JPS6365385A - Ｉｃ試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＩＣ試験装置に関し、特に定電圧印加形のＩＣ
試験装置に関する。

〔従来の技術〕

近来のＩＣ素子の大規模集積化が進むにつれ、また電力
用ＭＯ３ＩＣ等の出現によって、ＩＣ電流特性の試験範
囲が広ってきた。

第２図は従来のＩＣ試験装置の一例を示す回路図である
。

この図に示した回路は特開昭５０−１１０５７６の第２
図の回路と同等のものである。

以下、図面を参照して説明する。

電流検出抵抗部１１は、一端が共通で出力端子２に接続
それている複数のリレーＲＭ１〜ＲＭ。

から構成されている。また、それらの電流検出抵抗ＲＭ
、〜ＲＭ３の他端は、それぞれ１対１対で対応して電流
レンジ切換リレー部１２の複数リレーＫＭ、〜ＫＭ３の
他端に、それぞれ接続点５〜７を介して接続されている
。

定電圧印加部１０′は、電流検出抵抗部１１と、電流レ
ンジ切換リレー部１２と、演算増幅器Ａ１およびＡ２を
含んで成り立っている。

電流検出部２０は、差動形の演算増幅器Ａ３を含み、そ
の二つの検出電圧入力端子２３と２４には、演算増幅器
Ａ２の検出電圧出力端子３と、電流レンジ切換リレー部
の検出電圧出力端子４とが、それぞれ接続されている。

次に、第２図のＩＣ試験装置の動作について説明する。

定電圧印加部１０′の入力端子１に入力電圧■１を与え
ると、電圧ホロア形の演算増幅器Ａ２を含む並列電圧帰
還形の演算増幅器Ａ１と、帰還側演算抵抗Ｒ２と入力側
演算抵抗Ｒ１とによって、出力端子２には、これら二つ
のＷＪ算低抵抗比によって決定される増幅率で増幅され
た出力電圧■ｏが現われ、この出力電圧■。が被測定物
３０に印加されて、測定電流Ｉが流れる。従って、入力
電圧■１を一定とすると、出力に定電圧が得られる。

測定電流Ｉは、電流レンジ切換リレー部１２のうちオン
状態にある一つのリレー、例えば電流レンジ切換リレー
ＫＭ、の接点を通って、それに対応する電流検出抵抗Ｒ
ＭＩに流れる。

そこで、検出電圧出力端子３と４の間には電流検出抵抗
ＲＭ、の電圧降下ＶＲとほど等しい両側電圧Ｖ′。が現
われるので、両側電圧Ｖ′Ｒを電流検出部２０の二つの
検出電圧入力端子２３と２４の間に与えると、測定電流
Ｉに相当する値が電流測定出力端子２２から得られる。

ここで、被測定物３０として、例えばＩＣの場合は、測
定電流Ｉの電流レンジ幅が大きいので、その値に応じて
電流レンジ切換リレーＫＭ２〜ＫＭ、の一つに切換えて
、電流検出抵抗ＲＭ２〜ＲＭＳのうち対応する一つを選
択することによって、電流検出抵抗部１１の電圧降下■
１を含む両側電圧Ｖ′Ｂが、電流測定部２０の最適入力
動作範囲に合うように調整される。

電流レンジ切換リレーＲＭＩ〜ＲＭ３を切換える際に発
生し易いノイズについては、前述の文献の提案などで、
すでに解決済である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来のＩＣ試験装置は、電流レンジ切換リレー
部１２のリレー接点の接触抵抗による接点電圧■Ｋを本
質的に含む各検出電圧Ｖ、＋とｖＰを、電流測定部２０
にそれぞれ入力する測定回路になっているので、その接
点電圧■、が大きい場合には、測定値の誤差が無視でき
ないという問題があった。

特に中電流ＩＣの自動試験装置の場合には、連続運転中
に電流レンジ切換リレー部１２のリレー接点が徐々に磨
耗劣化して接点電圧■、が大きくなることにより、試験
の信頼性が問題となり易い。

本発明の目的は、電流レンジ切換リレー部の接点電圧分
が、本質的に影響しないＩＣ試験装置を提供することに
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のＩＣ試験装置は、複数の抵抗の一端が共通に接
続されてなる電流検出抵抗部と前記抵抗の他端に複数の
リレーの一端がそれぞれ対応して接続され他端は共通に
接続されてなる電流レンジ切換リレー部を含む定電圧印
加部と、前記電流検出抵抗部の抵抗の両側の電圧を一方
及び他方の入力端にそれぞれ入力する電流測定部とより
なるＩＣ試験装置において、複数のリレーの一端が共通
に前記電流測定部の他方の入力端に接続され他端が前記
電流検出抵抗部の抵抗と前記電流レンジ切換リレー部の
リレーとの各接続点にそれぞれ対応して接続されかつ前
記電流レンジ切換リレー部と連動する電圧降下検出切換
リレー部を有している。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例の回路図である。本実施例が
第２図の従来例と異なる点は、定電圧印加部１０と電流
測定部２０の間に、電圧降下検出切換リレー部４０を挿
入附加したことである。

電圧降下検出切換リレー部４０の電圧降下検出切換リレ
ーＫＳ、〜ＫＳ、の一端は、検出電圧端子４４に共通接
続され、電流測定部２０の検出電圧端子２４にその検出
電圧を与える。

それらの他端は、それぞれ１対１で対応して、例えば、
電圧降下検出切換リレーＫＳＩの他端は、電流検出抵抗
ＲＭ、と電流レンジ切換リレーＫＭ、の接続点５に結ば
れている。

ここで、電流レンジ切換リレー部１２と電圧降下検出切
換リレー部４０は、１対１で連動して切換動作をさせる
。

いま、例えば、電流レンジ切換リレーＫＭ１とそれに対
応する電圧降下検出切換リレーＫＳ、の二個のリレーの
みがオン状態の場合を説明する。

測定電流■は電流レンジ切換リレーＫＭ、と電流検出抵
抗ＲＭｌを直列に流れ、それらの接続点５の検出電圧Ｖ
ｐ１は、電圧降下検出切換リレーＫＳ、を通って電流測
定部２０の一つの検出電圧入力端子２４に与えられる。

ここで、電圧降下検出切換リレーＫＳ、の接点の接触抵
抗による電圧降下は、電流測定部２０の入力インピーダ
ンスが十分大きいので、無視出来る。従って、電圧検出
抵抗ＲＭ、と電流レンジ切換リレーＫＭｌの接続点５の
検出電圧Ｖｐｌには、出力電圧Ｖ。に対して、電流レン
ジ切換リレーＫＭ１の接点電圧■に１が含まれない。

次に、測定電流のレンジに応じて、オン状態の電流レン
ジ切換リレーＫＭ、と電圧降下検出切換リレーＫＳ、を
、１から２へ、すなわち、それぞれＫＭ２とＫＳ２とに
連動して切換えると、電圧降下検出リレー部４０の検出
電圧出力端子４４には、検出電圧ＶｐｌがＶｐ２に切換
わって出力され、電流検出抵抗ＲＭ２の電圧降下が電流
測定部２０に切換えて入力される。

なお、上述の実施例において、電流検出抵抗部１１と電
流レンジ切換リレー部１２と電圧降下検出切換リレー部
４０の複数部品の構成数を３個としたが、これらの構成
数を３個以上にしても、作用と効果は本実施例と全く同
一である。

また、第１図の実施例の電流検出部１１と、電流レンジ
切換リレー部１２の直列両端子を入換えて、かつ検出電
圧入力端子２３の入力を、検出電圧出力端子３から４に
接続を切換えるようにしても良い。

ＩＣ試験装置に含まれる定電圧印加部と電流測定部に、
電圧降下検出切換リレー部を追加し、前記定電圧印加部
内の電流検出抵抗部と電流レンジ切換リレー部の接続点
を連動して選択する事によって、従来は含まれていた前
記電流レンジ切換リレー部の接点電圧骨を除いて、電流
検出抵抗部の電圧降下分のみを電流測定部に入力し、正
確で信頼性のある電流測定ができる。特に、ＩＣの測定
電流値が大きい程この効果は著しい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２図は従来
のＩＣ試験装置の一例の回路図である。 １・・・入力端子、２・−・出力端子、３．４・・・検
出部圧出力端子、５〜７・・・接続点、１０．１０′・
・・定電圧印加部、１１・・・電流検出抵抗部、１２・
・・電流レンジ切換リレー部、２０・・・電流測定部、
２３．２４・・・検出電圧入力端子、３０・・・被測定
物、４０・・・電圧降下検出切換リレー部、４４・・・
検出電圧出力端子、Ａ１−Ａ３・・・演算増幅器、■・
・・測定電流、ＫＭ、〜ＫＭ３・・・電流レンジ切換リ
レー、ＫＳ、〜ＫＳ、・・・電圧降下検出切換リレー、
Ｒ１・・・入力側演算抵抗、Ｒ２・・・帰還側演算抵抗
、ＲＭ、〜ＲＭ３・・・電流検出抵抗、■！・・・入力
電圧、ＶＫ・・・接点電圧、Ｖ、・・検出電圧、■ｏ・
・・出力電圧、Ｖ　ｐ　、　Ｖ　ｐｌ〜Ｖｐ３・・・検
出電圧、■λ・・・電圧降下、Ｖ′Ｒ・・・両側電圧。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の抵抗の一端が共通に接続されてなる電流検出抵抗
   部と前記抵抗の他端に複数のリレーの一端がそれぞれ対
   応して接続され他端は共通に接続されてなる電流レンジ
   切換リレー部を含む定電圧印加部と、前記電流検出抵抗
   部の抵抗の両側の電圧を一方及び他方の入力端にそれぞ
   れ入力する電流測定部とよりなるＩＣ試験装置において
   、複数のリレーの一端が共通に前記電流測定部の他方の
   入力端に接続され他端が前記電流検出抵抗部の抵抗と前
   記電流レンジ切換リレー部のリレーとの各接続点にそれ
   ぞれ対応して接続されかつ前記電流レンジ切換リレー部
   と連動する電圧降下検出切換リレー部を設けたことを特
   徴とするＩＣ試験装置。