JPS6185851U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6185851U JPS6185851U JP1984172068U JP17206884U JPS6185851U JP S6185851 U JPS6185851 U JP S6185851U JP 1984172068 U JP1984172068 U JP 1984172068U JP 17206884 U JP17206884 U JP 17206884U JP S6185851 U JPS6185851 U JP S6185851U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- thin film
- recess
- peripheral edge
- recessed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
本考案を適用したフオトマスオの構成を示す断面
図、第２図ａ〜ｄはこのフオトマスクの使用例を
示す工程図である。 図中、１はマスク基板、２はマスクパターン、
３はＣｒ薄膜、４はエマルジヨン薄膜、５はくぼ
み、６はスリツト、７は周縁部、８，９は端面、
１０はフオトマスク、１１は基板、１２は下地膜
、１３はレジスト、１４はテーパ、１５は導体パ
ターンである。
本考案を適用したフオトマスオの構成を示す断面
図、第２図ａ〜ｄはこのフオトマスクの使用例を
示す工程図である。 図中、１はマスク基板、２はマスクパターン、
３はＣｒ薄膜、４はエマルジヨン薄膜、５はくぼ
み、６はスリツト、７は周縁部、８，９は端面、
１０はフオトマスク、１１は基板、１２は下地膜
、１３はレジスト、１４はテーパ、１５は導体パ
ターンである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 密着露光用フオトマスクの密着面の所定の周
縁部にくぼみを形成したことを特徴とするフオト
マスクの構造。 ２ フオトマスクが、Ｃｒ薄膜とくぼみ付のエマ
ルジヨン薄膜とより形成された実用新案登録請求
の範囲第１項記載のフオトマスクの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984172068U JPS6185851U (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984172068U JPS6185851U (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6185851U true JPS6185851U (ja) | 1986-06-05 |
Family
ID=30729740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984172068U Pending JPS6185851U (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6185851U (ja) |
-
1984
- 1984-11-13 JP JP1984172068U patent/JPS6185851U/ja active Pending
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