JPS6445840U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6445840U JPS6445840U JP1987139399U JP13939987U JPS6445840U JP S6445840 U JPS6445840 U JP S6445840U JP 1987139399 U JP1987139399 U JP 1987139399U JP 13939987 U JP13939987 U JP 13939987U JP S6445840 U JPS6445840 U JP S6445840U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure head
- drawing machine
- liquid crystal
- pattern
- crystal unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の実施例を示す図、第２図は従
来のフオトマスク作成用のパターン作図機を示す
図、第３図は従来のパターン作図機の露光ヘツド
を示す図である。 図において、１０は露光ヘツド、１１は光源、
１２は液晶ユニツト、１３は制御部、１４はフオ
トマスク、１５は描画パターンを示す。
来のフオトマスク作成用のパターン作図機を示す
図、第３図は従来のパターン作図機の露光ヘツド
を示す図である。 図において、１０は露光ヘツド、１１は光源、
１２は液晶ユニツト、１３は制御部、１４はフオ
トマスク、１５は描画パターンを示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 制御部の作図指令により露光ヘツドから光点を
フオトマスク用基板に塗布された感光剤に投射し
作図機動作により指定のランドパターン及び配線
パターンを描画するパターン作図機の露光ヘツド
において、 該露光ヘツド１０のシヤツタ及びアパーチヤと
して液晶ユニツト１２を用い、 該液晶ユニツト１２を制御部１３により制御し
て各種パターンサイズの光点を形成可能としたこ
とを 特徴とするパターン作図機の露光ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987139399U JPS6445840U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987139399U JPS6445840U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6445840U true JPS6445840U (ja) | 1989-03-20 |
Family
ID=31402620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987139399U Pending JPS6445840U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6445840U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0453950A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-21 | Fujitsu Ltd | プリント板製造におけるアートワーク方法 |
-
1987
- 1987-09-14 JP JP1987139399U patent/JPS6445840U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0453950A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-21 | Fujitsu Ltd | プリント板製造におけるアートワーク方法 |