JPS6398629U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6398629U JPS6398629U JP19500386U JP19500386U JPS6398629U JP S6398629 U JPS6398629 U JP S6398629U JP 19500386 U JP19500386 U JP 19500386U JP 19500386 U JP19500386 U JP 19500386U JP S6398629 U JPS6398629 U JP S6398629U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- container
- coating
- discharge pipe
- back surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 5
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案に係る回転塗布装置の一実施例
を示す断面図、第２図はその動作を説明するため
の動作説明図である。 図において、１は半導体ウエハ、４は容器、４
ａは底面、４ｄは排出官、５は洗浄ノズルである
。尚、各図中、同一符号は同一又は相当部分示す
。
を示す断面図、第２図はその動作を説明するため
の動作説明図である。 図において、１は半導体ウエハ、４は容器、４
ａは底面、４ｄは排出官、５は洗浄ノズルである
。尚、各図中、同一符号は同一又は相当部分示す
。
Claims (1)
- 半導体ウエハ上方から塗布液を滴下するととも
に、該半導体ウエハ裏面を吸着して回転駆動させ
て上記塗布液を該半導体ウエハ表面に均一塗布す
る回転塗布装置において、上記半導体ウエハを囲
み、上記回転駆動によつて飛散する塗布液を回収
する容器を設け、かつ該容器底面を傾斜させて、
該傾斜下端に回収液を排出する排出管を連設する
とともに、上記半導体ウエハ裏面を洗浄する洗浄
ノズルを上記排出管とは上記ウエハ回転中心軸線
を挾む対称位置に配設したことを特徴とする回転
塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19500386U JPS6398629U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19500386U JPS6398629U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6398629U true JPS6398629U (ja) | 1988-06-25 |
Family
ID=31152491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19500386U Pending JPS6398629U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6398629U (ja) |
-
1986
- 1986-12-18 JP JP19500386U patent/JPS6398629U/ja active Pending