JPWO2005124950A1 - Iii族窒化物半導体光素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
III族窒化物半導体からなる半導体層と、前記半導体層上に設けられ所定の開口部を有する電流狭窄層と、前記半導体層上に設けらている前記電流狭窄層および前記開口部の上部に設けられ、前記電流狭窄層の上部に形成される部分は凹凸表面を有するコンタクト層と、前記凹凸表面部分を有する前記コンタクト層の上面に設けられた電極と、を備えることを特徴とするIII族窒化物半導体光素子が提供される。
本発明の素子は、種々の素子に適用することができる。たとえば、前記半導体層の下に活性層を備える構造としてもよい。これにより、発光ダイオード、半導体レーザ等に好適に適用される。
12 サファイア基板
14 GaN−ELO構造層
16 n型GaNコンタクト層
18 n型AlGaNクラッド層
20 n型GaNガイド層
22 GaInN多重井戸(MQW)構造の活性層
24 p型GaNガイド層
26 p型AlGaNクラッド層
28 p型GaNコンタクト層
30 ストライプ状リッジ
32 メサ
34 SiO2膜
36 p側電極
38 n側電極
101 n型電極
102 n型GaN基板
103 Siドープn型GaN層
104 Siドープn型AlGaNクラッド層
105 Siドープn型GaN光閉込層
106 InGaN MQW活性層
107 Mgドープp型AlGaNキャップ層
108 Mgドープp型GaN光閉込層
109 AlN電流狭窄層
110 Mgドープp型AlGaNクラッド層
111 Mgドープp型GaNコンタクト層
112 p型電極
401 半導体表面
402 六角錘状の穴
501 Mgドープp型AlGaN/GaN超格子クラッド層
本実施例に係るインナー・ストライプ型半導体レーザについて、図1を参照して説明する。この半導体レーザは、n型GaN基板102上にSiドープn型GaN層103(Si濃度4×1017cm−3、厚さ1μm)、Siドープn型Al0.1Ga0.9N(Si濃度4×1017cm−3、厚さ2μm)からなるn型クラッド層104、Siドープn型GaN(Si濃度4×1017cm−3、厚さ0.1μm)からなるn型光閉じ込め層105、In0.15Ga0.85N(厚さ3nm)井戸層とSiドープIn0.01Ga0.99N(Si濃度1×1018cm−3、厚さ4nm)バリア層からなる3つの井戸層を持つ多重量子井戸(MQW)層106、Mgドープp型Al0.2Ga0.8Nからなるキャップ層107、Mgドープp型GaN(Mg濃度2×1019cm−3、厚さ0.1μm)からなるp型GaNガイド層108が積層した構造を有する。そしてこの上に、AlN電流狭窄層109、Mgドープp型Al0.1Ga0.9N(Mg濃度1×1019cm−3、厚さ0.5μm)からなるp型クラッド層110、Mgドープp型GaN(Mg濃度1×1020cm−3、厚さ0.02μm)からなるコンタクト層111が積層している。コンタクト層111の上面には、二乗平均粗さが150nm程度の凹凸が形成されている。
以上のようにして作製される半導体レーザについて、以下の評価を行っている。
p型コンタクト層111を形成した時点で、その表面を走査型電子顕微鏡により観察した。p型コンタクト層111の表面は、ストライプ状開口部113の直上においてはクラックやピットなどの欠陥は見られなかった。一方、AlN電流狭窄層109によるマスク領域上では、図6に示すように、表面に六角錘のピットが生じ凹凸が形成されていた。六角錘の側面は、(Al)GaNの(1−101)面およびこれと等価な面である場合が多かった。凹凸表面の表面粗さをAMF(原子間力顕微鏡)により測定したところ、二乗平均粗さで150nm程度であり、コンタクト層111の厚みを超える表面粗さとなっていた。
上記レーザ素子に電流注入をしたところ、レーザ出力30mWの動作電圧は、4.8Vと非常に良好な電気特性が得られた。このように良好な電気特性が得られたのは、p型電極112とp型GaNコンタクト層111との接触(オーミック・コンタクト)が十分に確保されていることに因っていると考えられる。
本発明によるインナー・ストライプ型半導体レーザの他の例について図7を参照して説明する。本実施例では、実施例1におけるMgドープp型Al0.1Ga0.9Nクラッド層110に代え、Mgドープp型AlGaN/GaN超格子クラッド層501を採用した。p型GaNコンタクト層111表面の凹凸の様子は実施例1と同様に六角錘状である(図7)。
Claims (14)
- III族窒化物半導体からなる半導体層と、
前記半導体層上に設けられ、所定の開口部を有する電流狭窄層と、
前記半導体層上に設けられている前記電流狭窄層および前記開口部の上部に設けられ、前記電流狭窄層の上部となる領域に形成される部分は凹凸表面を有するコンタクト層と、
前記凹凸表面部分を有する前記コンタクト層の上面に設けられた電極と、
を備える
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記コンタクト層は、前記電流狭窄層の上部となる領域に形成される前記凹凸表面部分が該凹凸に沿って水平方向に延在している形状を有する
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1または2に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記コンタクト層は、前記電流狭窄層の上部の領域から前記開口部の上部の領域にわたって連続的に形成されている
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記コンタクト層は、前記電流狭窄層の上部の領域において凹凸表面を有し、前記開口部の上部の領域において平坦表面を有する
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記凹凸表面の二乗平均粗さが前記コンタクト層の厚みよりも大きい
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記凹凸表面の二乗平均粗さが10nm以上である
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記凹凸表面は、結晶面により構成されている
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記凹凸表面は、六角錐状のピットを含む
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記電流狭窄層と前記コンタクト層との間に、超格子構造のクラッド層を備え、
前記超格子構造を構成する薄層は、前記凹凸表面に沿って水平方向に延在する形状を有する
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記コンタクト層は、InaGabAl1−a−bN(0≦a≦1、0≦b≦1、a+b≦1)により構成される
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記電流狭窄層は、InxGayAl1−x−yN(0≦x≦0.4、0≦y≦0.4、x+y≦0.4)により構成される
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記電流狭窄層は、AlNにより構成される
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素。 - 請求項1〜12のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体光素子において、
前記半導体層の下に活性層を備える
ことを特徴とするIII族窒化物半導体光素子。 - 基板の上部にIII族窒化物半導体からなる半導体層を形成する工程と、
前記半導体層上に、所定の開口部を有する電流狭窄層を形成する工程と、
前記半導体層上に形成される前記電流狭窄層および前記開口部の上部に、1000℃以下の成長温度でIII族窒化物半導体を成長させ、前記電流狭窄層の上部の領域に形成される部分は凹凸表面を有するコンタクト層を形成する工程と、
前記凹凸表面を有するコンタクト層上に電極を形成する工程と、
を備えることを特徴とするIII族窒化物半導体光素子の製造方法。
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