JPS6427954U - - Google Patents

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JPS6427954U
JPS6427954U JP12160787U JP12160787U JPS6427954U JP S6427954 U JPS6427954 U JP S6427954U JP 12160787 U JP12160787 U JP 12160787U JP 12160787 U JP12160787 U JP 12160787U JP S6427954 U JPS6427954 U JP S6427954U
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Japan
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rotation shaft
rotation
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン処
理装置を部分的に示す縦断面図である。第２図は
、第１図の接触子の一つを拡大して部分的に示す
断面図である。第３図は、この考案の背景となる
イオン処理装置の一例を部分的に示す縦断面図で
ある。 ２……ウエハ、４……イオンビーム、６……真
空容器、８……ホルダ、１２……ホルダ傾斜モー
タ、２０……ホルダ主軸、２２……ホルダ支持ア
ーム、３２……ホルダ回転モータ、３６，３７…
…伝達回転軸、３８……ホルダ回転軸、４０〜４
５……傘歯車、６６〜６８……接触子。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空容器内でウエハにイオンビームを照射して
    当該ウエハを処理する装置であつて、真空容器に
    収納されていてウエハを保持可能なホルダと、真
    空容器内を貫通するホルダ主軸であつてその中心
    線がほぼホルダ上のウエハ表面の中心点を通つて
    おり、かつその真空容器外側に当該ホルダ主軸を
    回転させる可逆転式のホルダ傾斜駆動源が連結さ
    れたものと、ホルダ主軸の真空容器内側に絶縁し
    て取り付けられた中空のホルダ支持アームと、こ
    のホルダ支持アームに軸支されていて一端にホル
    ダが取り付けられたホルダ回転軸と、ホルダ主軸
    の真空容器外側に支持されていてホルダを回転さ
    せるためのホルダ回転駆動源と、ホルダ支持アー
    ム内に収納されていてホルダ回転駆動源からの回
    転運動をホルダ回転軸に伝達してそれを回転させ
    る回転伝達機構であつて、歯車によつて連結され
    た１以上の伝達回転軸を有するものとを備える装
    置において、前記ホルダと同電位にあるホルダ回
    転軸および伝達回転軸とホルダ支持アームとの間
    に、各回転軸をホルダ支持アームに電気的に導通
    させる接触子をそれぞれ設けたことを特徴とする
    イオン処理装置。
JP1987121607U 1987-08-08 1987-08-08 イオン処理装置 Expired - Lifetime JPH0728690Y2 (ja)

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JPS6427954U true JPS6427954U (ja) 1989-02-17
JPH0728690Y2 JPH0728690Y2 (ja) 1995-06-28

Family

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56128555A (en) * 1980-03-13 1981-10-08 Hitachi Ltd Ion implantation device
JPS58142751A (ja) * 1982-02-18 1983-08-24 Nec Corp イオン注入装置
JPS5932198U (ja) * 1982-08-23 1984-02-28 石川島播磨重工業株式会社 ポンプの回転数制御装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56128555A (en) * 1980-03-13 1981-10-08 Hitachi Ltd Ion implantation device
JPS58142751A (ja) * 1982-02-18 1983-08-24 Nec Corp イオン注入装置
JPS5932198U (ja) * 1982-08-23 1984-02-28 石川島播磨重工業株式会社 ポンプの回転数制御装置

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Publication number Publication date
JPH0728690Y2 (ja) 1995-06-28

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