JPS6364253A - 軟ｘ線取出し窓 - Google Patents
軟ｘ線取出し窓Info
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- JPS6364253A JPS6364253A JP20901086A JP20901086A JPS6364253A JP S6364253 A JPS6364253 A JP S6364253A JP 20901086 A JP20901086 A JP 20901086A JP 20901086 A JP20901086 A JP 20901086A JP S6364253 A JPS6364253 A JP S6364253A
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- JP
- Japan
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- window
- soft
- ray
- gasket
- disk
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は軟Ｘ線取出し窓の構造に関するものである。
（従来の技術）
従来、透過窓としては、Ｘ線透過性、熱放射性、気密性
等の点から金属ベリリウムの箔が広く用いられている。
等の点から金属ベリリウムの箔が広く用いられている。
軟Ｘ線領域では雰囲気によるＸ線の減衰を除くために超
高真空にすることが望ましいが、ここからＸ線を取出す
取出し窓は、ベリリウム箔をロウ付け、電子ビーム溶接
などの方法で超高真空用フラ〉′ジの開口部に貼付して
気密を保ったり、同様な方法で銅などの窓枠に貼付した
のちこれを超高真空用フランジにＴＩＧ （タングステ
ン・イナート・ガス）溶接にて固定かつ気密を保つ構造
のものが製作されている。（応用物理、第５５巻、１９
８６年、４９４ページ）（発明が解決しようとする問題
点） しかしながら金属ベリリウムは融点が高い（１２８５℃
）、延性・展性に乏しいなどの性質をもつため、超高真
空用材料として実績のあるステンレス鋼に直接溶接する
方法ではベリロウｌ、にクラック等の破壊が生じ易く、
またロウ付は法では接合部の気密保持の信頼性が低く、
いずれも超高真空を保持できる取出し窓を歩留りよく製
作できないという欠点があった。
高真空にすることが望ましいが、ここからＸ線を取出す
取出し窓は、ベリリウム箔をロウ付け、電子ビーム溶接
などの方法で超高真空用フラ〉′ジの開口部に貼付して
気密を保ったり、同様な方法で銅などの窓枠に貼付した
のちこれを超高真空用フランジにＴＩＧ （タングステ
ン・イナート・ガス）溶接にて固定かつ気密を保つ構造
のものが製作されている。（応用物理、第５５巻、１９
８６年、４９４ページ）（発明が解決しようとする問題
点） しかしながら金属ベリリウムは融点が高い（１２８５℃
）、延性・展性に乏しいなどの性質をもつため、超高真
空用材料として実績のあるステンレス鋼に直接溶接する
方法ではベリロウｌ、にクラック等の破壊が生じ易く、
またロウ付は法では接合部の気密保持の信頼性が低く、
いずれも超高真空を保持できる取出し窓を歩留りよく製
作できないという欠点があった。
本発明の目的は、軟Ｘ線領域で必須とされる窓部の透過
能の高さと超高真空の保持という両要１’Ｆを満足し、
かつ製作時のイ３顆性が高い取出し窓の構造を提供する
ことにある。
能の高さと超高真空の保持という両要１’Ｆを満足し、
かつ製作時のイ３顆性が高い取出し窓の構造を提供する
ことにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明の要旨とするところは、超高真空用ガスケット材
料であって、かつ透過窓材と気密接合する材料を透過窓
枠として用い、しかもこの透過窓枠をガスケットとして
も用いて軟Ｘ線取出し窓を構造するというものである。
料であって、かつ透過窓材と気密接合する材料を透過窓
枠として用い、しかもこの透過窓枠をガスケットとして
も用いて軟Ｘ線取出し窓を構造するというものである。
（作用）
収りはずし可能な超高真空封止用構造として実績を有す
るものでは、やわらかくて変形が容易で、ガス放出が少
なく、かつ高温焼出し処理に耐えうる金属をガスケツＩ
・とじて用いている。このガスゲット材料に透過窓材を
気密性のよい方法で貼付して超高真空保持用ガスヶ・７
）−として用いると、簡単な構造にもかかわらず透過
窓封止性と超高真空気密性とが両立する取出し窓となる
。
るものでは、やわらかくて変形が容易で、ガス放出が少
なく、かつ高温焼出し処理に耐えうる金属をガスケツＩ
・とじて用いている。このガスゲット材料に透過窓材を
気密性のよい方法で貼付して超高真空保持用ガスヶ・７
）−として用いると、簡単な構造にもかかわらず透過
窓封止性と超高真空気密性とが両立する取出し窓となる
。
（実施例）
最初の実施例として、軟Ｘ線を超高真空から大気中に取
出すための取出し窓の構成の断面図を第１図に示す。気
密性が保証された薄い金属ベリリウム箔１０を無酸素銅
の円板２０の開口部に拡散接合法にて接合する。金属ベ
リリウムは銅とは０００〜９００ ℃にて完全な拡散接
きができることが知られている。この無酸素銅円板２０
をガスケツＩ・とじて、コンフラツトのエツジ２５を有
するステンレス鋼製の押さえフランジ３０とＸ線取出し
窓フランジ４０とで両側からはさみ込み、ステンレス鋼
製のスプリング・ワッシャ５０とボルト６０で締めつけ
る。
出すための取出し窓の構成の断面図を第１図に示す。気
密性が保証された薄い金属ベリリウム箔１０を無酸素銅
の円板２０の開口部に拡散接合法にて接合する。金属ベ
リリウムは銅とは０００〜９００ ℃にて完全な拡散接
きができることが知られている。この無酸素銅円板２０
をガスケツＩ・とじて、コンフラツトのエツジ２５を有
するステンレス鋼製の押さえフランジ３０とＸ線取出し
窓フランジ４０とで両側からはさみ込み、ステンレス鋼
製のスプリング・ワッシャ５０とボルト６０で締めつけ
る。
銅板２０に両側からコンフラツトのエツジ部がくい込ん
で超高真空の気密が保たれる。以上のように構成した軟
Ｘ線取出し窓は、反対側のコンフラ・ソト・エツジ７０
と通常の円環状無酸素銅ガスケットを用いて超高真空シ
ステムの所望の場所に収りつけることができる。
で超高真空の気密が保たれる。以上のように構成した軟
Ｘ線取出し窓は、反対側のコンフラ・ソト・エツジ７０
と通常の円環状無酸素銅ガスケットを用いて超高真空シ
ステムの所望の場所に収りつけることができる。
次の実施例は軟Ｘ線透過窓の両側が超高真空雰囲気であ
る場合に本発明を適用したものである。
る場合に本発明を適用したものである。
断面図を第２図に示す。薄い金属ベリリウム箔１０を無
酸素銅円板２０の開口部に電子ビーム溶接で接合したも
のをガスケットとして、超高真空容器壁８０にとりつけ
たステンレス鋼製コンフラツト・フランジ９０の間には
さんでボルト及びナツトで締めつける。シンクロトロン
軌道放射光のような連続スペクトルをもつ大出力Ｘ線源
に用いる窓では、軟Ｘ線領域より長い波長をもつ光がベ
リリウム箔１０に吸収されることに起因するｉｔｏの温
度上昇が悪影響を及ぼすが、本発明では無酸素銅板２ｏ
の厚み分厚くすることによって熱伝導による十分な冷却
作用が得られる点が大きな長所である。従来のベリリウ
ム窓は窓枠にステンレス鋼を用いており、この窓枠を通
常の銅ガスケットを使って超高真空容器に固定している
が、雰囲気気体の対流による冷却が期待できない超高真
空中では、ステンレス鋼の熱伝導率が極めて小さいこと
がらベリリウム窓の温度上昇が問題になっていた。
酸素銅円板２０の開口部に電子ビーム溶接で接合したも
のをガスケットとして、超高真空容器壁８０にとりつけ
たステンレス鋼製コンフラツト・フランジ９０の間には
さんでボルト及びナツトで締めつける。シンクロトロン
軌道放射光のような連続スペクトルをもつ大出力Ｘ線源
に用いる窓では、軟Ｘ線領域より長い波長をもつ光がベ
リリウム箔１０に吸収されることに起因するｉｔｏの温
度上昇が悪影響を及ぼすが、本発明では無酸素銅板２ｏ
の厚み分厚くすることによって熱伝導による十分な冷却
作用が得られる点が大きな長所である。従来のベリリウ
ム窓は窓枠にステンレス鋼を用いており、この窓枠を通
常の銅ガスケットを使って超高真空容器に固定している
が、雰囲気気体の対流による冷却が期待できない超高真
空中では、ステンレス鋼の熱伝導率が極めて小さいこと
がらベリリウム窓の温度上昇が問題になっていた。
−ｆ−記の実施例ではガスケット材料として銅を用いた
が、近年普及しつつあるアルミニウム合金ガスケットを
銅の代わりに用いてもよく、そのときには摩擦溶接法を
使えばベリリウムとの気密接合が実現できる。
が、近年普及しつつあるアルミニウム合金ガスケットを
銅の代わりに用いてもよく、そのときには摩擦溶接法を
使えばベリリウムとの気密接合が実現できる。
（発明の効果〉
本発明によれば超高真空の気密に関する信頼性が大幅に
向上するうえに、従来のステンレス鋼フランジに一体化
された形で供給される取出し窓よりも安い単価で製作で
きるので総合的な製作歩留りの向上と低価格化が実現で
きる。
向上するうえに、従来のステンレス鋼フランジに一体化
された形で供給される取出し窓よりも安い単価で製作で
きるので総合的な製作歩留りの向上と低価格化が実現で
きる。
第１図は軟Ｘ線を大気中に取出す場合の構成図、第２図
は超高真空内に窓を設ける場合の構成図である。 第１図において、１０は金属ベリリウム箔、２ｏは無酸
素銅の窓枠、２５はコンフラツトのエツジを示す。３０
は押さえフランジ、４ｏはＸ線取′出し窓フランジ、５
０はスプリング・ワッシャ、６ｏは締めっけボルト、７
０は窓取１寸は用のコンフラツト・エツジである。 第２図では、８０は超高真空容器壁、９ｏは超高真１Ｎ
５−） 第１図 １０二金属ベリリウム箔 ２０：無酸素銅円板 ２５：コンフラツト・エツジ ３０：押さえフランジ ４０：Ｘ線取出し窓フランジ ５０ニスプリング・ワッシャ ６０：締付はボルト 第２図 １０：金属ベリリウム箔 ２０：無酸素銅円板 ８０：超高真空容器壁 ９０：フンフラット・フランジ
は超高真空内に窓を設ける場合の構成図である。 第１図において、１０は金属ベリリウム箔、２ｏは無酸
素銅の窓枠、２５はコンフラツトのエツジを示す。３０
は押さえフランジ、４ｏはＸ線取′出し窓フランジ、５
０はスプリング・ワッシャ、６ｏは締めっけボルト、７
０は窓取１寸は用のコンフラツト・エツジである。 第２図では、８０は超高真空容器壁、９ｏは超高真１Ｎ
５−） 第１図 １０二金属ベリリウム箔 ２０：無酸素銅円板 ２５：コンフラツト・エツジ ３０：押さえフランジ ４０：Ｘ線取出し窓フランジ ５０ニスプリング・ワッシャ ６０：締付はボルト 第２図 １０：金属ベリリウム箔 ２０：無酸素銅円板 ８０：超高真空容器壁 ９０：フンフラット・フランジ
Claims (1)
- 軟Ｘ線透過窓とそれに接合された透過窓枠を備えた軟Ｘ
線取出し窓において、超高真空ガスケット材料であって
かつ透過窓材と気密接合する材料を透過窓枠として用い
、しかもこの透過窓枠をガスケットとしても用いること
を特徴とする軟Ｘ線取出し窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20901086A JPS6364253A (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 軟ｘ線取出し窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20901086A JPS6364253A (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 軟ｘ線取出し窓 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364253A true JPS6364253A (ja) | 1988-03-22 |
Family
ID=16565784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20901086A Pending JPS6364253A (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 軟ｘ線取出し窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6364253A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03251800A (ja) * | 1990-03-01 | 1991-11-11 | Yamaha Corp | Ｘ線照射装置のｘ線導出窓とその製造方法 |
| DE4301146A1 (ja) * | 1992-01-17 | 1993-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | |
| JP2005135786A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Toshiba Corp | 電子管の構成部品取付け構造 |
| JP2010027618A (ja) * | 2009-10-02 | 2010-02-04 | Toshiba Corp | 電子管の気密接合構造 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6074300A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-26 | 高エネルギー物理学研究所長 | シンクロトロン放射用ベリリウム窓の製造方法 |
-
1986
- 1986-09-04 JP JP20901086A patent/JPS6364253A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6074300A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-26 | 高エネルギー物理学研究所長 | シンクロトロン放射用ベリリウム窓の製造方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03251800A (ja) * | 1990-03-01 | 1991-11-11 | Yamaha Corp | Ｘ線照射装置のｘ線導出窓とその製造方法 |
| DE4301146A1 (ja) * | 1992-01-17 | 1993-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | |
| US5317618A (en) * | 1992-01-17 | 1994-05-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Light transmission type vacuum separating window and soft X-ray transmitting window |
| DE4301146C2 (de) * | 1992-01-17 | 1998-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | Strahlungsdurchlaß-Vakuumtrennfenster und seine Verwendung |
| JP2005135786A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Toshiba Corp | 電子管の構成部品取付け構造 |
| JP4601939B2 (ja) * | 2003-10-31 | 2010-12-22 | 株式会社東芝 | 電子管の気密接合構造 |
| JP2010027618A (ja) * | 2009-10-02 | 2010-02-04 | Toshiba Corp | 電子管の気密接合構造 |
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