JPS6377167A - 積層型光起電力装置 - Google Patents

積層型光起電力装置

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JPS6377167A
JPS6377167A JP61223223A JP22322386A JPS6377167A JP S6377167 A JPS6377167 A JP S6377167A JP 61223223 A JP61223223 A JP 61223223A JP 22322386 A JP22322386 A JP 22322386A JP S6377167 A JPS6377167 A JP S6377167A
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JP
Japan
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light
layer
photovoltaic device
stacked
photovoltaic
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JP61223223A
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English (en)
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Kaneo Watanabe
渡邉 金雄
Yukio Nakajima
行雄 中嶋
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
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    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
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    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/548Amorphous silicon PV cells

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  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複数の光起電力素子をその厚み方向に積層して
なる積層型光起電力装置に関する。
〔従来技術〕
太陽電池等の光起電力素子は、光エネルギーを電気エネ
ルギーに変換する機能を有し、その変換効率を高めるべ
く、複数の光起電力素子をその厚み方向に積層した積層
型光起電力装置がある。これは、pn若しくはpinか
らなる光起電力素子1層では利用効果が低いため、これ
を積層形成して効率を向上させようとするものである。
斯かる積層型光起電力装置は、より一層効率を高めるべ
く、受光側に近い光起電力素子はどバンドギャップを大
きくした構造としている。つまり、エネルギーレベルの
高い短波長成分の光をバンドギャップの大きいもので吸
収させて電気エネルギーに変換し、またエネルギーレベ
ルの低い長波長成分の光をバンドギャップの小さいもの
で吸収させて電気エネルギーに変換することにより効率
を向上させていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上記構造の積層型光起電力装置を使用し
ても受光側のバンドギャップが大きい光起電力素子で短
波長成分の光を十分吸収できず、その光が次の光起電力
素子部分に入射するため、各光起電力素子での光電変換
効率は、十分高いレベルとはなっていなかった。ここに
更なる改善の余地が残されていた。
本発明は斯かる事情に迄みてなされたものであり、より
光電変換効率の高い積層型光起電力装置を提供すること
を目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明にあっては、各光起電力素子間又はその一部に、
透光性かつ導電性を有する材料からなり、これに到達し
た光の短波長成分を反射する層を形成する。即ち、本発
明に係る積層型光起電力装置は、複数の光起電力素子を
その厚み方向に積層してなり、受光側の素子で短波長成
分の光を吸収し、その反対側の素子で長波長成分の光を
吸収するように配設した積層型光起電力装置において、
短波長の光を反射し、長波長の光を透過させる導電層を
、前記各光起電力素子間又はその1部として1又は2層
以上形成してあることを特徴とする。
〔作用〕
本発明にあっては光が導電層に到達すると、これにより
短波長成分の光は反射され、長波長成分の光が透過する
0反射した短波長成分の光はその受光側の光起電力素子
にて吸収されて電気エネルギーに変換され、透過した長
波長成分の光は次の光起電力素子へ入り、ここで吸収さ
れて電気エネルギーに変換されるか、或いは更に次の光
起電力素子が形成されている場合には上述の光の反射、
透過を繰り返す。
(実施例〕 以下本発明を図面に基づき具体的に説明する。
第1図は本発明に係る積層型光起電力装置(以下本発明
品という)の実施例を示す模式的断面図であり、この装
置は光起電力素子10.20を2つ備えている0図中1
は透明のガラス層であり、その上に透明電極2.第1の
pin型光起電力素子10.前記透光導電層たるITO
層7.第2のpin型光起電力素子20及び裏面電極6
が順次形成されている。
上記第1.第2のpin型光起電力素子10.20はガ
ラス層l側よりp型アモルファスシリコン層3゜13、
i型アモルファスシリコン層4,14、n型アモルファ
スシリコン層5,15が形成されており、充電変換する
斯かる本発明品は、次のように作成する。ガラス層1の
上に透明電極2を形成したのち、第1表に示す如く基板
温度を180℃、プラズマCVD装置内の圧力を0.2
Torrに保持して、装置内の電極に30Wの高周波電
力を給電し、更に装置内へB2H6と5il14とをB
2 H6/ 5it−14=0.1の比率で供給してp
型アモルファスシリコン層3を形成した。
(以 下 余 白) 第1表 ソノ後、i型、n型アモルファス2937層4゜5を第
1表に示すようにして成長させて、第1の光起電力素子
10を形成した。
次いで、その上にユバフタ法を用いて170層7を第1
表中の条件で形成したのち、膜厚と供給ガス比率とを変
更し、他は第1の光起電力素子lOと同様の条件にて第
2の光起電力素子20を形成し、更にその上に裏面電極
6を形成した。
このようにして形成された本発明品は、第1の光起電力
素子10と第2の光起電力素子20との間に170層7
を形成しているので次に記す如き動作をする。
第2図は屈折率が約3.4の第1.第2の光起電力素子
10.20間に屈折率が約1.9の110層7が厚み6
00人で形成された本発明品に第1の光起電力素子10
側から入射した光の挙動の説明図である。
ITO87は透光性膜であり、この膜に光が照射される
と干渉を生じて反射し、その反射率が波長により異なる
ことが知られており(「太陽光発電」高橋清、(1、森
北出版)、第2図の場合の光の反射率を計算により求め
ると、第3図(横軸に波長(ns+)をとり、縦軸に反
射率R(%)をとっている)に示す如く波長が短くなる
程、反射率Rは大きくなる。このことより、170層7
により短波長の光が主に反射されて、その光が第1の光
起電力素子に吸収され、その出力電圧が高くなる。
第4図は本発明の他の実施例を示す模式的断面図を示す
。この実施例は光起電力素子のn層又はp層を導電層と
して兼ねるものであり、第1の光起電力素子のn層成長
の際、プラズマCVD装置内にNH3とSiH4とをN
J / SiH< =0.1の比率で供給し、屈折率が
2.5、厚みが700人であるn型SiN層25を形成
している。
この装置による場合でも1層25に到達した光の短波長
成分は1層25にて反射されて戻り、第1の光起電力素
子11にて吸収され、透過した長波長成分は第2の光起
電力素子20にて吸収され、前同様に光電変換効率を向
上させ得る。この場合には第1図の実施例に示す170
層7は不要である。
また、本発明は、前同様に第2の光起電力素子のp層に
第1の光起電力素子のn層よりも低屈折率の材料からな
る前記導電層たるIrOx層(Q<xく1)を形成して
もよい、この場合も、同様に光電変換効率を向上させ得
、また第1図の実施例に示す170層・7は不要である
更に、本発明は第1の光起電力素子のnji、第2の光
起電力素子のp層に夫々前同様の導電層を形成してもよ
いことは勿論である。
前記170層、  n−SiH層及びIrOx層等の導
電層の厚みについては、第1層及び第2jiWに同質の
アモルファスシリコンを用いる場合には数100人がエ
ネルギー的に適当であり、第2層にバンドギャップの小
さいアモルファスシリコン・ゲルマニウム或いは単結晶
シリコンを使用する場合は700〜2000人がよく、
また第1層にアモルファスシリコンよりもバンドギャッ
プの広い半導体を用いた場合には100〜600 人が
よい。
従って導電膜の厚みは100〜2000人が適当である
なお、上記第1図に示す実施例では導電層として170
層を形成しているが、本発明はこれに限らずSnO4を
主成分とする層を形成してもよい。
また、本発明は170層、  SnO4層、 n−5i
N層及びIrOx層は夫々1層に限らず2層以上形成し
てもよい。
更に、本発明は上述の如く2層以上形成する場合には1
10層、  SnO4層、n−3iN層、 IrOx層
を混成してもよい。
そして、更に上記説明では光起電力素子をその厚み方向
に2層形成した積層型光起電力装置に本発明を通用して
いるが、本発明はこれに限らず光起電力素子をその厚み
方向に3層以上形成したものにも適用できることは勿論
である。
〔効果〕
2つの太陽電池を有する本発明装置へ光を照射して光照
射側の第1層の太陽電池と第2層の太陽電池との波長に
対する光応答特性を調査した。
第5図は横軸に波長(nap)をとり、縦軸に光応答を
とって、その結果(実線)をまとめた図であり、比較の
ために従来装置の結果(破線)を併せて示している。こ
の図より理解される如く、第1層の太陽電池での短波長
光感度が上昇し、第2層の太陽電池へは短波長成分の光
が殆ど入射しない。
このため、光電変換効率を向上でき、従来7.0%であ
ったのを本発明により7.5%に向上できた。
また、アモルファスシリコンを用いたMi層型光起電力
装置では光照射時間に応じて光電変換効率が低下する現
象があることが知られており、このため本発明装置の光
電変換効率の経時変化を調査した。
第6図は横軸に光照射時間(時)をとり、縦軸に測定値
を初期値で除して規格化した変換効率をとって、装置に
光強度500+IIW/cff12で照射したときの調
査結果(実線)をまとめたグラフであり、比較のために
従来装置の結果(破線)を併せて示している。
この図より理解される如く、従来では光照射時間が例え
ば5時間経過すると変換効率が約0.7%低下していた
が、本発明によりそれを0.4%程度とすることができ
、経時変化を小さくできた。
以上詳述した如く本発明は、各光起電力素子間又はその
一部に、短波長の光を反射し、長波長の光を透過する導
電層を形成しであるので、各光起電力素子での光電変換
効率を向上でき、これにより積層型光起電力装置全体で
の出力も高め得る等優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す模式的断面図、第2図は
本発明の詳細な説明図、第3図は本発明品における波長
と反射率との関係を示す図、第4図は本発明の他の実施
例を示す模式的断面図、第5図、第6図は本発明の詳細
な説明図である。 7・・・ITOF4 10.11・・・第1の光起電力
素子20・・・第2の光起電力素子 25・・・n−3
iN層特 許 出願人  三洋電機株式会社 代理人 弁理士  河 野  登 夫 成長(nm) 不 3 図 300  400   500   600   70
OSOO渓 表(nm) 笛 5 図 0    1    2”145 光FN、射時開 (村) 第 6 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、複数の光起電力素子をその厚み方向に積層してなり
    、受光側の素子で短波長成分の光を吸収し、その反対側
    の素子で長波長成分の光を吸収するように配設した積層
    型光起電力装置において、 短波長の光を反射し、長波長の光を透過さ せる導電層を、前記各光起電力素子間に1又は2層以上
    形成してあることを特徴とする積層型光起電力装置。 2、前記導電層がITO又はSnO_2を主成分とする
    特許請求の範囲第1項記載の積層型光起電力装置。 3、前記導電層がその受光側の光起電力素子よりも低屈
    折率である特許請求の範囲第1項記載の積層型光起電力
    装置。 4、複数の光起電力素子をその厚み方向に積層してなり
    、受光側の素子にて短波長成分の光を吸収し、その反対
    側の素子にて長波長成分の光を吸収するように形成した
    積層型光起電力装置において、 短波長の光を反射し、長波長の光を透過さ せる導電層を、前記各光起電力素子のn層又はp層とし
    て1又は2層以上形成してあることを特徴とする積層型
    光起電力装置。 5、前記n層がSiNである特許請求の範囲第4項記載
    の積層型光起電力装置。 6、前記p層がIrO_x(0<x<1)である特許請
    求の範囲第4項記載の積層型光起電力装置。 7、前記導電層の全厚みが100乃至2000Åである
    特許請求の範囲第4項記載の積層型光起電力装置。
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