行なうことができながら、従来の同軸落射照明装置よりも安価かつコンパクトで、汎用性にも優れた顕微鏡用照明システムを提供することができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態において上記第１実施形態と同一の構成となる部分については同一の符号を付し、説明を省略または簡略化する。

本実施形態においては、上記第１実施形態においてポラライザーとして機能した内蔵偏光板２と、アナライザーとして機能した偏光板８ａをそれぞれ励起フィルタと吸収フィルタに置き換えることで、簡易蛍光観察を可能とする。なお、この場合の光源には例えば水銀ランプを用いる。

図１７は、この場合の光路を示した図である。同図に示すように、水銀ランプ５３から出射した照明光は、励起フィルタ５１により短波長域の光のみ選択的に透過され、鋭敏色板５ａ及び集光レンズ６を通って一方の接眼レンズ保持筒２１ａの接眼レンズ２６ａを通過し、顕微鏡内のプリズム２５及び対物レンズ２２を介して試料２３に照射される。その反射光は、対物レンズ２２及びプリズム２５を介して他方の接眼レンズ２６ｂから吸収フィルタ５２へ達し、当該吸収フィルタ５２により、反射光のうち蛍光のみが透過され、観察される。

このように、上記２枚の偏光板をそれぞれ励起フィルタ５１及び吸収フィルタ５２に置き換えるだけで、簡易的な蛍光観察が可能となる。

なお、本発明は、上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。

上述の実施形態においては、光源装置にＬＥＤを用いていたが、顕微鏡用照明装置１００の本体１に一体的に設けることが可能であれば、その他にもハロゲンランプやタングステンランプ等を用いてもよい。

上述の第２実施形態においては、第１実施形態における内蔵偏光板２を励起フィルタ５１に、また偏光板蓋８を吸収フィルタ５２に置き換えていたが、２枚の偏光板はそのまま残して、更に顕微鏡用照明装置１００に励起フィルタを設け、偏光板蓋８に吸収フィルタを設けるようにしても構わない。

また、光源にレーザーを配置することにより、顕微鏡用照明装置１００をレーザー顕微鏡用の光源としても採用することができる。また、同様にレーザーリペア装置の光源としても用いることができる。更に、顕微鏡用オートフォーカスの光源側としても採用することも可能である。

第１実施形態における顕微鏡用照明装置１００の外観を示す図である。顕微鏡用照明装置１００の断面図である。鋭敏色板切替板５の断面図及び上面図である。偏光板蓋８を示した図である。顕微鏡用照明装置１００及び偏光板蓋８を顕微鏡２００の接眼レンズ保持筒に装着した場合の様子を示した図である。補助アダプタ１０を示した図である。補助アダプタ１０が顕微鏡用照明装置１００に装着された場合の断面図である。Ｃマウントアダプタ１３を示した図である。Ｃマウントアダプタ１３が顕微鏡用照明装置１００に装着された場合の断面図である。デジタルカメラ偏光板３１が装着された光学アダプタ４０を示した図である。顕微鏡用照明装置１００や偏光板蓋８の装着方法の一例を示した図である。図１０の場合の光路を示した図である。顕微鏡用照明装置１００や偏光板蓋８の装着方法の別の一例を示した図である。図１３の場合の光路を示した図である。本顕微鏡用照明システムを用いて、生物顕微鏡において、試料２３として半導体基板を用いて観察を行なった場合の観察像を示した図である。鋭敏色板切替板５により鋭敏色板を５ａ通して観察した場合と通さないで観察した場合の観察像を示した図である。本発明の他の実施形態において蛍光観察を行なう場合の光路を示した図である。

符号の説明

１…本体
１ｃ…装着部
２…内蔵偏光板
３…偏光板回転ハンドル
４…ＬＥＤ光源装置
５…鋭敏色板切替板
５ａ…鋭敏色板
６…集光レンズ
７…光路
８、９…偏光板蓋
８ａ…偏光板
１０…補助アダプタ
２１…接眼レンズ保持筒
２２…対物レンズ
２３…試料
２４…Ｃマウント部
３０…デジタルカメラ
３１…デジタルカメラ偏光板
４０…光学アダプタ
５１…励起フィルタ
５２…吸収フィルタ
５３…水銀ランプ

上記課題を解決するため、本発明の顕微鏡用照明装置は、接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持し第１の径でなる双眼の第１の接眼レンズ保持筒とを有する第１の顕微鏡に用いられる照明装置であって、前記各第１の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端にケーブルを介さずに一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源とを具備する。

本発明の一の形態によれば、前記顕微鏡用照明システムは、前記第１の径よりも大きい第２の径を有する双眼の第２の接眼レンズ保持筒を有する第２の顕微鏡にも用いられるものであり、前記顕微鏡用照明装置は、前記各第２の接眼レンズ保持筒に装着可能であり、かつ、前記装着部に着脱可能な第１のアダプタを更に具備する。これにより、上記第１のアダプタを筒体の装着部に装着することで、異なる２つの径を持った接眼レンズ保持筒にそれぞれ対応して容易に同軸落射照明観察を行なうことができ、汎用性が向上する。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明装置において、前記第１及び第２の顕微鏡はＣマウント部を有し、該顕微鏡用照明装置は、前記各Ｃマウント部に装着可能であり、前記装着部に前記第１のアダプタが装着された状態で、前記第１のアダプタを介して前記筒体に着脱可能な第２のアダプタを更に具備する。これにより、上記第１のアダプタ及び第２のアダプタを介することで、通常は撮像装置を装着するためのＣマウント部に、当該顕微鏡用照明装置も装着することができる。よって、Ｃマウント部に顕微鏡用照明装置を装着して試料に同軸落射照明光を当てながら、双眼の接眼レンズ保持筒から試料の拡大像の観察を行なうこともでき、当該顕微鏡用照明装置により広い汎用性を持たせることができる。

本発明の他の観点に係る顕微鏡用照明装置は、接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持する双眼の接眼レンズ保持筒と、Ｃマウント部とを有する顕微鏡に用いられる照明装置であって、前記各接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端にケーブルを介さずに一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記Ｃマウント部に装着可能であり、かつ、前記筒体に着脱可能なＣマウントアダプタとを具備する。これにより、例えば当該顕微鏡用照明装置を一方の接眼レンズ保持筒に装着して試料を照明し、他方の接眼レンズ保持筒から観察し、同時にＣマウント部に撮像装置を装着して撮影を行なったり、またＣマウントアダプタによりＣマウント部に顕微鏡用照明装置を装着して双眼の接眼レンズ保持筒から観察を行なったりする等、様々なパターンで試料を照明して試料の観察や撮影を行なうことが可能となる。

本発明の顕微鏡用照明システムは、接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持し第１の径でなる双眼の第１の接眼レンズ保持筒とを有する第１の顕微鏡に用いられる照明システムであって、前記各第１の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端にケーブルを介さずに一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記筒体内に設けられ、前記光源から出射する光を偏光させる第１の偏光板とを有する顕微鏡用照明装置と、前記各第１の接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記筒体が前記一方の第１の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、前記他方の第１の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させる第２の偏光板とを具備する。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムにおいて、前記顕微鏡用照明システムは、前記第１の径よりも大きい第２の径を有する双眼の第２の接眼レンズ保持筒を有する第２の顕微鏡にも用いられるものであり、該顕微鏡用照明システムは、前記各第２の接眼レンズ保持筒に装着可能であり、かつ、前記装着部に着脱可能な第１のアダプタと、前記各第２の接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記筒体に前記第１のアダプタが装着された状態で該筒体が前記一方の第２の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、前記他方の第２の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させる第３の偏光板とを更に具備する。これにより、異なる２つの径を持った接眼レンズ保持筒を有する顕微鏡での同軸落射照明観察及び偏光観察にそれぞれ容易に対応でき、汎用性が向上する。

本発明の一の形態によれば、上記顕微鏡用照明システムにおいて、前記第１及び第２の顕微鏡はＣマウント部を有し、該顕微鏡用照明システムは、前記各Ｃマウント部に装着可能であり、前記少なくとも一方の第１の接眼レンズ保持筒に前記第２の偏光板が装着された場合、または、前記少なくとも一方の第２の接眼レンズ部に前記第３の偏光板が装着された場合に、前記装着部に前記第１のアダプタが装着された状態で、前記第１のアダプタを介して前記筒体に着脱可能な第２のアダプタを更に具備する。これにより、上記第１のアダプタ及び第２のアダプタを介することで、撮像装置のみならず、上記顕微鏡用照明装置をＣマウント部に装着して、異なる２つの径を有する接眼レンズ保持筒に対応した同軸落射照明観察及び偏光観察を容易に行なうことができ、汎用性が更に向上する。また、Ｃマウント部に撮像装置を装着して各第１の接眼レンズ保持筒にそれぞれ顕微鏡用照明装置と第２または第３の偏光板を装着したり、一方の第１または第２の接眼レンズ保持筒に撮像装置を装着して他方に第２または第３の偏光板を装着し、Ｃマウント部に顕微鏡用照明装置を装着する等、様々なパターンでの観察を行なうことができる。

本発明の他の観点に係る顕微鏡用照明システムは、接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持する双眼の接眼レンズ保持筒と、Ｃマウント部とを有する顕微鏡に用いられる照明システムであって、前記各接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端にケーブルを介さずに一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記筒体内に設けられ、前記光源から出射する光を偏光させる第１の偏光板と、前記Ｃマウント部に装着可能であり、かつ、前記筒体に着脱可能なＣマウントアダプタとを有する顕微鏡用照明装置と、前記各接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記筒体が前記Ｃマウントアダプタを介して前記Ｃマウント部に装着された場合に、前記各接眼レンズ保持筒の各接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させ、または、前記筒体が前記一方の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、前記他方の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させる第２の偏光板とを具備する。

本発明の更に別の観点に係る顕微鏡用照明システムは、接眼レンズを有し蛍光試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持する双眼の接眼レンズ保持筒とを有する顕微鏡に用いられる照明システムであって、前記一方の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端にケーブルを介さずに一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記筒体内に設けられ、前記光源から出射する光を選択的に透過させる励起フィルタとを有する顕微鏡用照明装置と、前記他方の接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記他方の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光のうち蛍光を選択的に透過させる吸収フィルタとを具備する。

Claims

接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持し第１の径でなる双眼の第１の接眼レンズ保持筒とを少なくとも有する顕微鏡に用いられる照明装置であって、
前記各第１の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、
前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と
を具備することを特徴とする顕微鏡用照明装置。
請求項１に記載の顕微鏡用照明装置であって、
前記筒体内に設けられ、前記光源からの光を集光する集光レンズを更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明装置。
請求項１に記載の顕微鏡用照明装置であって、
前記顕微鏡は前記第１の径よりも大きい第２の径を有する双眼の第２の接眼レンズ保持筒を有し、
該顕微鏡用照明装置は、
前記各第２の接眼レンズ保持筒に装着可能であり、かつ、前記装着部に着脱可能な第１のアダプタを更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明装置。
請求項３に記載の顕微鏡用照明装置であって、
前記顕微鏡はＣマウント部を有し、
該顕微鏡用照明装置は、
前記Ｃマウント部に装着可能であり、前記装着部に前記第１のアダプタが装着された状態で、前記第１のアダプタを介して前記筒体に着脱可能な第２のアダプタを更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明装置。
接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持する双眼の接眼レンズ保持筒と、Ｃマウント部とを有する顕微鏡に用いられる照明装置であって、
前記各接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、
前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、
前記Ｃマウント部に装着可能であり、かつ、前記筒体に着脱可能なＣマウントアダプタと
を具備することを特徴とする顕微鏡用照明装置。
請求項５に記載の顕微鏡用照明装置であって、
前記筒体内に設けられ、前記光源からの光を集光する集光レンズを更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明装置。
接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持し第１の径でなる双眼の第１の接眼レンズ保持筒とを少なくとも有する顕微鏡に用いられる照明システムであって、
前記各第１の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記筒体内に設けられ、前記光源から出射する光を偏光させる第１の偏光板とを有する顕微鏡用照明装置と、
前記各第１の接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記筒体が前記一方の第１の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、前記他方の第１の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させる第２の偏光板と
を具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項７に記載の顕微鏡照明システムであって、
前記筒体内に設けられ、前記光源からの光を集光する集光レンズを更に具備することを特徴とする顕微鏡照明システム。
請求項７に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記顕微鏡は前記第１の径よりも大きい第２の径を有する第２の接眼レンズ保持筒を有し、
該顕微鏡用照明システムは、
前記各第２の接眼レンズ保持筒に装着可能であり、かつ、前記装着部に着脱可能な第１のアダプタと、
前記各第２の接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記筒体に前記第１のアダプタが装着された状態で該筒体が前記一方の第２の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、前記他方の第２の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させる第３の偏光板と
を更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項９に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記各第１の接眼レンズ保持筒に装着可能な撮像装置に着脱可能であり、前記筒体が前記一方の第１の接眼レンズ保持筒に装着され前記撮像装置が前記他方の第１の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、該他方の第１の接眼レンズ保持筒から出射する前記試料からの反射光を偏光させる第４の偏光板を更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項９に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記各第２の接眼レンズ保持筒に装着可能な撮像装置に着脱可能であり、前記筒体が前記一方の第２の接眼レンズ保持筒に装着され前記撮像装置が前記他方の第２の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、該他方の第２の接眼レンズ保持筒から出射する前記試料からの反射光を偏光させる第４の偏光板を更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項９に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記顕微鏡はＣマウント部を有し、
該顕微鏡用照明システムは、
前記Ｃマウント部に装着可能であり、前記少なくとも一方の第１の接眼レンズ保持筒に前記第２の偏光板が装着された場合、または、前記少なくとも一方の第２の接眼レンズ部に前記第３の偏光板が装着された場合に、前記装着部に前記第１のアダプタが装着された状態で、前記第１のアダプタを介して前記筒体に着脱可能な第２のアダプタを更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項７に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記筒体内に設けられ、前記第１の偏光板を回転させることで該第１の偏光板の偏光角度を変更するための第１の回転機構を更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項７に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記第２の偏光板を回転させることで該第２の偏光板の偏光角度を変更するための第２の回転機構を更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項９に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記第３の偏光板を回転させることで該第３の偏光板の偏光角度を変更するための第２の回転機構を更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項１０または請求項１１に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記第４の偏光板を回転させることで該第４の偏光板の偏光角度を変更するための第２の回転機構を更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項７に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記筒体内であって前記第１の偏光板と前記装着部との間に着脱可能に設けられた鋭敏色板を更に具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
接眼レンズを有し試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持する双眼の接眼レンズ保持筒と、Ｃマウント部とを有する顕微鏡に用いられる照明システムであって、
前記各接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記筒体内に設けられ、前記光源から出射する光を偏光させる第１の偏光板と、前記Ｃマウント部に装着可能であり、かつ、前記筒体に着脱可能なＣマウントアダプタとを有する顕微鏡用照明装置と、
前記各接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記筒体が前記Ｃマウントアダプタを介して前記Ｃマウント部に装着された場合に、前記各接眼レンズ保持筒の各接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させ、または、前記筒体が前記一方の接眼レンズ保持筒に装着された場合に、前記他方の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光を偏光させる第２の偏光板と
を具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。
請求項１８に記載の顕微鏡用照明システムであって、
前記筒体内に設けられ、前記光源からの光を集光する集光レンズを更に具備することを特徴とする顕微鏡照明システム。
接眼レンズを有し蛍光試料の拡大像を得るための光学系と、前記接眼レンズを保持する双眼の接眼レンズ保持筒とを有する顕微鏡に用いられる照明システムであって、
前記一方の接眼レンズ保持筒に装着可能な装着部を一端に有する筒体と、前記筒体の他端に一体的に設けられ、前記光学系を介して前記試料へ光を照射するための光源と、前記筒体内に設けられ、前記光源から出射する光を選択的に透過させる励起フィルタとを有する顕微鏡用照明装置と、
前記他方の接眼レンズ保持筒に着脱可能であり、前記他方の接眼レンズ保持筒の接眼レンズから出射する前記試料からの反射光のうち蛍光を選択的に透過させる吸収フィルタと
を具備することを特徴とする顕微鏡用照明システム。