JPS6427955U - - Google Patents

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JPS6427955U
JPS6427955U JP12160887U JP12160887U JPS6427955U JP S6427955 U JPS6427955 U JP S6427955U JP 12160887 U JP12160887 U JP 12160887U JP 12160887 U JP12160887 U JP 12160887U JP S6427955 U JPS6427955 U JP S6427955U
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JP
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vacuum container
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main shaft
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JP12160887U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン処
理装置を部分的に示す縦断面図である。第２図は
、第１図の調整穴の部分を示す平面図である。第
３図は、この考案の背景となるイオン処理装置の
一例を部分的に示す縦断面図である。 ２……ウエハ、４……イオンビーム、６……真
空容器、８……ホルダ、１２……ホルダ傾斜モー
タ、２０……ホルダ主軸、２２……ホルダ支持ア
ーム、３２……ホルダ回転モータ、３５〜３８…
…回転軸、４０〜４２……傘歯車、４５〜４８…
…ベアリング、５４〜５７……調整筒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空容器内でウエハにイオンビームを照射して
    当該ウエハを処理する装置であつて、真空容器内
    に収納されていてウエハを保持可能なホルダと、
    ホルダを支持する中空のホルダ支持アームと、真
    空容器を貫通するホルダ主軸であつてその中心線
    がほぼホルダ上のウエハ表面の中心点を通つてお
    り、かつその真空容器内側にホルダ支持アームが
    取り付けられており、真空容器外側に当該ホルダ
    主軸を回転させる可逆転式のホルダ傾斜駆動源が
    連結されたものと、ホルダ主軸の真空容器外側に
    支持されていてホルダを回転させるためのホルダ
    回転駆動源と、ホルダ支持アーム内に収納されて
    いてホルダ回転駆動源からの回転運動をホルダに
    伝達してそれを回転させる回転伝達機構であつて
    、両端部に傘歯車が取り付けられた１以上の回転
    軸およびその各々を２箇所ずつで軸支するベアリ
    ングを有するものとを備える装置において、前記
    各回転軸用の各ベアリングを、ホルダ支持アーム
    内に回転かつスライド可能に収納された一組の調
    整筒であつて、その一方の内周面および他方の外
    周面にそれぞれ設けられたねじ部によつて互いに
    螺合しているものによつてそれぞれ支持したこと
    を特徴とするイオン処理装置。
JP1987121608U 1987-08-08 1987-08-08 イオン処理装置 Expired - Lifetime JPH0723900Y2 (ja)

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JP1987121608U JPH0723900Y2 (ja) 1987-08-08 1987-08-08 イオン処理装置

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JP1987121608U JPH0723900Y2 (ja) 1987-08-08 1987-08-08 イオン処理装置

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Publication Number Publication Date
JPS6427955U true JPS6427955U (ja) 1989-02-17
JPH0723900Y2 JPH0723900Y2 (ja) 1995-05-31

Family

ID=31368770

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56128555A (en) * 1980-03-13 1981-10-08 Hitachi Ltd Ion implantation device
JPS58142751A (ja) * 1982-02-18 1983-08-24 Nec Corp イオン注入装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56128555A (en) * 1980-03-13 1981-10-08 Hitachi Ltd Ion implantation device
JPS58142751A (ja) * 1982-02-18 1983-08-24 Nec Corp イオン注入装置

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Publication number Publication date
JPH0723900Y2 (ja) 1995-05-31

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