JPH04188779A - ガスレーザー発振器の集じん器 - Google Patents
ガスレーザー発振器の集じん器Info
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- JPH04188779A JPH04188779A JP31589690A JP31589690A JPH04188779A JP H04188779 A JPH04188779 A JP H04188779A JP 31589690 A JP31589690 A JP 31589690A JP 31589690 A JP31589690 A JP 31589690A JP H04188779 A JPH04188779 A JP H04188779A
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- gas
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Links
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は、ガスレーザ発振器の集じん器に関するもの
である。
である。
（従来の技術）
ガスレーザ発振器の放電電極は、放電によって加速され
た電子やイオンが衝突するため、電極表面温度が上昇す
る。放電電流が増加すると表面温度の上昇が大きくなり
、電極表面の一部が溶けて、ガス中へ微粒子となって飛
散する。このため電極は次第に消耗すると共に、レーザ
ガス中の不純物が増加する。
た電子やイオンが衝突するため、電極表面温度が上昇す
る。放電電流が増加すると表面温度の上昇が大きくなり
、電極表面の一部が溶けて、ガス中へ微粒子となって飛
散する。このため電極は次第に消耗すると共に、レーザ
ガス中の不純物が増加する。
レーザガス中の不純物か増加すると、レーザガスの励起
状態に影響が生し、出力か低下すると共に、発振器内の
各部へ不純物がたい積し種々の悪影響を及はすようにな
る。例えば、軸流形ガスレーザ等において、不純物かガ
ス循環路の陰極と熱交換器の間の管路にたい積すると、
絶縁か低下し、この間で放電が起きるようになる。また
、反射ミラー等の光学機器に付着すると、レーザの性能
が低下する他、高出力レーザ等では、光学機器に付着し
た不純物がレーザ光を吸収して加熱され、光学機器を破
損することがある。
状態に影響が生し、出力か低下すると共に、発振器内の
各部へ不純物がたい積し種々の悪影響を及はすようにな
る。例えば、軸流形ガスレーザ等において、不純物かガ
ス循環路の陰極と熱交換器の間の管路にたい積すると、
絶縁か低下し、この間で放電が起きるようになる。また
、反射ミラー等の光学機器に付着すると、レーザの性能
が低下する他、高出力レーザ等では、光学機器に付着し
た不純物がレーザ光を吸収して加熱され、光学機器を破
損することがある。
このため、高出力レーザ等では、放電電極に高融点のタ
ングステンやモリブデンを使用し、また、放電電極を液
体で強制冷却する等により、その消耗やレーザ出力の低
下の低減を図っている。しかし、ガス中の不純物を積極
的に取り除こうとする試みは従来行なわれていなかった
。
ングステンやモリブデンを使用し、また、放電電極を液
体で強制冷却する等により、その消耗やレーザ出力の低
下の低減を図っている。しかし、ガス中の不純物を積極
的に取り除こうとする試みは従来行なわれていなかった
。
（発明が解決しようとする課題）
前記のように、ガスレーザ発生器の電極はスパッタリン
グによって消耗し、また、それによって生ずる電極の酸
化物等の不純物がガス中に浮遊し、又は発振器内にたい
積して種々の悪影響を与える。このため放電電極を溶融
しにくい材質のものに替えているが、完全にこれを防止
することはできない。したかって、発振器内の機器は定
期的な補修や取替えが必要であり、この作業は熟練した
技術と、多くの時間を要していた。
グによって消耗し、また、それによって生ずる電極の酸
化物等の不純物がガス中に浮遊し、又は発振器内にたい
積して種々の悪影響を与える。このため放電電極を溶融
しにくい材質のものに替えているが、完全にこれを防止
することはできない。したかって、発振器内の機器は定
期的な補修や取替えが必要であり、この作業は熟練した
技術と、多くの時間を要していた。
この発明は、このような問題に着目して創案されたもの
で、ガスレーザ発振器内にガス中の不純物を捕そくする
集しん器を設けることにより、レーザ出力の低下を軽減
すると共に、光学機器等の損傷を防止し、補修作業を容
易にすることを目的とするものである。
で、ガスレーザ発振器内にガス中の不純物を捕そくする
集しん器を設けることにより、レーザ出力の低下を軽減
すると共に、光学機器等の損傷を防止し、補修作業を容
易にすることを目的とするものである。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
前記の目的を達成するために、この発明は、ガスレーザ
発振器の放電部からはずれたガス流の下流側に、レーザ
ガス中の不純物を捕そくする集じん器を設けたものであ
る。
発振器の放電部からはずれたガス流の下流側に、レーザ
ガス中の不純物を捕そくする集じん器を設けたものであ
る。
（作用）
このように構成されているので、スノく・ツタリングに
よってガス流中へ飛散浮遊した電極の酸化微粒子等の不
純物は、ガス流に乗って、その下流に設けた集じん器へ
運ばれ、ここでその大部分が捕捉される。したがって、
レーザガスの劣化か軽減されると共に、発振器内の光学
機器等への不純物のたい積が減少し、その損傷が少くな
る。
よってガス流中へ飛散浮遊した電極の酸化微粒子等の不
純物は、ガス流に乗って、その下流に設けた集じん器へ
運ばれ、ここでその大部分が捕捉される。したがって、
レーザガスの劣化か軽減されると共に、発振器内の光学
機器等への不純物のたい積が減少し、その損傷が少くな
る。
（実施例）
次に、この発明の実施例について図面に基づいて説明す
る。第１図は三軸直交形レーザ発振器］に、集じん器１
３を取付けた概略図である。図示のように、放電部３に
は、紙面に直角方向に伸びた平板からなる陽極５と、こ
れに対向して配設された複数のビンからなる分割陰極７
が設けられており、分割陰極７は、冷却箱９内の絶縁油
等によって冷却されている。レーザ発振器の光軸は、紙
面に直角方向で、図示のように、共振器を構成する複数
のミラー１１か紙面の手前側と向側に配設されている。
る。第１図は三軸直交形レーザ発振器］に、集じん器１
３を取付けた概略図である。図示のように、放電部３に
は、紙面に直角方向に伸びた平板からなる陽極５と、こ
れに対向して配設された複数のビンからなる分割陰極７
が設けられており、分割陰極７は、冷却箱９内の絶縁油
等によって冷却されている。レーザ発振器の光軸は、紙
面に直角方向で、図示のように、共振器を構成する複数
のミラー１１か紙面の手前側と向側に配設されている。
放電部３の下流側には集じん器１３が設けられており、
レーザガスは、ここで電極の酸化物等からなる不純物を
捕そくされ、つづいて熱交換器１５に入って冷却され、
送風機１７により再び放電部３へ送られ、循環使用され
る。集しん器１３は、通常のガラス繊維等からなるユニ
ット形ろ過器、自動巻取り形ろ過器又は、ユニット形電
気果しん器等の中から、レーザガスの設計流量に対して
通過抵抗が小さく、除しん能力の大きなものを選定し、
取付けである。
レーザガスは、ここで電極の酸化物等からなる不純物を
捕そくされ、つづいて熱交換器１５に入って冷却され、
送風機１７により再び放電部３へ送られ、循環使用され
る。集しん器１３は、通常のガラス繊維等からなるユニ
ット形ろ過器、自動巻取り形ろ過器又は、ユニット形電
気果しん器等の中から、レーザガスの設計流量に対して
通過抵抗が小さく、除しん能力の大きなものを選定し、
取付けである。
第２図は軸流形ガスレーザ発振器１７に集じん器３３を
取付けた概略図である。図示のように、放電管２］の左
右両端近傍に、それぞれ陰極２３、陽極２５が設けられ
ており、また、左右両端に共振器を構成する出力ミラー
２７、エンドミラー２９が設けられている。放電管２１
で放電励起され、レーザ光りを誘導放出したレーザガス
は、矢印のように放電管２１の左端から排出管３１を通
り、集じん器３３で電極の酸化物からなる不純物を捕そ
くされ、熱交換器３５に入り冷却される。冷却されたレ
ーザガスは、送風機３７によって給入管３９を経て再び
放電管２１へ送られ循環使用される。集じん器３３は前
記第１図と同様なものが取付けられている。
取付けた概略図である。図示のように、放電管２］の左
右両端近傍に、それぞれ陰極２３、陽極２５が設けられ
ており、また、左右両端に共振器を構成する出力ミラー
２７、エンドミラー２９が設けられている。放電管２１
で放電励起され、レーザ光りを誘導放出したレーザガス
は、矢印のように放電管２１の左端から排出管３１を通
り、集じん器３３で電極の酸化物からなる不純物を捕そ
くされ、熱交換器３５に入り冷却される。冷却されたレ
ーザガスは、送風機３７によって給入管３９を経て再び
放電管２１へ送られ循環使用される。集じん器３３は前
記第１図と同様なものが取付けられている。
［発明の効果］
以上の説明から理解されるように、この発明は特許請求
の範囲に記載の構成を備えているので、レーザ出力の低
下を軽減すると共に、光学機器等の損傷を防止し、補修
作業を容易にすることができる。
の範囲に記載の構成を備えているので、レーザ出力の低
下を軽減すると共に、光学機器等の損傷を防止し、補修
作業を容易にすることができる。
第１図はこの発明を三軸直交形ガスレーザ発振器に利用
した１つの実施例、第２図は同じく軸流形ガスレーザ発
振器に利用した他の実施例のそれぞれ概略図である。 １・・・三軸直交形ガスレーザ発振器 １３・・・集じん器 １９・・・軸流形ガスレーザ発振器 ３３・・・集じん器 代理人 弁理士 三 好 秀 和 第１図 第２図
した１つの実施例、第２図は同じく軸流形ガスレーザ発
振器に利用した他の実施例のそれぞれ概略図である。 １・・・三軸直交形ガスレーザ発振器 １３・・・集じん器 １９・・・軸流形ガスレーザ発振器 ３３・・・集じん器 代理人 弁理士 三 好 秀 和 第１図 第２図
Claims (1)
- ガスレーザ発振器において、放電部からはずれたガス流
の下流側に、レーザガス中の不純物を捕そくする集じん
器を設けたことを特徴とするガスレーザ発振器の集じん
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31589690A JPH04188779A (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | ガスレーザー発振器の集じん器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31589690A JPH04188779A (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | ガスレーザー発振器の集じん器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04188779A true JPH04188779A (ja) | 1992-07-07 |
Family
ID=18070910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31589690A Pending JPH04188779A (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | ガスレーザー発振器の集じん器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04188779A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0916175A1 (en) * | 1996-07-31 | 1999-05-19 | Visx Incorporated | Electrostatic precipitator for a gas discharge laser |
-
1990
- 1990-11-22 JP JP31589690A patent/JPH04188779A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0916175A1 (en) * | 1996-07-31 | 1999-05-19 | Visx Incorporated | Electrostatic precipitator for a gas discharge laser |
| EP0916175A4 (en) * | 1996-07-31 | 1999-10-13 | Visx Inc | ELECTROSTATIC SEPARATOR FOR GAS DISCHARGE LOADERS |
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