JPS6399954A - インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法Info
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- JPS6399954A JPS6399954A JP24598486A JP24598486A JPS6399954A JP S6399954 A JPS6399954 A JP S6399954A JP 24598486 A JP24598486 A JP 24598486A JP 24598486 A JP24598486 A JP 24598486A JP S6399954 A JPS6399954 A JP S6399954A
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 9
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 101100348017 Drosophila melanogaster Nazo gene Proteins 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000012864 cross contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は、圧電体プレートとガラスの接合方法に関す
るものであシ、とくに微細精密品の接合方法として効果
を発揮するものである。
るものであシ、とくに微細精密品の接合方法として効果
を発揮するものである。
PbO,ZrO*、TiOsなどt主要なM料として成
形・焼成の工程を経て製造される圧電セラミック材料は
、最近その応用が多岐にわたってきている。これを伴な
い圧電セラミック材料単体ではなく、他の部材と接着あ
るいは接合した複合構造体として使用される例が多くな
りつつある。
形・焼成の工程を経て製造される圧電セラミック材料は
、最近その応用が多岐にわたってきている。これを伴な
い圧電セラミック材料単体ではなく、他の部材と接着あ
るいは接合した複合構造体として使用される例が多くな
りつつある。
現状において、圧電セラミック同士および圧電セラミッ
クと異種材料(例えば金属、セラミック。
クと異種材料(例えば金属、セラミック。
ガラスなど)の接合方法として試みられているものは以
下の通シである。
下の通シである。
(1)有機系あるいは無機系接着剤を用いる方法(2)
ハンダ、ろう材を用いて接合する方法(3)半田ガラス
などの低融点酸化物ソルダーを用いて接合する方法 上記の方法はそれぞれ特徴をもっているので、それを活
かした用途に適用されている。しかしながら、圧電セラ
ミック材料を用いた超精密機構部品の接合方法としては
種々の問題点を有している。
ハンダ、ろう材を用いて接合する方法(3)半田ガラス
などの低融点酸化物ソルダーを用いて接合する方法 上記の方法はそれぞれ特徴をもっているので、それを活
かした用途に適用されている。しかしながら、圧電セラ
ミック材料を用いた超精密機構部品の接合方法としては
種々の問題点を有している。
例えばインクジェット記録ヘッドには第1図に示す構成
のものがある。
のものがある。
第1図の(A)はインクジェット記録ヘッドの横断面図
、同図(B)はその縦断面図である。これらの図におい
て、1は圧電セラミックから成る一枚の平板状に成形さ
れた圧電体プレートである。この圧電体プレートには第
2図に詳細に示すようにインクキャビティ溝2およびこ
のインクキャビティ溝2に連通ずるインク供給路溝3お
よびインクノズルζ44が複数列形成されている。イン
クキャビティ溝2は2つの深溝部5,6および両深溝部
5.6間に設けられた浅溝部7からなる。
、同図(B)はその縦断面図である。これらの図におい
て、1は圧電セラミックから成る一枚の平板状に成形さ
れた圧電体プレートである。この圧電体プレートには第
2図に詳細に示すようにインクキャビティ溝2およびこ
のインクキャビティ溝2に連通ずるインク供給路溝3お
よびインクノズルζ44が複数列形成されている。イン
クキャビティ溝2は2つの深溝部5,6および両深溝部
5.6間に設けられた浅溝部7からなる。
さら忙第1図において、8は圧電体プレート1のインク
キャビティ溝およびインクノズル溝が形成された面に接
着または接合されたガラスからなるカバープレートであ
る。しかし、圧電体プレート1とカバープレート8との
間ではインクキャビティ溝2からインクキャビティ2人
が、インクノズル溝4からインクノズル4Aがインク供
給路溝3からインク供給路3Aがそれぞれ形成されてい
る。そして、インクキャビティ2人においては浅溝部7
を形成する圧電体膨出部9に電圧印加用電極10がそれ
ぞれ設けられ、その電極10に対応する圧電体プレート
1の下面に電極11がそれぞれ設けられている。
キャビティ溝およびインクノズル溝が形成された面に接
着または接合されたガラスからなるカバープレートであ
る。しかし、圧電体プレート1とカバープレート8との
間ではインクキャビティ溝2からインクキャビティ2人
が、インクノズル溝4からインクノズル4Aがインク供
給路溝3からインク供給路3Aがそれぞれ形成されてい
る。そして、インクキャビティ2人においては浅溝部7
を形成する圧電体膨出部9に電圧印加用電極10がそれ
ぞれ設けられ、その電極10に対応する圧電体プレート
1の下面に電極11がそれぞれ設けられている。
上記のように構成されたインクジェット記録ヘッドにお
いて、電極10.11間に電圧を印加すると、両電極1
0.11間の圧電体が膨張して、インクキャビティ2人
内の体積を減少させ、その結果インクキャビティ2人内
のインクが当該インクキャビティ2人に連通するインク
ノズル4Aから液滴状に噴射され、図示していない記録
担体上にもたらされる。第1図ないし第2図に示した実
施例においては、第3図に詳細に示すように、ノズル4
Aの大きさは40μm×40μm、ノズル4A、4Aの
間隔Cはたとえば1mmに形成されている。さらに圧電
体プレートの厚さLはQ、 5 mm。
いて、電極10.11間に電圧を印加すると、両電極1
0.11間の圧電体が膨張して、インクキャビティ2人
内の体積を減少させ、その結果インクキャビティ2人内
のインクが当該インクキャビティ2人に連通するインク
ノズル4Aから液滴状に噴射され、図示していない記録
担体上にもたらされる。第1図ないし第2図に示した実
施例においては、第3図に詳細に示すように、ノズル4
Aの大きさは40μm×40μm、ノズル4A、4Aの
間隔Cはたとえば1mmに形成されている。さらに圧電
体プレートの厚さLはQ、 5 mm。
インクキャビティ2人の@Boは0.7 mm、浅溝部
7つまり圧電体膨出部9の幅BlはQ、6mmそして深
溝部5,6のl[B2は50μmに形成されている。
7つまり圧電体膨出部9の幅BlはQ、6mmそして深
溝部5,6のl[B2は50μmに形成されている。
かかる微細で精密な構成においては、圧電体プレート1
とカバープレート8の接合が重要な要素技術となる。例
えば、前記の有機系接着剤を用いる場合は低温で接合で
きる利点を有するが、接着剤がノズル4Aに侵入してイ
ンクノズルの詰まりが発生しやすいこと、さらにインク
中に金波れる溶剤によって接着剤が侵食され隣接するイ
ンクキャビティ間でインクのクロスト−7を起こしやす
いなどの問題がある。無機系接着剤も低温で硬化し、対
溶剤性は優れているが、接合部が多孔質にな9やすくイ
ンクのクロスト−7が発生しやすいことが欠点となる。
とカバープレート8の接合が重要な要素技術となる。例
えば、前記の有機系接着剤を用いる場合は低温で接合で
きる利点を有するが、接着剤がノズル4Aに侵入してイ
ンクノズルの詰まりが発生しやすいこと、さらにインク
中に金波れる溶剤によって接着剤が侵食され隣接するイ
ンクキャビティ間でインクのクロスト−7を起こしやす
いなどの問題がある。無機系接着剤も低温で硬化し、対
溶剤性は優れているが、接合部が多孔質にな9やすくイ
ンクのクロスト−7が発生しやすいことが欠点となる。
一方、前記の(2)項に記載したハンダ、ろう材を用い
る方法は、圧電体プレートとガラス表面にNi、Auま
たはCuなどのメッキを施す必要があり、さらにハンダ
やろう材が溶けた際にノズルに侵入して詰まりが発生し
やすいなどの欠点を有している。半田ガラスなどの低融
点酸化物ソルダーを用いる(3)項の方法も接合表面に
対する酸化物ソルダー粉末の塗布時およびその溶融時に
ノズルの詰まりを発生しやすいことが欠点となる。さら
に(21,(3)項の方法は有機系あるいは無機系接着
剤に比べて接合時の温度が高温となるため、圧電体プレ
ートとガラスプレートの線膨張係数(α)に整合性がな
いと熱応力が発生し、それが原因となって圧電体プレー
トもしくはガラスプレートのいずれかが割れてしまうと
いう問題もある。
る方法は、圧電体プレートとガラス表面にNi、Auま
たはCuなどのメッキを施す必要があり、さらにハンダ
やろう材が溶けた際にノズルに侵入して詰まりが発生し
やすいなどの欠点を有している。半田ガラスなどの低融
点酸化物ソルダーを用いる(3)項の方法も接合表面に
対する酸化物ソルダー粉末の塗布時およびその溶融時に
ノズルの詰まりを発生しやすいことが欠点となる。さら
に(21,(3)項の方法は有機系あるいは無機系接着
剤に比べて接合時の温度が高温となるため、圧電体プレ
ートとガラスプレートの線膨張係数(α)に整合性がな
いと熱応力が発生し、それが原因となって圧電体プレー
トもしくはガラスプレートのいずれかが割れてしまうと
いう問題もある。
したがって、前記したインクジェット記録ヘッドにおい
ては、従来の接合方法ではその目的および機能を満足す
ることは困難であシ、簡便でかつ信頼性に富んだ接合方
法の考案が要請されている。
ては、従来の接合方法ではその目的および機能を満足す
ることは困難であシ、簡便でかつ信頼性に富んだ接合方
法の考案が要請されている。
この発明は、以上の点に鑑みてなされ、微細で精密な構
成を可能とする圧電体プレートとガラスの接合方法の提
供を目的とする。
成を可能とする圧電体プレートとガラスの接合方法の提
供を目的とする。
前記の目的は、圧電体プレートと接合するガラスの材質
としてソーダ石灰ガラスを選定し、接合条件を以下の範
囲に。限定することによυ達成することができる。
としてソーダ石灰ガラスを選定し、接合条件を以下の範
囲に。限定することによυ達成することができる。
接合温度: 500”〜750℃
負荷荷重: 0.5〜500 g/am”加熱保持時間
:5〜59m1n 〔発明の実施例〕 ガラス同士あるいはガラスとアルミナ、ジルコニウムな
どのセラミックは融接または熱圧着などの方法によって
接合される場合がある。融接はガラスをその作業点(溶
融点)近傍に加熱して半溶融状態にさせ、相手材に接合
さすものである。一方、熱圧着はガラスをその軟化点以
上かつ作業点以下の温度範囲に加熱し、この状態で加圧
負荷することによりガラス同士あるいはガラスと異種材
料を接合する方法である。これらの方法であれば、強固
な結合力をもった接合部を得ることが可能である。しか
しながら、その接合時の温度はかなりの高温となるため
、接合材同士の線膨張係数(α)が整合していないとそ
のいずれか一方にクラックが発生しやすいこと、また接
合条件が不適切であるとガラスの粘性流動(クリープ)
が大となって形状保持が困雅になるなどの問題点も有し
ている。
:5〜59m1n 〔発明の実施例〕 ガラス同士あるいはガラスとアルミナ、ジルコニウムな
どのセラミックは融接または熱圧着などの方法によって
接合される場合がある。融接はガラスをその作業点(溶
融点)近傍に加熱して半溶融状態にさせ、相手材に接合
さすものである。一方、熱圧着はガラスをその軟化点以
上かつ作業点以下の温度範囲に加熱し、この状態で加圧
負荷することによりガラス同士あるいはガラスと異種材
料を接合する方法である。これらの方法であれば、強固
な結合力をもった接合部を得ることが可能である。しか
しながら、その接合時の温度はかなりの高温となるため
、接合材同士の線膨張係数(α)が整合していないとそ
のいずれか一方にクラックが発生しやすいこと、また接
合条件が不適切であるとガラスの粘性流動(クリープ)
が大となって形状保持が困雅になるなどの問題点も有し
ている。
特に、圧電セラミックにはキュリ一点が存在し、この温
度以下ではその熱膨張はごくわずかであるが、キュリ一
点以上の温度では熱膨張が急激に大きくなるという特異
な性質をもっている。このため、圧電体プレートとガラ
スの接合に当って、融接もしくは熱圧着の方法を用いた
例は本発明者らの知る限夛では皆無である。
度以下ではその熱膨張はごくわずかであるが、キュリ一
点以上の温度では熱膨張が急激に大きくなるという特異
な性質をもっている。このため、圧電体プレートとガラ
スの接合に当って、融接もしくは熱圧着の方法を用いた
例は本発明者らの知る限夛では皆無である。
未発明者らは、前記の融接と熱圧着の利点とくに後者は
一種の固相接合であるため、インクジェット記録ヘッド
の接合方法に適用した場合の効果に着目し、この発想に
もとづいて一連の試験研究を行った結果本発明の要点に
記載した条件に限定すれば、圧電体プレートとガラスに
おいて良好な接合部の得られることを確認できたもので
ある。
一種の固相接合であるため、インクジェット記録ヘッド
の接合方法に適用した場合の効果に着目し、この発想に
もとづいて一連の試験研究を行った結果本発明の要点に
記載した条件に限定すれば、圧電体プレートとガラスに
おいて良好な接合部の得られることを確認できたもので
ある。
以下、この発明を達成した経過について詳細に説明する
。本発明では、まず圧電体プレートと良好な接合性を示
すガラス材質の選定に関する試験を行った。ガラスは入
手しやすく(市販されているもの)、かつ板状に加工し
やすいものという観点から選定した。ガラス材質と、そ
の線膨張係数(α)と軟化点9作業点などを第1表に示
す。
。本発明では、まず圧電体プレートと良好な接合性を示
すガラス材質の選定に関する試験を行った。ガラスは入
手しやすく(市販されているもの)、かつ板状に加工し
やすいものという観点から選定した。ガラス材質と、そ
の線膨張係数(α)と軟化点9作業点などを第1表に示
す。
第1表
々お、ガラスの形状は30X50X1〜1.21とした
。
。
一方、本発明で用いた圧電体プレートの組成はPbT
103−PbZr03−Pb (NiVs Nb vs
)03 テあり、その形状は30X50X0.5tで
ある。この圧電体プレートの一方の表面には1mm間隔
で、幅0.1 mm 、深さ0.15 mmの溝をダイ
シングソーで加工した。この両者を用いて第2表に示す
条件で接合実験を行い、接合の有無、クラック発生有無
および圧電体プレートの溝に対するガラスの詰まシなど
を観察し、その良否を判定した。その結果も第2表に示
す。
103−PbZr03−Pb (NiVs Nb vs
)03 テあり、その形状は30X50X0.5tで
ある。この圧電体プレートの一方の表面には1mm間隔
で、幅0.1 mm 、深さ0.15 mmの溝をダイ
シングソーで加工した。この両者を用いて第2表に示す
条件で接合実験を行い、接合の有無、クラック発生有無
および圧電体プレートの溝に対するガラスの詰まシなど
を観察し、その良否を判定した。その結果も第2表に示
す。
第2表
第2表に示した全てのガラス材質とも圧電体プレートと
接合は可能であった。しかしながら、ソーダ石灰ガラス
以外ではガラスの方にクラックが発生した。この傾向は
、第2表に示した接合条件だけではなく接合温度、負荷
荷重、保持時間の組合せを種々変化させた場合でも同様
であった。本発明のために選定したガラスの組成をみる
と、5in2の含有fは石英ガラス→硼硅酸ガラス→バ
リウム硼硅酸ガラス→ソーダ石灰ガラスの頭に低下し、
ソーダ石灰ガラスが最も少なくなっている。
接合は可能であった。しかしながら、ソーダ石灰ガラス
以外ではガラスの方にクラックが発生した。この傾向は
、第2表に示した接合条件だけではなく接合温度、負荷
荷重、保持時間の組合せを種々変化させた場合でも同様
であった。本発明のために選定したガラスの組成をみる
と、5in2の含有fは石英ガラス→硼硅酸ガラス→バ
リウム硼硅酸ガラス→ソーダ石灰ガラスの頭に低下し、
ソーダ石灰ガラスが最も少なくなっている。
逆に、NazO,KzOなどのアルカリ成分はソーダ石
灰ガラスが最も多く含有している。したがって、クラッ
クの発生は圧電体プレートのpbイオンがガラスの方に
移行し、5i02と結合し、それが結晶化したために発
生したのではないかと推定した。
灰ガラスが最も多く含有している。したがって、クラッ
クの発生は圧電体プレートのpbイオンがガラスの方に
移行し、5i02と結合し、それが結晶化したために発
生したのではないかと推定した。
つまり、ソーダ石灰ガラスは5iOzの含有量が少ない
ため、クラックが発生しなかったと考えられた。
ため、クラックが発生しなかったと考えられた。
上記の結果から、インクジェット記録ヘッドの圧電体プ
レートと接合するガラス材質としてはソーダ石灰ガラス
が最適であることを確認した。
レートと接合するガラス材質としてはソーダ石灰ガラス
が最適であることを確認した。
次に、ガラス材質としてソーダ石灰ガラスを使用して、
圧電体プレートとの最適接合条件を見出すための実験を
行い、以下の範囲が最適であることを確認した。
圧電体プレートとの最適接合条件を見出すための実験を
行い、以下の範囲が最適であることを確認した。
0接合温度: s o o”〜750℃0負荷荷重:0
.5〜500g/cm”O加熱保持時間:5〜69m1
n 上記の範囲に限定した理由は次の通りである。圧電体プ
レートとソーダ石英ガラスを接合するに当って、接合温
度が高く、負荷荷重が大で、保持時間の長い方が両者の
接合部の強度は向上してくる。
.5〜500g/cm”O加熱保持時間:5〜69m1
n 上記の範囲に限定した理由は次の通りである。圧電体プ
レートとソーダ石英ガラスを接合するに当って、接合温
度が高く、負荷荷重が大で、保持時間の長い方が両者の
接合部の強度は向上してくる。
しかし、接合温度が750℃以上になるとソーダ石灰ガ
ラスの粘性流動が大となって負荷荷重が小さく、かつ保
持時間が短かい場合でも溝に対してガラスが侵入してし
まい、ノズルの詰t)の原因と々るため不可であった。
ラスの粘性流動が大となって負荷荷重が小さく、かつ保
持時間が短かい場合でも溝に対してガラスが侵入してし
まい、ノズルの詰t)の原因と々るため不可であった。
一方、500℃以下ではソーダ石灰ガラスの軟化が不十
分で、強固に接合させるためKはその負荷荷重を500
g/am”以上にすることが必要であった。しかし、
負荷荷重が500 g/cm2以上になるとソーダ石灰
ガラスが破壊する確率が大きくなるため、接合温度とし
ては500℃以上が必要であった。
分で、強固に接合させるためKはその負荷荷重を500
g/am”以上にすることが必要であった。しかし、
負荷荷重が500 g/cm2以上になるとソーダ石灰
ガラスが破壊する確率が大きくなるため、接合温度とし
ては500℃以上が必要であった。
負荷荷重は500°〜750℃の接合温度において0.
5g/Crn”以下では、圧電体プレートとソーダ石灰
ガラスとの接合が不十分で、インクのクロストークが発
生しやすいため、これ以上の負荷荷重が必要であった。
5g/Crn”以下では、圧電体プレートとソーダ石灰
ガラスとの接合が不十分で、インクのクロストークが発
生しやすいため、これ以上の負荷荷重が必要であった。
逆に500 g/cm”以上になると、接合温度が低い
場合はソーダ石灰ガラスが割9やすく、さらに接合温度
が高い場合はソーダ石灰ガラスのクリープが大となって
溝に対する侵入が多くなるため、不可であった。加熱保
持時間も、5m1n以下で拡圧電体プレートとソーダ石
灰ガラスの表面拡散およびガラスの変形が小さすぎて、
強固な場合を得ることはできない。逆に5Qmin以上
になるとソーダ石灰ガラスのクリープ変形が大となって
、溝に対して侵入し、ノズルの詰まシ原因になる丸め、
加熱保持時間はこれ以下でなければならないことを実験
的に確認した。
場合はソーダ石灰ガラスが割9やすく、さらに接合温度
が高い場合はソーダ石灰ガラスのクリープが大となって
溝に対する侵入が多くなるため、不可であった。加熱保
持時間も、5m1n以下で拡圧電体プレートとソーダ石
灰ガラスの表面拡散およびガラスの変形が小さすぎて、
強固な場合を得ることはできない。逆に5Qmin以上
になるとソーダ石灰ガラスのクリープ変形が大となって
、溝に対して侵入し、ノズルの詰まシ原因になる丸め、
加熱保持時間はこれ以下でなければならないことを実験
的に確認した。
以上説明したように、本発明は圧電体プレートとガラス
を接合するに当り、ガラス材質としてソーダ石灰ガラス
を選定し、かつその接合条件を限定することにより、従
来の接合方法に比べて強固で信頼性に富んだ接合部を得
ることができるので、マルチノズル式インクジェット記
録ヘッドの接合方法として最適であり、さらに圧電体を
用いた精密機構部品の接合方法としても適用可能である
という効果を有する。
を接合するに当り、ガラス材質としてソーダ石灰ガラス
を選定し、かつその接合条件を限定することにより、従
来の接合方法に比べて強固で信頼性に富んだ接合部を得
ることができるので、マルチノズル式インクジェット記
録ヘッドの接合方法として最適であり、さらに圧電体を
用いた精密機構部品の接合方法としても適用可能である
という効果を有する。
第1図は本発明に関するマルチノズル式インクジェット
記録ヘッドの構成の一例を示す横断面図および縦断面図
、第2図は第1図の圧電体プレートを示す平面図、横断
面図および縦断面図、第3図は第1図の構成の一部拡大
断面図である。 1:圧電体プレート、2:インクキャビティ溝、2人:
インクキャビティ、3:インク供給路溝、3A:インク
供給路、4:インクノズル溝、4A:インクノズル、5
,6:インクキャビティ深溝部、7:インクキャビティ
浅溝部、8:カバープレート、9:圧電体膨出部、10
,11:電圧印加用電極。 揺 lriJ Φ 第 2 図 第 、5 図
記録ヘッドの構成の一例を示す横断面図および縦断面図
、第2図は第1図の圧電体プレートを示す平面図、横断
面図および縦断面図、第3図は第1図の構成の一部拡大
断面図である。 1:圧電体プレート、2:インクキャビティ溝、2人:
インクキャビティ、3:インク供給路溝、3A:インク
供給路、4:インクノズル溝、4A:インクノズル、5
,6:インクキャビティ深溝部、7:インクキャビティ
浅溝部、8:カバープレート、9:圧電体膨出部、10
,11:電圧印加用電極。 揺 lriJ Φ 第 2 図 第 、5 図
Claims (1)
- 1)圧電体プレートとガラスを重ね合せ加熱、加圧する
ことにより接合する方法において、前記ガラスの材質と
してソーダ石灰ガラスを使用し、加熱温度が500°〜
750℃、負荷荷重が0.5〜500g/cm^2、加
熱保持時間が5〜60分間の範囲であることを特徴とす
る圧電体プレートとガラスの接合方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61245984A JPH078577B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61245984A JPH078577B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6399954A true JPS6399954A (ja) | 1988-05-02 |
JPH078577B2 JPH078577B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=17141743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61245984A Expired - Lifetime JPH078577B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH078577B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57170763A (en) * | 1981-04-16 | 1982-10-21 | Fujitsu Ltd | Preparation of multinozzle head |
-
1986
- 1986-10-16 JP JP61245984A patent/JPH078577B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57170763A (en) * | 1981-04-16 | 1982-10-21 | Fujitsu Ltd | Preparation of multinozzle head |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH078577B2 (ja) | 1995-02-01 |
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