JPS6416052U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6416052U JPS6416052U JP11102087U JP11102087U JPS6416052U JP S6416052 U JPS6416052 U JP S6416052U JP 11102087 U JP11102087 U JP 11102087U JP 11102087 U JP11102087 U JP 11102087U JP S6416052 U JPS6416052 U JP S6416052U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical body
- hot cathode
- ion source
- axial direction
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例によるイオン源およ
びイオン源まわりの構成を示す装置要部の構成図
、第２図は第１図の装置を矢印Ｐの方向にみた正
面図、第３図は従来のイオン注入装置の構成例を
示す説明図、第４図は従来のイオン注入装置にお
けるイオン源およびイオン源まわりの構成を示す
装置要部の構成図である。 １，１０１……熱陰極、２，１０２……筒状体
、２ａ，１０２ａ……スリツト、２９……直流電
源、１０２ｂ……閉鎖体、１０５……絶縁体。
びイオン源まわりの構成を示す装置要部の構成図
、第２図は第１図の装置を矢印Ｐの方向にみた正
面図、第３図は従来のイオン注入装置の構成例を
示す説明図、第４図は従来のイオン注入装置にお
けるイオン源およびイオン源まわりの構成を示す
装置要部の構成図である。 １，１０１……熱陰極、２，１０２……筒状体
、２ａ，１０２ａ……スリツト、２９……直流電
源、１０２ｂ……閉鎖体、１０５……絶縁体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 周壁に軸線方向のスリツトが形成されるとと
もに内側に軸線方向の線状もしくは細棒状の熱陰
極が配されこの熱陰極に対して正極性に課電され
る、両端に底面を備えた筒状体と前記熱陰極とを
備えてなり、この筒状体内へ導入された原料ガス
からイオンを生成して前記スリツトから筒状体外
部へイオンを供給するイオン源において、前記線
状もしくは細棒状熱陰極の長さが前記筒状体の軸
線方向の内側長さより短く形成されるとともに該
筒状体周壁の前記スリツト位置を外れた位置に前
記熱陰極より長い軸線方向の開口が形成され、こ
の開口を挿通する支持部材により前記熱陰極が前
記筒状体外部へ取り出し可能に支持されているこ
とを特徴とするイオン源。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項に記載のイオ
ン源において、熱陰極を筒状体外部へ取り出し可
能に支持している支持部材は、この支持部材によ
つて挿通される筒状体の開口を筒状体の外側から
閉鎖する大きさに形成され筒状体と接触したとき
に同電位となる金属製閉鎖体を前記開口が閉鎖状
態となるように絶縁体を介して担持していること
を特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11102087U JPS6416052U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11102087U JPS6416052U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6416052U true JPS6416052U (ja) | 1989-01-26 |
Family
ID=31348708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11102087U Pending JPS6416052U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6416052U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03222241A (ja) * | 1990-01-25 | 1991-10-01 | Tokyo Electron Ltd | イオン源装置 |
-
1987
- 1987-07-20 JP JP11102087U patent/JPS6416052U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03222241A (ja) * | 1990-01-25 | 1991-10-01 | Tokyo Electron Ltd | イオン源装置 |
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