JPS639173A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPS639173A JPS639173A JP15139586A JP15139586A JPS639173A JP S639173 A JPS639173 A JP S639173A JP 15139586 A JP15139586 A JP 15139586A JP 15139586 A JP15139586 A JP 15139586A JP S639173 A JPS639173 A JP S639173A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge tube
- windows
- window
- removing unit
- dust removing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012717 electrostatic precipitator Substances 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ガスレーザ装置で、詳しくはガスレーザ装置
の放電管の光軸方向両端部に設けられたウィンドウの内
側面に放電管内の塵が付着しにくいようにしたガスレー
ザ装置に関するものである。
の放電管の光軸方向両端部に設けられたウィンドウの内
側面に放電管内の塵が付着しにくいようにしたガスレー
ザ装置に関するものである。
従来の技術
ガスレーザ装置の放電管のウィンドウを清浄に株つこと
がレーザを長時間にわたって安定して発振させる場合に
必要なことは明らかである。
がレーザを長時間にわたって安定して発振させる場合に
必要なことは明らかである。
このウィンドウを清浄に保つ之めの手段として従来は特
開昭５８−１８６９８５号公報に示されたもののように
、気体清浄用として専用の配管を有し、ポンプで電気集
塵器にレーザ管内のガスを送り、清浄した後にこの清浄
なガスをウィンドウの内側の吹き付けてウィンドウの汚
れも防止するようになっている。
開昭５８−１８６９８５号公報に示されたもののように
、気体清浄用として専用の配管を有し、ポンプで電気集
塵器にレーザ管内のガスを送り、清浄した後にこの清浄
なガスをウィンドウの内側の吹き付けてウィンドウの汚
れも防止するようになっている。
発明が解決しようとする間聰点
上記従来のウィンドウ清浄装置はそれなりの効果はある
が、この従来例では、ウィンドウを清浄にするだけの装
置ｑとして大がかりになると共に複雑になってしまうと
いう問題があつ几。
が、この従来例では、ウィンドウを清浄にするだけの装
置ｑとして大がかりになると共に複雑になってしまうと
いう問題があつ几。
問題点を解決するための手段及び作用
本発明は上記のことにかんがみなされたもので、ウィン
ドウの内側の小さなスペースにウィンドウ清掃用の装置
金とりつけることができると共に、その構成を極めて簡
単なものにすることができるガスレーザ装置を提供しよ
うとするもので、その構成は、レーザ媒質ガスを含む放
電管を有すり放電励起型のガスレーザ装置において、放
電管の光軸方向両側に設は次ウィンドウの内側に静電除
塵器を設けた構成となっており、放電管内に浮遊してい
る塵で、ウィンドウの内面に近ずく塵は、ウィンドウの
手前で静電除塵器にて除塵され、ウィンドウに付着され
ない。
ドウの内側の小さなスペースにウィンドウ清掃用の装置
金とりつけることができると共に、その構成を極めて簡
単なものにすることができるガスレーザ装置を提供しよ
うとするもので、その構成は、レーザ媒質ガスを含む放
電管を有すり放電励起型のガスレーザ装置において、放
電管の光軸方向両側に設は次ウィンドウの内側に静電除
塵器を設けた構成となっており、放電管内に浮遊してい
る塵で、ウィンドウの内面に近ずく塵は、ウィンドウの
手前で静電除塵器にて除塵され、ウィンドウに付着され
ない。
実施例
本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図中１は放電管でるり、この放電管１内にはレーザ媒質
ガス（混合気）が充填されている。
ガス（混合気）が充填されている。
また長手方向（元＠）に沿って一対の放電々極２．３が
設けられており、その両側端部にウィンドウ４．５が設
置されている。上記レーザ媒質ガスは放電々極２，３に
よる放電に際してガス循環装置６にて循環され、放電々
極２．３間のレーザ媒質ガスは放電毎に新しいガスと交
換されるようになっている。上記放電々極２．３にて励
起されたレーザは両ウィンドウ４．５から放電管１を出
て、この放１１管１の元軸方向両側に設けられ几し−ザ
共珈用の７０ンミ２−、リアミラー（いずれも図示せず
）等のレーザ共振装置にてレーザ光として出力されるよ
うになっている。
設けられており、その両側端部にウィンドウ４．５が設
置されている。上記レーザ媒質ガスは放電々極２，３に
よる放電に際してガス循環装置６にて循環され、放電々
極２．３間のレーザ媒質ガスは放電毎に新しいガスと交
換されるようになっている。上記放電々極２．３にて励
起されたレーザは両ウィンドウ４．５から放電管１を出
て、この放１１管１の元軸方向両側に設けられ几し−ザ
共珈用の７０ンミ２−、リアミラー（いずれも図示せず
）等のレーザ共振装置にてレーザ光として出力されるよ
うになっている。
上記両ウィンドウ４．５の内側には静電除塵器７が設け
られている。この静電除塵器７は第２図、第３図に示す
ようになっていて、複数本のワイヤからなる負電極８と
、湾曲板状の正電極９とからなっている。上記負電極８
は正電極９より放電管１の内側に位置されている。
られている。この静電除塵器７は第２図、第３図に示す
ようになっていて、複数本のワイヤからなる負電極８と
、湾曲板状の正電極９とからなっている。上記負電極８
は正電極９より放電管１の内側に位置されている。
上記構成において、放電管１の放電によって生成した不
純物は踵となって放電管１内に浮遊され、この塵の一部
はガス循環装置６に内装したフィルタにて除去される。
純物は踵となって放電管１内に浮遊され、この塵の一部
はガス循環装置６に内装したフィルタにて除去される。
またその一部はウィンドウ４．５にも付着しようとする
が、その手前で静電除塵器７にて線素される。すなわち
。
が、その手前で静電除塵器７にて線素される。すなわち
。
ウイ／ドウ４，５の近くに浮遊してきた塵はまず負電極
８にてマイナスの電荷が付加され、その後止を極９に吸
着される。
８にてマイナスの電荷が付加され、その後止を極９に吸
着される。
発明の効果
本発明によれば、ウィンドウ４．５の内側の小さなスペ
ースにウィンドウｆＰｔ掃用の装置をとりつけることが
できると共に、その構成を極めて簡単なものにすること
ができる。
ースにウィンドウｆＰｔ掃用の装置をとりつけることが
できると共に、その構成を極めて簡単なものにすること
ができる。
そして本発明によれば、放電管１０両ウィンドウ４．５
が常に清浄に保たれるため、レーザ発振器としての効率
低下がおさえられ、連続運転可能時間を大幅に長くする
ことができる。この次めガス交換回数及がウィンドウ４
．５の清掃回数を少なくすることができてう／ニングコ
ストを低くおさえることができる。さらに本発明に係る
ガスレーザ装置は従来型の放′也管にも間単に適用する
ことができる。
が常に清浄に保たれるため、レーザ発振器としての効率
低下がおさえられ、連続運転可能時間を大幅に長くする
ことができる。この次めガス交換回数及がウィンドウ４
．５の清掃回数を少なくすることができてう／ニングコ
ストを低くおさえることができる。さらに本発明に係る
ガスレーザ装置は従来型の放′也管にも間単に適用する
ことができる。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は放電管の
概略的な構成説明図、第２図は要部の断面図、第３図は
要部の正面図でめる。 １は放を賃、４．５はウィンドウ、７は静電除塵器。 第１図 第３図
概略的な構成説明図、第２図は要部の断面図、第３図は
要部の正面図でめる。 １は放を賃、４．５はウィンドウ、７は静電除塵器。 第１図 第３図
Claims (1)
- レーザ媒質ガスを含む放電管１を有する放電励起型のガ
スレーザ装置において、放電管１の光軸方向両側に設け
たウィンドウ４、５の内側に静電除塵器７を設けたこと
を特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15139586A JPS639173A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15139586A JPS639173A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS639173A true JPS639173A (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=15517646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15139586A Pending JPS639173A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS639173A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0916175A1 (en) * | 1996-07-31 | 1999-05-19 | Visx Incorporated | Electrostatic precipitator for a gas discharge laser |
| JP2010021236A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP15139586A patent/JPS639173A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0916175A1 (en) * | 1996-07-31 | 1999-05-19 | Visx Incorporated | Electrostatic precipitator for a gas discharge laser |
| EP0916175A4 (en) * | 1996-07-31 | 1999-10-13 | Visx Inc | ELECTROSTATIC SEPARATOR FOR GAS DISCHARGE LOADERS |
| JP2010021236A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
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