JPS642793B2 - - Google Patents
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- JPS642793B2 JPS642793B2 JP57023855A JP2385582A JPS642793B2 JP S642793 B2 JPS642793 B2 JP S642793B2 JP 57023855 A JP57023855 A JP 57023855A JP 2385582 A JP2385582 A JP 2385582A JP S642793 B2 JPS642793 B2 JP S642793B2
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- Japan
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- nozzle
- nozzle plate
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- air
- opening
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 5
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 2
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- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、空気や燃料ガス等の気体や水等の液
体等のいわゆる流体に運動エネルギーを与えて、
その流れを発生させる装置に関する。
体等のいわゆる流体に運動エネルギーを与えて、
その流れを発生させる装置に関する。
従来、例えば空気等の気体に運動エネルギーを
与えて流れを発生させるものとしては、モータ等
の回転機器によりプロペラフアンやクロスフロー
フアンを回転させ、気流を発生する送風機が最も
一般的であつた。また水等の液体に関しても、ス
クリユー等を回転機で駆動するものや、プランジ
ヤーポンプ等の往復運動と逆止弁機構とを組み合
わせたもの等が一般的に用いられていた。
与えて流れを発生させるものとしては、モータ等
の回転機器によりプロペラフアンやクロスフロー
フアンを回転させ、気流を発生する送風機が最も
一般的であつた。また水等の液体に関しても、ス
クリユー等を回転機で駆動するものや、プランジ
ヤーポンプ等の往復運動と逆止弁機構とを組み合
わせたもの等が一般的に用いられていた。
しかしながら、これらの従来の流れ発生装置は
回転機構や往復運動機構を有するものであるため
装置が大型で高価であり、また回転部分等の保守
も面倒であつた。また、送風機等においては、送
風フアンのいわゆる風切り音などの完全な防止を
実現することが不可能であり、送風騒音が大きい
等の問題を有するものであつた。
回転機構や往復運動機構を有するものであるため
装置が大型で高価であり、また回転部分等の保守
も面倒であつた。また、送風機等においては、送
風フアンのいわゆる風切り音などの完全な防止を
実現することが不可能であり、送風騒音が大きい
等の問題を有するものであつた。
本発明は上記従来の問題を一掃した流れ発生装
置を提供するものである。
置を提供するものである。
第1の目的は、構成が簡単でコンパクトであ
り、さらに機械的摩耗のない、低価格で半永久的
な使用が可能な流れ発生装置を提供することであ
る。
り、さらに機械的摩耗のない、低価格で半永久的
な使用が可能な流れ発生装置を提供することであ
る。
第2の目的は、騒音発生が著しく少なく、極め
て静かな流体流れを発生することができる流れ発
生装置を提供することである。
て静かな流体流れを発生することができる流れ発
生装置を提供することである。
さらに第3の目的は、流れ量の制御を極めて簡
単に広範囲にかつほとんど遅れを生じることなく
すみやかに行うことができる流れ発生装置を提供
することである。
単に広範囲にかつほとんど遅れを生じることなく
すみやかに行うことができる流れ発生装置を提供
することである。
本発明は、上記目的と達成するために以下のよ
うな構成により成るものである。
うな構成により成るものである。
すなわち、流れを発生すべき流体が満たされた
加圧室を有する基体と、加圧室に臨むノズルを有
するノズル板と、開口を有し、この開口のほぼ中
央に前記ノズルが位置するよう前記ノズル板に装
着された電気的振動子とを備え、前記ノズル板と
電気的振動子とを前記基体に装着すると共に、前
記電気的振動子の共振周波数近傍の周波数の交流
電圧を前記電気的振動子に供給する構成としたも
のである。
加圧室を有する基体と、加圧室に臨むノズルを有
するノズル板と、開口を有し、この開口のほぼ中
央に前記ノズルが位置するよう前記ノズル板に装
着された電気的振動子とを備え、前記ノズル板と
電気的振動子とを前記基体に装着すると共に、前
記電気的振動子の共振周波数近傍の周波数の交流
電圧を前記電気的振動子に供給する構成としたも
のである。
以下本発明の一実施例を図面と共に説明する。
第1図は、本発明の一実施例を示す断面図であ
る。第1図において、1は基体であり、内部に加
圧室2を有している。前記加圧室2の一面開口部
には、厚さ30μm〜100μmのノズル板3が設けら
れ、基体1に接着されている。ノズル板3の中央
部にはノズル4が複数個設けられており、ノズル
4は直径30〜100μmである。ノズル板3には、直
径10〜20mm,厚さ0.5〜2mmの圧電振動子5が接
着されており、圧電振動子5の中央には、開口6
が設けられて、ノズル4がこの開口6にも臨むよ
う構成されている。7,8は電極、9,10はリ
ード線である。
第1図は、本発明の一実施例を示す断面図であ
る。第1図において、1は基体であり、内部に加
圧室2を有している。前記加圧室2の一面開口部
には、厚さ30μm〜100μmのノズル板3が設けら
れ、基体1に接着されている。ノズル板3の中央
部にはノズル4が複数個設けられており、ノズル
4は直径30〜100μmである。ノズル板3には、直
径10〜20mm,厚さ0.5〜2mmの圧電振動子5が接
着されており、圧電振動子5の中央には、開口6
が設けられて、ノズル4がこの開口6にも臨むよ
う構成されている。7,8は電極、9,10はリ
ード線である。
このような構成において、リード線9,10間
に第2図aのような交流電圧を印加すると、圧電
振動子5の電極7,8間にこの電圧が供給され
る。圧電振動子5は、横効果振動するよう分極さ
れた圧電セラミツクであり、前述した交流電圧の
極性に応じて、第1図中の矢印方向の伸縮歪を生
じる。この結果、ノズル板3は、第3図に示すよ
うなたわみ振動が励起され、第3図の実線と破線
の状態を第2図aの交流電圧の極性に応じて繰り
かえす。前記交流電圧の周波数と、圧電振動子5
の共振周波数に一致させることにより、第3図の
ようなノズル板3のたわみ振動を最も効率良く生
じさせることができる。ノズル板3のノズル4を
有する部分(開口6に臨む部分)の振巾は、図の
ように圧電振動子5のたわみ振巾に比べ著しく大
きい状態となる。
に第2図aのような交流電圧を印加すると、圧電
振動子5の電極7,8間にこの電圧が供給され
る。圧電振動子5は、横効果振動するよう分極さ
れた圧電セラミツクであり、前述した交流電圧の
極性に応じて、第1図中の矢印方向の伸縮歪を生
じる。この結果、ノズル板3は、第3図に示すよ
うなたわみ振動が励起され、第3図の実線と破線
の状態を第2図aの交流電圧の極性に応じて繰り
かえす。前記交流電圧の周波数と、圧電振動子5
の共振周波数に一致させることにより、第3図の
ようなノズル板3のたわみ振動を最も効率良く生
じさせることができる。ノズル板3のノズル4を
有する部分(開口6に臨む部分)の振巾は、図の
ように圧電振動子5のたわみ振巾に比べ著しく大
きい状態となる。
このようにして、ノズル4は圧電振動子5によ
り加振されるのである。
り加振されるのである。
この装置を空気中において、第3図のような動
作を行わせると、図中の矢印のようにノズル4の
前方向に、ジエツト気流を発生せしめることがで
きる。ノズル4からのジエツト気流の噴出は、加
圧室2の全容積が均一に加圧されて行われるもの
ではなく加圧室2内においてノズル4のごく近傍
のみの気体の圧縮による圧力上昇により達成され
るものであり、加圧室2の容積はさほど大きな影
響を与えない。
作を行わせると、図中の矢印のようにノズル4の
前方向に、ジエツト気流を発生せしめることがで
きる。ノズル4からのジエツト気流の噴出は、加
圧室2の全容積が均一に加圧されて行われるもの
ではなく加圧室2内においてノズル4のごく近傍
のみの気体の圧縮による圧力上昇により達成され
るものであり、加圧室2の容積はさほど大きな影
響を与えない。
前述の圧力上昇はノズル板3の中央部(すなわ
ち開口6内のノズル板)の振幅が非常に大きく励
振される結果生じる音圧である。前記の中央部
は、第3図において左右に振動するピストン振動
板のように動作すると考えることができ、この結
果このノズル板中央部の左右にはその放射インピ
ーダンスに比例した音圧が生じる。そこで本発明
ではノズル板3の中央部で左右の放射インピーダ
ンスを差が生じるようにしているものである。第
1図の実施例では図のようにノズル板中央部の右
側は加圧室2という閉じた空間であり、一方、左
側は開放空間である。このため、ノズル板3の中
央部の左右の放射インピーダンスに結果的に差が
生じるのであり、この差は結果として、音圧差と
なる。よつて、前述のごとく、加圧室2内のノズ
ル4のごく近傍のみが圧力上昇を生じたような結
果となり、この圧力上昇により、ジエツト気流が
噴出される。
ち開口6内のノズル板)の振幅が非常に大きく励
振される結果生じる音圧である。前記の中央部
は、第3図において左右に振動するピストン振動
板のように動作すると考えることができ、この結
果このノズル板中央部の左右にはその放射インピ
ーダンスに比例した音圧が生じる。そこで本発明
ではノズル板3の中央部で左右の放射インピーダ
ンスを差が生じるようにしているものである。第
1図の実施例では図のようにノズル板中央部の右
側は加圧室2という閉じた空間であり、一方、左
側は開放空間である。このため、ノズル板3の中
央部の左右の放射インピーダンスに結果的に差が
生じるのであり、この差は結果として、音圧差と
なる。よつて、前述のごとく、加圧室2内のノズ
ル4のごく近傍のみが圧力上昇を生じたような結
果となり、この圧力上昇により、ジエツト気流が
噴出される。
また、噴出する空気の補充は、開口6の周囲か
らノズル4に吸い込まれる形で第3図の破線の矢
印のように行われるのである。
らノズル4に吸い込まれる形で第3図の破線の矢
印のように行われるのである。
噴出気流の量は、圧電振動子5の駆動電圧を変
化することにより極めて容易に実現することがで
き、例えば、第2図b又はcのようにすることに
より気流量を減少することが可能である。
化することにより極めて容易に実現することがで
き、例えば、第2図b又はcのようにすることに
より気流量を減少することが可能である。
圧電振動子5は、20〜100KHzの超音波領域の
周波数で駆動することができるので、気流の発
生・停止・流量の調節等は、極めてすみかに行う
ことができ、送風機などのようにフアンの慣性な
どによる制御遅れなどの不都合を完全に防止でき
る。さらに、圧電振動子5の駆動電圧を第2図a
からb又はcのように調節するのみで簡単に流量
調節を行うことができる。
周波数で駆動することができるので、気流の発
生・停止・流量の調節等は、極めてすみかに行う
ことができ、送風機などのようにフアンの慣性な
どによる制御遅れなどの不都合を完全に防止でき
る。さらに、圧電振動子5の駆動電圧を第2図a
からb又はcのように調節するのみで簡単に流量
調節を行うことができる。
第4図は、本発明の他の実施例を示す断面図で
あり、第3図と同符号は相当物である。
あり、第3図と同符号は相当物である。
第4図において、11はガイドであつて、矢印
で示した気流に沿つてその囲りに設けられてい
る。この構成により加圧室2の空気は第3図の実
施例の場合と同様のメカニズムでノズル4から噴
出されてしまうので、その結果は負圧力が発生
し、吸込口13より空気が加圧室2に吸い込まれ
るように構成することができる。
で示した気流に沿つてその囲りに設けられてい
る。この構成により加圧室2の空気は第3図の実
施例の場合と同様のメカニズムでノズル4から噴
出されてしまうので、その結果は負圧力が発生
し、吸込口13より空気が加圧室2に吸い込まれ
るように構成することができる。
第5図は、さらに他の実施例で、第4図と同符
号は相当物である。第5図は空気室12と吸込口
13とを連通孔14,15、通路16で連結した
構成であり、その気流噴出メカニズムは第3図の
実施例と同じである。すなわち、ノズル板3の両
側にガイド11のある空気室12,吸込口13の
ある加圧室2が設けられているが、空気室12と
加圧室2の、それぞれ放射インピーダンスが異な
るように設計されているものである。
号は相当物である。第5図は空気室12と吸込口
13とを連通孔14,15、通路16で連結した
構成であり、その気流噴出メカニズムは第3図の
実施例と同じである。すなわち、ノズル板3の両
側にガイド11のある空気室12,吸込口13の
ある加圧室2が設けられているが、空気室12と
加圧室2の、それぞれ放射インピーダンスが異な
るように設計されているものである。
上記第4図,第5図のように、ノズル4の前方
に発生する気流に沿つて、その囲りにガイド11
を設けることにより、気流の流れ方向を自由に選
んだり、気流通路を密閉化したりすることが可能
である。また、流体の吸い上げポンプ作用を発生
することが可能である。
に発生する気流に沿つて、その囲りにガイド11
を設けることにより、気流の流れ方向を自由に選
んだり、気流通路を密閉化したりすることが可能
である。また、流体の吸い上げポンプ作用を発生
することが可能である。
第6図は、本発明の他の実施例であり、第1図
と同符号は相当物である。
と同符号は相当物である。
図において、圧電振動子5は、同筒状であり、
振動方向は図の矢印のように縦効果による振動で
あつて、この振動によりノズル板3のたわみ振動
が励起されてノズル4がその軸方向に加振される
のである。
振動方向は図の矢印のように縦効果による振動で
あつて、この振動によりノズル板3のたわみ振動
が励起されてノズル4がその軸方向に加振される
のである。
第7図は、さらに他の実施例であり第1図と同
符号は相当物である。
符号は相当物である。
第7図において圧電振動子5は、第6図のよう
に同筒状であるが、その振動は図のように径方向
振動であり、これにより、ノズル板3のためみ振
動が励起され、ノズル4が加振される構成であ
る。
に同筒状であるが、その振動は図のように径方向
振動であり、これにより、ノズル板3のためみ振
動が励起され、ノズル4が加振される構成であ
る。
このような本発明を適用した送風装置を考える
と種々の有効な応用が可能である。 例えば、第
8図に示すように、半導体17の放熱フイン18
に本発明の一実施例である第1図のような送風装
置19によつて冷却気流を送風することができ、
極めて簡単なスポツト送風装置を実現できる。
と種々の有効な応用が可能である。 例えば、第
8図に示すように、半導体17の放熱フイン18
に本発明の一実施例である第1図のような送風装
置19によつて冷却気流を送風することができ、
極めて簡単なスポツト送風装置を実現できる。
また第9図のように、第1図のような送風装置
19を本体20に複数個設けて、実質上、面21
からの面送風を行うことができる送風装置を構成
することができ、回転機を有しない静かな扇風機
等に応用することができる。
19を本体20に複数個設けて、実質上、面21
からの面送風を行うことができる送風装置を構成
することができ、回転機を有しない静かな扇風機
等に応用することができる。
さらに第10図は、他の応用例を示し、部屋2
2の天井23に第1図の送風装置19を複数個設
け、室内温度分布を改善するためのサーキユレー
タや、もしくは、冷暖房気の天井裏からの噴出装
置等に応用することができる。
2の天井23に第1図の送風装置19を複数個設
け、室内温度分布を改善するためのサーキユレー
タや、もしくは、冷暖房気の天井裏からの噴出装
置等に応用することができる。
また他にも、応用例は示していないが水などの
液体の流れ発生等も可能である。
液体の流れ発生等も可能である。
以上に述べたように本発明は、開口を有する電
気的振動子とノズル板とをノズルが開口のほぼ中
央に位置するように装着して基体に取りつける構
成とし、かつ、共振周波数近傍の周波数の交流電
圧を電気的振動子に供給する構成としたから、加
圧室を密閉構造にすることなく、しかも極めて高
効率で流体を噴出することができる。従つて、極
めて構成が簡単でコンパクトであり低価格な流体
の流れ発生装置を提供することができ、かつ、回
転部分等を全く必要とせずに流体の流れを形成す
ることができるので、保守が簡単であり、長寿命
であると共に、極めて騒音の少ない流体の流れ発
生装置を提供できる。さらに、その流量制御を極
めて簡単にかつ広範囲に行うことができ、しかも
制御遅れのほとんどない極めて制御性に富んだ流
体の流れ発生装置を提供することができる。
気的振動子とノズル板とをノズルが開口のほぼ中
央に位置するように装着して基体に取りつける構
成とし、かつ、共振周波数近傍の周波数の交流電
圧を電気的振動子に供給する構成としたから、加
圧室を密閉構造にすることなく、しかも極めて高
効率で流体を噴出することができる。従つて、極
めて構成が簡単でコンパクトであり低価格な流体
の流れ発生装置を提供することができ、かつ、回
転部分等を全く必要とせずに流体の流れを形成す
ることができるので、保守が簡単であり、長寿命
であると共に、極めて騒音の少ない流体の流れ発
生装置を提供できる。さらに、その流量制御を極
めて簡単にかつ広範囲に行うことができ、しかも
制御遅れのほとんどない極めて制御性に富んだ流
体の流れ発生装置を提供することができる。
このように、本発明は従来の送風機,ポンプ等
の流体流れ発生装置に比べ、全く異つた構成で、
かつ、数々の優れた特徴と効果を有し、空気,燃
料ガス,水等の流体の流れを必要とする場合への
広範囲な応用が可能であり、その工業的価値は極
めて多大なものである。
の流体流れ発生装置に比べ、全く異つた構成で、
かつ、数々の優れた特徴と効果を有し、空気,燃
料ガス,水等の流体の流れを必要とする場合への
広範囲な応用が可能であり、その工業的価値は極
めて多大なものである。
第1図は本発明の一実施例にかかる流れ発生装
置の断面図、第2図a〜cは同装置の圧電振動子
駆動電圧波形図、第3図は同装置の動作を説明す
るために用いた断面図、第4図は本発明の他の実
施例にかかる流れ発生装置の断面図、第5図は同
装置のさらに他の実施例を示す断面図、第6図は
同装置のさらに他の実施例を示す断面図、第7図
は同装置のさらに他の実施例を示す断面図、第8
図は第1図の流れ発生装置の応用例を示す斜視
図、第9図は同装置の他の応用例を示す斜視図、
第10図は同装置のさらに他の応用例を示す断面
図である。 2……加圧室、4……ノズル、5……圧電振動
子(電気的振動子)。
置の断面図、第2図a〜cは同装置の圧電振動子
駆動電圧波形図、第3図は同装置の動作を説明す
るために用いた断面図、第4図は本発明の他の実
施例にかかる流れ発生装置の断面図、第5図は同
装置のさらに他の実施例を示す断面図、第6図は
同装置のさらに他の実施例を示す断面図、第7図
は同装置のさらに他の実施例を示す断面図、第8
図は第1図の流れ発生装置の応用例を示す斜視
図、第9図は同装置の他の応用例を示す斜視図、
第10図は同装置のさらに他の応用例を示す断面
図である。 2……加圧室、4……ノズル、5……圧電振動
子(電気的振動子)。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 流体が満たされた加圧室を有する基体と、前
記加圧室に臨むよう設けたノズルを有するノズル
板と、開口を有し、この開口のほぼ中央に前記ノ
ズルが位置するよう前記ノズル板に装着された電
気的振動子とを備え、前記ノズル板と電気的振動
子とを前記基体に装着すると共に、前記電気的振
動子の共振周波数近傍の周波数の交流電圧をこの
電気的振動子に供給する構成とした流れ発生装
置。 2 ノズルより発生する流体の流れに沿う流れガ
イドを設けた特許請求の範囲第1項記載の流れ発
生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57023855A JPS58140491A (ja) | 1982-02-16 | 1982-02-16 | 流れ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57023855A JPS58140491A (ja) | 1982-02-16 | 1982-02-16 | 流れ発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58140491A JPS58140491A (ja) | 1983-08-20 |
JPS642793B2 true JPS642793B2 (ja) | 1989-01-18 |
Family
ID=12122036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57023855A Granted JPS58140491A (ja) | 1982-02-16 | 1982-02-16 | 流れ発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58140491A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008069266A1 (ja) * | 2006-12-09 | 2008-06-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電マイクロブロア |
EP3073114A1 (en) | 2008-06-03 | 2016-09-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric micro-blower |
CN111779656A (zh) * | 2020-06-17 | 2020-10-16 | 长春大学 | 一种双摆式压电风机 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61265397A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体駆動装置 |
JPS61265398A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体駆動装置 |
JPS62159798A (ja) * | 1986-01-08 | 1987-07-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体駆動装置 |
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