JPS62135134U - - Google Patents

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JPS62135134U
JPS62135134U JP2083186U JP2083186U JPS62135134U JP S62135134 U JPS62135134 U JP S62135134U JP 2083186 U JP2083186 U JP 2083186U JP 2083186 U JP2083186 U JP 2083186U JP S62135134 U JPS62135134 U JP S62135134U
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JP
Japan
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transparent drum
flexible printed
printed circuit
outer circumferential
circumferential surface
Prior art date
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JP2083186U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例に係るフレキシブル
プリント回路用回転型露光機の縦断面図、第2図
は同露光機の横断面図、第3図は本考案の他の実
施例に係る回転型露光機の縦断面図、第4図は本
考案のさらに他の実施例に係る回転型露光機の横
断面図である。 11…透明ドラム、12…マスクパターン、1
4…紫外線ランプ、15…フレキシブルプリント
回路基材、17A,17B…ガイドロール、18
…遮光板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 外周面にマスクパターンを形成した円筒状の透
    明ドラムと、その透明ドラム内に設置された紫外
    線ランプと、表面に感光レジストを塗布したフレ
    キシブルプリント回路基材を上記透明ドラムの外
    周面に押し付けるガイドロールとを備え、上記透
    明ドラムを上記フレキシブルプリント回路基材の
    走行速度に合わせて回転させるようにしたことを
    特徴とするフレキシブルプリント回路用回転型露
    光機。
JP2083186U 1986-02-18 1986-02-18 Pending JPS62135134U (ja)

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JP2083186U JPS62135134U (ja) 1986-02-18 1986-02-18

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2083186U JPS62135134U (ja) 1986-02-18 1986-02-18

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62135134U true JPS62135134U (ja) 1987-08-25

Family

ID=30816704

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2083186U Pending JPS62135134U (ja) 1986-02-18 1986-02-18

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62135134U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018077530A (ja) * 2012-03-15 2018-05-17 株式会社ニコン 基板処理装置、及びパターン形成方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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