JPS649347U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS649347U JPS649347U JP10335287U JP10335287U JPS649347U JP S649347 U JPS649347 U JP S649347U JP 10335287 U JP10335287 U JP 10335287U JP 10335287 U JP10335287 U JP 10335287U JP S649347 U JPS649347 U JP S649347U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical
- vacuum container
- ion source
- holding member
- movable
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000037427 ion transport Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のＥＣＲイオン源の
要部を示す断面図、第２図は第１図の−線に
沿う断面図、第３図は集束用円筒電極と取付部材
の固定方法例を示す図、第４図は本考案の他の実
施例を示す要部断面図、第５図は従来のＥＣＲイ
オン源を示す図である。 １……イオン生成用真空容器、２……集束用電
極、３……保持用部材、４……取付用部材、５…
…引出し電極、６……絶縁スペーサー、７……締
結部材、８……イオン輸送用真空容器、９……高
周波導波管、１０……ガス導入部、１１……共鳴
磁場生成用コイル。
要部を示す断面図、第２図は第１図の−線に
沿う断面図、第３図は集束用円筒電極と取付部材
の固定方法例を示す図、第４図は本考案の他の実
施例を示す要部断面図、第５図は従来のＥＣＲイ
オン源を示す図である。 １……イオン生成用真空容器、２……集束用電
極、３……保持用部材、４……取付用部材、５…
…引出し電極、６……絶縁スペーサー、７……締
結部材、８……イオン輸送用真空容器、９……高
周波導波管、１０……ガス導入部、１１……共鳴
磁場生成用コイル。
Claims (1)
- 筒状をなすイオン輸送用真空容器の内部に同軸
に円筒状の集束用電極を保持用部材を介して軸方
向移動可能に取付けたことを特徴とするＥＣＲイ
オン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335287U JPS649347U (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335287U JPS649347U (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS649347U true JPS649347U (ja) | 1989-01-19 |
Family
ID=31334105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10335287U Pending JPS649347U (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS649347U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6190303U (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-12 |
-
1987
- 1987-07-07 JP JP10335287U patent/JPS649347U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6190303U (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-12 |