JPS6394421A - 複合型磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、メタルテープ等の尚保持力媒体に高密度記
録を行うＶＴＲ装置等に使用される複合型磁気ヘッドの
製造方法に関する。

［従来の技術］ メタルテープ等の高保磁力媒体に高密度記録を行うため
には、磁気ヘッドの発生する磁界が強力でなければなら
ないが、このような高保磁力媒体に適した磁気ヘッドと
して、従来、第１１図に示す構造のものがある。この磁
気ヘッドは、高透磁率材料である軟磁性７ヱライトによ
るコア半休１ａ＋１ｂからなるフェライトコア１のギャ
ップ部２に、パーマロイ、センダスト等の高飽和磁束密
度の軟磁性膜３を形成した？ｉ’ｆｆａで、Ｍ　Ｉ　Ｇ
　（Ｍ　ｅｔｅｌ　　Ｉ　ｎＧ　ａｐ）型ヘッドと呼ば
れている。なお、４はトラッり幅を規定するために形成
したトラック幅溝１ｃにモールドしたガラス等の高硬度
の非磁性材である。５は巻線窓である。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来の磁気ヘッドにおいて、トラック幅寸法Ｂ′は
トラック幅溝１ｃの加工により決定されるが、この上う
な機械加工により充分狭い、かつ、高い寸法精度のトラ
ック幅を得ることは困難である。

また、小さな切欠きであるトラック幅溝１ｃの部分にガ
ラス等の非磁性材４をモールドした構造であること、ま
た、フェライトコア１が接着接合された２つのコア生体
１ａ、ｌｂからなる（１η造であること等から、機械的
強度が必ずしも充分でない。

さらに、２つのコア生体１ａ、ＩＬ＋を接着材で接合す
る工程、ヘッド単体ごとにトラック幅溝１０を形、Ｔ＆
する工程等、製造工程が繁雑であり、量産性が低い。

本発明は上記事情に濫みてなされたもので、狭トラツク
化が官易に、がっ、高精度に実現され、ヘッドの機械的
強度の向上が図られ、さらに、量産性の高い複合型磁気
ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

Ｅ問題点を解決するための手段１ 上記問題点を解決する本発明の方法は、高透磁率の軟磁
性ブロックに巻線溝を形成する工程と、前記巻線溝の開
ｌ］］部に補強用の非磁性材を充填して開口部を閉ざし
、その上面を軟磁性ブロック上面とともに平坦に研摩仕
上げする工程と、前記研摩仕上げした上面の非磁性材部
分に絶縁材料を物理蒸着した後これを所望のギャップ幅
にエツチングしてギャップスペーサを形成する工程と、
前記イヤツブスペーサが埋まるように軟磁性ブロック上
面に高飽和磁束密度材料を物理蒸着した後所望のトラッ
ク幅にエツチングして複数の高飽和磁束密度材ヘッド先
端部を形成する工程と、前記の各高飽和磁束密度材ヘッ
ド先端部ごとに軟磁性ブロックをヘッドＩ７みでスライ
スしてヘッド単体を得る工程とを有する製造方法である
。

［作用］ 上記の製造方法において、高飽和磁束密度材ヘッド先端
部、および、ギャップスペーサは、物理蒸着および二／
チングにより形成されるので、トラック幅およびギャッ
プ幅は、エツチング精度で決定される。

ギャップの形成には、２つのコア半休を突き合わせる等
の繁雑な工程を必要とせず、ギャップ形成加工が簡単で
ある。

［実施例］ 以下、本発明方法の一実施例を第１図〜第１（）図を参
照して説明する。

まず、高透磁率材料の軟磁性フェライト等による直方体
状の軟磁性ブロック１１を形成しく第３図）、この軟磁
性ブロック１１の上面側に開口部１２ａの狭まった巻４
Ｑ溝１２を形成する（第４図）。

次いで、前記巻線溝１２の開口部１２ａ１こ補強として
のガラス等の非磁性材１３を光槙する（第５図）。この
場合第５図に示すように８線溝１２をドに向けてガラス
モールドする。

次いで、前記非磁性材１３の上面を軟磁性ブロック１１
の上面（すなわち、巻線溝１２側の而）とともに平坦に
研摩仕上げする（第６図）。

次いで、軟磁性ブロック１１の上面をマスキングし二酸
化珪素等の絶縁材料をスパッタリングして、ｔｔＳ７図
に示すように非磁性材１３の上面に絶縁層１４°を形成
した後、この絶縁ＨＡ　１４　’を、例えばりアクティ
ブ・イオン・エツチング法（ＲＩＥ法）によりエツチン
グして、第８図に示すように所定の幅〜■のギャップス
ペーサ１４を形成する。

このギャップスペーサ１４の高さくＨ）Ｘｌ畠（〜■）
の寸法は、例えば２０　μｍ（Ｈ）Ｘｏ、３　μｍ（Ｗ
い）である。

次に、第９図ｔこ示すように軟磁性ブロック１１の上面
に前記ギャップスペーサ１４が埋まるように高飽和磁束
音度の例えば軟磁性７モル７７ス合金をスパッタリング
して、高飽和磁束密度軟磁性膜１５゛を形成した後、こ
の軟磁性膜１５゛をＲＩＥ法により所望のトラック幅Ｂ
にエツチングして、第１０図のように、複数の高飽和磁
束Ｚ皮材ヘッド先端部１５を形成する。これにより、中
央にギヤップスベーサ１４を挟持した高飽和磁束密度材
ヘッド先端部１５が形成される。

次いで、第１０図に矢印で示すように、前記各高飽和磁
束密度材ヘッド先端部１５ごとにヘッド厚みで軟磁性ブ
ロック１をスライスし、そして、媒体摺動特性を良くす
るために、高飽和磁束密度材ヘッド先端部１５をＲ状に
研摩仕上げすれば、第１図のごとく単体となった複合型
磁気ヘッド１６が得られる。ヘッド先端部１５には、円
滑な媒体摺動特性のために、第２図に拡大して示すよう
に、トラック幅方向の両カド部（矢印（イ））にもＲを
付けている。なお、軟磁性ブロック１の６５分はへノド
の軟磁性フ７１１Ａとなる。

上記檜成において、トラック幅Ｂ１ギャップ幅Ｗはいず
れもエツチングにより決定される。エツチング法として
実施例のように、例尤ばリアクティブ・イオン・エツチ
ング法を採用すれば、高精度の寸法が得られるので、狭
トラツク、狭ギャップが高精度に実現できる。なお、狭
トラツク化、狭ギャップ化により、ヘッドの感度向上が
図られる。

また、Ｓ２造工程については、第１１図の従来例のよう
なへ・ノド単体ごとにトラック幅溝ＩＣを加工する工程
、あるいは、２つのコア半休１ｎ、ｌｂをつき合わせ接
着接合する工程等は不要であり、工程が大幅に簡略化さ
れる。このようなことから、本発明の方法は多数個取り
に適しており、量産性が高い。

そして、小さな切欠きであるトラック幅溝ＩＣにガラス
等がモールドされた従来構造のような佳度的に弱い部分
もなく、ヘッドの成械的強度の向上が図られる。また、
軟磁性コア１１Ａが一体ものである点でも機械的強度に
優れている。

また、ヘッド先端部１５が高飽和磁束密度材であるから
、ギャップ部１４の磁気飽和を避けることができ、高保
磁力のメタルテープ等に高密度記録することが可能であ
る。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明方法によれば、次のような種
々の優れた効果を奏する。

（１）　トラック幅、ギャップ幅の形成は、いずれもエ
ツチング１こより行うものであるから、狭トラ／り、狭
ギャップが高精度に実現できる。

（ｉｉ）　　従来例のごときトラック幅溝加工、２つの
コア半休の接合工程等は不要であり、製造工程が簡略化
され、量産性が１１い。

（ｉｉｉ）　　小さなトラック幅溝に非磁性材をモール
ドする等の弱い部分がなく、また、軟磁性コアが一体も
のであるから、ヘッドの８１械的強度の向上が図られる
。

（ｉｖ）　　へノド先端部に高飽和磁束密度材が使用さ
れているので、メタルテープ等の高保磁力の媒体への高
密度記録が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一文施例方法により製造された複合型
磁気ヘッドの斜視図、第２図は０′ｓ１図の部分拡大側
面図、第３図、第４図、第５図、第６図、第７図、第８
図、第９図、ｍ１０図は第１図の覆合型磁気へノドを製
造する本発明一実施例の製造工程の各段階の図、ｔ！Ｓ
１１図は従来の成金型磁気ヘッドの斜視図である。 １１・・・軟磁性ブロック、ＩＩＡ・・・軟磁性コア、
１２・・・巻線溝、１２ａ・・・開口部、１３・・・非
磁性材（ｆｆラス）、１４・・・ギャップスペーサ（絶
縁層）、１５・・・高飽和磁束密度材ヘッド先端部、１
６・・・複合型磁気ヘッド。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 高透磁率の軟磁性ブロック（１１）に巻線溝（１２）を
   形成する工程と、 前記巻線溝（１２）の開口部（１２ａ）に補強用の非磁
   性材（１３）を充填して開口部を閉ざし、その上面を軟
   磁性ブロック上面とともに平坦に研摩仕上げする工程と
   、 前記研摩仕上げした上面の非磁性材部分に絶縁材料を物
   理蒸着した後これを所望のギャップ幅にエッチングして
   ギャップスペーサ（１４）を形成する工程と、 前記ギャップスペーサが埋まるように軟磁性ブロック上
   面に高飽和磁束密度材料を物理蒸着した後所望のトラッ
   ク幅にエッチングして、複数の高飽和磁束密度材ヘッド
   先端部（１５）を形成する工程前記の各高飽和磁束密度
   材ヘッド先端部ごとに軟磁性ブロックをヘッド厚みでス
   ライスしてヘッド単体（１６）を得る工程とを有する複
   合型磁気ヘッドの製造方法。