JPS639184A - 気体レ−ザ装置の放電回路 - Google Patents
気体レ−ザ装置の放電回路Info
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- JPS639184A JPS639184A JP15304586A JP15304586A JPS639184A JP S639184 A JPS639184 A JP S639184A JP 15304586 A JP15304586 A JP 15304586A JP 15304586 A JP15304586 A JP 15304586A JP S639184 A JPS639184 A JP S639184A
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- electrode
- capacitor
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 26
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
-
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- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はエキシマレーザなどの気体レーザ装置の放電回
路に間するものである。
路に間するものである。
（従来の技術）
周知のように、エキシマレーザなどの気体レーザ装置、
レーザ物質となる気体を封入したレーザ管と、封入され
た気体を励起してレーザ光を誘起させる放電電極と、誘
起されたレーザ光を共振・増幅する光共振器とを基本的
に備えている。
レーザ物質となる気体を封入したレーザ管と、封入され
た気体を励起してレーザ光を誘起させる放電電極と、誘
起されたレーザ光を共振・増幅する光共振器とを基本的
に備えている。
第３図は、このような気体レーザ装置のうちエキシマレ
ーザ装置の放電回路の等価回路であり、放電上回１１を
構成する放電電極ＥＲは一方が接地電位、他方が充電回
路２のコンデンサＣ１および抵抗Ｒ１を通じて高電圧直
流電源ＨＶに接続されている。また、放電電極ＥＲの一
方には放電エネルギーを与えるコンデンサＣ２の一端が
接続されており、このコンデンサＣ２の他端は放電電極
ＥＲの他方と所定の放電ギャップを有して配置された予
備電極Ｐｉに接続されている。一方、充電回路２のコン
デンサＣ１の両側にはサイラトロン等で構成されたスイ
ッチＳＷとインダクタンスＬとが接地電位との間にそれ
ぞれ並列接続されている。
ーザ装置の放電回路の等価回路であり、放電上回１１を
構成する放電電極ＥＲは一方が接地電位、他方が充電回
路２のコンデンサＣ１および抵抗Ｒ１を通じて高電圧直
流電源ＨＶに接続されている。また、放電電極ＥＲの一
方には放電エネルギーを与えるコンデンサＣ２の一端が
接続されており、このコンデンサＣ２の他端は放電電極
ＥＲの他方と所定の放電ギャップを有して配置された予
備電極Ｐｉに接続されている。一方、充電回路２のコン
デンサＣ１の両側にはサイラトロン等で構成されたスイ
ッチＳＷとインダクタンスＬとが接地電位との間にそれ
ぞれ並列接続されている。
このような構成の放電回路において、スイッチＳＷが開
放の状態では、ＨＶ→Ｒ−）Ｃ１→Ｌ→接地電位の経路
でコンデンサＣ１が充電される。そこで、スイッチＳＷ
を閉じると、Ｃ１→ＳＷ→Ｒ１→Ｃ２→Ｃ１の経路で０
１の電荷が回路内の浮遊インダクタンスによるＬＣ共振
によってＣ２に移送される。
放の状態では、ＨＶ→Ｒ−）Ｃ１→Ｌ→接地電位の経路
でコンデンサＣ１が充電される。そこで、スイッチＳＷ
を閉じると、Ｃ１→ＳＷ→Ｒ１→Ｃ２→Ｃ１の経路で０
１の電荷が回路内の浮遊インダクタンスによるＬＣ共振
によってＣ２に移送される。
すると、この電荷移送によってＣ２が充電される。そし
て、Ｃ２の充電電圧がレーザ物質の絶縁破壊電圧以上に
なると、放電電極ＥＲで放電が起り、この放電エネルギ
ーによってレーザ物質が励起され、レーザ光が誘起され
る。
て、Ｃ２の充電電圧がレーザ物質の絶縁破壊電圧以上に
なると、放電電極ＥＲで放電が起り、この放電エネルギ
ーによってレーザ物質が励起され、レーザ光が誘起され
る。
このような放電回路では、Ｃ２、ＥＲ，Ｐｉおよびレー
ザ光物質を含む放電主回路１のインダクタンスが小さい
ほど放電開始後の事後電流は早く減衰し、回路部品への
ストレスを小さくする。
ザ光物質を含む放電主回路１のインダクタンスが小さい
ほど放電開始後の事後電流は早く減衰し、回路部品への
ストレスを小さくする。
（発明が解決しようとする問題点）
ところが、従来の放電回路の多くはコンデンサＣ２をレ
ーザ管の軸方向に配置していたため、放電主回路１の断
面積が大きくなってインダクタンスが増加し、事後電流
の減衰時間が長くなり、回路部品を早く劣化させてしま
うという問題があった。
ーザ管の軸方向に配置していたため、放電主回路１の断
面積が大きくなってインダクタンスが増加し、事後電流
の減衰時間が長くなり、回路部品を早く劣化させてしま
うという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的は回路部品の寿命を向上させることができる気体レー
ザ装置の放電回路を提供することにある。
的は回路部品の寿命を向上させることができる気体レー
ザ装置の放電回路を提供することにある。
（問題点を解決、するための手段）
本発明は、放電電極に対し放電エネルギーを与えるコン
デンサを放電方向と直交し、かつレーザ光の共振方向に
直交する方向のレーザ管外部に配置し、このコンデンサ
の一端は放電電極の陽極側に、他端は放電電極の陰極側
に対し所定の放電ギャップを有して配置された予備電極
に接続したものである。
デンサを放電方向と直交し、かつレーザ光の共振方向に
直交する方向のレーザ管外部に配置し、このコンデンサ
の一端は放電電極の陽極側に、他端は放電電極の陰極側
に対し所定の放電ギャップを有して配置された予備電極
に接続したものである。
（作用）
コンデンサを放電方向と直交し、かつレーザ光の共振方
向に直交する方向のレーザ管外部に配置することにより
、放電電極とコンデンサとを結ぶ距離は小さくなり、全
体としての放電主回路断面積は減少する。これによって
、インダクタンスが小さくなって事後電流も小さくなり
、回路部品の寿命を長くすることができる。
向に直交する方向のレーザ管外部に配置することにより
、放電電極とコンデンサとを結ぶ距離は小さくなり、全
体としての放電主回路断面積は減少する。これによって
、インダクタンスが小さくなって事後電流も小さくなり
、回路部品の寿命を長くすることができる。
（実施例）
第１図は本発明による放電回路構成を示す断面図であり
、レーザ光の共振方向に直交する面の断面を表わしてい
る。図において、レーザ管１０の内部には放電電極ＥＲ
を構成する主電極１１と１２とが配置されている。図の
上側の主電極１１は陽極、下側の主電極１２は陰極とな
るもので、陽極側の主電極１１は、レーザ光の共振方向
Ｃｌ１１面に垂直な方向）に直交し、かつ放電電極ＥＲ
の放電方向に直交する方向に延長された延長部１３をレ
ーザ管１０の管壁側に有しており、この延長部１３に放
電用のコンデンサＣ２の一端が接続されている。また主
電極１１と１２はその対向面にほぼ半円径の突起１４と
１５とを有しており、主電極１２には所定のギャップを
隔てて予ｎ電極１６の一端が配置されている。予備電極
１６は主電極１１との間を絶縁すると共に、主電極１１
を１つの壁面とするレーザ共振室１７を作る絶縁部材１
８にレーザ共振室１７内の封入ガスが漏れないように取
付けられており、電極１２と反対側の端部は導体１９を
通じてコンデンサＣ２に接続されている。
、レーザ光の共振方向に直交する面の断面を表わしてい
る。図において、レーザ管１０の内部には放電電極ＥＲ
を構成する主電極１１と１２とが配置されている。図の
上側の主電極１１は陽極、下側の主電極１２は陰極とな
るもので、陽極側の主電極１１は、レーザ光の共振方向
Ｃｌ１１面に垂直な方向）に直交し、かつ放電電極ＥＲ
の放電方向に直交する方向に延長された延長部１３をレ
ーザ管１０の管壁側に有しており、この延長部１３に放
電用のコンデンサＣ２の一端が接続されている。また主
電極１１と１２はその対向面にほぼ半円径の突起１４と
１５とを有しており、主電極１２には所定のギャップを
隔てて予ｎ電極１６の一端が配置されている。予備電極
１６は主電極１１との間を絶縁すると共に、主電極１１
を１つの壁面とするレーザ共振室１７を作る絶縁部材１
８にレーザ共振室１７内の封入ガスが漏れないように取
付けられており、電極１２と反対側の端部は導体１９を
通じてコンデンサＣ２に接続されている。
ここで、陰極側となる主電極１２はレーザ共振室１７内
に封入ガスを還流させ青るようにその両端が開放されて
おり、レーザ管１ｏの外部に配管を通じて接続したガス
循！！！！装置からレーザガスを送り込んで還流させる
ことにより、レーザ管１゜を送気ファンなどの振動源か
ら隔離して配置できるようになっている。
に封入ガスを還流させ青るようにその両端が開放されて
おり、レーザ管１ｏの外部に配管を通じて接続したガス
循！！！！装置からレーザガスを送り込んで還流させる
ことにより、レーザ管１゜を送気ファンなどの振動源か
ら隔離して配置できるようになっている。
この構成において、コンデンサＣ２は管軸と直交し、か
つ放電方向と直交する方向に配置されるため、主電極１
１とコンデンサＣ２とを最短距離で接続することができ
る。このため、主電極１１゜１２予備電極１６．コンデ
ンサ１３およびレーザガスを含む放電主回路のインダク
タンスは減少する。この結果、事後電流が小さくなり、
回路部品の劣化を抑制することができる。
つ放電方向と直交する方向に配置されるため、主電極１
１とコンデンサＣ２とを最短距離で接続することができ
る。このため、主電極１１゜１２予備電極１６．コンデ
ンサ１３およびレーザガスを含む放電主回路のインダク
タンスは減少する。この結果、事後電流が小さくなり、
回路部品の劣化を抑制することができる。
第２図は本発明の・他の実施例を示す断面図であり、レ
ーザガスをレーザ管１０の上側から下側に向けて陽極と
なる主電極１２の両側に分岐させて還流させるように構
成したものである。この場合、主電極１２とコンデンサ
Ｃ２とは図示しない導体を通じて接続されている。
ーザガスをレーザ管１０の上側から下側に向けて陽極と
なる主電極１２の両側に分岐させて還流させるように構
成したものである。この場合、主電極１２とコンデンサ
Ｃ２とは図示しない導体を通じて接続されている。
このような構成においても第１図の実施例と同様な効果
が得られる。
が得られる。
なお、第１図、第２図において、２ｏは封入ガスを気密
封止するためのシール部材を表わしている。
封止するためのシール部材を表わしている。
（発明の効果）
以上説明したように本発明によれば、放電電極に対し放
電エネルギーを与えるコンデンサを放電方向と直交し、
かつレーザ光の共振方向に直交する方向のレーザ管外部
に配置し、このコンデンサの一端は放電電極の陽極側に
、他端は放電電極の陰極側に所定の放電ギャップを有し
て配置された予備電極に接続した構造のものであるため
、放電開始後の事後電流が小ざくなり、回路部品の寿命
を長くすることができる効果がある。
電エネルギーを与えるコンデンサを放電方向と直交し、
かつレーザ光の共振方向に直交する方向のレーザ管外部
に配置し、このコンデンサの一端は放電電極の陽極側に
、他端は放電電極の陰極側に所定の放電ギャップを有し
て配置された予備電極に接続した構造のものであるため
、放電開始後の事後電流が小ざくなり、回路部品の寿命
を長くすることができる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は本発
明の他の実施例を示す断面図、第３図はエキシマレーザ
の放電回路の等価回路図である。 １・・・放電主回路、２・・・充電回路、１ｏ・・・レ
ーザ管、１１．１２・・・主電極、１６・・・予備電極
、１７・・・レーザ共振至、Ｃ２・・・コンデンサ。 第１図 第２図 第３図
明の他の実施例を示す断面図、第３図はエキシマレーザ
の放電回路の等価回路図である。 １・・・放電主回路、２・・・充電回路、１ｏ・・・レ
ーザ管、１１．１２・・・主電極、１６・・・予備電極
、１７・・・レーザ共振至、Ｃ２・・・コンデンサ。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ物質となる気体を封入したレーザ管と、レーザ管
内に配置され、封入された気体を励起してレーザ光を誘
起させる放電電極と、 誘起されたレーザ光を共振・増幅する光共振器と を備えた気体レーザ装置において、 前記放電電極に対し放電エネルギーを与えるコンデンサ
を放電方向と直交し、かつレーザ光の共振方向に直交す
る方向のレーザ管外部に配置し、このコンデンサの一端
は放電電極の陽極側に、他端は放電電極の陰極側に対し
所定の放電ギャップを有して配置された予備電極に接続
したことを特徴とする気体レーザ装置の放電回路。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15304586A JPS639184A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 気体レ−ザ装置の放電回路 |
| PCT/JP1987/000452 WO1988000403A1 (en) | 1986-06-30 | 1987-06-30 | Gas laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15304586A JPS639184A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 気体レ−ザ装置の放電回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS639184A true JPS639184A (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=15553765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15304586A Pending JPS639184A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 気体レ−ザ装置の放電回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS639184A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150100707A (ko) | 2012-12-21 | 2015-09-02 | 히사미쓰 세이야꾸 가부시키가이샤 | 어플리케이터 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP15304586A patent/JPS639184A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150100707A (ko) | 2012-12-21 | 2015-09-02 | 히사미쓰 세이야꾸 가부시키가이샤 | 어플리케이터 |
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