JPH06104509A - 放電励起パルスガスレーザ装置 - Google Patents
放電励起パルスガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH06104509A JPH06104509A JP63491A JP63491A JPH06104509A JP H06104509 A JPH06104509 A JP H06104509A JP 63491 A JP63491 A JP 63491A JP 63491 A JP63491 A JP 63491A JP H06104509 A JPH06104509 A JP H06104509A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- gas
- laser gas
- discharge
- metal dust
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】簡単な構成でレーザガス中の金属ダストを除去
し、レーザ寿命の向上計る。 【構成】放電励起パルスガスレーザ装置のレーザ管中の
熱交換器に正の電圧を印加し、この熱交換器に金属ダス
トを吸着・固定する構成とした。
し、レーザ寿命の向上計る。 【構成】放電励起パルスガスレーザ装置のレーザ管中の
熱交換器に正の電圧を印加し、この熱交換器に金属ダス
トを吸着・固定する構成とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エキシマレーザ等の放
電励起パルスガスレーザ装置に関する。
電励起パルスガスレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】放電励起パルスガスレーザ装置では、放
電による放電電極のスパッターで多量の金属ダストがレ
ーザガス中に発生する。この金属ダストは、レーザ光を
吸収したり、光学窓に付着したりすることによって、レ
ーザガス及び光学窓の寿命を著しく劣化させる原因とな
っている。また、この金属ダストがレーザ管内の絶縁部
に堆積すると、絶縁耐圧が小さくなり不良放電が発生
し、レーザの性能が劣化する原因となる。
電による放電電極のスパッターで多量の金属ダストがレ
ーザガス中に発生する。この金属ダストは、レーザ光を
吸収したり、光学窓に付着したりすることによって、レ
ーザガス及び光学窓の寿命を著しく劣化させる原因とな
っている。また、この金属ダストがレーザ管内の絶縁部
に堆積すると、絶縁耐圧が小さくなり不良放電が発生
し、レーザの性能が劣化する原因となる。
【０００３】従来の放電励起パルスガスレーザ装置で
は、レーザ管外部に設置した循環ポンプによってレーザ
ガスの一部を取り出し、ダストフィルターもしくは電気
集塵器に通した後、再びレーザ管に戻す構成を取ること
によって、レーザガス中に発生した金属ダストを除去し
ている（例えば、特開昭５８−１８６９８５号公報参
照）。
は、レーザ管外部に設置した循環ポンプによってレーザ
ガスの一部を取り出し、ダストフィルターもしくは電気
集塵器に通した後、再びレーザ管に戻す構成を取ること
によって、レーザガス中に発生した金属ダストを除去し
ている（例えば、特開昭５８−１８６９８５号公報参
照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置では、循環ポンプ及びダストフィルターもしくは電
気集塵器からなるガス循環系を新たに設置する必要があ
るため、装置が大型化すると同時に製作コストが高くな
るという問題点を有する。
装置では、循環ポンプ及びダストフィルターもしくは電
気集塵器からなるガス循環系を新たに設置する必要があ
るため、装置が大型化すると同時に製作コストが高くな
るという問題点を有する。
【０００５】本発明の目的は、このような問題点を解決
した放電励起パルスガスレーザ装置を提供することにあ
る。
した放電励起パルスガスレーザ装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザガスを
封入するレーザ管と、放電により前記レーザガスを励起
して光の誘導放出を起こさせる放電電極対と、前記放電
電極間隙の放電空間に前記レーザガスを流すガス循環器
と、熱交換器とを少なくとも備えた放電励起パルスガス
レーザ装置において、前記熱交換器に正の電圧を印加す
る構成を取ることを特徴とする。
封入するレーザ管と、放電により前記レーザガスを励起
して光の誘導放出を起こさせる放電電極対と、前記放電
電極間隙の放電空間に前記レーザガスを流すガス循環器
と、熱交換器とを少なくとも備えた放電励起パルスガス
レーザ装置において、前記熱交換器に正の電圧を印加す
る構成を取ることを特徴とする。
【０００７】
【作用】ダスト等の微粒子は負の電荷に帯電し易いた
め、レーザガス中に発生した大部分の金属ダストは放電
で発生した電子を吸着し負の電荷に帯電している。ま
た、通常の放電励起パルスガスレーザ装置では、レーザ
管内に設置したガス循環器によってレーザガスを高速循
環している。したがって、発生した金属ダストはレーザ
ガス中に漂いレーザガスと共にレーザ管内を循環し、熱
交換器と接触する。
め、レーザガス中に発生した大部分の金属ダストは放電
で発生した電子を吸着し負の電荷に帯電している。ま
た、通常の放電励起パルスガスレーザ装置では、レーザ
管内に設置したガス循環器によってレーザガスを高速循
環している。したがって、発生した金属ダストはレーザ
ガス中に漂いレーザガスと共にレーザ管内を循環し、熱
交換器と接触する。
【０００８】本発明の放電励起パルスガスレーザ装置で
は、レーザ管内に設置する熱交換器に正の電圧を印加す
ることによって、レーザガス中の負に帯電した金属ダス
トを熱交換器の表面に吸着・固定し、レーザガス中から
取り除くことができる。したがって、レーザガス中の金
属ダストを大幅に低減できるため、レーザガス及び光学
窓の寿命を伸ばすことが可能となると同時に、絶縁不良
等の問題が起こらないためレーザ装置の性能劣化がな
い。また、循環ポンプ及びダストフィルターもしくは電
気集塵器からなるガス循環系を新たに設置する必要がな
いため、コンパクトな装置が得られると同時に製作コス
ト上有利であるという利点を有する。
は、レーザ管内に設置する熱交換器に正の電圧を印加す
ることによって、レーザガス中の負に帯電した金属ダス
トを熱交換器の表面に吸着・固定し、レーザガス中から
取り除くことができる。したがって、レーザガス中の金
属ダストを大幅に低減できるため、レーザガス及び光学
窓の寿命を伸ばすことが可能となると同時に、絶縁不良
等の問題が起こらないためレーザ装置の性能劣化がな
い。また、循環ポンプ及びダストフィルターもしくは電
気集塵器からなるガス循環系を新たに設置する必要がな
いため、コンパクトな装置が得られると同時に製作コス
ト上有利であるという利点を有する。
【０００９】
【実施例】次に、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１０】図１は、本発明の実施例を示す模式的な横
断面図で、本発明に係わる部分だけを示してある。
断面図で、本発明に係わる部分だけを示してある。
【００１１】本実施例では、レーザ管１内のガス循環器
３によってレーザガスを循環し、放電電極２間の放電空
間７に高速なレーザガス流を形成している。また、この
レーザガスの循環によって放電で発生した金属ダストを
含んだレーザガス６は、電源５によって正の電圧に印加
された熱交換器４の表面と接触する。この時、レーザガ
ス中の金属ダストの大部分は負の電荷に帯電しているた
め、熱交換器４表面で吸着・固定される。したがって、
レーザガス中の金属ダストを大幅に低減でき、レーザガ
ス及び光学窓の寿命が伸び長時間の安定動作が可能とな
ると同時に、絶縁不良等の問題が起こらないためレーザ
装置の性能劣化が少なくなる。
３によってレーザガスを循環し、放電電極２間の放電空
間７に高速なレーザガス流を形成している。また、この
レーザガスの循環によって放電で発生した金属ダストを
含んだレーザガス６は、電源５によって正の電圧に印加
された熱交換器４の表面と接触する。この時、レーザガ
ス中の金属ダストの大部分は負の電荷に帯電しているた
め、熱交換器４表面で吸着・固定される。したがって、
レーザガス中の金属ダストを大幅に低減でき、レーザガ
ス及び光学窓の寿命が伸び長時間の安定動作が可能とな
ると同時に、絶縁不良等の問題が起こらないためレーザ
装置の性能劣化が少なくなる。
【００１２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の放電励起パ
ルスガスレーザ装置によれば、レーザ管中に設置する熱
交換器に正の電圧を印加する構成を取ることによって、
レーザガス中に発生し負の電荷に帯電した金属ダストを
熱交換器表面に吸着・固定することによって除去できる
ため、レーザガス及び光学窓の寿命が伸び長時間の安定
動作が可能となる。また、発生した金属ダストが絶縁部
に堆積することによる絶縁不良等の問題が起こらなくな
るためレーザ装置の性能劣化が少なくなる。さらに、レ
ーザガス中に発生した金属ダストを除去するために、循
環ポンプ及びダストフィルターもしくは電気集塵器から
なるガス循環系を新たに設置する必要がないため、装置
の寸法及び製作コスト上有利となる。
ルスガスレーザ装置によれば、レーザ管中に設置する熱
交換器に正の電圧を印加する構成を取ることによって、
レーザガス中に発生し負の電荷に帯電した金属ダストを
熱交換器表面に吸着・固定することによって除去できる
ため、レーザガス及び光学窓の寿命が伸び長時間の安定
動作が可能となる。また、発生した金属ダストが絶縁部
に堆積することによる絶縁不良等の問題が起こらなくな
るためレーザ装置の性能劣化が少なくなる。さらに、レ
ーザガス中に発生した金属ダストを除去するために、循
環ポンプ及びダストフィルターもしくは電気集塵器から
なるガス循環系を新たに設置する必要がないため、装置
の寸法及び製作コスト上有利となる。
【図１】本発明の実施例を示す模式的な横断面図であ
る。
る。
１ レーザ管 ２ 放電電極 ３ ガス循環器 ４ 熱交換器 ５ 電源 ６ 金属ダストを含んだレーザガス ７ 放電空間
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザガスを封入するレーザ管と、放電
により前記レーザガスを励起して光の誘導放出を起こさ
せる放電電極対と、前記放電電極間隙の放電空間に前記
レーザガスを流すガス循環器と、熱交換器とを少なくと
も備えた放電励起パルスガスレーザ装置において、前記
熱交換器に正の電圧を印加する構成を取ることを特徴と
した放電励起パルスガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63491A JPH06104509A (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | 放電励起パルスガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63491A JPH06104509A (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | 放電励起パルスガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06104509A true JPH06104509A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=11479160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63491A Pending JPH06104509A (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | 放電励起パルスガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06104509A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0916175A1 (en) * | 1996-07-31 | 1999-05-19 | Visx Incorporated | Electrostatic precipitator for a gas discharge laser |
-
1991
- 1991-01-08 JP JP63491A patent/JPH06104509A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0916175A1 (en) * | 1996-07-31 | 1999-05-19 | Visx Incorporated | Electrostatic precipitator for a gas discharge laser |
| EP0916175A4 (en) * | 1996-07-31 | 1999-10-13 | Visx Inc | ELECTROSTATIC SEPARATOR FOR GAS DISCHARGE LOADERS |
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