JPS648199U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS648199U JPS648199U JP10266987U JP10266987U JPS648199U JP S648199 U JPS648199 U JP S648199U JP 10266987 U JP10266987 U JP 10266987U JP 10266987 U JP10266987 U JP 10266987U JP S648199 U JPS648199 U JP S648199U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample loading
- unloading rod
- heat treatment
- vacuum heat
- treatment furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
第1図は本考案の1実施例の側面図(断面図)
を、第2図はその平面図を、第3図はその正面図
(試料テーブル上昇時)を、第4図はその正面図
(試料テーブル下降時)を、第5図は本考案の1
実施例に接続して使用する移載室内の移載機構の
斜視図を、第6図は本考案の他の実施例の試料テ
ーブル及びその上下移動機構の斜視図を、第7図
は本考案の他の実施例の受台及びその上下移動機
構の側面図(断面図)を、第8図は従来型の連続
式真空熱処理炉の側面図を、第9図はユニツト型
の連続式真空熱処理炉の平面図を示す。 1;予備予熱室、2;本加熱室、3;冷却室、
4,4′,4″;仕切弁、5,5″;開閉扉、6
,6″;炉外台車、7,7′,7″;シリンダー
、8;移載室、9;移載機構、10;処理室、1
1;水冷軸、12;試料テーブル、14;回転カ
ム、16;ローラー、18;試料テーブル側面、
19;受台、20;水冷軸端部、21;軸間平行
保持用ガイド、22;取付フランジ、23;真空
シール、24;共通支持台、25;軸受、26;
歯車、27;歯車付減速モーター、28;カム移
動方向、29;メネジ、30;軸受、31;ボー
ルネジ、32;スプロツケト付減速モーター、3
3;LMガイド、34;架台、35;LMレール
、36;サポートローラー、37;水冷シール、
38;スプロケツト、39;チエーン、40;試
料保持具、41;試料保持具爪部、42;シヤフ
ト、43;チエーン、44;歯車、45;モータ
ー、46;レバー、47;ピンジヨイント、48
;ギア、49;ブラケツト、50;水冷軸、51
;フランジ、52;エアシリンダー、53;チヤ
ンバー。
を、第2図はその平面図を、第3図はその正面図
(試料テーブル上昇時)を、第4図はその正面図
(試料テーブル下降時)を、第5図は本考案の1
実施例に接続して使用する移載室内の移載機構の
斜視図を、第6図は本考案の他の実施例の試料テ
ーブル及びその上下移動機構の斜視図を、第7図
は本考案の他の実施例の受台及びその上下移動機
構の側面図(断面図)を、第8図は従来型の連続
式真空熱処理炉の側面図を、第9図はユニツト型
の連続式真空熱処理炉の平面図を示す。 1;予備予熱室、2;本加熱室、3;冷却室、
4,4′,4″;仕切弁、5,5″;開閉扉、6
,6″;炉外台車、7,7′,7″;シリンダー
、8;移載室、9;移載機構、10;処理室、1
1;水冷軸、12;試料テーブル、14;回転カ
ム、16;ローラー、18;試料テーブル側面、
19;受台、20;水冷軸端部、21;軸間平行
保持用ガイド、22;取付フランジ、23;真空
シール、24;共通支持台、25;軸受、26;
歯車、27;歯車付減速モーター、28;カム移
動方向、29;メネジ、30;軸受、31;ボー
ルネジ、32;スプロツケト付減速モーター、3
3;LMガイド、34;架台、35;LMレール
、36;サポートローラー、37;水冷シール、
38;スプロケツト、39;チエーン、40;試
料保持具、41;試料保持具爪部、42;シヤフ
ト、43;チエーン、44;歯車、45;モータ
ー、46;レバー、47;ピンジヨイント、48
;ギア、49;ブラケツト、50;水冷軸、51
;フランジ、52;エアシリンダー、53;チヤ
ンバー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 処理室を移載室に接続した連続式真空熱処理
炉において、処理室と移載室との間を往復可能に
設けられた試料出し入れ棒と、該試料出し入れ棒
の処理室側上部に設けられた試料テーブルと、処
理室内において試料を支持する受台と、前記試料
出し入れ棒を往復運動させる移動機構Aと、該試
料テーブルと受台間の垂直方向の距離を相対的に
変化させる移動機構Bとを有し、前記移動機構A
及び移動機構Bを処理室及び移載室の外部に設け
たことを特徴とする連続式真空熱処理炉の移載機
構。 2 前記試料出し入れ棒は先端に回転カムを設け
た2本の棒から成り、移動機構Bは前記試料出し
入れ棒を回転させるものとした実用新案登録請求
の範囲第1項記載の連続式真空熱処理炉の移載機
構。 3 前記試料出し入れ棒は先端にテーブルリフタ
ーを設けた2本の棒から成り、移動機構Bは前記
試料出し入れ棒を回転させるものとした実用新案
登録請求の範囲第1項記載の連続式真空熱処理炉
の移載機構。 4 前記移動機構Bは前記受台を上下動させるも
のとした実用新案登録請求の範囲第1項記載の連
続式真空熱処理炉の移載機構。 5 前記試料出し入れ棒は内部に水冷のための空
洞を有するものとし、かつ該試料出し入れ棒に水
冷シールを接続した実用新案登録請求の範囲第1
、2、3又は4項記載の連続式真空熱処理炉の移
載機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987102669U JPH0230720Y2 (ja) | 1987-07-06 | 1987-07-06 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987102669U JPH0230720Y2 (ja) | 1987-07-06 | 1987-07-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS648199U true JPS648199U (ja) | 1989-01-18 |
JPH0230720Y2 JPH0230720Y2 (ja) | 1990-08-17 |
Family
ID=31332789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987102669U Expired JPH0230720Y2 (ja) | 1987-07-06 | 1987-07-06 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0230720Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009277996A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Ulvac Japan Ltd | 搬送装置および処理装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57185752U (ja) * | 1981-05-20 | 1982-11-25 |
-
1987
- 1987-07-06 JP JP1987102669U patent/JPH0230720Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57185752U (ja) * | 1981-05-20 | 1982-11-25 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009277996A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Ulvac Japan Ltd | 搬送装置および処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0230720Y2 (ja) | 1990-08-17 |
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