JPWO2006064558A1 - 接触子部材、コンタクタ及び接触方法 - Google Patents
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Abstract
Description
個々の針(タングステンワイヤ等により形成された針)をそれぞれ試験するLSIの端子位置にあうようにコンタクタ基板に配置して形成される。
プローブピンは、半導体装置の端子との接触部、基板との接触部、および接触部間にスプリングを配置した構成である。接触部間のスプリングの弾性により、半導体装置の端子および試験用基板へ接触部を押し付けて、電気的接触を得る。
メンブレン式プローブは、触針用の接触子電極として金属突起を有するフィルム状の回路基板として形成される。
異方性導電ゴムは、絶縁部材にゴムを用いて、この中に厚さ方向にのみ導通する材料(金属ワイヤ等)を埋め込んで形成される。
多端子化にともない、LSI等の半導体素子の縁部のみでなく、当該半導体素子上に格子状に配置された端子に接触する必要が生じている。
1−a)カンチレバー方式:基板側の端子間隔はウエハ側の端子間隔より大きくなり、構造上、端子配置に制約があり、上述の課題Cに対応できない。また、課題Dに関しても制約が大きい。したがって、例えば、端子をエリアアレイ状態に配置できない、あるいはチップサイズよりプローブサイズが大きいため、隣接する半導体素子チップには同時にコンタクトできないといった問題がある。
スプリング、接触部、スプリングを収納するバレル部というように構成部品が多く、構造上、狭ピッチには限界がある。課題Aに関して、構造上、狭ピッチに限界がある。すなわち、コイルスプリングの巻き径を小さくすることに限界がある。
課題Aに関して、コンタクト電極が絶縁基板で連結されているため、狭ピッチでは個々の電極が自由に動けない。コンタクト電極の可動範囲が狭く、金属バンプであるため、柔軟性に乏しい。このため、隣接バンプ同士の高さばらつきにより、低いバンプの接触不良をひき起こすという問題がある。
課題Aに関して、狭ピッチに対応ができない。また、その他、耐熱性が低い、あるいは耐久性が低いなどの問題がある。
4 試験用端子
4A ボール状電極
8 試験用基板
8a,34a 端子
10A,10B 接触子部材
10AA 外部接続用端子
20,30,40,50,50A コンタクタ
22,32,42,52 基板
22a,32a,32a−1,32a−2,32a−3,42a,52a,52Aa,52Ba 保持孔
34 配線層
36,36−1,36−2,36−3 アジャスタ
44 絶縁性保護膜
44a 導電部
44b 突起
この溶液を0℃以下になるまで十分に冷却した後、アニリンに塩酸を加えた溶液に徐々に加え、0℃以下に冷却を続けながら十分に攪拌する。ここで生じた沈殿物を吸引ろ過し、塩酸、アセトン等で洗浄する。洗浄した沈殿物を十分に乾燥させ、細粒を粉砕し、完全な粉末状とする。
Claims (9)
- 導電性高分子材料から形成され、中心部の分子密度が表面部の分子密度より低く、通常状態では略球形状を有し、且つ弾性変形が可能であることを特徴とする接触子部材。
- 請求項1記載の接触子部材であって、
導電性微粒子、導電性繊維、導電性フィラーの少なくとも一つを含むことを特徴とする接触子部材。 - 導電性高分子材料から形成され、中心部に空洞を有し、通常状態では略球形状を有し、且つ弾性変形が可能であることを特徴とする接触子部材。
- 請求項3記載の接触子部材であって、
導電性微粒子、導電性繊維、導電性フィラーの少なくとも一つを含むことを特徴とする接触子部材。 - 電子部品と回路基板に電気的に接続するためのコンタクタであって、
絶縁性の基板と、
該基板に形成された保持孔と、
該保持孔内に配置された少なくとも一つの接触子部材と
を有し、
前記接触子部材は、導電性高分子材料から形成され、中心部の分子密度が表面部の分子密度より低く、通常状態では略球形状を有し、且つ弾性変形が可能である
ことを特徴とするコンタクタ。 - 請求項5記載のコンタクタであって、
前記基板の保持孔内に、複数の接触子部材が、該基板の厚さ方法に、直列状態に収容されることを特徴とするコンタクタ。 - 電子部品と回路基板に電気的に接続するためのコンタクタであって、
絶縁性の基板と、
該基板に形成された保持孔と、
該保持孔内に配置された少なくとも一つの接触子部材と
を有し、
前記接触子部材は、導電性高分子材料から形成され、中心部に空洞を有し、通常状態では略球形状を有し、且つ弾性変形が可能である
ことを特徴とするコンタクタ。 - 請求項7記載のコンタクタであって、
前記基板の保持孔内に、複数の接触子部材が、該基板の厚さ方法に、直列状態に収容されることを特徴とするコンタクタ。 - 絶縁性基板に形成した保持孔に、内部の分子密度が表面部分の分子密度より低い複数の接触子部材を該絶縁性基板の厚さ方向に直列に配置し、
整列した該接触子部材の両端に被接触部材を接触させて押圧することで該被接触部材間の電気的導通を得ることを特徴とする接触方法。
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