JPS6397209A - 積層型フイルタエレメント - Google Patents
積層型フイルタエレメントInfo
- Publication number
- JPS6397209A JPS6397209A JP24512486A JP24512486A JPS6397209A JP S6397209 A JPS6397209 A JP S6397209A JP 24512486 A JP24512486 A JP 24512486A JP 24512486 A JP24512486 A JP 24512486A JP S6397209 A JPS6397209 A JP S6397209A
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- Japan
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- filtration
- filter medium
- laminated
- filter element
- hole
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 6
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は積層型フィルタエレメントに関する。
膜状の濾材を有する積層型フィルタエレメントは多孔質
の四ふつ化エチレン膜などを濾材とし、板状の支持体を
積層してその濾過部を前記を材で被ったものであって、
例えばＬＳＩ製造時の洗浄液の濾過などに用いられる。
の四ふつ化エチレン膜などを濾材とし、板状の支持体を
積層してその濾過部を前記を材で被ったものであって、
例えばＬＳＩ製造時の洗浄液の濾過などに用いられる。
従来の積層型フィルタエレメントは例えば実開昭５９−
１０２１１１号に開示されているように板状の支持体を
環状の膜状濾材で被い、中央のボス部を重ねて積層型と
したものである。このような積層型フィルタエレメント
の支持体として本出願人が提案した第６図に示すような
ものがある（実像昭６０−１６７７９７号）。この支持
体２０は中央貫通孔２１ａを有するボス部２１の周囲に
環形板状の濾過部２２、外枠部２３が延設されている。
１０２１１１号に開示されているように板状の支持体を
環状の膜状濾材で被い、中央のボス部を重ねて積層型と
したものである。このような積層型フィルタエレメント
の支持体として本出願人が提案した第６図に示すような
ものがある（実像昭６０−１６７７９７号）。この支持
体２０は中央貫通孔２１ａを有するボス部２１の周囲に
環形板状の濾過部２２、外枠部２３が延設されている。
濾過部２２にはボス部２１の切欠き溝２１ｂ を通じて
中央貫通孔２１ａ に連通ずる放射状の溝２２ａが多数
設けられており、これと交差して円周方向に多数の溝２
２ｂが設けられ溝２２ｂの間にリブ状部２２Ｃが形成さ
れている。支持体２０の濾過部２２の表面に多孔質の薄
膜濾材２４が被せられている。この支持体２０が薄膜脚
材２４を被せられた状態で積層されて積層型フィルタエ
レメント（図示しない）が形成されている。
中央貫通孔２１ａ に連通ずる放射状の溝２２ａが多数
設けられており、これと交差して円周方向に多数の溝２
２ｂが設けられ溝２２ｂの間にリブ状部２２Ｃが形成さ
れている。支持体２０の濾過部２２の表面に多孔質の薄
膜濾材２４が被せられている。この支持体２０が薄膜脚
材２４を被せられた状態で積層されて積層型フィルタエ
レメント（図示しない）が形成されている。
〔この発明が解決しようとする問題点〕上記のような従
来の積層型フィルタエレメントは脚材が支持体の濾過部
のリブ状部２２ｃの頂部に支持されて張設された状態と
なっているので、液を濾過するにあたり外面から液圧が
かかると脚材は引張り応力を受ける。特に円周方向の溝
２２ａ と放射方向の溝２２ｂが交差する部分では、リ
ブ状部２２ｃの頂部に支持されない面積が広くなるので
大きい力がかかり、しかもリブ状部の端末２２ｄが当接
する部分ｌこ集中応力が発生して膜が破れたりあるいは
この部分が伸びて濾過孔径が拡大したりする。
来の積層型フィルタエレメントは脚材が支持体の濾過部
のリブ状部２２ｃの頂部に支持されて張設された状態と
なっているので、液を濾過するにあたり外面から液圧が
かかると脚材は引張り応力を受ける。特に円周方向の溝
２２ａ と放射方向の溝２２ｂが交差する部分では、リ
ブ状部２２ｃの頂部に支持されない面積が広くなるので
大きい力がかかり、しかもリブ状部の端末２２ｄが当接
する部分ｌこ集中応力が発生して膜が破れたりあるいは
この部分が伸びて濾過孔径が拡大したりする。
この発明は上記の問題を解決するためになされたもので
ある。中央貫通孔を有するボス部とその周囲に延設した
環形板状の濾過部と外枠部とからなる支持体を積層し、
濾過部を多孔質膜でなる環形の脚材で被い、その内周縁
を濾材同志で互に溶着した点は従来のものと同様である
。
ある。中央貫通孔を有するボス部とその周囲に延設した
環形板状の濾過部と外枠部とからなる支持体を積層し、
濾過部を多孔質膜でなる環形の脚材で被い、その内周縁
を濾材同志で互に溶着した点は従来のものと同様である
。
この発明では支持体の濾過部の上下表面に蛇行する複数
の隆条を設けて、その両側を谷部とし、上下表面の谷部
を連通ずる連通孔を穿設し、ボス部上下端面の一方に設
けた放射状の溝を介しそて谷部と中央貫通孔を連通させ
た支持体を具えてなる積層型フィルタエレメントである
。
の隆条を設けて、その両側を谷部とし、上下表面の谷部
を連通ずる連通孔を穿設し、ボス部上下端面の一方に設
けた放射状の溝を介しそて谷部と中央貫通孔を連通させ
た支持体を具えてなる積層型フィルタエレメントである
。
この発明の積層型フィルタエレメントは外面から濾過原
液を受は入れて膜状濾材で濾過する。
液を受は入れて膜状濾材で濾過する。
消液は支持体濾過部の上下表面にある谷部に流入し、連
通孔を経て一方側に集まり、ボス部の一方側端面の放射
状の溝を紅で中央貫通孔に至り外部に流出する。濾過に
あたり膜状濾材は原液の圧力を受けるが蛇行して断点の
ない隆条に支えられており、脚材には上記圧力による集
中応力は発生しない。
通孔を経て一方側に集まり、ボス部の一方側端面の放射
状の溝を紅で中央貫通孔に至り外部に流出する。濾過に
あたり膜状濾材は原液の圧力を受けるが蛇行して断点の
ない隆条に支えられており、脚材には上記圧力による集
中応力は発生しない。
この発明の実施例を第１図に示す。この発明の積層型フ
ィルタエレメント１は支持体２が積層され、その濾過部
４を被う濾材７が蛇腹状に接合され、上端面Ｊどは上端
板６ａ下端面には下端板６ｂが配設され、上下端板の内
側に最上層炉材および最下層濾材の内周縁が溶着されて
成る。
ィルタエレメント１は支持体２が積層され、その濾過部
４を被う濾材７が蛇腹状に接合され、上端面Ｊどは上端
板６ａ下端面には下端板６ｂが配設され、上下端板の内
側に最上層炉材および最下層濾材の内周縁が溶着されて
成る。
積層型フィルタエレメント１はケーシング１０の原液人
口１０ａ の周囲に設けたリブ１０ｃ と消液出口１０
ｂ下端との間に挾持されて積層型フィルタ１１を形成す
る。
口１０ａ の周囲に設けたリブ１０ｃ と消液出口１０
ｂ下端との間に挾持されて積層型フィルタ１１を形成す
る。
第２４．第３図にこの発明にかかる支持体を示す。支持
体２は中央貫通孔３ａを有するボス部３と、大きく蛇行
する隆条４ａ、小さく蛇行する隆条４ｂを放射状に交互
に配列し、各隆条の間を谷部４ｃとした濾過部４とその
外周の外枠部５とから成る。外枠部５には支持体２外縁
部の層間隔を保つスペーサ５ａが適宜数設けられる。濾
過部４の隆条４ａ、 ４ｂは頂部が外枠部５の表面と同
一平面となるように設けられ、隆条４ａ、 ４ｂの外方
端は外枠部５と接続され、隆条４ａの内方端はボス部３
に接続され隆条４ｂの内方端はボス部３に接近させであ
る。隆条４ａ、 ４ｂの形状は谷部４Ｃが狭い巾で配列
されるよう選定されている。隆条４ａｓ４ｂの間の谷部
４ｃにはボス部３寄りの位置に隆条４ｄをはさんでそれ
ぞれ２個ずつ連通孔４ｄが穿設されている。支持体２の
下面の谷部４Ｃは、ボス部３の下面に設けられ中央貫通
孔３ａと連通ずる放射状の溝３ｂと連続している。この
状態を第４図に示す。連通孔４ｄの位置、大きさ、形状
は消液の流量、隆条の形状などにより適宜に選択される
。
体２は中央貫通孔３ａを有するボス部３と、大きく蛇行
する隆条４ａ、小さく蛇行する隆条４ｂを放射状に交互
に配列し、各隆条の間を谷部４ｃとした濾過部４とその
外周の外枠部５とから成る。外枠部５には支持体２外縁
部の層間隔を保つスペーサ５ａが適宜数設けられる。濾
過部４の隆条４ａ、 ４ｂは頂部が外枠部５の表面と同
一平面となるように設けられ、隆条４ａ、 ４ｂの外方
端は外枠部５と接続され、隆条４ａの内方端はボス部３
に接続され隆条４ｂの内方端はボス部３に接近させであ
る。隆条４ａ、 ４ｂの形状は谷部４Ｃが狭い巾で配列
されるよう選定されている。隆条４ａｓ４ｂの間の谷部
４ｃにはボス部３寄りの位置に隆条４ｄをはさんでそれ
ぞれ２個ずつ連通孔４ｄが穿設されている。支持体２の
下面の谷部４Ｃは、ボス部３の下面に設けられ中央貫通
孔３ａと連通ずる放射状の溝３ｂと連続している。この
状態を第４図に示す。連通孔４ｄの位置、大きさ、形状
は消液の流量、隆条の形状などにより適宜に選択される
。
第５図に支持体の他の例を示す。支持体１２はボス部１
３と濾過部１４と外枠部１５とから成る。濾過部１４に
は隆条１４ａが蛇行して放射状に設けられ、その間１ど
谷部１４ｃが形成される。隆条１４ａは第１図（ロ）Ｉ
と示す第１隆条４ａとほぼ同形である。谷部１４ｃ１ｍ
連通孔１４ｄが設けられ上下表面の谷部１４ｃ ｓ Ｉ
ｔｃを連通し、さらにボス部１３の一方の端面に設けら
れた放射状の溝１３ｂにより中央貫通孔１３ａ と上下
表面の谷部１４ｃ とが連通している。隆条の形状は上
、記のものに限定されずボス部と外枠部との間に連続的
Ｉこ設けられるものであればよい。
３と濾過部１４と外枠部１５とから成る。濾過部１４に
は隆条１４ａが蛇行して放射状に設けられ、その間１ど
谷部１４ｃが形成される。隆条１４ａは第１図（ロ）Ｉ
と示す第１隆条４ａとほぼ同形である。谷部１４ｃ１ｍ
連通孔１４ｄが設けられ上下表面の谷部１４ｃ ｓ Ｉ
ｔｃを連通し、さらにボス部１３の一方の端面に設けら
れた放射状の溝１３ｂにより中央貫通孔１３ａ と上下
表面の谷部１４ｃ とが連通している。隆条の形状は上
、記のものに限定されずボス部と外枠部との間に連続的
Ｉこ設けられるものであればよい。
これらのフィルタエレメントのケーシングへの取付は、
ケーシングに設けたリブ等に直接挾持させず、消液通路
を有するセンターボルトによってもよい。
ケーシングに設けたリブ等に直接挾持させず、消液通路
を有するセンターボルトによってもよい。
この発明の積層型フィルタエレメントは原液の圧力を受
ける膜状濾材を支持体表面に連続的に設けた隆条で支え
るので、濾材に集中応力を与えず、濾材が破れたり、伸
びて清適孔径が拡大することなく信頼性のある清適性能
が保たれる。また支持体ボス部の溝を上下端面の一方の
みとしたので上下方向の突出を片側のみとすることがで
きる。従って同一高さで支持体の積層枚数を多くするこ
とができ清適面積を増大させることが可能である。
ける膜状濾材を支持体表面に連続的に設けた隆条で支え
るので、濾材に集中応力を与えず、濾材が破れたり、伸
びて清適孔径が拡大することなく信頼性のある清適性能
が保たれる。また支持体ボス部の溝を上下端面の一方の
みとしたので上下方向の突出を片側のみとすることがで
きる。従って同一高さで支持体の積層枚数を多くするこ
とができ清適面積を増大させることが可能である。
第１図はこの発明の実施例を示す断面図、第２図（イ）
はこの発明に係る支持体の上面図第２図（ロ）はその下
面図である。第３図（イ）は支持体下面の部分拡大図、
第３図（ロ）は第３図（イ）のＡ−Ａ断面図である。第
４図は第３図（イ）のＢ−Ｂ断面図である。第５図は支
持体の他の例の片側表面を示す平面図、第６図は従来の
支持体を示す斜視図である。 １・・・・・・積層型フィルタエレメント２．１２・・
・・・・支持体 ３．１３・・・・・・ボス部３ａ％
１３ａ・・・・・・中央貫通孔 ３ｂ １３ｂ・・・・
・・溝４．１４・・・・・・清適部 ４ａ、 ４ｂ、
１４ａ・・・・・・隆条４ｃｓ １４ｃ・・・・・・谷
部 ５．１５・・・・・・外枠部７・・・・・・濾材
はこの発明に係る支持体の上面図第２図（ロ）はその下
面図である。第３図（イ）は支持体下面の部分拡大図、
第３図（ロ）は第３図（イ）のＡ−Ａ断面図である。第
４図は第３図（イ）のＢ−Ｂ断面図である。第５図は支
持体の他の例の片側表面を示す平面図、第６図は従来の
支持体を示す斜視図である。 １・・・・・・積層型フィルタエレメント２．１２・・
・・・・支持体 ３．１３・・・・・・ボス部３ａ％
１３ａ・・・・・・中央貫通孔 ３ｂ １３ｂ・・・・
・・溝４．１４・・・・・・清適部 ４ａ、 ４ｂ、
１４ａ・・・・・・隆条４ｃｓ １４ｃ・・・・・・谷
部 ５．１５・・・・・・外枠部７・・・・・・濾材
Claims (1)
- 中央貫通孔を有するボス部とその外周に延設した環形板
状の濾過部と外枠部とを具えた支持体が積層され、多孔
質膜でなる環状濾材で前記濾過部を被い、前記濾材は上
下に隣接する濾材の内周縁同志が溶着された積層型フィ
ルタエレメントであって、前記濾過部の上下表面には蛇
行する複数の隆条が設けられ、該隆条の両側に谷部が形
成され、濾過部上下表面の谷部を連通する連通孔を穿設
し、ボス部上下端面の一方に放射状の溝を設けて谷部と
中央貫通孔を連通させた支持体を具えてなる積層型フィ
ルタエレメント。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24512486A JPS6397209A (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | 積層型フイルタエレメント |
| US06/925,204 US4774000A (en) | 1985-11-01 | 1986-10-31 | Submicron disc filters |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24512486A JPS6397209A (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | 積層型フイルタエレメント |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6397209A true JPS6397209A (ja) | 1988-04-27 |
| JPH0331084B2 JPH0331084B2 (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=17128978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24512486A Granted JPS6397209A (ja) | 1985-11-01 | 1986-10-15 | 積層型フイルタエレメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6397209A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011212620A (ja) * | 2010-04-01 | 2011-10-27 | Showa Senjoki Co Ltd | ディスクフィルタエレメントおよび濾過システム |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52152399U (ja) * | 1976-05-14 | 1977-11-18 | ||
| JPS5710304A (en) * | 1980-06-18 | 1982-01-19 | Sumitomo Chem Co Ltd | Liquid separator |
| JPS59102111U (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-10 | 日東電工株式会社 | 積層型カ−トリツジフイルタ− |
| JPS60179308U (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-28 | 日本精線株式会社 | フイルタ−エレメント |
-
1986
- 1986-10-15 JP JP24512486A patent/JPS6397209A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52152399U (ja) * | 1976-05-14 | 1977-11-18 | ||
| JPS5710304A (en) * | 1980-06-18 | 1982-01-19 | Sumitomo Chem Co Ltd | Liquid separator |
| JPS59102111U (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-10 | 日東電工株式会社 | 積層型カ−トリツジフイルタ− |
| JPS60179308U (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-28 | 日本精線株式会社 | フイルタ−エレメント |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011212620A (ja) * | 2010-04-01 | 2011-10-27 | Showa Senjoki Co Ltd | ディスクフィルタエレメントおよび濾過システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0331084B2 (ja) | 1991-05-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |