JPS60154958U - フオトマスク - Google Patents

フオトマスク

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Publication number
JPS60154958U
JPS60154958U JP1984041604U JP4160484U JPS60154958U JP S60154958 U JPS60154958 U JP S60154958U JP 1984041604 U JP1984041604 U JP 1984041604U JP 4160484 U JP4160484 U JP 4160484U JP S60154958 U JPS60154958 U JP S60154958U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
quartz glass
photo mask
light
layer
Prior art date
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Granted
Application number
JP1984041604U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS638897Y2 (ja
Inventor
加賀谷　健一
Original Assignee
ホ−ヤ株式会社
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Publication date
Application filed by ホ−ヤ株式会社 filed Critical ホ−ヤ株式会社
Priority to JP1984041604U priority Critical patent/JPS60154958U/ja
Publication of JPS60154958U publication Critical patent/JPS60154958U/ja
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Publication of JPS638897Y2 publication Critical patent/JPS638897Y2/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のフォトマスクブランクを示ス断面図、第
２図は従来のフォトマスクの製造工程を示す断面図、第
３図は従来のフォトマスクを示す斜視図、第４図及び第
５図はそれぞれ本考案の素材となるフォトマスクブラン
ク及び本考案のフォトマスクを示す断面図、並びに第６
図は本考案によるフォトマスクのパターン欠落密度と度
数分布の関係を示す図である。　　□ １・・・−石英ガラス基板、１５・・５ｅｅｓ　９０ム
炭化物とクロム窒化物を含有する炭化窒化クロム膜、１
６・・・・・・クロム膜パターン、１７・・・・−・フ
ォトマスク。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 石英ガラス基板と、前記石英ガラス基板上に被着した１
    層又は２層以上の遮光性膜と、前記石英ガラス基板側の
    １層がクロム炭化物とクロム窒化物とを含有してなる炭
    化窒化クロム膜とを備え、前記遮光性膜を選択的にパタ
    ーン化したことを特徴とするフォトマスク。
JP1984041604U 1984-03-22 1984-03-22 フオトマスク Granted JPS60154958U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1984041604U JPS60154958U (ja) 1984-03-22 1984-03-22 フオトマスク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1984041604U JPS60154958U (ja) 1984-03-22 1984-03-22 フオトマスク

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60154958U true JPS60154958U (ja) 1985-10-16
JPS638897Y2 JPS638897Y2 (ja) 1988-03-16

Family

ID=30551587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1984041604U Granted JPS60154958U (ja) 1984-03-22 1984-03-22 フオトマスク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60154958U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63210930A (ja) * 1987-02-27 1988-09-01 Hoya Corp フオトマスクブランクの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63210930A (ja) * 1987-02-27 1988-09-01 Hoya Corp フオトマスクブランクの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS638897Y2 (ja) 1988-03-16

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