JPWO2005036645A1 - トランジスタ集積回路装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
熱暴走に起因する素子破壊を回避しつつ、回路の集積面積の縮小を実現させたトランジスタ集積回路装置及びその製造方法を提供する。カット容量(13)は、1層に配線用金属で形成される上部電極と、2層に配線用金属で形成される下部電極とで形成される。バイアス抵抗(12)は、カット容量(13)の下部電極と同じ配線用金属で形成される。このバイアス抵抗(12)は、配線用金属を薄膜化させてシート抵抗として機能させることで形成され、その抵抗値は、配線用金属の厚みや幅によって自由に設定することができる。
Description
本発明は、トランジスタ集積回路装置及びその製造方法に関し、より特定的には、トランジスタ、抵抗及び容量等から構成される回路を半導体基板上に集積させた装置(半導体チップ等)、及びその集積回路の製造方法に関する。
周知のように、高周波信号を扱うパワートランジスタの回路は、高周波特性を確保するため、複数のトランジスタ(例えば、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ)が並列接続された構成が用いられる(図8)。図8において、各トランジスタ101のベースには、共通のバイアス抵抗102を介して直流電圧(バイアス電圧)が印加されると共に、共通のカット容量103を介して高周波信号が入力される。各トランジスタ101のエミッタは、それぞれ接地されており、各トランジスタ101からの出力信号は、共通接続されたコレクタから出力される。
この図8に示した回路は、各素子の動作がばらつきなく均一であると仮定した場合の理想回路である。しかし、現実的には、素子間に特性ばらつき等があるため動作が均一化しない。このため、この回路では、動作時の発熱量が多くなって熱暴走するトランジスタが発生し、このトランジスタのベース電流が増大して素子破壊に至る現象を引き起こす恐れがある、という問題が残る。
このような問題を解決するために、トランジスタ101のベースに保護抵抗104を挿入してベース電流の増大を防止する手法が考えられる(図9)。しかし、この手法の場合、保護抵抗104によって回路利得が低下してしまうことになり、パワートランジスタ回路には不向きである。そこで、トランジスタ回路をセル化する手法が、米国特許第5608353号(特許文献1)、米国特許第5629648号(特許文献2)及び特開2001−196865号(特許文献3)等で提案されている。これらの特許文献に開示されている回路は、トランジスタ101、バイアス抵抗102及びカット容量103からなるトランジスタ回路(点線部分)をセル化し、このセルを並列接続させた構成である(図10)。このバイアス抵抗102及びカット容量103を各トランジスタ101に個々に持たせる構成によって、これらの特許文献の回路は、熱暴走時のベース電流の増大を防止している。
上記特許文献1〜特許文献3のセル化されたトランジスタ回路を半導体基板上に集積化する場合、例えば図11に示す鳥瞰図及び側面図のような素子配置が考えられる。図11において、カット容量103は、1層に配線用金属(Au)で形成される上部電極と、2層に配線用金属(Au)で形成される下部電極とで形成される。バイアス抵抗102は、シート抵抗50Ω〜100Ω程度を有する抵抗用金属(NiCrやTaN等)で形成される。ところが、この抵抗用金属はストレスに弱いため、配線用金属等と積層させることができない。このため、従来の集積回路製造技術では、図11のようにバイアス抵抗102だけのスペースが必要となり、1セルあたりの集積面積が大きくなるという問題がある。この問題は、パワートランジスタのようにセルを数多く並列接続させる必要がある回路ほど、顕著になる(図12)。
この図8に示した回路は、各素子の動作がばらつきなく均一であると仮定した場合の理想回路である。しかし、現実的には、素子間に特性ばらつき等があるため動作が均一化しない。このため、この回路では、動作時の発熱量が多くなって熱暴走するトランジスタが発生し、このトランジスタのベース電流が増大して素子破壊に至る現象を引き起こす恐れがある、という問題が残る。
このような問題を解決するために、トランジスタ101のベースに保護抵抗104を挿入してベース電流の増大を防止する手法が考えられる(図9)。しかし、この手法の場合、保護抵抗104によって回路利得が低下してしまうことになり、パワートランジスタ回路には不向きである。そこで、トランジスタ回路をセル化する手法が、米国特許第5608353号(特許文献1)、米国特許第5629648号(特許文献2)及び特開2001−196865号(特許文献3)等で提案されている。これらの特許文献に開示されている回路は、トランジスタ101、バイアス抵抗102及びカット容量103からなるトランジスタ回路(点線部分)をセル化し、このセルを並列接続させた構成である(図10)。このバイアス抵抗102及びカット容量103を各トランジスタ101に個々に持たせる構成によって、これらの特許文献の回路は、熱暴走時のベース電流の増大を防止している。
上記特許文献1〜特許文献3のセル化されたトランジスタ回路を半導体基板上に集積化する場合、例えば図11に示す鳥瞰図及び側面図のような素子配置が考えられる。図11において、カット容量103は、1層に配線用金属(Au)で形成される上部電極と、2層に配線用金属(Au)で形成される下部電極とで形成される。バイアス抵抗102は、シート抵抗50Ω〜100Ω程度を有する抵抗用金属(NiCrやTaN等)で形成される。ところが、この抵抗用金属はストレスに弱いため、配線用金属等と積層させることができない。このため、従来の集積回路製造技術では、図11のようにバイアス抵抗102だけのスペースが必要となり、1セルあたりの集積面積が大きくなるという問題がある。この問題は、パワートランジスタのようにセルを数多く並列接続させる必要がある回路ほど、顕著になる(図12)。
それ故に、本発明の目的は、特徴的な抵抗の形成手法を用いて、熱暴走に起因する素子破壊を回避しつつ、回路の集積面積の縮小を実現させたトランジスタ集積回路装置及びその製造方法を提供することである。
本発明は、上記目的を達成させるため、半導体基板上に回路が集積されたトランジスタ集積回路装置に、以下の特徴を備えている。
本発明の特徴は、半導体基板上に集積された回路のうち、特に少なくとも1つのトランジスタと、一方の電極に信号が入力され、他方の電極が少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される容量と、一方の端子に直流電圧が印加され、他方の端子が少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される抵抗とで構成される回路について、シート抵抗50Ω〜100Ω程度を有する抵抗用金属(NiCrやTaN等)ではなく、通常は多層の素子間を接続するための配線用金属を薄膜化して抵抗を形成していることにある。
この場合、抵抗が、容量の他方の電極と同じ配線用金属を用いて、他方の電極と一体形成されていることが好ましい。また、抵抗が、直流電圧を供給する配線と積層して形成されていることが好ましい。さらに、回路は、2〜5つのトランジスタに対して1つの抵抗及び1つの容量が設けられた構成としてもよい。ここで、1つのトランジスタの定義を明確にしておく。バイポーラトランジスタにおける高周波性能は、ベース−コレクタ間容量が小さい程向上する。このため、一般的に、コレクタ領域に挟まれるベース領域を極力小さくすることによって、ベース−コレクタ間容量を小さくしている。よって、パワートランジスタでは、この小面積のベース領域をコレクタ領域が挟むことによって規定される単位セルを、並列接続して各セルの出力を合成する。以上により、2つのコレクタ電極に1つのベース領域が挟まれている場合、その領域を1つのトランジスタとして数えることとする。
これらの特徴を備えたトランジスタ集積回路装置は、抵抗を配線用金属を薄膜化して形成する集積回路の製造方法、抵抗を容量の他方の電極と同じ配線用金属を用いて同一製造工程において他方の電極と一体形成する集積回路の製造方法、及び抵抗を直流電圧を供給する配線と積層して形成する集積回路の製造方法によって実現される。
上述したように、本発明によれば、配線用金属を薄膜化させて抵抗に利用するため、熱暴走に起因する素子破壊を回避できると共に、回路の集積面積を縮小させることができる。また、2〜5つのトランジスタ毎に1つの抵抗及び1つの容量を配置させた回路を採用することにより、さらに回路の集積面積を縮小できると共に、回路特性の安定化や放熱特性の向上も期待できる。さらに、トランジスタ集積回路装置の製造方法によれば、従来よりも製造工程を少なくすることができる。
本発明は、上記目的を達成させるため、半導体基板上に回路が集積されたトランジスタ集積回路装置に、以下の特徴を備えている。
本発明の特徴は、半導体基板上に集積された回路のうち、特に少なくとも1つのトランジスタと、一方の電極に信号が入力され、他方の電極が少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される容量と、一方の端子に直流電圧が印加され、他方の端子が少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される抵抗とで構成される回路について、シート抵抗50Ω〜100Ω程度を有する抵抗用金属(NiCrやTaN等)ではなく、通常は多層の素子間を接続するための配線用金属を薄膜化して抵抗を形成していることにある。
この場合、抵抗が、容量の他方の電極と同じ配線用金属を用いて、他方の電極と一体形成されていることが好ましい。また、抵抗が、直流電圧を供給する配線と積層して形成されていることが好ましい。さらに、回路は、2〜5つのトランジスタに対して1つの抵抗及び1つの容量が設けられた構成としてもよい。ここで、1つのトランジスタの定義を明確にしておく。バイポーラトランジスタにおける高周波性能は、ベース−コレクタ間容量が小さい程向上する。このため、一般的に、コレクタ領域に挟まれるベース領域を極力小さくすることによって、ベース−コレクタ間容量を小さくしている。よって、パワートランジスタでは、この小面積のベース領域をコレクタ領域が挟むことによって規定される単位セルを、並列接続して各セルの出力を合成する。以上により、2つのコレクタ電極に1つのベース領域が挟まれている場合、その領域を1つのトランジスタとして数えることとする。
これらの特徴を備えたトランジスタ集積回路装置は、抵抗を配線用金属を薄膜化して形成する集積回路の製造方法、抵抗を容量の他方の電極と同じ配線用金属を用いて同一製造工程において他方の電極と一体形成する集積回路の製造方法、及び抵抗を直流電圧を供給する配線と積層して形成する集積回路の製造方法によって実現される。
上述したように、本発明によれば、配線用金属を薄膜化させて抵抗に利用するため、熱暴走に起因する素子破壊を回避できると共に、回路の集積面積を縮小させることができる。また、2〜5つのトランジスタ毎に1つの抵抗及び1つの容量を配置させた回路を採用することにより、さらに回路の集積面積を縮小できると共に、回路特性の安定化や放熱特性の向上も期待できる。さらに、トランジスタ集積回路装置の製造方法によれば、従来よりも製造工程を少なくすることができる。
図1は、トランジスタ、バイアス抵抗及びカット容量から構成されるトランジスタ回路の例である。
図2は、図1のトランジスタ回路を集積した、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置の図である。
図3は、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置によって集積面積が縮小されることを説明する図である。
図4は、1セル当たりトランジスタ数と破壊VSWRとの関係を示す図である。
図5は、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置によって集積面積が縮小されることを説明する他の図である。
図6は、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路の製造方法を説明する図である。
図7は、従来のトランジスタ集積回路の製造方法を説明する図である。
図8は、従来の高周波信号を扱うパワートランジスタ回路の一例を示す図である。
図9は、従来の高周波信号を扱うパワートランジスタ回路の他の一例を示す図である。
図10は、従来の高周波信号を扱うパワートランジスタ回路の他の一例を示す図である。
図11は、図10のトランジスタ回路を集積した半導体基板の図である。
図12は、図11の集積回路を複数並列接続させたパワートランジスタ回路の一例を示す図である。
図2は、図1のトランジスタ回路を集積した、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置の図である。
図3は、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置によって集積面積が縮小されることを説明する図である。
図4は、1セル当たりトランジスタ数と破壊VSWRとの関係を示す図である。
図5は、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置によって集積面積が縮小されることを説明する他の図である。
図6は、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路の製造方法を説明する図である。
図7は、従来のトランジスタ集積回路の製造方法を説明する図である。
図8は、従来の高周波信号を扱うパワートランジスタ回路の一例を示す図である。
図9は、従来の高周波信号を扱うパワートランジスタ回路の他の一例を示す図である。
図10は、従来の高周波信号を扱うパワートランジスタ回路の他の一例を示す図である。
図11は、図10のトランジスタ回路を集積した半導体基板の図である。
図12は、図11の集積回路を複数並列接続させたパワートランジスタ回路の一例を示す図である。
以下、上記背景技術で述べたトランジスタ11、バイアス抵抗12及びカット容量13から構成されるトランジスタ回路(図1)を半導体基板上に集積する例を挙げて、本発明の最良の実施形態を説明する。
図2は、図1のトランジスタ回路を集積した、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置の鳥瞰図及び側面図を示す。図2において、カット容量13は、1層に配線用金属(Au)で形成される上部電極と、2層に配線用金属(Au)で形成される下部電極とで形成される。バイアス抵抗12は、カット容量13の下部電極と同じ配線用金属で形成される。このバイアス抵抗12は、配線用金属を薄膜化させてシート抵抗として機能させることで形成され、その抵抗値は、配線用金属の厚みや幅によって自由に設定することができる。なお、図2の例では、バイアス抵抗12をカット容量13の下部電極層側に形成しているが、上部電極層側に同じ配線用金属を用いて形成してもよい。
本発明の特徴は、このように配線用金属を薄膜化させてバイアス抵抗12を形成することにある。この特徴により、従来の抵抗用金属(NiCrやTaN等)のように、バイアス抵抗へのストレスを考慮する必要がなくなり、DCを供給する配線等の配線用金属とバイアス抵抗12とを積層させる構造が可能となる(図2)。この構造によって、バイアス抵抗だけのスペースが不要となり、1セルあたりの集積面積が小さくなるという効果を発揮する。この効果は、パワートランジスタのようにセルを数多く並列接続させる必要がある回路ほど顕著になる(図3)。図3でわかるように、本発明によれば、従来の集積面積に比べて、縦サイズ及び横サイズの両方が短くなるので、小さな集積面積で回路を構成することができる。
ところで、上記背景技術でも述べたが、素子間に特性ばらつき等に起因する熱暴走現象の対策としては、バイアス抵抗12及びカット容量13を各トランジスタ11に個々に持たせる構成が最も好ましい。しかし、発明者は、図4に示されるように、1セル内に含められるトランジスタ11が5つまでなら、熱暴走による素子破壊の耐性が変化しないことを、実験によって確認している。
このようなことから、本発明のバイアス抵抗12の形成手法を用いて、複数のトランジスタ11毎に(図5の例では4つ)、1つのバイアス抵抗12及び1つのカット容量13を持たせるセル構造を採用してもよい。このセル構造にすることで、縦サイズがさらに短くなり、より小さい集積面積で回路を構成することができる。また、このセル構造により、半導体基板上に形成するカット容量13及びバイアス抵抗12の数を減らせるので、素子間のばらつきが少なくなって安定した回路特性を得ることができる。
また、バイアス抵抗12の値は、n個のトランジスタ11に対して共通のバイアス抵抗12を1つだけ設ける場合、n個のトランジスタ11のそれぞれにバイアス抵抗12を合計n個設ける場合のn分の1で済む。逆の表現をするなら、唯一のバイアス抵抗12を形成すれば、n個のトランジスタ11には、n倍のバイアス抵抗値がそれぞれ与えられることになる。よって、バイアス抵抗12を形成する配線用金属のシート抵抗値がたとえ数Ω以下と小さくても、配線用金属の幅に対する長さの比を大きくすることなく容易に要求されるバイアス抵抗値を実現できるという利点がある。
次に、上述した構造のトランジスタ回路が、集積面積の縮小のほかに製造工程を簡素化できることを説明する。図6は、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路の製造方法を説明する鳥瞰図及び側面図である。図7は、従来のトランジスタ集積回路の製造方法を説明する鳥瞰図及び側面図である。
まず、本発明及び従来の製造工程共に、トランジスタの形成が行われる(図6中の(a)、図7中の(a))。次に、従来の製造工程では、抵抗用金属によって抵抗が形成される(図7中の(b))。次に、本発明及び従来の製造工程共に、容量の下部電極及び1層配線が形成される(図6中の(b)、図7中の(c))。本発明では、この製造工程において抵抗が同時に形成される。次に、本発明及び従来の製造工程共に、容量の誘電体が形成される(図6中の(c)、図7中の(d))。最後に、本発明及び従来の製造工程共に、容量の上部電極及び2層配線が形成される(図6中の(d)、図7中の(e))。このように、本発明の製造工程の方が従来の製造工程よりも1工程少なくて済む。
以上のように、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置によれば、配線用金属を薄膜化させて抵抗に利用するため、熱暴走に起因する素子破壊を回避できると共に、回路の集積面積を縮小させることができる。また、複数(2〜5つが好ましい)のトランジスタ毎に1つの抵抗及び容量を配置させたセル構造を採用することにより、さらに回路の集積面積を縮小できると共に、回路特性の安定化や放熱特性の向上も期待できる。さらに、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置の製造方法によれば、従来よりも製造工程を少なくすることができる。
図2は、図1のトランジスタ回路を集積した、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置の鳥瞰図及び側面図を示す。図2において、カット容量13は、1層に配線用金属(Au)で形成される上部電極と、2層に配線用金属(Au)で形成される下部電極とで形成される。バイアス抵抗12は、カット容量13の下部電極と同じ配線用金属で形成される。このバイアス抵抗12は、配線用金属を薄膜化させてシート抵抗として機能させることで形成され、その抵抗値は、配線用金属の厚みや幅によって自由に設定することができる。なお、図2の例では、バイアス抵抗12をカット容量13の下部電極層側に形成しているが、上部電極層側に同じ配線用金属を用いて形成してもよい。
本発明の特徴は、このように配線用金属を薄膜化させてバイアス抵抗12を形成することにある。この特徴により、従来の抵抗用金属(NiCrやTaN等)のように、バイアス抵抗へのストレスを考慮する必要がなくなり、DCを供給する配線等の配線用金属とバイアス抵抗12とを積層させる構造が可能となる(図2)。この構造によって、バイアス抵抗だけのスペースが不要となり、1セルあたりの集積面積が小さくなるという効果を発揮する。この効果は、パワートランジスタのようにセルを数多く並列接続させる必要がある回路ほど顕著になる(図3)。図3でわかるように、本発明によれば、従来の集積面積に比べて、縦サイズ及び横サイズの両方が短くなるので、小さな集積面積で回路を構成することができる。
ところで、上記背景技術でも述べたが、素子間に特性ばらつき等に起因する熱暴走現象の対策としては、バイアス抵抗12及びカット容量13を各トランジスタ11に個々に持たせる構成が最も好ましい。しかし、発明者は、図4に示されるように、1セル内に含められるトランジスタ11が5つまでなら、熱暴走による素子破壊の耐性が変化しないことを、実験によって確認している。
このようなことから、本発明のバイアス抵抗12の形成手法を用いて、複数のトランジスタ11毎に(図5の例では4つ)、1つのバイアス抵抗12及び1つのカット容量13を持たせるセル構造を採用してもよい。このセル構造にすることで、縦サイズがさらに短くなり、より小さい集積面積で回路を構成することができる。また、このセル構造により、半導体基板上に形成するカット容量13及びバイアス抵抗12の数を減らせるので、素子間のばらつきが少なくなって安定した回路特性を得ることができる。
また、バイアス抵抗12の値は、n個のトランジスタ11に対して共通のバイアス抵抗12を1つだけ設ける場合、n個のトランジスタ11のそれぞれにバイアス抵抗12を合計n個設ける場合のn分の1で済む。逆の表現をするなら、唯一のバイアス抵抗12を形成すれば、n個のトランジスタ11には、n倍のバイアス抵抗値がそれぞれ与えられることになる。よって、バイアス抵抗12を形成する配線用金属のシート抵抗値がたとえ数Ω以下と小さくても、配線用金属の幅に対する長さの比を大きくすることなく容易に要求されるバイアス抵抗値を実現できるという利点がある。
次に、上述した構造のトランジスタ回路が、集積面積の縮小のほかに製造工程を簡素化できることを説明する。図6は、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路の製造方法を説明する鳥瞰図及び側面図である。図7は、従来のトランジスタ集積回路の製造方法を説明する鳥瞰図及び側面図である。
まず、本発明及び従来の製造工程共に、トランジスタの形成が行われる(図6中の(a)、図7中の(a))。次に、従来の製造工程では、抵抗用金属によって抵抗が形成される(図7中の(b))。次に、本発明及び従来の製造工程共に、容量の下部電極及び1層配線が形成される(図6中の(b)、図7中の(c))。本発明では、この製造工程において抵抗が同時に形成される。次に、本発明及び従来の製造工程共に、容量の誘電体が形成される(図6中の(c)、図7中の(d))。最後に、本発明及び従来の製造工程共に、容量の上部電極及び2層配線が形成される(図6中の(d)、図7中の(e))。このように、本発明の製造工程の方が従来の製造工程よりも1工程少なくて済む。
以上のように、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置によれば、配線用金属を薄膜化させて抵抗に利用するため、熱暴走に起因する素子破壊を回避できると共に、回路の集積面積を縮小させることができる。また、複数(2〜5つが好ましい)のトランジスタ毎に1つの抵抗及び容量を配置させたセル構造を採用することにより、さらに回路の集積面積を縮小できると共に、回路特性の安定化や放熱特性の向上も期待できる。さらに、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置の製造方法によれば、従来よりも製造工程を少なくすることができる。
本発明のトランジスタ集積回路装置及びその製造方法は、高周波信号を扱うパワートランジスタの回路等に利用可能であり、特に熱暴走に起因する素子破壊を回避しつつ、回路の集積面積を縮小させたい場合等に有用である。
本発明は、トランジスタ集積回路装置及びその製造方法に関し、より特定的には、トランジスタ、抵抗及び容量等から構成される回路を半導体基板上に集積させた装置(半導体チップ等)、及びその集積回路の製造方法に関する。
周知のように、高周波信号を扱うパワートランジスタの回路は、高周波特性を確保するため、複数のトランジスタ(例えば、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ)が並列接続された構成が用いられる(図8)。図8において、各トランジスタ101のベースには、共通のバイアス抵抗102を介して直流電圧(バイアス電圧)が印加されると共に、共通のカット容量103を介して高周波信号が入力される。各トランジスタ101のエミッタは、それぞれ接地されており、各トランジスタ101からの出力信号は、共通接続されたコレクタから出力される。
この図8に示した回路は、各素子の動作がばらつきなく均一であると仮定した場合の理想回路である。しかし、現実的には、素子間に特性ばらつき等があるため動作が均一化しない。このため、この回路では、動作時の発熱量が多くなって熱暴走するトランジスタが発生し、このトランジスタのベース電流が増大して素子破壊に至る現象を引き起こす恐れがある、という問題が残る。
このような問題を解決するために、トランジスタ101のベースに保護抵抗104を挿入してベース電流の増大を防止する手法が考えられる(図9)。しかし、この手法の場合、保護抵抗104によって回路利得が低下してしまうことになり、パワートランジスタ回路には不向きである。そこで、トランジスタ回路をセル化する手法が、特許文献1〜特許文献3等で提案されている。これらの特許文献に開示されている回路は、トランジスタ101、バイアス抵抗102及びカット容量103からなるトランジスタ回路(点線部分)をセル化し、このセルを並列接続させた構成である(図10)。このバイアス抵抗102及びカット容量103を各トランジスタ101に個々に持たせる構成によって、これらの特許文献の回路は、熱暴走時のベース電流の増大を防止している。
米国特許第5608353号明細書
米国特許第5629648号明細書
特開2001−196865号公報
上記特許文献1〜特許文献3のセル化されたトランジスタ回路を半導体基板上に集積化する場合、例えば図11に示す鳥瞰図及び側面図のような素子配置が考えられる。図11において、カット容量103は、1層に配線用金属(Au)で形成される上部電極103aと、2層に配線用金属(Au)で形成される下部電極103bとで形成される。バイアス抵抗102は、シート抵抗50Ω〜100Ω程度を有する抵抗用金属(NiCrやTaN等)で形成される。ところが、この抵抗用金属はストレスに弱いため、配線用金属等と積層させることができない。このため、従来の集積回路製造技術では、図11のようにバイアス抵抗102だけのスペースが必要となり、1セルあたりの集積面積が大きくなるという問題がある。この問題は、パワートランジスタのようにセルを数多く並列接続させる必要がある回路ほど、顕著になる(図12)。
それ故に、本発明の目的は、特徴的な抵抗の形成手法を用いて、熱暴走に起因する素子破壊を回避しつつ、回路の集積面積の縮小を実現させたトランジスタ集積回路装置及びその製造方法を提供することである。
本発明は、上記目的を達成させるため、半導体基板上に回路が集積されたトランジスタ集積回路装置に、以下の特徴を備えている。
本発明の特徴は、半導体基板上に集積された回路のうち、特に少なくとも1つのトランジスタと、一方の電極に信号が入力され、他方の電極が少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される容量と、一方の端子に直流電圧が印加され、他方の端子が少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される抵抗とで構成される回路について、シート抵抗50Ω〜100Ω程度を有する抵抗用金属(NiCrやTaN等)ではなく、通常は多層の素子間を接続するための配線用金属を薄膜化して抵抗を形成していることにある。
本発明の特徴は、半導体基板上に集積された回路のうち、特に少なくとも1つのトランジスタと、一方の電極に信号が入力され、他方の電極が少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される容量と、一方の端子に直流電圧が印加され、他方の端子が少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される抵抗とで構成される回路について、シート抵抗50Ω〜100Ω程度を有する抵抗用金属(NiCrやTaN等)ではなく、通常は多層の素子間を接続するための配線用金属を薄膜化して抵抗を形成していることにある。
この場合、抵抗が、容量の他方の電極と同じ配線用金属を用いて、他方の電極と一体形成されていることが好ましい。また、抵抗が、直流電圧を供給する配線と積層して形成されていることが好ましい。さらに、回路は、2〜5つのトランジスタに対して1つの抵抗及び1つの容量が設けられた構成としてもよい。ここで、1つのトランジスタの定義を明確にしておく。バイポーラトランジスタにおける高周波性能は、ベース−コレクタ間容量が小さい程向上する。このため、一般的に、コレクタ領域に挟まれるベース領域を極力小さくすることによって、ベース−コレクタ間容量を小さくしている。よって、パワートランジスタでは、この小面積のベース領域をコレクタ領域が挟むことによって規定される単位セルを、並列接続して各セルの出力を合成する。以上により、2つのコレクタ電極Cに1つのベース領域が挟まれている場合、その領域を1つのトランジスタとして数えることとする。
これらの特徴を備えたトランジスタ集積回路装置は、抵抗を配線用金属を薄膜化して形成する集積回路の製造方法、抵抗を容量の他方の電極と同じ配線用金属を用いて同一製造工程において他方の電極と一体形成する集積回路の製造方法、及び抵抗を直流電圧を供給する配線と積層して形成する集積回路の製造方法によって実現される。
上述したように、本発明によれば、配線用金属を薄膜化させて抵抗に利用するため、熱暴走に起因する素子破壊を回避できると共に、回路の集積面積を縮小させることができる。また、2〜5つのトランジスタ毎に1つの抵抗及び1つの容量を配置させた回路を採用することにより、さらに回路の集積面積を縮小できると共に、回路特性の安定化や放熱特性の向上も期待できる。さらに、トランジスタ集積回路装置の製造方法によれば、従来よりも製造工程を少なくすることができる。
以下、上記背景技術で述べたトランジスタ11、バイアス抵抗12及びカット容量13から構成されるトランジスタ回路(図1)を半導体基板F上に集積する例を挙げて、本発明の最良の実施形態を説明する。
図2は、図1のトランジスタ回路を集積した、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置の鳥瞰図及び側面図を示す。図2において、カット容量13は、1層に配線用金属(Au)で形成される上部電極13aと、2層に配線用金属(Au)で形成される下部電極13bとで形成される。バイアス抵抗12は、カット容量13の下部電極13bと同じ配線用金属で形成される。このバイアス抵抗12は、配線用金属を薄膜化させてシート抵抗として機能させることで形成され、その抵抗値は、配線用金属の厚みや幅によって自由に設定することができる。なお、図2の例では、バイアス抵抗12をカット容量13の下部電極層側に形成しているが、上部電極層側に同じ配線用金属を用いて形成してもよい。
本発明の特徴は、このように配線用金属を薄膜化させてバイアス抵抗12を形成することにある。この特徴により、従来の抵抗用金属(NiCrやTaN等)のように、バイアス抵抗へのストレスを考慮する必要がなくなり、DCを供給する配線等の配線用金属とバイアス抵抗12とを積層させる構造が可能となる(図2)。この構造によって、バイアス抵抗だけのスペースが不要となり、1セルあたりの集積面積が小さくなるという効果を発揮する。この効果は、パワートランジスタのようにセルを数多く並列接続させる必要がある回路ほど顕著になる(図3)。図3でわかるように、本発明によれば、従来の集積面積に比べて、縦サイズ及び横サイズの両方が短くなるので、小さな集積面積で回路を構成することができる。
ところで、上記背景技術でも述べたが、素子間に特性ばらつき等に起因する熱暴走現象の対策としては、バイアス抵抗12及びカット容量13を各トランジスタ11に個々に持たせる構成が最も好ましい。しかし、発明者は、図4に示されるように、1セル内に含められるトランジスタ11が5つまでなら、熱暴走による素子破壊の耐性が変化しないことを、実験によって確認している。
このようなことから、本発明のバイアス抵抗12の形成手法を用いて、複数のトランジスタ11毎に(図5の例では4つ)、1つのバイアス抵抗12及び1つのカット容量13を持たせるセル構造を採用してもよい。このセル構造にすることで、縦サイズがさらに短くなり、より小さい集積面積で回路を構成することができる。また、このセル構造により、半導体基板F上に形成するカット容量13及びバイアス抵抗12の数を減らせるので、素子間のばらつきが少なくなって安定した回路特性を得ることができる。
また、バイアス抵抗12の値は、n個のトランジスタ11に対して共通のバイアス抵抗12を1つだけ設ける場合、n個のトランジスタ11のそれぞれにバイアス抵抗12を合計n個設ける場合のn分の1で済む。逆の表現をするなら、唯一のバイアス抵抗12を形成すれば、n個のトランジスタ11には、n倍のバイアス抵抗値がそれぞれ与えられることになる。よって、バイアス抵抗12を形成する配線用金属のシート抵抗値がたとえ数Ω以下と小さくても、配線用金属の幅に対する長さの比を大きくすることなく容易に要求されるバイアス抵抗値を実現できるという利点がある。
次に、上述した構造のトランジスタ回路が、集積面積の縮小のほかに製造工程を簡素化できることを説明する。図6は、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路の製造方法を説明する鳥瞰図及び側面図である。図7は、従来のトランジスタ集積回路の製造方法を説明する鳥瞰図及び側面図である。
まず、本発明及び従来の製造工程共に、トランジスタの形成が行われる(図6中の(a)、図7中の(a))。次に、従来の製造工程では、抵抗用金属によって抵抗が形成される(図7中の(b))。次に、本発明及び従来の製造工程共に、容量の下部電極及び2層配線が形成される(図6中の(b)、図7中の(c))。本発明では、この製造工程において抵抗が同時に形成される。次に、本発明及び従来の製造工程共に、容量の誘電体が形成される(図6中の(c)、図7中の(d))。最後に、本発明及び従来の製造工程共に、容量の上部電極及び1層配線が形成される(図6中の(d)、図7中の(e))。このように、本発明の製造工程の方が従来の製造工程よりも1工程少なくて済む。
以上のように、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置によれば、配線用金属を薄膜化させて抵抗に利用するため、熱暴走に起因する素子破壊を回避できると共に、回路の集積面積を縮小させることができる。また、複数(2〜5つが好ましい)のトランジスタ毎に1つの抵抗及び容量を配置させたセル構造を採用することにより、さらに回路の集積面積を縮小できると共に、回路特性の安定化や放熱特性の向上も期待できる。さらに、本発明の一実施形態に係るトランジスタ集積回路装置の製造方法によれば、従来よりも製造工程を少なくすることができる。
本発明のトランジスタ集積回路装置及びその製造方法は、高周波信号を扱うパワートランジスタの回路等に利用可能であり、特に熱暴走に起因する素子破壊を回避しつつ、回路の集積面積を縮小させたい場合等に有用である。
11、101 トランジスタ
12、102 バイアス抵抗
13、103 カット容量
13a、103a 上部電極
13b、103b 下部電極
104 保護抵抗
A DC供給配線
B 信号入力
C コレクタ電極
D べース電極
E エミッタ電極
F 半導体基板
12、102 バイアス抵抗
13、103 カット容量
13a、103a 上部電極
13b、103b 下部電極
104 保護抵抗
A DC供給配線
B 信号入力
C コレクタ電極
D べース電極
E エミッタ電極
F 半導体基板
Claims (11)
- 半導体基板上に回路が集積されたトランジスタ集積回路装置であって、
少なくとも1つのトランジスタと、
一方の電極に信号が入力され、他方の電極が前記少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される容量と、
一方の端子に直流電圧が印加され、他方の端子が前記少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される抵抗とで構成される回路を含み、
前記抵抗が、配線用金属を薄膜化して形成されたことを特徴とする、トランジスタ集積回路装置。 - 請求項1に記載のトランジスタ集積回路装置であって、
前記抵抗が、前記容量の他方の電極と同じ配線用金属を用いて、他方の電極と一体形成されたことを特徴とする。 - 請求項1に記載のトランジスタ集積回路装置であって、
前記抵抗が、前記直流電圧を供給する配線と積層して形成されたことを特徴とする。 - 請求項2に記載のトランジスタ集積回路装置であって、
前記抵抗が、前記直流電圧を供給する配線と積層して形成されたことを特徴とする。 - 請求項1に記載のトランジスタ集積回路装置であって、
前記回路は、2〜5つの前記トランジスタに対して1つの前記抵抗及び1つの前記容量が設けられた構成であることを特徴とする。 - 請求項2に記載のトランジスタ集積回路装置であって、
前記回路は、2〜5つの前記トランジスタに対して1つの前記抵抗及び1つの前記容量が設けられた構成であることを特徴とする。 - 請求項3に記載のトランジスタ集積回路装置であって、
前記回路は、2〜5つの前記トランジスタに対して1つの前記抵抗及び1つの前記容量が設けられた構成であることを特徴とする。 - 半導体基板上に集積回路を製造する方法であって、
前記集積回路が、少なくとも1つのトランジスタと、一方の電極に信号が入力され、他方の電極が当該少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される容量と、一方の端子に直流電圧が印加され、他方の端子が当該少なくとも1つのトランジスタのベース端子に接続される抵抗とで構成される回路である場合、
前記抵抗を、配線用金属を薄膜化して形成することを特徴とする、製造方法。 - 請求項8に記載の製造方法であって、
前記抵抗を、前記容量の他方の電極と同じ配線用金属を用いて、同一製造工程において他方の電極と一体形成することを特徴とする。 - 請求項8に記載の製造方法であって、
前記抵抗を、前記直流電圧を供給する配線と積層して形成することを特徴とする。 - 請求項9に記載の製造方法であって、
前記抵抗を、前記直流電圧を供給する配線と積層して形成することを特徴とする。
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