JPH03110438U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03110438U JPH03110438U JP1884390U JP1884390U JPH03110438U JP H03110438 U JPH03110438 U JP H03110438U JP 1884390 U JP1884390 U JP 1884390U JP 1884390 U JP1884390 U JP 1884390U JP H03110438 U JPH03110438 U JP H03110438U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- inclined surface
- view
- shielding film
- transmitting substrate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係るフオトマスクブランクス
の一実施例を示す平面図、第２図は第１図の−
線拡大断面図、第３図はフオトマスクブランク
ス用保持具の平面図、第４図は側面図、第５図は
第３図の−線拡大断面図、第６図は第３図Ａ
部の拡大斜視図、第７図は第６図の−線断面
図、第８図は第３図Ａ部の平面図、第９図は第３
図Ｂ部の斜視図、第１０図は従来のフオトマスク
ブランクス用保持具の斜視図、第１１図は要部拡
大断面図、第１２図はフオトマスクブランクスの
平面図、第１３図は従来のフオトマスクブランク
スの他の例を示す側断面図である。 １……透光性基板、８……クロム膜（遮光膜）
、１０Ａ，１０Ｂ……主表面、１１……面取り部
、１２……端面、１４……周縁部（非遮光膜部）
、１５，２０……フオトマスクブランクス、３３
……張出部、３４……マスク面、３５……リブ、
３５Ａ……マスク面、４０……保持部、４４……
傾斜面、５０……保持部、５２……傾斜面。
の一実施例を示す平面図、第２図は第１図の−
線拡大断面図、第３図はフオトマスクブランク
ス用保持具の平面図、第４図は側面図、第５図は
第３図の−線拡大断面図、第６図は第３図Ａ
部の拡大斜視図、第７図は第６図の−線断面
図、第８図は第３図Ａ部の平面図、第９図は第３
図Ｂ部の斜視図、第１０図は従来のフオトマスク
ブランクス用保持具の斜視図、第１１図は要部拡
大断面図、第１２図はフオトマスクブランクスの
平面図、第１３図は従来のフオトマスクブランク
スの他の例を示す側断面図である。 １……透光性基板、８……クロム膜（遮光膜）
、１０Ａ，１０Ｂ……主表面、１１……面取り部
、１２……端面、１４……周縁部（非遮光膜部）
、１５，２０……フオトマスクブランクス、３３
……張出部、３４……マスク面、３５……リブ、
３５Ａ……マスク面、４０……保持部、４４……
傾斜面、５０……保持部、５２……傾斜面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 対向主表面の端縁部が傾斜面を介して端面
と連接する透光性基板のいずれか一方の主表面の
略全域に遮光膜を被覆したことを特徴とするフオ
トマスクブランクス。 (2) 請求項(1)記載のフオトマスクブランクスに
おいて、前記透光性基板の傾斜面から遮光膜端部
までの幅は１mm以下であることを特徴とするフオ
トマスクブランクス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1884390U JPH03110438U (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1884390U JPH03110438U (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03110438U true JPH03110438U (ja) | 1991-11-13 |
Family
ID=31521986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1884390U Pending JPH03110438U (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03110438U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004051369A1 (ja) * | 2002-12-03 | 2004-06-17 | Hoya Corporation | フォトマスクブランク、及びフォトマスク |
| JP2008257131A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Hoya Corp | フォトマスクブランク用基板及びその製造方法、フォトマスクブランク、並びにフォトマスク |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5759543A (en) * | 1980-09-26 | 1982-04-09 | Terumo Corp | Body liquid purifying apparatus |
| JPS593437A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置製造用基板 |
| JPS6039047B2 (ja) * | 1976-05-22 | 1985-09-04 | 電気化学工業株式会社 | クロロプレンの製造方法 |
| JPS60195546A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-04 | Hitachi Ltd | マスク用基板 |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP1884390U patent/JPH03110438U/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039047B2 (ja) * | 1976-05-22 | 1985-09-04 | 電気化学工業株式会社 | クロロプレンの製造方法 |
| JPS5759543A (en) * | 1980-09-26 | 1982-04-09 | Terumo Corp | Body liquid purifying apparatus |
| JPS593437A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置製造用基板 |
| JPS60195546A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-04 | Hitachi Ltd | マスク用基板 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004051369A1 (ja) * | 2002-12-03 | 2004-06-17 | Hoya Corporation | フォトマスクブランク、及びフォトマスク |
| JP2008257131A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Hoya Corp | フォトマスクブランク用基板及びその製造方法、フォトマスクブランク、並びにフォトマスク |