JPS637426A - 作業機の振動抑制装置 - Google Patents
作業機の振動抑制装置Info
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- JPS637426A JPS637426A JP15107686A JP15107686A JPS637426A JP S637426 A JPS637426 A JP S637426A JP 15107686 A JP15107686 A JP 15107686A JP 15107686 A JP15107686 A JP 15107686A JP S637426 A JPS637426 A JP S637426A
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 4
- 238000013016 damping Methods 0.000 abstract description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C13/00—Other constructional features or details
- B66C13/04—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack
- B66C13/06—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack for minimising or preventing longitudinal or transverse swinging of loads
- B66C13/066—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack for minimising or preventing longitudinal or transverse swinging of loads for minimising vibration of a boom
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E02—HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
- E02F—DREDGING; SOIL-SHIFTING
- E02F9/00—Component parts of dredgers or soil-shifting machines, not restricted to one of the kinds covered by groups E02F3/00 - E02F7/00
- E02F9/20—Drives; Control devices
- E02F9/22—Hydraulic or pneumatic drives
- E02F9/2203—Arrangements for controlling the attitude of actuators, e.g. speed, floating function
- E02F9/2207—Arrangements for controlling the attitude of actuators, e.g. speed, floating function for reducing or compensating oscillations
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Civil Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Jib Cranes (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は油圧ショベルやクローラクレーンのようにアー
ム（ブーム）を有する建設機械等の作業機の振動抑制装
置に関する。
ム（ブーム）を有する建設機械等の作業機の振動抑制装
置に関する。
Ｂ、従来の技術
近年、省エネルギ、原価低減等の面からこの種の作業機
全体の軽量化が推進されつつある。この軽量化に伴い、
特に、アームに関して、剛性の低下によるアームのたわ
み及びアームに生ずる持続振動が問題となっている。
全体の軽量化が推進されつつある。この軽量化に伴い、
特に、アームに関して、剛性の低下によるアームのたわ
み及びアームに生ずる持続振動が問題となっている。
このため、アームに加速度検出手段を設け、加速度信号
に応じ各アクチュエータへの油量を制御したり、あるい
は各アクチュエータの圧力を検出する圧力検出手段を設
け、アクチュエータ例えば油圧シリンダの推力を演算に
より求め、このシリンダ推力の変動に応じて油圧シリン
ダへの油量を制御してアームに生じた振動を速やかに減
衰させる技術が１例えば本出願人等による特願昭５９−
１４２４０５号公報に開示されている。この２つの方法
は、原理的には全く同一と考えて良く、ここでは、油圧
シリンダ推力による振動抑制装置に基づいて従来の技術
を説明する。
に応じ各アクチュエータへの油量を制御したり、あるい
は各アクチュエータの圧力を検出する圧力検出手段を設
け、アクチュエータ例えば油圧シリンダの推力を演算に
より求め、このシリンダ推力の変動に応じて油圧シリン
ダへの油量を制御してアームに生じた振動を速やかに減
衰させる技術が１例えば本出願人等による特願昭５９−
１４２４０５号公報に開示されている。この２つの方法
は、原理的には全く同一と考えて良く、ここでは、油圧
シリンダ推力による振動抑制装置に基づいて従来の技術
を説明する。
第４図はこの振動抑制法を用いた制御装置の概略構成を
示している。３８はアームおよびその先端の負荷を含む
駆動対象（下記式中、質量Ｍで示す）であり油圧シリン
ダ３５で駆動される。この制御装置は、油圧シリンダ３
５のロッド圧Ｐ、及びヘッド圧ＰＨを検出する圧力検出
器４０．３９と、油圧シリンダ３５を動作させる指令信
号を発生させる操作指令手段（操作レバー）４１と、下
記に述べる演算を行うコントローラ５０と、コントロー
ラ５０からの信号により油圧シリンダ３５に適宜の油を
流す電気−油圧サーボ弁４２とからなる。コントローラ
５０では、各圧力信号Ｐ Ｒ＊ Ｐ Ｈに圧力Ｐ Ｒ＋
Ｐ Ｈが作用する各受圧面積ＡＲ，Ａ、を掛け、この
差（ＡＨ−ＰＨ−Ａｐ−ＰＲ） を演算してシリンダ推
力を求める。
示している。３８はアームおよびその先端の負荷を含む
駆動対象（下記式中、質量Ｍで示す）であり油圧シリン
ダ３５で駆動される。この制御装置は、油圧シリンダ３
５のロッド圧Ｐ、及びヘッド圧ＰＨを検出する圧力検出
器４０．３９と、油圧シリンダ３５を動作させる指令信
号を発生させる操作指令手段（操作レバー）４１と、下
記に述べる演算を行うコントローラ５０と、コントロー
ラ５０からの信号により油圧シリンダ３５に適宜の油を
流す電気−油圧サーボ弁４２とからなる。コントローラ
５０では、各圧力信号Ｐ Ｒ＊ Ｐ Ｈに圧力Ｐ Ｒ＋
Ｐ Ｈが作用する各受圧面積ＡＲ，Ａ、を掛け、この
差（ＡＨ−ＰＨ−Ａｐ−ＰＲ） を演算してシリンダ推
力を求める。
そして、バイパスフィルタ３４により求められたシリン
ダ推力の変動分のみを検出し、これにゲイン設定器３６
で一定ゲインＧ□を掛けて上記指令信号との差を演算出
力する。そしてこの演算出力により、サーボ弁４２を制
御する。なお、この際、バイパスフィルタ３４はコント
ローラ５０の外部に設けても良いし、ソフトウェアで内
部に構成しても良い。
ダ推力の変動分のみを検出し、これにゲイン設定器３６
で一定ゲインＧ□を掛けて上記指令信号との差を演算出
力する。そしてこの演算出力により、サーボ弁４２を制
御する。なお、この際、バイパスフィルタ３４はコント
ローラ５０の外部に設けても良いし、ソフトウェアで内
部に構成しても良い。
以上のような構成をモデル化すると第５図のようになる
。このモデルにより系の伝達関数Ｐ Ｈ／ ｉを求める
と以下のようになる。
。このモデルにより系の伝達関数Ｐ Ｈ／ ｉを求める
と以下のようになる。
Ｍ
・・・（１）
Ｍ：駆動対象の質量 −
１：入力電流 Ａ
ＰＨ二ヘッド圧力 ＰａＶ：配管容積
ゴ β：体積弾性係数 Ｎ／ボＣニジリンダ３
５の粘性抵抗係数 Ｎ／−ＡＨ：ヘッド受圧面積
ボ Ｇ□ニゲイン Ａ／Ｐａ（Ｓｉ単位系
による） （１）式よりこの系の減衰比ζを求めると、となる。（
２）式より所望の減衰比をζ。（建設機械のような作業
機では０．３程度が適当）とすると、ゲインＧ工は、 Ｇ□＝ となる、したがって（３）式に示すフィードバックゲイ
ンＧ□により所望の減衰式ζ。を得ることができる。
ゴ β：体積弾性係数 Ｎ／ボＣニジリンダ３
５の粘性抵抗係数 Ｎ／−ＡＨ：ヘッド受圧面積
ボ Ｇ□ニゲイン Ａ／Ｐａ（Ｓｉ単位系
による） （１）式よりこの系の減衰比ζを求めると、となる。（
２）式より所望の減衰比をζ。（建設機械のような作業
機では０．３程度が適当）とすると、ゲインＧ工は、 Ｇ□＝ となる、したがって（３）式に示すフィードバックゲイ
ンＧ□により所望の減衰式ζ。を得ることができる。
Ｃ０発明が解決しようとする問題点
しかしながら、（２）式かられかるように、アーム先端
に付与される負荷荷重が変化する場合、フィードバック
ゲインＧ２が一定であると所望の減衰率ζ。を得ること
ができない６その結果、負荷荷重が小さい場合（Ｍｏ）
に減衰率ζ。が得られるようなゲインＧａを選ぶと、負
荷荷重がＭ。の場合には第６図（ａ）のようにアームの
振動は速やかに減衰するが、負荷荷重ＭがＭＱ （＞Ｍ
Ｏ）になると適切な減衰率ζ。が得られず、第６図（ｂ
）のようにあまり減衰しなくな、ってしまう。すなわち
、従来技術では、アームの減衰が負荷荷重の変動に対し
て十分でない、このような問題は、またアームを有する
作業機の旋回時についても起きる。
に付与される負荷荷重が変化する場合、フィードバック
ゲインＧ２が一定であると所望の減衰率ζ。を得ること
ができない６その結果、負荷荷重が小さい場合（Ｍｏ）
に減衰率ζ。が得られるようなゲインＧａを選ぶと、負
荷荷重がＭ。の場合には第６図（ａ）のようにアームの
振動は速やかに減衰するが、負荷荷重ＭがＭＱ （＞Ｍ
Ｏ）になると適切な減衰率ζ。が得られず、第６図（ｂ
）のようにあまり減衰しなくな、ってしまう。すなわち
、従来技術では、アームの減衰が負荷荷重の変動に対し
て十分でない、このような問題は、またアームを有する
作業機の旋回時についても起きる。
本発明の目的は、アームの負荷荷重に応じて作業機に最
も適切な減衰率で常時運転できるようにした作業機の振
動抑制装置を提供することにある。
も適切な減衰率で常時運転できるようにした作業機の振
動抑制装置を提供することにある。
Ｄ０問題点を解決するための手段
本発明は、このような問題点を解消するため、入力され
る駆動信号に従って旋回体及び／またはアームすなわち
駆動対象を駆動するアクチュエータと、アクチュエータ
を駆動するために操作され指令信号を出力する操作指令
手段と、駆動対象の加速度に相応した加速度信号を出力
する加速度検出手段と、アームに加わる負荷荷重に相応
した荷重信号を出力する荷重検出手段と、指令信号、加
速度信号及び荷重信号に基づいてアームの減衰率が常時
略一定となるような駆動信号を出力する制御手段とを具
備する。
る駆動信号に従って旋回体及び／またはアームすなわち
駆動対象を駆動するアクチュエータと、アクチュエータ
を駆動するために操作され指令信号を出力する操作指令
手段と、駆動対象の加速度に相応した加速度信号を出力
する加速度検出手段と、アームに加わる負荷荷重に相応
した荷重信号を出力する荷重検出手段と、指令信号、加
速度信号及び荷重信号に基づいてアームの減衰率が常時
略一定となるような駆動信号を出力する制御手段とを具
備する。
２１作用
操作指令手段から指令信号が、加速度検出手段から加速
度信号が、荷重検出手段から荷重信号がそれぞれ制御手
段に入力されると、それらの信号に従ってアームの減衰
率が常時略一定となるような駆動信号が出力される。こ
こで、適切に減衰率を設定すれば、駆動対象に負荷され
る荷重に拘らず略−定の減衰率のもとにアームの振動が
速やかに抑制される。
度信号が、荷重検出手段から荷重信号がそれぞれ制御手
段に入力されると、それらの信号に従ってアームの減衰
率が常時略一定となるような駆動信号が出力される。こ
こで、適切に減衰率を設定すれば、駆動対象に負荷され
る荷重に拘らず略−定の減衰率のもとにアームの振動が
速やかに抑制される。
Ｆ６実施例
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、両図を用
いて説明する。
いて説明する。
作業機本体１にはアーム２がその回動軸○、を中心に回
動可能に連結され、アーム２の先端には回動軸０２を中
心に回動可能にアーム３が連結され、アーム３の先端に
は把持具４が設けられている。アーム２，３はそれぞれ
油圧シリンダ５゜６により回動される。また、把持具４
の連結点にはロートセルフが設けられ把持具４および把
持した物体８の重量を検出する。更に、油圧シリンダ５
のヘッド圧力ＰＨｖロッド圧力ＰＲを検出する圧力計９
，１０が設けられ、ロードセル７、圧力計９゜１０の検
出信号はコントローラ２０に入力されている。
動可能に連結され、アーム２の先端には回動軸０２を中
心に回動可能にアーム３が連結され、アーム３の先端に
は把持具４が設けられている。アーム２，３はそれぞれ
油圧シリンダ５゜６により回動される。また、把持具４
の連結点にはロートセルフが設けられ把持具４および把
持した物体８の重量を検出する。更に、油圧シリンダ５
のヘッド圧力ＰＨｖロッド圧力ＰＲを検出する圧力計９
，１０が設けられ、ロードセル７、圧力計９゜１０の検
出信号はコントローラ２０に入力されている。
コントローラ２０には、操作指令装置１１からの指令信
号ａが入力されている。そして、コントローラ２０から
の電流信号ｉにより電気−油圧サーボ弁１２が制御され
て油圧シリンダ５を最適制御する。
号ａが入力されている。そして、コントローラ２０から
の電流信号ｉにより電気−油圧サーボ弁１２が制御され
て油圧シリンダ５を最適制御する。
コントローラ２０は、掛算器２１．２２と１両掛算器２
１ 、２２の出力の差をとる減算器２３と、その出力の
高周波成分をとり出し加速度信号Ｃを出力するバイパス
フィルタ２４と、ロートセルフからの荷重信号すにより
アクセスされ最適ゲインＧｎを出力するメモリ２５と、
バイパスフィルタ２４の出力とメモリ２５の出力とを掛
は合わせてフィードバック信号ｄを出力する掛算器２６
と、フィードバック信号ｄと指令信号ａとの偏差をとる
減算器２７とから成り、減算器２７の出力がサーボ弁１
２の電流信号ｉとされる。
１ 、２２の出力の差をとる減算器２３と、その出力の
高周波成分をとり出し加速度信号Ｃを出力するバイパス
フィルタ２４と、ロートセルフからの荷重信号すにより
アクセスされ最適ゲインＧｎを出力するメモリ２５と、
バイパスフィルタ２４の出力とメモリ２５の出力とを掛
は合わせてフィードバック信号ｄを出力する掛算器２６
と、フィードバック信号ｄと指令信号ａとの偏差をとる
減算器２７とから成り、減算器２７の出力がサーボ弁１
２の電流信号ｉとされる。
以上の構成において、アーム２，３が駆動対象を、油圧
シリンダ５がアクチュエータを、操作指令装置１１が操
作指令手段を、圧力計９．１０．掛算器２１，２２．減
算器２３．バイパスフィルタ２４が加速度検出手段を、
ロートセルフが荷重検出手段を、メモリ２５．掛算器２
６．減算器２７が制御手段をそれぞれ構成する。
シリンダ５がアクチュエータを、操作指令装置１１が操
作指令手段を、圧力計９．１０．掛算器２１，２２．減
算器２３．バイパスフィルタ２４が加速度検出手段を、
ロートセルフが荷重検出手段を、メモリ２５．掛算器２
６．減算器２７が制御手段をそれぞれ構成する。
このように構成された実施例の動作について説明する。
面圧力計９．１０の検出出力がコントローラ２０へ入力
され、それぞれ掛算器２１．２２で（ヘッド受圧面積Ａ
ＨＸヘッド圧力ＰＨ）、（ロンド受圧面積ＡＲＸロンド
圧力ＰＲ）を演算し、減算器２３でそれらを減算してシ
リンダ推力を求める。減算結果がバイパスフィルタ２４
を通過することにより、シリンダ推力の変動分すなわち
油圧シリンダの加速度信号Ｃがとり出される。
され、それぞれ掛算器２１．２２で（ヘッド受圧面積Ａ
ＨＸヘッド圧力ＰＨ）、（ロンド受圧面積ＡＲＸロンド
圧力ＰＲ）を演算し、減算器２３でそれらを減算してシ
リンダ推力を求める。減算結果がバイパスフィルタ２４
を通過することにより、シリンダ推力の変動分すなわち
油圧シリンダの加速度信号Ｃがとり出される。
一方、ロートセルフからの荷重信号すによりメモリ２５
がアクセスされて、予め格納しである荷重−ゲインＧｎ
テーブルをルックアップして最適ゲインＧｎを読み取っ
て出力する。そして、掛算器２６で、最適ゲインＧｎと
、バイパスフィルタ２４から出力される加速度信号Ｃと
を掛は合わせてフィードバック信号ｄを減算器２７に出
力する。
がアクセスされて、予め格納しである荷重−ゲインＧｎ
テーブルをルックアップして最適ゲインＧｎを読み取っ
て出力する。そして、掛算器２６で、最適ゲインＧｎと
、バイパスフィルタ２４から出力される加速度信号Ｃと
を掛は合わせてフィードバック信号ｄを減算器２７に出
力する。
減算器２７には操作指令装置１１から指令信号ａが入力
されており、フィードバック信号ｄと指令信号ａとの偏
差をとり、その結果がサーボ弁１２の電流信号ｉとして
サーボ弁１２に供給される。
されており、フィードバック信号ｄと指令信号ａとの偏
差をとり、その結果がサーボ弁１２の電流信号ｉとして
サーボ弁１２に供給される。
ここで、第２図に基づいて、最適ゲインＧｎの読み取り
手順について説明する。
手順について説明する。
まず、手順Ｐ１で荷重信号すを読み込む。その荷重信号
すにより、手順Ｐ２−１〜２−１−０を経て荷重信号す
に最適なゲインＧ１〜Ｇｉが手順Ｐ３−１から手順Ｐ３
−ｉで選択されてゲインＧｎとして記憶される。ここで
、各荷重に対する最適ゲインは実験により予め求めて荷
重−ゲインＧｎテーブルとしてメモリ２５に格納してお
く。
すにより、手順Ｐ２−１〜２−１−０を経て荷重信号す
に最適なゲインＧ１〜Ｇｉが手順Ｐ３−１から手順Ｐ３
−ｉで選択されてゲインＧｎとして記憶される。ここで
、各荷重に対する最適ゲインは実験により予め求めて荷
重−ゲインＧｎテーブルとしてメモリ２５に格納してお
く。
このように構成された実施例では、アーム３の先端の負
荷物体８の重量が変わっても、それに応じて常に減衰率
ζがζ。どなるようにゲインＧｎを選択する。すなわち
前述した（２）式。
荷物体８の重量が変わっても、それに応じて常に減衰率
ζがζ。どなるようにゲインＧｎを選択する。すなわち
前述した（２）式。
かられかるように、ゲインＧ□を負荷物体８の荷重に応
じてＧ、、Ｇ３・・・Ｇｉに変更することにより、常に
減衰率ζがζ。どなる。従って、第３図（ａ）。
じてＧ、、Ｇ３・・・Ｇｉに変更することにより、常に
減衰率ζがζ。どなる。従って、第３図（ａ）。
（ｂ）に示すように、負荷物体８の質量Ｍが小さい値Ｍ
０でも、大きい値Ｍｆｌ （＞Ｍ、）でも、減衰特性を
略−定にできる。
０でも、大きい値Ｍｆｌ （＞Ｍ、）でも、減衰特性を
略−定にできる。
以上の実施例において、油圧シリンダ５の推力から加速
度を求める代わりに、回動中心０１回りのアーム２の角
加速度を直接検出しても良い。
度を求める代わりに、回動中心０１回りのアーム２の角
加速度を直接検出しても良い。
また、アーム３についても同様の制御を行うことができ
る。
る。
更に、作業機本体１が旋回モータなどのアクチュエータ
により旋回可能であれば、旋回体の加速度を検出して旋
回停止、起動時のアームの振動を上述したと同様に抑制
するように本発明を構成することもできる。
により旋回可能であれば、旋回体の加速度を検出して旋
回停止、起動時のアームの振動を上述したと同様に抑制
するように本発明を構成することもできる。
Ｇ０発明の効果
本発明によれば、アーム振動の減衰率が常に略−定とな
るように、アームに加わる負荷荷重に応じてアクチュエ
ータを駆動する駆動信号を形成するようにしたので、負
荷荷重の変動に拘らず確実に振動を抑えることができる
。
るように、アームに加わる負荷荷重に応じてアクチュエ
ータを駆動する駆動信号を形成するようにしたので、負
荷荷重の変動に拘らず確実に振動を抑えることができる
。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、第１図は
全体構成図、第２図は最適ゲインを読み取る手順例を示
すフローチャート、第３図（ａ）。 （ｂ）はこの実施例による振動特性を示す図、第４図は
従来例の全体構成図、第５図はそのモデル図、第６図（
ａ）、 （ｂ）は従来例の振動特性を示す図である。 ２．３：アーム ５：油圧シリンダ７：ロー
ドセル ８：負荷物体 ９．１０：圧力計 １１：操作指令装置１２
：電気−油圧サーボ弁 ２０：コントローラ 特許出願人 日立建機株式会社 代理人弁理士 永 井 冬 紀 第３図 ヴＲｔ ダＭｔ 第４図 第５図
全体構成図、第２図は最適ゲインを読み取る手順例を示
すフローチャート、第３図（ａ）。 （ｂ）はこの実施例による振動特性を示す図、第４図は
従来例の全体構成図、第５図はそのモデル図、第６図（
ａ）、 （ｂ）は従来例の振動特性を示す図である。 ２．３：アーム ５：油圧シリンダ７：ロー
ドセル ８：負荷物体 ９．１０：圧力計 １１：操作指令装置１２
：電気−油圧サーボ弁 ２０：コントローラ 特許出願人 日立建機株式会社 代理人弁理士 永 井 冬 紀 第３図 ヴＲｔ ダＭｔ 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 旋回可能に設けられた旋回体および／またはその旋回体
に回動可能に設けられたアームを駆動対象とする作業機
の振動抑制装置において、 入力される駆動信号に従って前記駆動対象を駆動するア
クチュエータと、 アクチュエータを駆動するために操作され指令信号を出
力する操作指令手段と、 前記駆動対象の加速度に相応した加速度信号を出力する
加速度検出手段と、 アームに加わる負荷荷重に相応した荷重信号を出力する
荷重検出手段と、 前記指令信号、加速度信号及び荷重信号に基づいてアー
ムの減衰率が常時略一定となるような駆動信号を出力す
る制御手段と、を具備したことを特徴とした作業機の振
動抑制装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15107686A JPS637426A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 作業機の振動抑制装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15107686A JPS637426A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 作業機の振動抑制装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637426A true JPS637426A (ja) | 1988-01-13 |
| JPH0558091B2 JPH0558091B2 (ja) | 1993-08-25 |
Family
ID=15510786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15107686A Granted JPS637426A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 作業機の振動抑制装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS637426A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02230714A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-13 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | マスク原板と被露光基板の平行調整方式 |
| JPH02142794U (ja) * | 1989-04-29 | 1990-12-04 | ||
| US5218421A (en) * | 1990-02-15 | 1993-06-08 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Wavelength detecting apparatus |
| JPH07234727A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-09-05 | Komatsu Ltd | 作業機の振動抑制装置およびその方法 |
| CN1130749C (zh) * | 1996-07-10 | 2003-12-10 | 东丽株式会社 | 等离子显示器 |
| WO2014026454A1 (zh) * | 2012-08-17 | 2014-02-20 | 中联重科股份有限公司 | 混凝土布料设备及其臂架振动抑制的方法、控制器和装置 |
| JP2016153164A (ja) * | 2016-04-25 | 2016-08-25 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット装置およびロボット装置の制御方法 |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP15107686A patent/JPS637426A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
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