JPH02281955A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体噴射記録ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH02281955A JPH02281955A JP10371689A JP10371689A JPH02281955A JP H02281955 A JPH02281955 A JP H02281955A JP 10371689 A JP10371689 A JP 10371689A JP 10371689 A JP10371689 A JP 10371689A JP H02281955 A JPH02281955 A JP H02281955A
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- liquid
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Links
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、液体噴射式プリンター（通称インクジェット
プリンター）に用いられる記録ヘッドの製造方法に関す
るものである。
プリンター）に用いられる記録ヘッドの製造方法に関す
るものである。
従来の液体噴射記録ヘッドの流路形成のためのガラス接
合方法は、第４図（ａ）に示す予めフォトリソ技術によ
り液体流路となる満１を形成した基盤ガラス２と第４図
（ｂ）に示す、その基盤ガラス２に対向して接合する薄
板ガラス３を第４図（Ｃ）に示す様に重ね合わせ、所定
の荷重にて治具に挟持して、基盤ガラス２及び薄板ガラ
ス３の融点近くまで加熱し溶融圧着している。
合方法は、第４図（ａ）に示す予めフォトリソ技術によ
り液体流路となる満１を形成した基盤ガラス２と第４図
（ｂ）に示す、その基盤ガラス２に対向して接合する薄
板ガラス３を第４図（Ｃ）に示す様に重ね合わせ、所定
の荷重にて治具に挟持して、基盤ガラス２及び薄板ガラ
ス３の融点近くまで加熱し溶融圧着している。
〔発明が解決しようとする課題］
しかし、前述の従来技術では加熱温度がガラスの融点近
くになる事および治具の挟持荷重が大きい事により第５
図の流路断面図に示す様に液体流路６の形状が変形して
しまったり、薄板ガラス３が割れてしまう、この液体流
路の深さは１００μｍ程度であり変形量が２５μｍ程度
までばらついてしまうので個々の液体噴射口からの飛翔
する液体の体積のばらつきが大きく、個々の液体噴射口
からの飛翔時間がばらついてしまい印字ずれを生じ易く
印字品質が落ちる。また、その影響は印字速度を上げる
と大きくなるので高速印字化が図れないという課題を有
する。そこで本発明はこのような課題を解決するもので
、その目的とするところは液体噴射記録ヘッドのガラス
接合時の液体流路の変形をな（し印字品質の向上を図る
とともに高速印字化を可能とすることである。また、製
造時の薄板ガラスの割れ欠けをなくし高歩留りな液体噴
射記録ヘッドの製造方法を提供するところにある。
くになる事および治具の挟持荷重が大きい事により第５
図の流路断面図に示す様に液体流路６の形状が変形して
しまったり、薄板ガラス３が割れてしまう、この液体流
路の深さは１００μｍ程度であり変形量が２５μｍ程度
までばらついてしまうので個々の液体噴射口からの飛翔
する液体の体積のばらつきが大きく、個々の液体噴射口
からの飛翔時間がばらついてしまい印字ずれを生じ易く
印字品質が落ちる。また、その影響は印字速度を上げる
と大きくなるので高速印字化が図れないという課題を有
する。そこで本発明はこのような課題を解決するもので
、その目的とするところは液体噴射記録ヘッドのガラス
接合時の液体流路の変形をな（し印字品質の向上を図る
とともに高速印字化を可能とすることである。また、製
造時の薄板ガラスの割れ欠けをなくし高歩留りな液体噴
射記録ヘッドの製造方法を提供するところにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、二枚又は三
枚のガラス板を接合し液体流路を形成し該液体流路に圧
縮力を加え、該圧縮力により液体を飛翔させて記録する
液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記二枚又は
三枚のガラス板の接合面に低融点ガラスをスパッタある
いは蒸着により形成し該低融点ガラスを溶融し接合する
ことを特徴とする。
枚のガラス板を接合し液体流路を形成し該液体流路に圧
縮力を加え、該圧縮力により液体を飛翔させて記録する
液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記二枚又は
三枚のガラス板の接合面に低融点ガラスをスパッタある
いは蒸着により形成し該低融点ガラスを溶融し接合する
ことを特徴とする。
［実 施 例１
第１図は本発明の実施例における液体噴射記録ヘッドの
製造工程を示す斜視図である。第１図（ａ）に示す様に
ガラスにフォトリソ技術により液体流路となる満１を形
成した基盤ガラス２と第１図（ｂ）に示す薄板ガラス３
を接合する前に、基盤ガラス２及び薄板ガラス３の接合
面４またはどちらか一方の面にガラスの融点よりも十分
に低い融点の低融点ガラス５をスパック法又は蒸着法に
よって１０００人〜１００００人の厚みで形成する１本
実施例の場合、基盤ガラス２及び薄板ガラス３とも同一
材料でその融点が６５０〜７００℃のガラスを用い、低
融点ガラス５としてはその融点が３５０℃程度のものを
用いスパック法により形成した。この基盤ガラス２と薄
板ガラス３を第１図（ｃ）に示す様に対向させ治具に挟
み両側から荷重を加え約４５０℃まで加熱し３０分保持
し接合し液体流路６を形成する。この様にして一体とし
た液体噴射部の一部をカッティングして第１図（ｄ）に
示す様に液体噴射面７を形成する。
製造工程を示す斜視図である。第１図（ａ）に示す様に
ガラスにフォトリソ技術により液体流路となる満１を形
成した基盤ガラス２と第１図（ｂ）に示す薄板ガラス３
を接合する前に、基盤ガラス２及び薄板ガラス３の接合
面４またはどちらか一方の面にガラスの融点よりも十分
に低い融点の低融点ガラス５をスパック法又は蒸着法に
よって１０００人〜１００００人の厚みで形成する１本
実施例の場合、基盤ガラス２及び薄板ガラス３とも同一
材料でその融点が６５０〜７００℃のガラスを用い、低
融点ガラス５としてはその融点が３５０℃程度のものを
用いスパック法により形成した。この基盤ガラス２と薄
板ガラス３を第１図（ｃ）に示す様に対向させ治具に挟
み両側から荷重を加え約４５０℃まで加熱し３０分保持
し接合し液体流路６を形成する。この様にして一体とし
た液体噴射部の一部をカッティングして第１図（ｄ）に
示す様に液体噴射面７を形成する。
その後、第１図（ｅ）に示す様に各液体流路上に位置す
る薄板ガラス上に圧電素子８を貼り付は液体噴射記録ヘ
ッド９を得る。この圧電素子８の圧力により液体が液体
噴射口１０より飛翔し記録紙に印字する。この様にして
得られた液体噴射記録ヘッドの液体流路部の断面は第２
図に示すように、融着前の基盤ガラスに形成された溝形
状そのままで変形はない、また、加＾る荷重も従来の方
法のｌ／１０程度ですみ薄板ガラスの割れ、欠けの発生
も皆無になった。第３図は他の実施例を示すもので基盤
ガラス２−枚と薄板ガラス３二枚の計三枚のガラスを用
いた液体噴射記録ヘッドの実施例である。この様に、接
合後の流路断面積のばらつきを小さくすることが出来る
ので個々の液体噴射口から飛翔する液体の印字面までの
到達時間のばらつきが小さくなり印字すれかな（なり高
品質の印字が可能となる。また、印字速度を上げるため
にはこの液体噴射記録ヘッドの走査速度をさらに上げる
ため個々の液体噴射口から飛翔する液体の印字面までの
到達時間のばらつきは一層印字品質に影響を与える。従
って、このばらつきが小さ（なるということは、インク
ジェットプリンターの高速印字化を可能にするものであ
る。なお、基盤ガラスと薄板ガラスを挟持する治具にお
いては荷重がｌ／１０程度ですむので全てセラミックス
を用いた物でよく熱膨張の調整もし易い。
る薄板ガラス上に圧電素子８を貼り付は液体噴射記録ヘ
ッド９を得る。この圧電素子８の圧力により液体が液体
噴射口１０より飛翔し記録紙に印字する。この様にして
得られた液体噴射記録ヘッドの液体流路部の断面は第２
図に示すように、融着前の基盤ガラスに形成された溝形
状そのままで変形はない、また、加＾る荷重も従来の方
法のｌ／１０程度ですみ薄板ガラスの割れ、欠けの発生
も皆無になった。第３図は他の実施例を示すもので基盤
ガラス２−枚と薄板ガラス３二枚の計三枚のガラスを用
いた液体噴射記録ヘッドの実施例である。この様に、接
合後の流路断面積のばらつきを小さくすることが出来る
ので個々の液体噴射口から飛翔する液体の印字面までの
到達時間のばらつきが小さくなり印字すれかな（なり高
品質の印字が可能となる。また、印字速度を上げるため
にはこの液体噴射記録ヘッドの走査速度をさらに上げる
ため個々の液体噴射口から飛翔する液体の印字面までの
到達時間のばらつきは一層印字品質に影響を与える。従
って、このばらつきが小さ（なるということは、インク
ジェットプリンターの高速印字化を可能にするものであ
る。なお、基盤ガラスと薄板ガラスを挟持する治具にお
いては荷重がｌ／１０程度ですむので全てセラミックス
を用いた物でよく熱膨張の調整もし易い。
〔発明の効果１
以上述べたように本発明によれば、液体噴射記録ヘッド
において基盤ガラスと薄板ガラスを接合する際に接合面
に低融点ガラスを形成しこの低融点ガラスを溶融し接合
することによって、印字品質の優れた液体噴射記録ヘッ
ドが得られるとともに印字速度の高速化が図れるという
効果を有する。また、ガラスの割れ、欠けがなく高歩留
りであり、接合時の作業も簡単になるなど製造コストの
削減が図れるという効果を有する。
において基盤ガラスと薄板ガラスを接合する際に接合面
に低融点ガラスを形成しこの低融点ガラスを溶融し接合
することによって、印字品質の優れた液体噴射記録ヘッ
ドが得られるとともに印字速度の高速化が図れるという
効果を有する。また、ガラスの割れ、欠けがなく高歩留
りであり、接合時の作業も簡単になるなど製造コストの
削減が図れるという効果を有する。
法の一実施例を示す斜視図。
第２図は第１図の液体流路部の断面図。
第３図は本発明の他の実施例による液体噴射記録ヘッ
ドを示す斜視図。
を示す斜視図。
第５図は第４図の液体流路部の断面図。
液体流路となる溝
基盤ガラス
薄板ガラス
接合面
低融点ガラス
液体流路
液体噴射面
圧電素子
液体噴射記録ヘッド
液体噴射口
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）隼
口
（ｅ−）
茅
■
扁
１で （久）
（Ｃ）
（ｂ）
図（べ）
算 ＋■
Claims (1)
- 二枚又は三枚のガラス板を接合し液体流路を形成し該液
体流路に圧縮力を加え、該圧縮力により液体を飛翔させ
て記録する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前
記二枚又は三枚のガラス板の接合面に低融点ガラスをス
パッタあるいは蒸着により形成し該低融点ガラスを溶融
し接合することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10371689A JPH02281955A (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10371689A JPH02281955A (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02281955A true JPH02281955A (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=14361428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10371689A Pending JPH02281955A (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02281955A (ja) |
-
1989
- 1989-04-24 JP JP10371689A patent/JPH02281955A/ja active Pending
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