JPWO2006006469A1 - 赤外光検出器 - Google Patents
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Abstract
Description
第1に、半導体2次元量子井戸のサブバンド間励起にともなう光伝導現象を用いる2次元量子井戸赤外光検出器(QWIP:Quantum Well Infrared Photodetector )であり、波長3ミクロンから20ミクロン程度の中赤外光領域の検出器として広く知られている(B. F. Levine, J. Appl. Phys. 74, R1-R81 (1993)参照)。しかし、この検出器は、上記文献1の図8に示されているように、赤外光の吸収によって2次元サブバンド間励起された自由電子を、半導体2次元量子井戸を挟む電極間の電流として検出するものであり、自由電子一個による微少電流を検出することは不可能であることから、単一光子を検出できるレベルには遠く及ばず、感度D* は、D* =1010cmHz0.5 /Wのオーダーである。
図1は、サブバンド間励起された電子を量子ドット面に対して垂直方向に脱出させるメカニズムと、生じた量子ドットのイオン化を電荷敏感トランジスタで検知するメカニズムを説明する概念図である。量子ドット1内で上記(4)式、(5)式に従ってサブバンド間励起された電子2が量子ドット1の下面に配されたトンネル障壁を介して垂直方向(−z方向)に脱出することにより量子ドット1がイオン化し、量子ドット1のイオン化を、電荷敏感トランジスタで検出する。本発明では、電荷敏感トランジスタとして、量子ドット1の直下に狭窄された導電部、すなわちポイントコンタクト3、ポイントコンタクト3を介して接続されるソース電極4、ドレイン電極5及びポイントコンタクト3を挟んで配置されポイントコンタクト3のサイズを制御するゲート電極6,6とからなる構成のトランジスタを使用する。このトランジスタをポイントコンタクト・トランジスタと名付ける。
次に、量子プレートを用いた本発明の赤外光検出器を説明する。量子プレートを用いた本発明の赤外光検出器は、量子プレートを挟んで構成したマイクロストリップアンテナにより、量子プレートに垂直に入射する赤外光を量子プレートに集中すると共に、赤外光の、量子プレート面に垂直な振動電場成分を生成して、量子プレート内の電子を選択的にサブバンド間遷移させる点は、上記の量子ドットを用いた赤外光検出器の場合と同様である。
本発明の赤外光検出器は、入射赤外光子を吸収し励起電子を生成する、周囲から電気的に孤立した孤立2次元電子層と、入射赤外光子を孤立2次元電子層に集中すると共に、孤立2次元電子層面に垂直な入射赤外光子の振動電場成分を生成し、孤立2次元電子層内の電子を選択的に2次元サブバンド間励起させる手段と、入射赤外光子の吸収により励起された電子を孤立2次元電子層から脱出させて孤立2次元電子層を帯電させる手段と、孤立2次元電子層の帯電によって電流が変化し、且つ、帯電状態が持続する間この電流変化が維持される電荷敏感トランジスタとを有することを特徴としており、下記の具体的構成を有する。
この構成によれば、マイクロストリップアンテナによって、量子ドットのサブバンド励起方向と一致する入射赤外光の振動電場が生成されるので、単一赤外光子の入射であってもサブバンド励起が生じる。サブバンド励起した電子は、トンネル障壁層を透過してポイントコンタクト・トランジスタの2次元電子層に吸収されるので量子ドットがイオン化する。ソース電極及びドレイン電極のエネルギー準位はトンネル障壁層のエネルギー高さと比べて十分低く設定するので、電子が量子ドットに戻る確率は十分低く、量子ドットのイオン化継続時間は十分長い。量子ドットのイオン化電荷の電界で、ポイントコンタクト・トランジスタの電導度(コンダクタンス)が変化し、電導度の変化に基づく電流値をイオン化継続時間に亘って積分すれば、イオン化継続時間が十分長いので、単一赤外光子の入射であっても検出できる。なお、検出する赤外光の波長は量子ドットを形成する量子井戸のz方向の厚みにより選択することができる。また、赤外光の波長に応じてトンネル障壁層のエネルギー高さや厚みを適宜に選択するが、それは既知の理論に従って行う。
この構成によれば、脱出電極のエネルギー準位をゲート電極の静電障壁に比べて十分低く設定するので、脱出した電子が量子ドットに戻る確率は小さく、イオン化継続時間が十分長い。イオン化電荷により、単電子トランジスタの電導度が変化し、電導度の変化に基づく電流値の変化をイオン化継続時間にわたって積分することにより、単一光子の検出が可能になる。第2の構成の赤外光検出器では横方向に電子を脱出させる構成であるので、例えばビデオ信号検出器として、この赤外光検出器をアレイ化する場合に作製が容易になる。
この構成では、ポイントコンタクト・トランジスタで必要であった、ポイントコンタクトを形成するための先端が高精度に狭窄化された一対のゲート電極を必要としないので、製作工程が簡便になり、アレイ化に適したものとなる。
上記ポイントコンタクト・ネットワーク・トランジスタは、2次元電子層と、この2次元電子層を空乏化直前まで空乏化しサブミクロン・サイズまで狭窄した2次元電子の存在領域であるポイントコンタクトからなるネットワークを形成する裏面ゲート電極と、2次元電子層の両端に接続するソース電極及びドレイン電極とからなっていてもよい。この場合、2次元電子層の電導度が、孤立2次元電子層の複数の電荷の静電ポテンシャルで変化し、電導度の変化によってソース・ドレイン電流が変化する。
また、本発明の赤外光検出器は、上述した赤外光検出器を、直列アレー型又は2次元マトリクス型に接続することができ、例えば赤外ビデオ信号検出器として使用することができる。
また、本発明の赤外光検出器は、あらかじめ作製した半導体多層ヘテロエピタキシャル成長基板をメサエッチングすることによって作製するので、孤立2次元電子層を形成する量子井戸を、波長数μmから数十μmまでの連続した広い波長範囲で動作するように設計することが容易である。また構造が単純なために検出器のアレー化に適している。
2 電子
3 ポイントコンタクト
4 ソース電極
5 ドレイン電極
6 サイドゲート電極
7 脱出電極
8 障壁層
9 波動関数の広がり
10 量子プレート
11 ポイントコンタクト・ネットワーク・トランジスタ
12 2次元電子層
13 ソース電極
14 ドレイン電極
15 バックゲート電極
20 第1の実施の形態の赤外光検出器
21 基板
22 Si−GaAs層
23 Si−Al0.3 Ga0.7 As層
24 2次元電子層(GaAs層、量子井戸層)
24a 量子ドット
24b 量子ドットの側壁
24c 脱出電極
24d ソース電極
24e ドレイン電極
24f ポイントコンタクト
24g 狭窄領域
24i 狭窄領域
24h 量子プレート
25 中間層(Alx Ga1-x As層)
26 2次元電子層(GaAs層、量子井戸層)
26a ソース電極
26b ドレイン電極
26c サイドゲート
26d 接続部
26e ポイントコンタクト
26f ポイントコンタクト・ネットワーク・トランジスタの2次元電子層
27 Al0.3 Ga0.7 As
28 Si−Al0.3 Ga0.7 As層
29 Al0.3 Ga0.7 As
30 基底サブバンド準位
31 励起サブバンド準位
32 障壁
33 上部絶縁層
34 下部絶縁層
35 メサエッチング領域
36 パッチ部
38 赤外光フォトン
38z z方向の振動電界
39 電子
40 イオン化電荷(+e)
41 イオン化電荷の電界
42 電流
44 直列アレー型赤外光検出器
46 二次元アレー型赤外光検出器
48 導電層(Si−GaAs層)
49 基板
50 赤外光検出器
51 基板
52 メサエッチング領域
53 量子ドットと脱出電極を形成する領域
55 単電子トランジスタの量子ドット
56 パッチ部(ソース電極)
57 ドレイン電極
58 ゲート電極
70 赤外光検出器
72 ポイントコンタクト・トランジスタ
73 量子ドットとポイントコンタクト・トランジスタを形成する領域
74 パッチ部
75 第1のゲート電極
78 第2のゲート電極
80 赤外光検出器
81 メサエッチング領域
82 量子ドットと脱出電極を形成する領域
83 メサエッチング領域
88 パッチ部
89 ゲート電極
90 赤外光検出器
91 パッチ部
92 第2のゲート電極
93 第1のゲート電極
100 基板
110 赤外光検出器
101 バックゲート電極層(n−GaAs層)
111 金属格子
112 オーミックコンタクト
113 オーミックコンタクト
114 ソース電極
115 ドレイン電極
120 赤外光検出器
121 上面ゲート電極
121a 空乏層
190 赤外光
191 メサ構造
192 単電子トランジスタ
193 量子ドット
194 電子
195 電極
196 イオン化電荷
初めに、第1の実施の形態の赤外光検出器について説明する。
図5は、第1の実施の形態の赤外光検出器20の作製に用いる半導体多層ヘテロエピタキシャル成長基板21を示す模式図である。図5(a)は基板21の断面方向の模式図であり、基板21を構成する各層を示す。図5(b)は、各層の接合によって形成される電子エネルギーダイヤグラムを示す。縦軸は基板21の断面方向にとった座標軸であり、−z方向は基板21の深さ方向を示す。横軸は電子のz方向、すなわち基板21の面に垂直方向の電子エネルギーを示す。図5(a)に示すように、本発明に使用する基板21は、GaAs、AlGaAs、及びこれらに不純物をドープした III−V族化合物半導体のヘテロ接合で構成される。これらの III−V族化合物半導体の組み合わせ以外にも、GaAs、InGaAsP等の III−V族化合物半導体が使用可能である。
下記の説明においては簡潔にするため、第1の2次元電子層24より上の層は上部絶縁層33として、第2の2次元電子層26より下の層は下部絶縁層34として引用する。また、2次元電子層24、または、2次元電子層26から形成した構成要素には、24a、24b、・・、26a、26b・・の様に、2次元電子層の符号24、26の後にアルファベットを付加して引用する。
パッチ部36は、略正方形で、正方形の頂点の一つが、略矩形状に伸びて、量子ドット24a上の上部絶縁層33上の略半分を覆う形状である。正方形の一辺の長さLは、λを検出赤外波長、εを媒質の誘電率として、L=λε/2であれば検出赤外波長の電波インピーダンスと整合したインピーダンスが得られる。GaAsの場合、λε=λ/3.6である。パッチ部36と2次元電子層26とでマイクロストリップアンテナが構成される。パッチ部36は、例えばAl等の金属で良く、リフトオフ等によって形成する。
二次元アレー型赤外光検出器46を作製するには、初めに、量子ドットとする領域を残して、その外部領域を、Alx Ga1-x As層25に到るまでメサエッチングして量子ドット24aを形成する。次に、x方向に隣り合う量子ドット24aの間の領域(図13(a)の白い領域)を、Al0.3 Ga0.7 As層27に到るまでさらにメサエッチングする。これらの工程により、アレーを構成する各赤外光検出器は、ドレイン電極26bとソース電極26aが量子ドット24a下部の狭隘な接続部26dを介して接続されたトランジスタ構造が形成され、また、行方向には並列に、列方向には直列に接続される。マイクロストリップアンテナのパッチ部36は、図9と同様にリフトオフによって形成する。マイクロストリップアンテナはパッチ部36と導電層48とで構成される。
第2の実施の形態の赤外光検出器は、電子を脱出させる方向が量子ドット面内方向である点が、第1の実施の形態の赤外光検出器と異なる。
図15は、第2の実施の形態の赤外光検出器50の作製に用いる基板51を示す模式図である。図15(a)は、基板51の断面方向の模式図で、基板51を構成する各層を示し、(b)は各層のヘテロ接合によって形成される電子エネルギーダイヤグラムを示す。基板51が図5に示した基板21と異なる点は、図15(b)に示すように、z方向の励起サブバンド31に励起された電子が第1の2次元電子層24から抜け出ないように、第1の2次元電子層24と第2の2次元電子層26との間の中間層25をAl0.3 Ga0.7 As層とした点である。
マイクロストリップアンテナのパッチ部56の一辺の長さLはほぼ、L=λε/2に選び、量子ドット24aの約1/3を覆うように配置する。ゲート電極58を約−0.4Vから−2Vの負電圧にバイアスすることにより、ゲート電極58の直下の2次元電子層24を空乏層化するすることによって、量子ドット24aと脱出電極24cを隔てるポテンシャル障壁UB を形成すると共に、量子ドット24aの形状を正方形に形成する。この様子を図17(c)に示している。この検出器の検出赤外光波長λは、2次元電子層24の厚さdを適切に選択することにより、λ=10μm(D=8nm)からλ=200μm(d=30nm)まで連続的に設計することができる。マイクロストリップアンテナは、パッチ部56と2次元電子層26とで構成する。
図18は、第3の実施の形態の赤外光検出器70の構成を示し、(a)は上面図、(b),(c)はそれぞれ図18(a)のX−X’断面図、Y−Y’断面図である。赤外光検出器70の構成は、図17に示した赤外光検出器50の構成と共通する部分が多いので、赤外光検出器50の構成との違いを中心に説明する。図16に示した赤外光検出器50では、最初に中間層25に到るまでメサエッチングして正方形の量子ドットと脱出電極を形成する領域53を形成するが、赤外光検出器70では、中間層25に到るまでメサエッチングして、図18に示すように正方形の量子ドット24aとポイントコンタク・トランジスタ72を形成する領域73を形成する。また、赤外光検出器50では、金属薄膜を用いたリフトオフ法により、パッチ部、ゲート電極及び単電子トランジスタを形成するが、赤外光検出器70では、金属薄膜を用いたリフトオフ法によって、パッチ部74、第1のゲート電極75及び領域73を電気的に分割して、ポイントコンタク・トランジスタ72のソース電極24dとドレイン電極24eを形成する第2のゲート電極78を形成する。
マイクロストリップアンテナのパッチ部74の一辺の長さLはほぼ、L=λε/2に選び量子ドット24aの約1/3を覆うように配置する点は、赤外光検出器50と共通し、マイクロストリップアンテナは、パッチ部74と2次元電子層26とで構成する点も共通する。また、ゲート電極75を負電圧にバイアスして、第1のゲート電極75直下の2次元電子層24を空乏層化するすることによって、量子ドット24aと脱出電極24cとを隔てるポテンシャル障壁UB を形成すると共に、量子ドット24aの形状を正方形に形成する点は、赤外光検出器50と共通するが、赤外光検出器70では、第2のゲート電極78を負電圧にバイアスして、第2のゲート電極78直下の2次元電子層24を空乏層化することによって、ポイントコンタク・トランジスタ72のソース電極24dとドレイン電極24eを電気的に分離して形成すると共に、図18(b)に示すように、ソース電極24dとドレイン電極24eとの接続部分を狭窄化してポイントコンタクト24fを形成する点が赤外光検出器50と異なる。また、赤外光検出器70の脱出電極は、ポイントコンタクト24eに接続するソース電極24dとドレイン電極24eの狭窄部分24g,24iである。
図19は、第4の実施の形態の赤外光検出器80の作製工程を示し、(a)は上面図、(b)は(a)のY’−Y断面図である。初めに、基板の斜線部分81を、中間層25に到るまでメサエッチングし、2次元電子層24から、量子ドットと脱出電極を形成する領域82を形成する。
図22は赤外光検出器70を用いてアレー化した赤外光検出器90の構成を示し、(a)は上面図、(b)は(a)のX−X’断面図である。91はマイクロストリップアンテナのパッチ部であり、92は、図18に示したと同様に、ソース電極とドレイン電極を分離すると共にポイントコンタクトを形成するゲート電極であり、93は、図18に示したと同様の、量子ドットを形成すると共に脱出ポテンシャル障壁を形成するゲート電極であり、24d,24eは、図18に示したと同様の、ソース電極,ドレイン電極である。24fは、図18に示したと同様の、ポイントコンタクトであり、24aは、図18に示したと同様の量子ドットである。マイクロストリップアンテナは、パッチ部91と2次元電子層26とで構成する。作製方法は、赤外光検出器80の作製方法と同様であり、容易にアレー化できる。
図23は、第5の実施の形態の赤外光検出器に用いる半導体多層ヘテロエピタキシャル成長基板100を示す。2次元電子層24は、量子プレートを形成するために用いる。2次元電子層26は、ポイントコンタクト・ネットワーク・トランジスタの2次元電子層として用いる。2次元電子層24と26との間の中間層25は、Alx Ga1-x As層の組成比xが徐々に変化した勾配層であり、図23(b)に示すように、この組成勾配による内部電界により、中間層25に注入された電子がより早く2次元電子層26に落ち込むようにしている。2次元電子層26の下部に位置する下部絶縁層34は、GaAsからなるバッファー層(Buffer layer)を含み、下部絶縁層34の下部には、導電性のGaAs層であるn−GaAs層101を有している。n−GaAs層101は、ポイントコンタクト・ネットワーク・トランジスタの2次元電子層の2次元電子濃度を制御するバックゲート電極として用いる。
実施例1は上記第5の実施の形態に係る具体例である。
図25は、実施例1に用いた赤外光検出器120の構成を示し、(a)は上面図、(b)は(a)のX−X’断面図である。赤外光検出器120は、図24の赤外光検出器110と比べて、上面ゲート電極121を用いた点が異なる。赤外光検出器110では、量子プレート24hの形成にメサエッチングを用いて機械構造的に分離して形成するが、赤外光検出器120は、上面ゲート電極121に負電圧を印加することにより空乏層121aを形成して、2次元電子層24から量子プレート24hを電気的に孤立させることによって形成した点が異なる。量子プレート24hの厚さは10nm、長さ及び幅はそれぞれ、100μm,40μmである。量子プレート24hと2次元電子層26fとの距離は100nmである。
赤外光検出器120に波長λ=14.5μmの赤外光を照射し、上面ゲート電極121の印加電圧(Vgate)を変化させながら、オーミックコンタクト112,113間の抵抗を測定した。
図27は赤外光検出器120の赤外光応答を示すグラフであり、縦軸は、赤外光を入射させない場合を基準とした、オーミックコンタクト112,113間の抵抗値の変化ΔRを示し、横軸は、上面ゲート電極121の印加電圧Vgateを示す。図から、Vgateが約−0.6volt以上ではΔRがゼロΩであり、Vgateが約−0.6voltから−0.8voltの範囲ではΔRが約−0.15Ωに変化することがわかる。図27の結果は、上面ゲート電極に図26のBで示した範囲の負電圧を印加すれば、電気的に周囲から孤立した量子プレートとポイントコンタクト・ネットワーク・トランジスタが形成され、赤外光によって量子プレート24hの電子がサブバンド励起され、この電子が2次元電子層26fを介してドレイン電極115に吸収されて量子プレート24hがイオン化され、このイオン化電荷により2次元電子層26fの電導度が上昇したことを示している。すなわち、第5の実施形態の赤外光検出器が形成され、その結果、赤外光を検出したことを示している。尚、約−0.6voltから−0.8voltの範囲のΔRの揺らぎ(fluctuation )は、下記に説明するように赤外光源容器からの黒体輻射に基づく。
上記実施例の測定は、室温(300K)に保持された赤外光源からの赤外光を低温(4.2K)に冷却した赤外光検出器120に導いて測定した。このため、室温に保持された赤外光源容器からの黒体輻射が赤外光検出器120に入射し、この黒体輻射の強度は、赤外光源の強度よりも約16倍程度大きい。従って、上記実施例の測定は、黒体輻射による光子が大量に入射し、2次元電子層26fに黒体輻射の吸収に基づく大量の自由電子が存在する、すなわち、赤外光検出器120の光子検出感度が飽和に近い状態での測定である。
量子プレートのサイズを小さくすれば、同じイオン化電荷Q=eΔnに対する2次元電子層の静電ポテンシャルの変化が相対的に大きくなるので、量子プレートのサイズを約10μm×10μmに小さくすれば、ΔN=10個程度にすることができる。
図29は、自由電子濃度nと2次元電子層26fの抵抗Rとの関係を示す図である。図のAに示すように、nが大きい領域では、脱出電子数Δnに対するRの変化は小さく、一方、図のBに示すように、自由電子濃度nが小さい領域(n<0.5×1015/m2 )では、電子移動度μもnの関数となるので、Δnに対する抵抗Rの変化は急激に大きくなる。上記バックゲート電圧を印加しない測定は図のAにおける測定に対応する。従って、量子プレートのサイズを約10μm×10μmに小さくし、バックゲート電圧を印加して、図のBの状態で測定するようにすれば、検出限界個数ΔNを1とすることができる。また、量子プレートのサイズを小さくしなくとも、バックゲート電極層101に大きな負電圧を印加して、図のB領域よりさらに電子濃度nを下げ、空乏化直前の電子濃度とすることによっても検出限界個数ΔN=1を実現できる。
Claims (11)
- 入射赤外光子を吸収し励起電子を生成する、周囲から電気的に孤立した孤立2次元電子層と、
上記入射赤外光子を上記孤立2次元電子層に集中する手段と、
上記入射赤外光子の吸収により励起された電子を上記孤立2次元電子層から脱出させて孤立2次元電子層を帯電させる手段と、
上記孤立2次元電子層の帯電によって電流が変化し、且つ、帯電状態が持続する間この電流変化が維持される電荷敏感トランジスタとを有する赤外光検出器において、
上記入射赤外光子を上記孤立2次元電子層に集中すると共に、孤立2次元電子層面に垂直な入射赤外光子の振動電場成分を生成し、上記孤立2次元電子層内の電子を選択的に2次元サブバンド間励起させる手段を付加したことを特徴とする、赤外光検出器。 - 前記孤立2次元電子層が量子ドットであり、
前記選択的に2次元サブバンド間励起させる手段が、上記量子ドットを挟んで配するマイクロストリップアンテナであり、
前記孤立2次元電子層を帯電させる手段が、上記量子ドットの下面に配するトンネル障壁層と、このトンネル障壁層の下面に配するポイントコンタクト・トランジスタのソース電極及びドレイン電極とからなり、
前記電荷敏感トランジスタが、上記ポイントコンタクト・トランジスタであることを特徴とする、請求の範囲1に記載の赤外光検出器。 - 前記孤立2次元電子層が量子ドットであり、
前記選択的に2次元サブバンド間励起させる手段が、上記量子ドットを挟んで配するマイクロストリップアンテナであり、
前記孤立2次元電子層を帯電させる手段が、上記量子ドットの面内方向横手に配するゲート電極とこのゲート電極の横手に配する脱出電極とからなり、
前記電荷敏感トランジスタが、上記量子ドット直上に配する単電子トランジスタであることを特徴とする、請求の範囲1に記載の赤外光検出器。 - 前記孤立2次元電子層が量子ドットであり、
前記選択的に2次元サブバンド間励起させる手段が、上記量子ドットを挟んで配するマイクロストリップアンテナであり、
前記孤立2次元電子層を帯電させる手段が上記量子ドットの面内方向横手に配するゲート電極とこのゲート電極の横手に配する脱出電極とからなり、
前記電荷敏感トランジスタが、上記ゲート電極の横手に配するポイントコンタクト・トランジスタであることを特徴とする、請求の範囲1に記載の赤外光検出器。 - 前記孤立2次元電子層が量子ドットであり、
前記選択的に2次元サブバンド間励起させる手段が、上記量子ドットを挟んで形成したマイクロストリップアンテナであり、
前記孤立2次元電子層を帯電させる手段が、上記量子ドットの面内方向横手に配するゲート電極とこのゲート電極の横手に配する脱出電極とからなり、
前記電荷敏感トランジスタが、上記量子ドットの直下に配するポイントコンタクト・トランジスタであることを特徴とする、請求の範囲1に記載の赤外光検出器。 - 前記孤立2次元電子層が量子プレートであり、
前記選択的に2次元サブバンド間励起させる手段が、上記量子プレートを挟んで配するマイクロストリップアンテナであり、
前記孤立2次元電子層を帯電させる手段が、上記量子プレートの下面に配するトンネル障壁層と、このトンネル障壁層を介して配するポイントコンタクト・ネットワーク・トランジスタの2次元電子層とからなり、
前記電荷敏感トランジスタが、上記ポイントコンタクト・ネットワーク・トランジスタであることを特徴とする、請求の範囲1に記載の赤外光検出器。 - 前記孤立2次元電子層、前記選択的に2次元サブバンド間励起させる手段、前記孤立2次元電子層を帯電させる手段及び前記電荷敏感トランジスタが、同一の半導体多層ヘテロエピタキシャル成長基板から形成されることを特徴とする、請求の範囲1に記載の赤外光検出器。
- 前記ポイントコンタクト・トランジスタは、2次元電子層と、この2次元電子層の2次元電子の存在領域をサブミクロン・サイズまで狭窄するゲート電極と、サブミクロン・サイズまで狭窄した2次元電子の存在領域であるポイントと接続するソース電極及びドレイン電極とからなることを特徴とする、請求の範囲2、4又は5の何れかに記載の赤外光検出器。
- 前記ポイントコンタクト・ネットワーク・トランジスタは、2次元電子層と、この2次元電子層を空乏化直前まで空乏化し、サブミクロン・サイズまで狭窄した2次元電子の存在領域であるポイントコンタクトからなるネットワークを形成する裏面ゲート電極と、上記2次元電子層の両端に接続するソース電極及びドレイン電極とからなることを特徴とする、請求の範囲6に記載の赤外光検出器。
- 請求の範囲1〜9の何れかに記載の赤外光検出器を、直列アレー型に接続したことを特徴とる、赤外光検出器。
- 請求の範囲1〜9の何れかに記載の赤外光検出器を、2次元マトリクス型に接続したことを特徴とする、赤外光検出器。
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