JP3034250B1 - 実体顕微鏡の照明装置 - Google Patents
実体顕微鏡の照明装置Info
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- JP3034250B1 JP3034250B1 JP11095639A JP9563999A JP3034250B1 JP 3034250 B1 JP3034250 B1 JP 3034250B1 JP 11095639 A JP11095639 A JP 11095639A JP 9563999 A JP9563999 A JP 9563999A JP 3034250 B1 JP3034250 B1 JP 3034250B1
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Abstract
【要約】
【課題】 実体顕微鏡に装着させると、照明光度を不足
させることがなく、同軸落射照明装置を装着した場合の
分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮させるこ
とができるにも拘らず、同軸落射照明装置よりも安価で
あり、補助対物レンズを取り付けることができ、高い倍
率で試料を観察することができる実体顕微鏡の照明装置
を提供する。 【解決手段】 2つの接眼レンズ2,2を有する双眼の
実体顕微鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡
のいずれか一方の接眼レンズ2を外して、この接眼レン
ズ2の代わりに取り付けられる集光レンズ10と、ハロ
ゲンランプ21が内蔵された光源装置20と、この光源
装置20と集光レンズ10との間に取り付けられ、光源
装置20のハロゲンランプ21の光を集光レンズ10を
通して、試料Aに垂直にあてるためのファイバーケーブ
ル30とから構成されている。
させることがなく、同軸落射照明装置を装着した場合の
分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮させるこ
とができるにも拘らず、同軸落射照明装置よりも安価で
あり、補助対物レンズを取り付けることができ、高い倍
率で試料を観察することができる実体顕微鏡の照明装置
を提供する。 【解決手段】 2つの接眼レンズ2,2を有する双眼の
実体顕微鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡
のいずれか一方の接眼レンズ2を外して、この接眼レン
ズ2の代わりに取り付けられる集光レンズ10と、ハロ
ゲンランプ21が内蔵された光源装置20と、この光源
装置20と集光レンズ10との間に取り付けられ、光源
装置20のハロゲンランプ21の光を集光レンズ10を
通して、試料Aに垂直にあてるためのファイバーケーブ
ル30とから構成されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、実体顕微鏡の照明
装置に関する。実体顕微鏡は双眼顕微鏡の一種であり、
接眼レンズが2つあるので、ある角度をもった2方向か
ら試料を観察できるため、肉眼で見るのと同じように、
試料の拡大像が立体的(ステレオ)に見える。実体顕微
鏡の倍率は、ルーペの倍率に比べると高く、汎用顕微鏡
の倍率に比べて低く、5〜200 倍くらいまでのものがあ
る。実体顕微鏡は、解像度や倍率などについては、汎用
顕微鏡に劣るが、焦点深度が深いため、試料の拡大像が
鮮明なことが特徴である。本発明は、かかる実体顕微鏡
の照明装置に関する。
装置に関する。実体顕微鏡は双眼顕微鏡の一種であり、
接眼レンズが2つあるので、ある角度をもった2方向か
ら試料を観察できるため、肉眼で見るのと同じように、
試料の拡大像が立体的(ステレオ)に見える。実体顕微
鏡の倍率は、ルーペの倍率に比べると高く、汎用顕微鏡
の倍率に比べて低く、5〜200 倍くらいまでのものがあ
る。実体顕微鏡は、解像度や倍率などについては、汎用
顕微鏡に劣るが、焦点深度が深いため、試料の拡大像が
鮮明なことが特徴である。本発明は、かかる実体顕微鏡
の照明装置に関する。
【0002】
【従来の技術】実体顕微鏡に取り付ける照明装置として
代表的なものを以下に挙げる。 同軸落射照明装置L1:主として、生物や金属などの不
透明試料の表面構造を観察するのに便利である。この照
明は接眼レンズと対物レンズの間に半透鏡を入れ、この
半透鏡に横方向から照明して対物レンズを通して光を試
料に垂直にあてる落射照明を行うことができる。生物試
料に利用すると、完全な暗視野観察ができる。普通の照
明では観察不可能な金属表面のキズや、ICチップ、液
晶基板などの観察面が鏡面状の試料であっても、コント
ラストよく観察できる。 簡易同軸照明装置L2:前記同軸落射照明装置L1より
も安価であり、普通の照明では観察不可能な金属表面の
キズや、ICチップの回路であっても、コントラストよ
く観察できる。 傾斜照明装置L3:普通の照明では観察しにくい試料で
あっても、傾斜照明によってよく観察できる。 リングライトガイド照明装置L4:観察しにくい試料の
影をカットして明るいスッキリした視野が得られる。
代表的なものを以下に挙げる。 同軸落射照明装置L1:主として、生物や金属などの不
透明試料の表面構造を観察するのに便利である。この照
明は接眼レンズと対物レンズの間に半透鏡を入れ、この
半透鏡に横方向から照明して対物レンズを通して光を試
料に垂直にあてる落射照明を行うことができる。生物試
料に利用すると、完全な暗視野観察ができる。普通の照
明では観察不可能な金属表面のキズや、ICチップ、液
晶基板などの観察面が鏡面状の試料であっても、コント
ラストよく観察できる。 簡易同軸照明装置L2:前記同軸落射照明装置L1より
も安価であり、普通の照明では観察不可能な金属表面の
キズや、ICチップの回路であっても、コントラストよ
く観察できる。 傾斜照明装置L3:普通の照明では観察しにくい試料で
あっても、傾斜照明によってよく観察できる。 リングライトガイド照明装置L4:観察しにくい試料の
影をカットして明るいスッキリした視野が得られる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来の照明
装置L1〜L4には、以下のごとき問題がある。第1
に、同軸落射照明装置L1は、試料を観察しやすいけれ
ども、非常に高価であり、例えば通常の実体顕微鏡の5
倍の価格であるという問題がある。また、同軸落射照明
装置L1は、照度が低いランプしか備えていないものが
多く、この場合、照明光度が不足ぎみとなることがある
という問題がある。第2に、簡易同軸照明装置L2は、
同軸落射照明装置L1より安価であるが、以下の〜
の問題がある。 同軸落射照明装置L1を実体顕微鏡に装着した場合に
比べて分解能が劣る。 補助対物レンズの取付け部に、簡易同軸照明装置L2
を装着するので、補助対物レンズが取付けられない。第
3に、傾斜照明装置L3やリングライトガイド照明装置
L4では、金属表面のキズや、ICチップ、液晶基板な
どの観察面が鏡面状の試料を観察しようとしても、光軸
方向に反射が得られないので観察が不可能であるという
問題がある。
装置L1〜L4には、以下のごとき問題がある。第1
に、同軸落射照明装置L1は、試料を観察しやすいけれ
ども、非常に高価であり、例えば通常の実体顕微鏡の5
倍の価格であるという問題がある。また、同軸落射照明
装置L1は、照度が低いランプしか備えていないものが
多く、この場合、照明光度が不足ぎみとなることがある
という問題がある。第2に、簡易同軸照明装置L2は、
同軸落射照明装置L1より安価であるが、以下の〜
の問題がある。 同軸落射照明装置L1を実体顕微鏡に装着した場合に
比べて分解能が劣る。 補助対物レンズの取付け部に、簡易同軸照明装置L2
を装着するので、補助対物レンズが取付けられない。第
3に、傾斜照明装置L3やリングライトガイド照明装置
L4では、金属表面のキズや、ICチップ、液晶基板な
どの観察面が鏡面状の試料を観察しようとしても、光軸
方向に反射が得られないので観察が不可能であるという
問題がある。
【0004】本発明はかかる事情に鑑み、実体顕微鏡に
装着させると、照明光度を不足させることがなく、同軸
落射照明装置を装着した場合の分解能と同等もしくはそ
れ以上の分解能を発揮させることができるにも拘らず、
同軸落射照明装置よりも安価であり、補助対物レンズを
取り付けることができ、高い倍率で試料を観察すること
ができる実体顕微鏡の照明装置を提供することを目的と
する。
装着させると、照明光度を不足させることがなく、同軸
落射照明装置を装着した場合の分解能と同等もしくはそ
れ以上の分解能を発揮させることができるにも拘らず、
同軸落射照明装置よりも安価であり、補助対物レンズを
取り付けることができ、高い倍率で試料を観察すること
ができる実体顕微鏡の照明装置を提供することを目的と
する。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1の実体顕微鏡の
照明装置は、2つの接眼レンズを有する双眼の実体顕微
鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡のいずれ
か一方の接眼レンズを外して、該接眼レンズの代わりに
取り付けられる集光レンズと、ハロゲンランプが内蔵さ
れた光源装置と、該光源装置と前記集光レンズとの間に
取り付けられ、前記光源装置のハロゲンランプの光を前
記集光レンズを通して、試料に照明するためのファイバ
ーケーブルとからなることを特徴とする。
照明装置は、2つの接眼レンズを有する双眼の実体顕微
鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡のいずれ
か一方の接眼レンズを外して、該接眼レンズの代わりに
取り付けられる集光レンズと、ハロゲンランプが内蔵さ
れた光源装置と、該光源装置と前記集光レンズとの間に
取り付けられ、前記光源装置のハロゲンランプの光を前
記集光レンズを通して、試料に照明するためのファイバ
ーケーブルとからなることを特徴とする。
【0006】請求項1の発明によれば、光源装置のハロ
ゲンランプから発せられた光は、ファイバーケーブルを
経由して、集光レンズによって集められ、この光が試料
に垂直にあたる。他方、観察者は、集光レンズが取り付
けられていない側の接眼レンズをのぞいて前記試料を観
察すると、前記集光レンズによって集められた光が垂直
にあてられた試料の反射光を見ることができる。このた
め、照明光度を不足させることがないのである。そし
て、実体顕微鏡に装着させると、同軸落射照明装置を装
着した場合の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を
発揮させることができるにも拘らず、同軸落射照明装置
よりも安価である。また、補助対物レンズの取付け部
は、何物にも塞がれていないので、補助対物レンズを取
り付けることができ、高い倍率で試料を観察することが
できる。
ゲンランプから発せられた光は、ファイバーケーブルを
経由して、集光レンズによって集められ、この光が試料
に垂直にあたる。他方、観察者は、集光レンズが取り付
けられていない側の接眼レンズをのぞいて前記試料を観
察すると、前記集光レンズによって集められた光が垂直
にあてられた試料の反射光を見ることができる。このた
め、照明光度を不足させることがないのである。そし
て、実体顕微鏡に装着させると、同軸落射照明装置を装
着した場合の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を
発揮させることができるにも拘らず、同軸落射照明装置
よりも安価である。また、補助対物レンズの取付け部
は、何物にも塞がれていないので、補助対物レンズを取
り付けることができ、高い倍率で試料を観察することが
できる。
【0007】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施形態を図面
に基づき説明する。図1は本実施形態の実体顕微鏡の照
明装置の概略斜視図である。図2は本実施形態の実体顕
微鏡の照明装置のブロック図である。図1〜2におい
て、符号1は、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置を装
着させるための実体顕微鏡を示している。本実施形態の
実体顕微鏡の照明装置を装着させる実体顕微鏡1として
は、実体顕微鏡としての基本構成要素、すなわち2つの
接眼レンズ2、2、対物レンズ3、プリズム4、レンズ
群5などを備えていさえすればよく、種々の実体顕微鏡
に装着しうる。
に基づき説明する。図1は本実施形態の実体顕微鏡の照
明装置の概略斜視図である。図2は本実施形態の実体顕
微鏡の照明装置のブロック図である。図1〜2におい
て、符号1は、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置を装
着させるための実体顕微鏡を示している。本実施形態の
実体顕微鏡の照明装置を装着させる実体顕微鏡1として
は、実体顕微鏡としての基本構成要素、すなわち2つの
接眼レンズ2、2、対物レンズ3、プリズム4、レンズ
群5などを備えていさえすればよく、種々の実体顕微鏡
に装着しうる。
【0008】さて、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置
は、集光レンズ10、光源装置20およびファイバーケ
ーブル30から構成されている。符号Aは観察すべき試
料、例えばウェハやICチップ、液晶基板を示してい
る。
は、集光レンズ10、光源装置20およびファイバーケ
ーブル30から構成されている。符号Aは観察すべき試
料、例えばウェハやICチップ、液晶基板を示してい
る。
【0009】まず、集光レンズ10を説明する。装着す
べき実体顕微鏡1のいずれか一方の接眼レンズ2が外さ
れて、この接眼レンズ2の代わりに集光レンズ10が取
り付けられている。この集光レンズ10は、小さな面積
に、光を集中させるものである。残りの接眼レンズ2に
は、何も装着せず観察者が試料Aを観察できるようにし
ておけばよい。なお、集光レンズ10は、そのレンズ構
成(n群m枚)や有効径、フィルター径などに特に制限
はなく、用途に応じて好適なものを採択すればよい。
べき実体顕微鏡1のいずれか一方の接眼レンズ2が外さ
れて、この接眼レンズ2の代わりに集光レンズ10が取
り付けられている。この集光レンズ10は、小さな面積
に、光を集中させるものである。残りの接眼レンズ2に
は、何も装着せず観察者が試料Aを観察できるようにし
ておけばよい。なお、集光レンズ10は、そのレンズ構
成(n群m枚)や有効径、フィルター径などに特に制限
はなく、用途に応じて好適なものを採択すればよい。
【0010】つぎに、光源装置20を説明する。光源装
置20には、ハロゲンランプ21が内蔵されている。こ
のハロゲンランプ21は、照度が60万[ルクス]以上の
光を発生するものが好適である。なお、ハロゲンランプ
21は、調光つまみが付いているものがよく、この場
合、反射光がまぶしすぎるときに光の照度の調節がで
き、目にやさしいという点で好適である。
置20には、ハロゲンランプ21が内蔵されている。こ
のハロゲンランプ21は、照度が60万[ルクス]以上の
光を発生するものが好適である。なお、ハロゲンランプ
21は、調光つまみが付いているものがよく、この場
合、反射光がまぶしすぎるときに光の照度の調節がで
き、目にやさしいという点で好適である。
【0011】つぎに、ファイバーケーブル30を説明す
る。前記集光レンズ10と光源装置20との間には、フ
ァイバー製のファイバーケーブル30が取り付けられて
いる。このファイバーケーブル30は、前記光源装置2
0のハロゲンランプ21の光を、集光レンズ10まで伝
達し、この集光レンズ10を通して光を試料Aに垂直に
あてるためのものである。なお、ファイバーケーブル3
0は、その内径や長さ等、特に制限はなく、用途に応じ
て好適なものを採択すればよい。
る。前記集光レンズ10と光源装置20との間には、フ
ァイバー製のファイバーケーブル30が取り付けられて
いる。このファイバーケーブル30は、前記光源装置2
0のハロゲンランプ21の光を、集光レンズ10まで伝
達し、この集光レンズ10を通して光を試料Aに垂直に
あてるためのものである。なお、ファイバーケーブル3
0は、その内径や長さ等、特に制限はなく、用途に応じ
て好適なものを採択すればよい。
【0012】本実施形態の実体顕微鏡の照明装置は、前
記集光レンズ10、光源装置20およびファイバーケー
ブル30の安価な部品で構成されており、同軸落射照明
装置より安価であるという効果を奏する。
記集光レンズ10、光源装置20およびファイバーケー
ブル30の安価な部品で構成されており、同軸落射照明
装置より安価であるという効果を奏する。
【0013】また、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置
によれば、補助対物レンズの取付け部は、何物にも塞が
れていないので、補助対物レンズを取り付けることがで
き、高い倍率で試料を観察することができるという効果
を奏する。
によれば、補助対物レンズの取付け部は、何物にも塞が
れていないので、補助対物レンズを取り付けることがで
き、高い倍率で試料を観察することができるという効果
を奏する。
【0014】つぎに、本実施形態の実体顕微鏡の照明装
置の作用効果を説明する。光源装置20のハロゲンラン
プ21から発せられた光は、ファイバーケーブル30を
通って集光レンズ10に入射する。この集光レンズ10
によって集められた光は、プリズム4、レンズ群5およ
び対物レンズ3を通って、試料Aに垂直にあたる。他
方、観察者は、実体顕微鏡1の集光レンズ10が取り付
けられていない側の接眼レンズ2をのぞいて試料Aを観
察すると、前記集光レンズ10によって集められた光が
垂直にあてられた試料Aの反射光を見ることができる。
このため、観察者は、同軸落射照明装置を装着した場合
の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮させる
ことができ、試料Aをよく観察することができるという
効果を奏する。
置の作用効果を説明する。光源装置20のハロゲンラン
プ21から発せられた光は、ファイバーケーブル30を
通って集光レンズ10に入射する。この集光レンズ10
によって集められた光は、プリズム4、レンズ群5およ
び対物レンズ3を通って、試料Aに垂直にあたる。他
方、観察者は、実体顕微鏡1の集光レンズ10が取り付
けられていない側の接眼レンズ2をのぞいて試料Aを観
察すると、前記集光レンズ10によって集められた光が
垂直にあてられた試料Aの反射光を見ることができる。
このため、観察者は、同軸落射照明装置を装着した場合
の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮させる
ことができ、試料Aをよく観察することができるという
効果を奏する。
【0015】上記のごとく、本実施形態の実体顕微鏡の
照明装置によれば、実体顕微鏡に装着させると、照明光
度を不足させることがなく、同軸落射照明装置を装着し
た場合の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮
させることができるにも拘らず、同軸落射照明装置より
も安価であり、補助対物レンズを取り付けることがで
き、高い倍率で試料を観察することができるという効果
を奏する。
照明装置によれば、実体顕微鏡に装着させると、照明光
度を不足させることがなく、同軸落射照明装置を装着し
た場合の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮
させることができるにも拘らず、同軸落射照明装置より
も安価であり、補助対物レンズを取り付けることがで
き、高い倍率で試料を観察することができるという効果
を奏する。
【0016】なお、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置
を装着しうる実体顕微鏡1は、図2のごとき平行(ズー
ム)光学系だけでなく、図3に示すような内斜(ズー
ム)光学系であってもよく、内斜光学系の実体顕微鏡1
に装着した場合であっても、本実施形態の実体顕微鏡の
照明装置の効果は、平行(ズーム)光学系の実体顕微鏡
1を装着した場合と同等である。
を装着しうる実体顕微鏡1は、図2のごとき平行(ズー
ム)光学系だけでなく、図3に示すような内斜(ズー
ム)光学系であってもよく、内斜光学系の実体顕微鏡1
に装着した場合であっても、本実施形態の実体顕微鏡の
照明装置の効果は、平行(ズーム)光学系の実体顕微鏡
1を装着した場合と同等である。
【0017】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、実体顕微鏡に
装着させると、照明光度を不足させることがなく、同軸
落射照明装置を装着した場合の分解能と同等もしくはそ
れ以上の分解能を発揮させることができるにも拘らず、
同軸落射照明装置よりも安価であり、補助対物レンズを
取り付けることができ、高い倍率で試料を観察すること
ができる。
装着させると、照明光度を不足させることがなく、同軸
落射照明装置を装着した場合の分解能と同等もしくはそ
れ以上の分解能を発揮させることができるにも拘らず、
同軸落射照明装置よりも安価であり、補助対物レンズを
取り付けることができ、高い倍率で試料を観察すること
ができる。
【図1】本実施形態の実体顕微鏡の照明装置の概略斜視
図である。
図である。
【図2】本実施形態の実体顕微鏡の照明装置のブロック
図である。
図である。
【図3】他の実体顕微鏡1の適用した場合の本実施形態
の実体顕微鏡の照明装置のブロック図である。
の実体顕微鏡の照明装置のブロック図である。
1 実体顕微鏡 2 接眼レンズ 10 集光レンズ 20 光源装置 21 ハロゲンランプ 30 ファイバーケーブル A 試料
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 21/00 G02B 21/06 - 21/36 WPI(DIALOG)
Claims (1)
- 【請求項1】2つの接眼レンズを有する双眼の実体顕微
鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡のいずれ
か一方の接眼レンズを外して、該接眼レンズの代わりに
取り付けられる集光レンズと、ハロゲンランプが内蔵さ
れた光源装置と、該光源装置と前記集光レンズとの間に
取り付けられ、前記光源装置のハロゲンランプの光を前
記集光レンズを通して、試料に垂直にあてるためのファ
イバーケーブルとからなることを特徴とする実体顕微鏡
の照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11095639A JP3034250B1 (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 実体顕微鏡の照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11095639A JP3034250B1 (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 実体顕微鏡の照明装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3034250B1 true JP3034250B1 (ja) | 2000-04-17 |
JP2000292706A JP2000292706A (ja) | 2000-10-20 |
Family
ID=14143089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11095639A Expired - Fee Related JP3034250B1 (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 実体顕微鏡の照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3034250B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
WO2006067846A1 (ja) * | 2004-12-22 | 2006-06-29 | Takashi Yoshimine | 顕微鏡用照明装置及び顕微鏡用照明システム |
-
1999
- 1999-04-02 JP JP11095639A patent/JP3034250B1/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP2000292706A (ja) | 2000-10-20 |
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