JPS6427954U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6427954U JPS6427954U JP12160787U JP12160787U JPS6427954U JP S6427954 U JPS6427954 U JP S6427954U JP 12160787 U JP12160787 U JP 12160787U JP 12160787 U JP12160787 U JP 12160787U JP S6427954 U JPS6427954 U JP S6427954U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- vacuum container
- support arm
- rotation shaft
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims 1
Description
第1図は、この考案の一実施例に係るイオン処
理装置を部分的に示す縦断面図である。第2図は
、第1図の接触子の一つを拡大して部分的に示す
断面図である。第3図は、この考案の背景となる
イオン処理装置の一例を部分的に示す縦断面図で
ある。 2……ウエハ、4……イオンビーム、6……真
空容器、8……ホルダ、12……ホルダ傾斜モー
タ、20……ホルダ主軸、22……ホルダ支持ア
ーム、32……ホルダ回転モータ、36,37…
…伝達回転軸、38……ホルダ回転軸、40〜4
5……傘歯車、66〜68……接触子。
理装置を部分的に示す縦断面図である。第2図は
、第1図の接触子の一つを拡大して部分的に示す
断面図である。第3図は、この考案の背景となる
イオン処理装置の一例を部分的に示す縦断面図で
ある。 2……ウエハ、4……イオンビーム、6……真
空容器、8……ホルダ、12……ホルダ傾斜モー
タ、20……ホルダ主軸、22……ホルダ支持ア
ーム、32……ホルダ回転モータ、36,37…
…伝達回転軸、38……ホルダ回転軸、40〜4
5……傘歯車、66〜68……接触子。
Claims (1)
- 真空容器内でウエハにイオンビームを照射して
当該ウエハを処理する装置であつて、真空容器に
収納されていてウエハを保持可能なホルダと、真
空容器内を貫通するホルダ主軸であつてその中心
線がほぼホルダ上のウエハ表面の中心点を通つて
おり、かつその真空容器外側に当該ホルダ主軸を
回転させる可逆転式のホルダ傾斜駆動源が連結さ
れたものと、ホルダ主軸の真空容器内側に絶縁し
て取り付けられた中空のホルダ支持アームと、こ
のホルダ支持アームに軸支されていて一端にホル
ダが取り付けられたホルダ回転軸と、ホルダ主軸
の真空容器外側に支持されていてホルダを回転さ
せるためのホルダ回転駆動源と、ホルダ支持アー
ム内に収納されていてホルダ回転駆動源からの回
転運動をホルダ回転軸に伝達してそれを回転させ
る回転伝達機構であつて、歯車によつて連結され
た1以上の伝達回転軸を有するものとを備える装
置において、前記ホルダと同電位にあるホルダ回
転軸および伝達回転軸とホルダ支持アームとの間
に、各回転軸をホルダ支持アームに電気的に導通
させる接触子をそれぞれ設けたことを特徴とする
イオン処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987121607U JPH0728690Y2 (ja) | 1987-08-08 | 1987-08-08 | イオン処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987121607U JPH0728690Y2 (ja) | 1987-08-08 | 1987-08-08 | イオン処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6427954U true JPS6427954U (ja) | 1989-02-17 |
JPH0728690Y2 JPH0728690Y2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=31368768
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987121607U Expired - Lifetime JPH0728690Y2 (ja) | 1987-08-08 | 1987-08-08 | イオン処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0728690Y2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56128555A (en) * | 1980-03-13 | 1981-10-08 | Hitachi Ltd | Ion implantation device |
JPS58142751A (ja) * | 1982-02-18 | 1983-08-24 | Nec Corp | イオン注入装置 |
JPS5932198U (ja) * | 1982-08-23 | 1984-02-28 | 石川島播磨重工業株式会社 | ポンプの回転数制御装置 |
-
1987
- 1987-08-08 JP JP1987121607U patent/JPH0728690Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56128555A (en) * | 1980-03-13 | 1981-10-08 | Hitachi Ltd | Ion implantation device |
JPS58142751A (ja) * | 1982-02-18 | 1983-08-24 | Nec Corp | イオン注入装置 |
JPS5932198U (ja) * | 1982-08-23 | 1984-02-28 | 石川島播磨重工業株式会社 | ポンプの回転数制御装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0728690Y2 (ja) | 1995-06-28 |
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